靶材的脫焊方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種靶材的脫焊方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在真空濺鍍過程中，靶材是一種常用的物料，靶材通常為靶坯和背板焊接在一起而成。擴散焊接(Diffus1n Bonding,DB)為現(xiàn)有技術(shù)常用的一種焊接革E材的方法，將焊件緊密貼合，在一定溫度和壓力下保持一段時間，使接觸面之間的原子相互擴散形成聯(lián)接的焊接方法。
[0003]擴散焊接形成的靶材，當(dāng)出現(xiàn)焊接不良，無法達(dá)到真空濺鍍的標(biāo)準(zhǔn)要求時，靶材需要報廢處理，因此需要將靶材脫焊，即將靶坯和背板分開。由于靶坯使用的是高純材料，價值較高，所以一般會利用車削的辦法將靶材脫焊。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)通常采用車削的方法脫焊，即將靶材的背板車削掉，而作為高純材料的靶坯則進(jìn)行重復(fù)利用。在進(jìn)行車削時容易對高純材料的靶坯造成損傷，所以脫焊后的靶材不能作為原來靶材進(jìn)行重復(fù)利用，只能改做成更小尺寸的靶材，背板材料也無法重復(fù)利用。此外，車削工藝耗時較長，成本浪費較多。
[0005]因此，需要一種更加高效節(jié)約的擴散焊接靶材的脫焊方法，簡化現(xiàn)有靶材的脫焊過過程，提高靶材和背板的回收利用率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明解決的問題是提供一種靶材的脫焊方法，以簡化現(xiàn)有靶材的脫焊過過程，提高靶材和背板的回收利用率。
[0007]為解決上述問題，本發(fā)明提供一種靶材的脫焊方法，包括:
[0008]提供靶材，所述靶材包括靶坯和背板，所述靶坯內(nèi)嵌焊接于所述背板中，內(nèi)嵌焊接有所述靶坯的背板表面為背板正面，所述背板的另一面為背板背面；
[0009]提供油壓機，所述油壓機包括油壓機平臺和油壓機機頭；
[0010]將所述靶材懸空固定在油壓機平臺上，使靶坯朝向油壓機平臺且與油壓機平臺之間具有空隙；
[0011]用油壓機機頭對背板背面施加壓力至靶坯從背板中脫落。
[0012]可選的，所述背板正面包括邊緣區(qū)域和內(nèi)嵌有靶坯的中心區(qū)域，將所述靶材懸空固定在油壓機平臺上的步驟包括:在所述背板正面的邊緣區(qū)域與油壓機平臺之間設(shè)置多個墊圈，使靶坯與油壓機平臺之間具有空隙。
[0013]可選的，所述靶坯和背板為矩形，所述靶坯露出于背板的表面與所述背板正面的邊緣區(qū)域的表面齊平，所述背板正面的邊緣區(qū)域為框形?？蛇x的，所述多個墊圈在背板正面的邊緣區(qū)域上均勻分布。
[0014]可選的，所述墊圈的材料為金屬。
[0015]可選的，所述墊圈的高度在30-100mm的范圍內(nèi)。
[0016]可選的，用油壓機機頭對背板背面施加壓力的步驟中，油壓機機頭對背板施加的壓力在100000牛到250000牛的范圍內(nèi)。
[0017]可選的，在將所述靶材固定在油壓機平臺上之后，用油壓機機頭對背板施加壓力的步驟之前，在所述背板的背面放置墊板，在用油壓機機頭對背板施加壓力的步驟中，用油壓機機頭對所述墊板施加壓力，壓力通過墊板傳遞到背板上。
[0018]可選的，在所述背板的背面放置墊板的步驟中，將所述墊板放置于所述背板的背面中央，在用油壓機機頭對背板施加壓力的步驟中，用油壓機機頭對所述墊板中央施加壓力。
[0019]可選的，所述墊板的材料為鋁。
[0020]可選的，所述墊板的形狀設(shè)置為圓形，所述墊板的面積大于所述油壓機機頭的面積。
[0021]可選的，所述背板的材料為銅合金、不銹鋼合金或鈦合金。
[0022]可選的，在用油壓機機頭對背板施加壓力，至靶坯從背板中脫落之后，先對所述背板和靶坯進(jìn)行平整處理，再對背板與靶坯的焊接面進(jìn)行平滑處理。
[0023]可選的，對所述背板和靶坯進(jìn)行平整處理的步驟中，采用所述油壓機機頭對所述背板和靶坯施加壓力，以使所述背板和靶坯被壓平。
[0024]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點:將所述靶材懸空固定在油壓機平臺上，使靶坯朝向油壓機平臺且與油壓機平臺之間具有空隙；用油壓機機頭對背板背面施加壓力至靶坯從背板中脫落。本發(fā)明靶材的脫焊方法無需車削，直接采用壓力將靶坯從背板中取出，對靶坯的損傷較小，并且脫焊時間較短，工藝簡單。
【附圖說明】
[0025]圖1是本發(fā)明提供的靶材的脫焊方法的流程圖；
[0026]圖2是本發(fā)明靶材的脫焊方法一實施例的示意圖；
[0027]圖3是圖2所示實施例的俯視示意圖。
【具體實施方式】
[0028]如【背景技術(shù)】所述，現(xiàn)有的靶材的脫焊方法時間較長，對靶坯的損傷較大。
[0029]本發(fā)明提供一種靶材的脫焊方法，簡化現(xiàn)有靶材的脫焊過過程，提高靶材和背板的回收利用率。
[0030]本發(fā)明將所述靶材懸空固定在油壓機平臺上，使靶坯朝向油壓機平臺且與油壓機平臺之間具有空隙；用油壓機機頭對背板背面施加壓力，使背板發(fā)生變形，從而使靶坯從背板中脫落。本發(fā)明靶材的脫焊方法無需車削，直接采用壓力將靶坯從背板中取出，對靶坯的損傷較小，并且脫焊時間較短，工藝簡單。
[0031]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】做詳細(xì)的說明。
[0032]圖1為本發(fā)明提供的靶材的脫焊方法的流程圖，本發(fā)明靶材的脫焊方法大致包括:
[0033]步驟SI，提供靶材，所述靶材包括靶坯和背板，所述靶坯內(nèi)嵌焊接于所述背板中，內(nèi)嵌焊接有所述靶坯的背板表面為背板正面，所述背板的另一面為背板背面；
[0034]步驟S2，提供油壓機，所述油壓機包括油壓機平臺和油壓機機頭；
[0035]步驟S3，將所述靶材懸空固定在油壓機平臺上，使靶坯朝向油壓機平臺且與油壓機平臺之間具有空隙；
[0036]步驟S4，用油壓機機頭對背板背面施加壓力至靶坯從背板中脫落。
[0037]圖2是本發(fā)明靶材的脫焊方法一實施例的示意圖，以下結(jié)合圖2，詳細(xì)介紹本發(fā)明的【具體實施方式】。
[0038]參考圖2，執(zhí)行步驟SI，提供靶材，所述靶材包括靶坯101和背板100，所述靶坯101內(nèi)嵌焊接于所述背板100中，內(nèi)嵌焊接有所述靶坯101的背板100表面為背板正面，所述背板100的另一面為背板背面。
[0039]也就是說，在所述背板100正面上設(shè)有一開口，所述靶坯101內(nèi)嵌焊接于所述開口中。
[0040]結(jié)合參考圖3，示出了本實施例脫焊方法的俯視圖。本實施例中，所述靶材為LCD靶材，因此所述靶坯101 (如圖3中矩形虛線框所示)和背板100為矩形。所述背板100正面包括邊緣區(qū)域和中心區(qū)域，所述靶坯101內(nèi)嵌焊接于背板100的中心區(qū)域。所述靶坯101露出于背板100的表面與所述背板100邊緣區(qū)域表面齊平，所述背板100邊緣區(qū)域為框形。在其他實施例中，所述靶材還可以為半導(dǎo)體晶圓用靶材，所述靶坯101和背板100的形狀還可以為圓形，本發(fā)明對此不作限制。
[0041]本實施例中，所述背板100的材料為銅合金、不銹鋼合金或鈦合金，但是本發(fā)明對此不作限制。
[0042]本實施例中，所述靶坯101的材料包括鎢鈦合金、鉻鉬合金等，但是本發(fā)明對此不作限制。需要說明的是，本實施例的靶坯101為高純靶坯，所述靶坯101的材料純度大于99.5%，但是本發(fā)明對靶坯101是否為高純靶坯不作限制。
[0043]繼續(xù)參考圖2，執(zhí)行步驟S2，提供油壓機，所述油壓機包括油壓機平臺200和油壓機機頭201。
[0044]本實施例油壓機可以為現(xiàn)有技術(shù)常用的油壓機。所述油壓機平臺200具有平整的上表面，使得在油壓機機頭201對油壓機平臺200上的靶材施加壓力時，靶材不容易移動，壓力較為均勻。需要說明的是，為了使圖3簡潔清楚，在圖3中未示出油壓機機頭。
[0045]本實施例油壓機的油壓機機頭201的最大壓力在200000牛到250000牛的范圍內(nèi)。但是本發(fā)明對此不做限制。
[0046]需要說明的是，本發(fā)明對步驟SI和步驟S2的順序不做限制，可選的，步驟SI和步驟S2可以先后進(jìn)行也可以同時進(jìn)行。
[0047]繼續(xù)參考圖2，執(zhí)行步驟S3，將所述靶材放置在油壓機平臺200上，將所述靶材懸空固定在油壓機平臺200上，使靶坯101朝向油壓機平臺200且與油壓機平臺200之間具有空隙。具體地，結(jié)合參考圖3，在本實施例中，使靶坯101朝向油壓機平臺200，在背板100正面的邊緣區(qū)域與油壓機平臺200之間放置多個墊圈102，使靶坯101與油壓機平臺200之間具有空隙，所述靶材懸空固定在油壓機平臺200上。
[0048]需要說明的是，由于圖3是本實施例脫焊方法的俯視圖，因此實際上無法看到墊圈102，為了示意清楚多個墊圈102在背板100正面的邊緣區(qū)域的分布，在圖3中以虛線示意了多個墊圈102。
[0049]結(jié)合參考圖3，本實施例中，所述多個墊圈102在背板100正面的邊緣區(qū)域上均勻分布。由于所述背板100邊緣區(qū)域為框形，在背板100邊緣區(qū)域的相對兩邊上可以各分布相同數(shù)量的墊圈102，使得靶材在油壓機平臺200上放置平穩(wěn)，不容易因受力而從墊圈102
上掉落。
[0050]需要說明的是，由于所述多個墊圈102需要間接承受油壓機機頭201對油壓機平臺200上的靶材施加的壓力，并且多個墊圈102與背板100邊緣區(qū)域的接觸面積較小，壓強較大，所以多個墊圈102需要采用堅固的材料制成，本實施例中，所述多個墊圈102的材料為金屬，如不銹鋼、鑄鐵或鋼等堅硬的金屬材料。
[0051]需要說明的是，本實施例中，為了使靶材在油壓機平臺2