專利名稱：控制激光偏振的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總的涉及對諸如半導(dǎo)體器件的工件的激光加工，并尤其涉及通過切斷保險絲或線路而對DRAMs、存儲器和可編程裝置的加工。
在DRAMs和可編程裝置的制造中多年來使用激光系統(tǒng)。例如，在DRAM生產(chǎn)中，利用聚焦的激光束切斷保險絲或線路而對冗余存儲器編程，以便取代有缺陷的存儲單元。編程可通過利用二極管泵浦的Q轉(zhuǎn)換的YAG(或YLF)激光器產(chǎn)生的激光脈沖切斷保險絲或線路來實現(xiàn)。
近年的半導(dǎo)體器件具有一種典型寬度為1μm、長度5μm的線路形狀。這些線路可以設(shè)置成一組水平對準(zhǔn)的線路和垂直對準(zhǔn)的線路。激光光斑大小為3-5μm的激光可以用于利用單激光脈沖切斷線路。通過適當(dāng)?shù)剡x擇激光能量、光斑尺寸、激光脈沖的寬度和激光束的波長，可以優(yōu)化激光參數(shù)、從而實現(xiàn)最整齊且最可靠的線路斷接。
線路斷接的質(zhì)量可以通過檢查斷毀的線路來評估。衡量保險絲或線路斷接實用性的是能量切斷范圍或“能量窗”，它是能夠?qū)崿F(xiàn)整齊可靠的線路切割的每個脈沖的能量范圍。用于加工半導(dǎo)體器件的激光能量可以設(shè)置在預(yù)置能量窗的中心，由于過程的變化，如線路材料的厚度、位于線路頂部的氧化材料厚度、激光的不穩(wěn)定、激光束定位中的誤差和聚焦誤差等，預(yù)置能量窗可以與實際的能量窗不同。
用在激光加工系統(tǒng)中的許多二極管泵浦固態(tài)激光器是線性偏振的。有些激光加工系統(tǒng)采用圓偏振激光束而不采用線性偏振激光束。
本發(fā)明特點的一個方面在于一種激光偏振控制裝置，該裝置包括一個偏振修正裝置如液晶可變延遲器，和一個控制器。偏振修正裝置接收激光束并修正激光束的偏振狀態(tài)。連接到偏振修正裝置的控制器調(diào)節(jié)對偏振修正裝置的輸入，從而根據(jù)由激光束加工的構(gòu)件的排列來控制激光束偏振態(tài)的修正。例如，激光束的偏振可以旋轉(zhuǎn)成與激光束切割的半導(dǎo)體器件中的線路排列對應(yīng)。偏振修正裝置構(gòu)造成并入到激光加工系統(tǒng)中，該激光加工系統(tǒng)產(chǎn)生偏振修正裝置接收的激光束并把偏振修正裝置修正的激光束聚焦到一個工件上，該工件包含一種由激光束加工的構(gòu)件。
所以，根據(jù)本發(fā)明，線性或橢圓偏振激光束可以排列成與待切割的線路對齊。例如，當(dāng)線路垂直排列時激光束的偏振可以垂直排列，當(dāng)線路水平排列時激光束的偏振可以水平排列。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，通過利用此項技術(shù)可以增大有效切割特定類型線路的可接收的切割能量的范圍。此可接收的切割能量的范圍就是能量窗。所以，通過依據(jù)線路取向變換激光束的偏振，可以獲得關(guān)于加大能量窗的寬度的最佳效果。也可以有這樣一種類型的線路，當(dāng)線性偏振激光束垂直于線路或以一定的角度但不平行于線路對齊時能量窗最大。
本發(fā)明的另一個特點在于一種檢偏器工具，該檢偏器接收由偏振修正裝置修正的激光束。檢偏器工具測定激光束偏振被偏振修正裝置的修正。把多個輸入施加到偏振修正裝置以控制激光束偏振的修正，并且利用檢偏器工具對偏振修正裝置修正的激光束檢偏，從而測定激光束偏振被偏振修正裝置的修正。儲存偏振控制裝置的輸入和激光束偏振的修正之間的關(guān)系。當(dāng)激光系統(tǒng)用于加工一種構(gòu)件時，偏振修正裝置可以根據(jù)此儲存的關(guān)系修正激光束的偏振。
通過把多項輸入施加到偏振修正裝置并通過對偏振修正裝置修正的激光束檢偏，可以確定例如為獲得垂直的線性偏振光或水平的線性偏振光所需的適當(dāng)輸入。然后可以儲存這些輸入為后面激光系統(tǒng)加工半導(dǎo)體器件上的線路時使用，使得可以把適當(dāng)?shù)妮斎爰拥狡裥拚b置，從而確保當(dāng)線路水平排列時激光束的偏振為垂直對齊，當(dāng)線路為水平排列時激光束的偏振為水平對齊。
在下面聯(lián)系附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述后，本發(fā)明的各種特點、目的和優(yōu)點將變得更加清晰。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的激光系統(tǒng)在安裝液晶可變延遲器和偏振分束器之前的水平截面圖；圖2是圖1所述的激光系統(tǒng)沿圖1中2-2線截取時的垂直截面圖；圖3是圖1的激光系統(tǒng)部分在安裝液晶可變延遲器和偏振分束器之后的水平截面圖；圖4是圖1所示激光系統(tǒng)的激光調(diào)和可旋轉(zhuǎn)半波片的詳細(xì)示圖；圖5是控制施加到圖1所示激光系統(tǒng)的液晶可變延遲器的電壓的系統(tǒng)組件框圖；圖6是圖1所示激光系統(tǒng)的部分在安裝了液晶可變延遲器和偏振分束檢偏器工具之后的水平截面圖，該組裝的系統(tǒng)從實驗上確定施加到液晶可變延遲器以提供圓偏振激光輸出的適當(dāng)電壓；圖7是圖1所示激光系統(tǒng)的部分在安裝了液晶可變延遲器和偏振分束檢偏器工具之后的水平截面圖，該組裝的系統(tǒng)從實驗上確定施加到液晶可變延遲器以提供垂直或水平偏振激光輸出的適當(dāng)電壓。
根據(jù)以下描述的偏振控制原理，線性或橢圓偏振激光束與待截取的線路對齊，以便增大激光加工系統(tǒng)的能量窗。因為本發(fā)明提供了一個能夠很好地切割給定線路的能量的很寬的范圍，所以提高了成功斷接線路的可能性，盡管知道或未知一些易于影響線路加工并因而影響最佳切割能量的加工參數(shù)。這些加工參數(shù)例如包括線路材料上氧化層厚度的不確定度、由于定位誤差而致的線路與激光束的輕微失準(zhǔn)、激光脈沖或激光脈沖能量的不穩(wěn)定性、聚焦誤差和線路厚度的不確定性。
例如，如果在具體的線路上有一個極薄的氧化層，則切割此氧化層將只需耗費極小量的能量。另一方面，如果在線路上有一個極厚的氧化層，則要切割此氧化層需大量的能量。
對于特定半導(dǎo)體器件上的特定類型的線路，根據(jù)對于特定類型的線路的預(yù)定能量窗中心的能量窗實驗測定設(shè)置用于切割線路的激光能量。例如，某種半導(dǎo)體芯片可能具有一個較厚的氧化層，而其它的可能只有較薄的氧化層或沒有氧化層。消費者可以對不同類型的芯片進(jìn)行實驗上的能量研究，以便確定保芯片的預(yù)定能量窗和后芯片的預(yù)定能量窗，這些能量窗一般覆蓋較高的能量范圍。另外，在一個包含待加工的半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體芯片中，可以有需要不同光學(xué)切割能量的各種類型的線路。例如，在芯片的邊緣可以有加工的考慮，與芯片的其它區(qū)域相比預(yù)定能量窗的中心應(yīng)該不同。
但是，不可能確定地知道每個給定線路的實際能量窗(與包括預(yù)選激光能量的預(yù)定能量窗相反)，因為可能存在的定位誤差、聚焦問題、線路厚度的不確定性、氧化層厚度的不確定性、激光的不穩(wěn)定性等因素。雖然如此，因為本發(fā)明提供了一個有效切割給定線路的很寬的能量范圍，所以對于給定線路的預(yù)選激光能量很可能落入此寬范圍內(nèi)，因為實際能量窗極可能與預(yù)選的激光能量重疊。為此，本發(fā)明提供的大切割能量范圍對于維持可靠的線路切割非常有用。
因為本發(fā)明是利用線性或橢圓偏振激光束而不是圓偏振激光束，所以可以把激光束的偏振與線路對齊并由此優(yōu)化實際能量窗。另一方面，如果用于切割特定線路的激光束是圓偏振光，則至少在特定的環(huán)境下實際能量窗比同樣的激光束是線性或橢圓偏振光時的大，并且與線路垂直對齊。所以，如果用戶不希望經(jīng)歷確保線性或橢圓偏振激光束與線路對齊的整個過程，則根據(jù)本發(fā)明的某種激光系統(tǒng)能夠允許用戶選擇一個圓偏振激光束做為折中的選擇。可以相信，最大的能量窗可以通過線性偏振光束與待切割線路對齊而實現(xiàn)。
圖1和圖2表示根據(jù)本發(fā)明的激光系統(tǒng)10在安裝液晶可變延遲器和偏振分束器之前的主要組件，其中安裝液晶可變延遲器和偏振分束器是用于根據(jù)切割線路的排列調(diào)節(jié)線性偏振。二極管泵浦的Q轉(zhuǎn)換激光頭20產(chǎn)生一個由虛線表示的激光束12，該激光束穿過導(dǎo)致光束線性偏振的半波片22(詳見圖4)。激光束12穿過小的預(yù)擴(kuò)束套疊組件14，該組件例如擴(kuò)展激光束三倍，激光束12從后旋轉(zhuǎn)反射鏡16反射，旋轉(zhuǎn)90度。激光束12從前旋轉(zhuǎn)反射鏡26反射并通過分束器28和套疊組件32向著掃描透鏡30傳播，掃描透鏡包括把激光束12導(dǎo)向工件表面的電流計34和36。
參見圖3，該圖表示在安裝液晶可變延遲器24和偏振分束器18之后的圖1和圖2所示激光系統(tǒng)10，激光束從后旋轉(zhuǎn)反射鏡16反射后穿過偏振分束器組件18轉(zhuǎn)出激光束的一部分能量(要獲得穩(wěn)定的短脈沖，激光可以在最大功率下工作，被泵浦的激光棒盡可能硬)。偏振分束器組件18轉(zhuǎn)出激光束12的水平偏振部分并使得激光束12的垂直偏振部分從中穿過。激光束12本身在進(jìn)入偏振分束器組件18之前是線性偏振光，并且通過旋轉(zhuǎn)半波片22可以控制激光束12被偏振分束器組件18轉(zhuǎn)出部分的百分比，以致于偏振分束器組件18實際上起著一個可變分束器的作用。從偏振分束器組件18出來的激光束12總是垂直偏振。
根據(jù)本發(fā)明設(shè)置的電壓控制的液晶可變延遲器(LCVR)和機(jī)架24包括一種夾在兩片之間的雙折射液晶。如現(xiàn)有技術(shù)所知，雙折射液晶可以旋轉(zhuǎn)激光束的偏振，因為光以不同的速度沿穿過雙折射液晶的不同軸傳播，導(dǎo)致偏振的相移。另外，雙折射液晶還可以把線性偏振激光輸入轉(zhuǎn)變成橢圓或圓偏振激光輸出。激光束12從LCVR24穿出到達(dá)工件表面時保持其偏振。要修正激光束12的偏振，不需要激光系統(tǒng)10以外的其它光學(xué)裝置。
參見圖5，施加到液晶可變延遲器24上的電壓通過數(shù)字控制器44和/或手動控制器40控制，控制器通過穿過圖1所示激光系統(tǒng)纜線端口的纜線與液晶可變延遲器24相接。要改變施加到LCVR24的電壓，例如可以根據(jù)用戶對被損壞線路是垂直還是水平的了解由用戶調(diào)節(jié)手動控制器40。數(shù)字控制器44接收計算機(jī)42的輸入，以便根據(jù)儲存在計算機(jī)42中的與待切割線路的排列有關(guān)的信息自動地改變LCVR24的電壓。從計算機(jī)42輸入的信息控制數(shù)字控制器44，以造成施加到LCVR24的適當(dāng)電壓。實現(xiàn)水平偏振、垂直偏振和圓偏振的正確電壓可以通過實驗確定。在一個實施例中，對數(shù)字控制器44編程，在三個對應(yīng)于垂直線偏振、水平線偏振和圓偏振的不同電壓之間選擇。在另一實施例中，數(shù)字控制器44儲存64或96個不同的電壓，包括對應(yīng)于各種橢圓偏振的電壓。還可能有其它的實施例，其中在證明某一偏振的角度對切割某種類型的構(gòu)件有利的情況下，液晶可變延遲器可以將線性偏振旋轉(zhuǎn)多種不同于垂直或水平的角度。
參見圖6，為了實驗確定施加給LCVR24的適當(dāng)電壓、從而提供一種圓偏振激光輸出，從激光系統(tǒng)中移去前旋轉(zhuǎn)反射鏡26(圖3)，使得激光束12繼續(xù)向著插在激光系統(tǒng)中的偏振分束檢偏器工具46傳播。用于對穿過LCVR24之后的激光束12檢偏的偏振分束檢偏器工具46包括偏振分束器48，分束器中具有一個位于其前部的四分之一波片50。四分之一波片50使從LCVR24接收到的任何圓偏振光線性化，以致于當(dāng)此圓偏振光傳播到偏振分束器時將根據(jù)其手型性百分之百地透過或百分之百地反射。探測板52和54分別探測透過偏振分束器48的光量和從偏振分束器48反射的光量。如果從LCVR24接收到的光不是圓偏振光而是橢圓偏振光，則從LCVR24接收到的光將有小于百分之百的量透射或反射。通過此方式，可以確定施加到LCVR24的電壓是否適于產(chǎn)生圓偏振。
參見圖7，為了實驗確定施加到LCVR24上的適當(dāng)電壓以提供垂直或水平偏振激光束輸出，翻轉(zhuǎn)分束檢偏器工具46的取向，以把偏振分束器48定位于四分之一波片50的前部而非后壁。在此取向中，四分之一波片50不進(jìn)行任何有用的功能，因為它只把線偏振光轉(zhuǎn)換成圓偏振光，不改變從中穿過的光能量。如果激光束12是線性偏振光，則其既可以百分之百地透過偏振分束器48，也可以百分之百地被偏振分束器48反射，這要根據(jù)激光束12是垂直偏振還是水平偏振。
上述聯(lián)系圖6和圖7的過程可以在制造圖3的裝置時進(jìn)行，或在升級的情況下把LCVR和機(jī)架24安裝到現(xiàn)有的激光系統(tǒng)中時進(jìn)行。進(jìn)行過此過程后，應(yīng)該把分束檢偏器工具46從激光系統(tǒng)中移去并把前旋轉(zhuǎn)反射鏡重安裝到激光系統(tǒng)中。通過向LCVR24施加各種電壓并觀察探測片52和54探測到的相對光量，可以確定欲獲得垂直線偏振光、水平線偏振光和圓偏振光所需的適當(dāng)電壓?？梢酝ㄟ^計算機(jī)42或數(shù)字控制器44儲存這些電壓值，也可以通過用戶使用手動控制器40記錄這些電壓值。用戶可以對數(shù)字控制器44編程以向LCVR24施加任意的電壓。例如，如果一個具體的用戶希望確定一個產(chǎn)生垂直橢圓偏振光或水平橢圓偏振光的電壓，則他可以利用上述聯(lián)系附圖6和7所描述的技術(shù)從實驗上找出此電壓。聯(lián)系附圖6和7所描述的技術(shù)應(yīng)在裝置與裝置的基礎(chǔ)上進(jìn)行，因為在裝置與裝置基礎(chǔ)上的LCVR24工作中可能有一些變化并且因為不同的激光器可能在不同的波長、不同的電壓和不同的偏振下工作。所以，例如，如果希望改變具體激光系統(tǒng)的工作波長，再進(jìn)行上述的實驗過程將是非常重要的。
可以實驗確定通過對齊線性或橢圓偏振激光束與線路而實現(xiàn)的能量窗。激光系統(tǒng)可以用于切割一組線路(可以包含上千個線路)中的每個線路，其中激光束的偏振與每個線路對齊，每個線路以稍稍不同的能量切割。然后檢查線路，判斷線路是否被干凈利索地切割，或切割是否是不整齊的或由于激光能量不能被線路干凈地吸收而是材料露出切割區(qū)域。如果激光能量很低，則線路將不能干凈利索地斷接，而如果激光能量太低則線路將根本不能斷接。如果激光能量太高，則包圍線路及包圍部件如其它的線路的襯底可能被損壞。被干凈切割的線路限定能量窗。
通過用彼此垂直排列的線偏振激光束或橢圓偏振激光束、或圓偏振激光束、或其它可能的偏振光束執(zhí)行相同的程序，可以很好地確定與這些偏振光束對應(yīng)的能量窗。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，利用這些技術(shù)可以通過將線性偏振激光束與待切割的線路對齊而增大能量窗。
以上描述了一種新穎的改進(jìn)的裝置和激光加工半導(dǎo)體器件的技術(shù)。本發(fā)明形成包含所述裝置和技術(shù)中所存在的或所擁有的每一種新穎的部件以及這些部件的結(jié)合。還將證明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的前提下對具體的實施例可以進(jìn)行各種應(yīng)用和修改。
權(quán)利要求
1.一種激光偏振控制裝置，包括一個偏振修正裝置，構(gòu)造成接收激光束并修正激光束的偏振狀態(tài)；和一個控制器，連接到偏振修正裝置，構(gòu)造成調(diào)節(jié)對偏振修正裝置的輸入，從而根據(jù)由激光束加工的構(gòu)件的排列來控制激光束偏振態(tài)的修正；偏振修正裝置構(gòu)造成組合到激光加工系統(tǒng)中，該激光加工系統(tǒng)產(chǎn)生被偏振修正裝置接收的激光束并把被偏振修正裝置修正的激光束聚焦到一個工件上，該工件包含一種由激光束加工的構(gòu)件。
2.如權(quán)利要求1所述的激光偏振控制裝置，其特征在于偏振修正裝置包括一個液晶可變延遲器。
3.如權(quán)利要求1所述的激光偏振控制裝置，其特征在于偏振修正裝置構(gòu)造成通過旋轉(zhuǎn)激光束的偏振來修正激光束的偏振。
4.如權(quán)利要求1所述的激光偏振控制裝置，其特征在于控制器構(gòu)造成調(diào)節(jié)對偏振修正裝置的輸入，從而導(dǎo)致激光束的偏振旋轉(zhuǎn)成與激光束加工的構(gòu)件的排列相對應(yīng)。
5.如權(quán)利要求4所述的激光偏振控制裝置，其特征在于偏振修正裝置還構(gòu)造成通過把線偏振光轉(zhuǎn)變成圓偏振光來修正激光束的偏振。
6.如權(quán)利要求1所述的激光偏振控制裝置，其特征在于偏振修正裝置還構(gòu)造成通過把線偏振光轉(zhuǎn)變成橢圓偏振光來修正激光束的偏振。
7.如權(quán)利要求1所述的激光偏振控制裝置，其特征在于偏振修正裝置構(gòu)造成接收并修正線偏振激光束。
8.如權(quán)利要求7所述的激光偏振控制裝置，還包括一種偏振分束器，該分束器設(shè)置成處理偏振修正裝置接收的激光束，從而確保激光束在預(yù)定的方向上是線性偏振的。
9.如權(quán)利要求1所述的激光偏振控制裝置，其特征在于對偏振修正裝置的輸入包括電壓輸入。
10.如權(quán)利要求1所述的激光偏振控制裝置，其特征在于控制器是手動可調(diào)節(jié)控制器。
11.如權(quán)利要求1所述的激光偏振控制裝置，還包括一個被編程的處理器，控制控制器如何根據(jù)規(guī)定激光束加工構(gòu)件的排列的信息調(diào)節(jié)偏振修正裝置的輸入。
12.如權(quán)利要求1所述的激光偏振控制裝置，其特征在于激光加工系統(tǒng)構(gòu)造成切割半導(dǎo)體器件中的線路，其特征還在于激光束加工的構(gòu)件是一個線路。
13.如權(quán)利要求1所述的激光偏振控制裝置，還包括一個設(shè)置成接收偏振修正裝置修正的激光束的檢偏器工具，其構(gòu)造成測定激光束被偏振修正裝置修正進(jìn)行的激光束偏振的修正。
14.如權(quán)利要求13所述的激光偏振控制裝置，其特征在于檢偏器工具可移除地插在激光加工系統(tǒng)中。
15.一種控制激光偏振的方法，包括提供一個激光加工系統(tǒng)，該系統(tǒng)產(chǎn)生一束激光束并把激光束聚焦到工件上，工件包含一種由激光束加工的構(gòu)件；確定由激光束加工的多個構(gòu)件中的每一個的排列；根據(jù)由激光束加工的每個構(gòu)件的排列修正激光束的偏振；和利用激光加工系統(tǒng)把具有修正的偏振的激光束聚焦到構(gòu)件上來加工構(gòu)件。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于修正激光束偏振的步驟包括旋轉(zhuǎn)激光束的偏振。
17.如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于旋轉(zhuǎn)激光束偏振的步驟包括促使激光束的偏振與激光束加工的構(gòu)件的排列相對應(yīng)。
18.如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于修正激光束偏振的步驟產(chǎn)生一個線性偏振光。
19.如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于修正激光束偏振的步驟產(chǎn)生一個橢圓偏振光。
20.如權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于激光加工系統(tǒng)構(gòu)造成切割半導(dǎo)體器件中的線路，并且其特征還在于激光束加工的構(gòu)件是一個線路。
21.一種控制激光偏振的方法，包括提供一個激光加工系統(tǒng)，該系統(tǒng)產(chǎn)生一束激光束并把激光束聚焦到工件上，工件包含一種由激光束加工的構(gòu)件；在激光加工系統(tǒng)中提供一個偏振修正裝置，該裝置構(gòu)造成接收激光束并修正激光束的偏振；在激光加工系統(tǒng)中提供一個檢偏器工具，該工件設(shè)置成接收偏振修正裝置修正的激光束，檢偏器工具構(gòu)造成測定激光束的偏振被偏振修正裝置的修正；給偏振修正裝置施加多項輸入以控制激光束偏振的修正；利用檢偏器工具對偏振修正裝置修正的激光束檢偏，以便測定激光束的偏振被偏振修正裝置的修正；和儲存偏振控制裝置的輸入與激光束偏振的修正之間的關(guān)系。
22.如權(quán)利要求21所述的方法，還包括確定由激光束加工的多個構(gòu)件中的每一個的排列；根據(jù)由激光束加工的每個構(gòu)件的排列并根據(jù)儲存的偏振控制裝置的輸入與激光束偏振的修正之間的關(guān)系，通過給偏振控制裝置施加輸入來修正激光束的偏振；和利用激光加工系統(tǒng)把具有修正的偏振的激光束聚焦到構(gòu)件上來加工構(gòu)件。
23.如權(quán)利要求22所述的方法，其特征在于激光加工系統(tǒng)構(gòu)造成切割半導(dǎo)體器件中的線路，并且其特征還在于激光束加工的構(gòu)件是一個線路。
24.如權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于激光束偏振的修正包括激光束偏振的旋轉(zhuǎn)。
25.如權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于激光束偏振的修正產(chǎn)生一個線性偏振激光束。
26.如權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于激光束偏振的修正產(chǎn)生一個橢圓偏振激光束。
27.如權(quán)利要求21所述的方法，還包括從激光加工系統(tǒng)中移除檢偏器工具的步驟。
28.如權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于儲存關(guān)系的步驟包括數(shù)字儲存。
29.如權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于儲存關(guān)系的步驟包括手動儲存。
全文摘要
激光偏振控制裝置包括一個偏振修正裝置(24)如液晶可變延遲器,和一個控制器(18)。偏振修正裝置接收激光束(12)并修正激光束的偏振狀態(tài)?？刂破髡{(diào)節(jié)對偏振修正裝置的輸入,從而根據(jù)由激光束加工的構(gòu)件的排列來控制激光束偏振態(tài)的修正。偏振修正裝置構(gòu)造成組合到激光加工系統(tǒng)中,該激光加工系統(tǒng)產(chǎn)生偏振修正裝置接收的激光束并把偏振修正裝置修正的激光束聚焦到一個工件上,該工件包含一種由激光束加工的構(gòu)件。
文檔編號B23K101/40GK1307738SQ99808116
公開日2001年8月8日 申請日期1999年6月22日 優(yōu)先權(quán)日1998年7月2日
發(fā)明者詹姆斯·J·克丁雷, 唐納德·V·司馬特, 邁克爾·普勞金, 威廉·勞爾 申請人:通用掃描公司