一種用于激光打標工藝中的清理裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體領域，具體的說，涉及一種用于半導體領域中激光打標工藝中的清理裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體行業(yè)中，在進行激光打標工藝時，激光激發(fā)晶圓產(chǎn)生的硅肩、灰塵、煙霧等經(jīng)常會浮蕩在激光頭周圍，這些硅肩如果不及時清除，就會影響激光的正常工作，影響加工精度，致使打標精度不能滿足實際要求，產(chǎn)生廢品?，F(xiàn)有技術中大多使用風扇對硅肩塵埃進行吸附清理(如圖1所示)，但由于風扇自身結構較大，吸附力弱，和激光頭組合在一起，距離較遠，導致最終吸附效果很差，依舊會沾污激光頭，甚至需頻繁人工清潔，致使產(chǎn)能受阻。
[0003]中國專利201220525659.5公開了一種激光打碼機多功能罩，包括包圍在激光打碼機的激光頭和感光探頭外、并可隨激光頭移動的罩體，所述罩體上設置有激光和被測物反射光線通過的過光孔。該激光打碼機多功能罩可遮擋塵土、紙肩等，避免其污染和堵塞感光探頭和激光出口，延長了打碼機的壽命，提高了打碼質量。但該專利技術方案中的罩體體積較大，操作不方便，且只是對塵、肩起阻擋作用，不并不能實現(xiàn)塵、肩的清理功能，所以從根本上不能解決塵、肩污染鏡頭的問題。
[0004]中國專利201210125073.4公開了一種激光打標機的鏡頭防塵裝置，其技術方案是:在激光打標機的鏡頭前端安裝環(huán)形吹塵腔體或者是在鏡頭保護蓋上的吹氣槽，所述外壁有一個進氣接口，內壁一圈環(huán)形吹塵腔體的工作面上的若干個吹塵小孔或者吹氣槽，環(huán)形吹塵腔體內側安裝有自動開合的鏡頭保護罩門。在激光打標機關機時，鏡頭保護罩門自動關閉，在激光打標機進行打標之前，吹塵小孔開始吹氣，鏡頭保護罩門再自動打開，使灰塵不能進入打標鏡頭附近區(qū)域。該專利設置了自動開關保護罩，操作不便，在實際操作中會降低工作效率，而且該專利也只能吹開塵、肩，不能進行清理，也不能從根本上解決問題。
[0005]中國專利201010618935.8公開了一種打標機振鏡的吹氣保護裝置:包括圓環(huán)形的吹氣保護罩和吹氣裝置，所述吹氣保護罩內部設置有空腔，所述吹氣保護罩的內壁設置有出氣孔，所述出氣孔是沿所述吹氣保護罩的內壁的圓周方向分布的，所述出氣孔與所述空腔連通，所述吹氣保護罩的外側設置有氣孔，所述吹氣裝置通過氣管與所述氣孔連接，振鏡工作時，開啟吹氣裝置，氣體通過吹氣保護罩的出氣孔吹出，形成風簾，可將工作時產(chǎn)生的煙霧、灰塵和加工殘渣隔離振鏡保護鏡片，有效保護振鏡及保護鏡片。該發(fā)明雖然采用了吹氣裝置，能夠吹走塵肩，但也不能對塵肩等微顆粒進行有效而徹底的清理，因為采用吹氣裝置能夠吹走較大的微塵顆粒，但在加工過程中，一些微塵的顆粒是很小的，對于顆粒非常小的微塵，僅僅吹氣，會使顆?；匦h蕩，還會污染鏡頭，而且加工過程中，也會產(chǎn)生煙霧，而該專利的技術方面外面又有罩防護，高速吹氣也會使煙霧回旋飄揚，污染鏡頭，所以，該發(fā)明的技術方案也沒能從根本上對塵、肩、煙霧等進行清理。
[0006]以上專利，雖然在一定程度上解決了塵、肩、煙霧等對激光頭的污染問題，但并未從根本上有效而徹底地解決該技術問題。

【發(fā)明內容】

[0007]為了解決激光打標工藝中產(chǎn)生的微塵、硅肩、煙霧等對激光頭的污染問題，本發(fā)明提供了一種用于激光打標工藝中的清理裝置，采用此裝置，利用空氣流形成阻擋墻，并通過抽氣裝置及時吸附產(chǎn)生的硅肩，可實現(xiàn)自動清理，避免人工操作帶來的各方面風險，避免激光頭受到沾污，從而達到持續(xù)清理硅肩并可長期保持正常工藝的狀態(tài)。
[0008]本發(fā)明的技術方案是:
[0009]一種用于激光打標工藝中的清理裝置，包括:套裝結構、吹氣孔、吸氣孔、吸氣咀、吹氣咀；其特征在于:所述吹氣孔和吹氣咀位于套裝結構上部；所述吸氣孔和吸氣咀位于套裝結構的下部；所述吹氣孔和吸氣孔沿套裝結構的圓周方向在內壁呈環(huán)狀等距離排布。
[0010]所述套裝結構為圓柱形或環(huán)錐形。
[0011]所述套裝結構為雙層結構，內、外壁之間部分為中空結構，所述中空結構形成通氣道，所述中空結構內壁沿圓周方向有氣孔，所述中空結構外壁有氣咀。
[0012]所述套裝結構還包括位于所述中空結構上端、中間、下端的環(huán)狀密封結構，或者所述中空結構僅中間有環(huán)狀密封結構，上端、下端封死。
[0013]所述的環(huán)狀密封結構為有彈性的橡膠環(huán)?；蛘撸龅沫h(huán)狀密封結構和內外壁呈一體結構。
[0014]在本發(fā)明技術方案的另一可選的實施方式中，所述套裝結構為一整體實心結構，其中在上半部分和下半部分沿圓周方向各有通孔；所述套裝結構的外壁沿通孔方向還具有環(huán)狀結構，所述環(huán)狀結構緊貼套裝結構外壁且密封，所述環(huán)狀結構內部為中空結構，形成通氣道；所述環(huán)狀結構外部具有氣咀；所述環(huán)狀結構材料為聚氨酯或亞克力或賽鋼。
[0015]在本發(fā)明技術方案的另一可選的實施方式中，所述套裝結構為兩層貼合密封結構，其內層結構外壁有環(huán)狀溝槽，所述內層結構的環(huán)狀溝槽底部有呈等距離排布的通孔；所述套裝結構的外層結構也具有環(huán)狀溝槽，所述外層結構的環(huán)狀溝槽外壁具有氣咀；所述內層結構的環(huán)狀溝槽和所述外層層結構的環(huán)狀溝槽組成通氣道，其中上部的通氣道為吹氣通道，下部的通氣道為吸氣通道。
[0016]在本發(fā)明的技術方案中:
[0017]所述的吹氣孔和吸氣孔為一環(huán)，也可以根據(jù)實際工藝需求，設計成多環(huán)結構。
[0018]所述的套裝結構材料可以為金屬材料，進一步優(yōu)選為玻璃或亞克力，便于通過套裝結構看到激光頭的污染狀況和清理狀況。
[0019]另外，本發(fā)明技術方案中套裝結構上部外壁的吹氣咀具有管道連接到吹氣泵，或者通過管道連接到壓縮空氣，進一步優(yōu)選為通過管道連接到隊吹氣裝置；套裝結構下部外壁的吸氣咀還具有管道連接到真空泵。
[0020]與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果是:通過套裝結構上部內壁的吹氣孔向激光頭進行吹氣，內外壁形成的氣刀形成一個圈形的氣墻，將硅肩、微塵、煙霧等塵埃阻擋在氣墻之外，同時通過套裝結構下部外壁的吸氣孔對硅肩、微塵、煙霧等進行吸附，并通過真空泵抽走，使激光頭無法受到沾污，從而達到持續(xù)清理硅肩并可長期正常工藝的狀態(tài)，避免因頻繁的人工操作而導致的產(chǎn)能影響，一定程度也可保證激光頭的工藝效果，延長使用壽命。
【附圖說明】
[0021]圖1是業(yè)界普遍采用的對激光頭的清理方法示意圖；
[0022]圖2是本發(fā)明技術方案中對激光頭的清理方法示意圖；
[0023]圖3是本發(fā)明的技術方案的實施例1的激光頭清理裝置結構示意圖；
[0024]圖4是本發(fā)明的技術方案的實施例2的激光頭清理裝置結構示意圖；
[0025]圖5是本發(fā)明的技術方案的實施例3的激光頭清理裝置結構示意圖；
[0026]圖6是本發(fā)明的技術方案的實施例4的激光頭清理裝置結構示意圖；
[0027]圖7是本發(fā)明的技術方案的實施例5的激光頭清理裝置結構示意圖；
[0028]圖8是本發(fā)明的技術方案的實施例6的激光頭清理裝置結構示意圖；
[0029]其中，圖1中:A為激光頭，B為風扇；圖2中:C為吹氣流，B為吸氣流。
【具體實施方式】
[0030]圖1為業(yè)界普遍采用的對打標機的激光頭普遍采用的方法，圖中，由于風扇B離激光頭A較遠，且風扇的吸力較弱，所以清理效果不理想。
[0031]圖2為本發(fā)明的技術方案中的清理方法，如圖所示，C為吹氣流，B為吸氣流，在實際工藝中，是在激光頭上安裝該套裝結構清理裝置，此裝置上部吹氣，下部吸氣，一方面利用空氣流形成阻擋墻，另一方面通過外部的抽氣裝置及時吸附產(chǎn)生的硅肩，可來實現(xiàn)自動清理，保護激光頭免受沾污。
[0032]以下結合附圖3-8和實施例1-6，對本發(fā)明技術方案的套裝結構清理裝置進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0033]實施例1
[0034]一種用于激光打標工藝中的清理裝置，如圖3所示，包括:套裝結構、吹氣孔401、吸氣孔501、吹氣通道801、吸氣通道901、吹氣咀601、吸氣咀701 ;其中，套裝結構為圓柱形雙層結構，包括內層結構101和外層結構201，內層結構101和外層結構201的部分段為中空結構，中空結構形成吹氣通道801和吸氣通道901 ;內層結構101上部沿圓周方向等距離排布有吹氣孔401，下部沿圓周方向等距離排布有吸氣孔501 ;外層結構201上部外壁有咀吹氣咀601和下部外壁有吸氣咀701 ;吹氣咀601外部通過氣管與吹氣裝置相連接，吸氣咀701外部通過氣管與真空泵相連接。
[0035]上述套裝結構還包括位于中空結構上端、中間、下端的環(huán)狀密封結構301，環(huán)狀密封結構301在兩端的作用是起密封作用，在中間段的位置起著隔離吹氣通道801和吸氣通道901的作用；在該實施例中，該實施例中的環(huán)狀密封結構的材質