一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法用于控制半導(dǎo)體自動(dòng)焊接設(shè)備的工藝流程，半導(dǎo)體自動(dòng)焊接設(shè)備包括料盤機(jī)構(gòu)、可拾取工件的上下料平臺、可對工件加熱的預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺、以及可以轉(zhuǎn)動(dòng)的用于固定工件的焊接夾具，所述預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺和焊接夾具之間設(shè)置有轉(zhuǎn)換機(jī)械手，所述轉(zhuǎn)換機(jī)械手可同時(shí)對預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺和焊接夾具上的工件進(jìn)行拾取或放置，半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法包括以下工序：加熱上料，工件預(yù)加熱，焊接上料，焊接，下料。合理使用上下料的輔助時(shí)間對工件進(jìn)行充分預(yù)加熱，在焊接夾具增加旋轉(zhuǎn)功能，可對工件的多個(gè)工面進(jìn)行焊接而無需更換多種夾具，提高了焊接的質(zhì)量和效率。
【專利說明】
一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，具體而言，涉及一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法。【背景技術(shù)】
[0002]二極管是采用半導(dǎo)體制作的器件，半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。二極管在通信、醫(yī)療、軍事等領(lǐng)域上有著廣泛的應(yīng)用，其具有效率高、體積小、 壽命長的優(yōu)點(diǎn)，無論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看，二極管的重要性都是非常巨大的。目前，在加工二極管的過程中，要先對焊接的金屬表面進(jìn)行預(yù)熱處理，預(yù)熱處理可降低焊接應(yīng)力和焊接結(jié)構(gòu)的拘束度，對焊接的質(zhì)量起到重要的作用。現(xiàn)有技術(shù)中的焊接方法是夾具組件和加熱模塊組裝在一起，把二極管安放在夾具上才對其進(jìn)行預(yù)加熱，這使得二極管的不到充分的預(yù)熱，從而影響焊接的質(zhì)量，使用此種結(jié)構(gòu)的加熱模塊，為了使二極管得到充分預(yù)熱，要延長工件停留在夾具上的時(shí)間，造成輔助時(shí)間增加，尤其在批量加工的時(shí)候，工件停留在夾具上加熱的時(shí)，設(shè)備的其他功能部件停止工作，等待工件加熱和焊接完成后才能進(jìn)行下一步的工作，焊接效率低下，因此需要把工件停留在夾具上加熱的時(shí)間單獨(dú)區(qū)分出來， 使工件一上夾具就可以焊接。并且，這些半導(dǎo)體器件的焊接面有多個(gè)，多個(gè)焊接面也不在同一平面上，由此需要分幾次采用不同的夾具對半導(dǎo)體器件進(jìn)行焊接，從而降低了工作效率， 增加了上、下料的次數(shù)，同時(shí)使半導(dǎo)體器件冷卻，嚴(yán)重影響焊接的質(zhì)量。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的上述技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明提出一種可縮短輔助時(shí)間，提高效率的半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，用于控制半導(dǎo)體自動(dòng)焊接設(shè)備的工藝流程，所述半導(dǎo)體自動(dòng)焊接設(shè)備包括料盤機(jī)構(gòu)、可拾取工件的上下料平臺、可對工件加熱的預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺、以及可以轉(zhuǎn)動(dòng)的用于固定工件的焊接夾具，所述預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺和焊接夾具之間設(shè)置有轉(zhuǎn)換機(jī)械手，所述轉(zhuǎn)換機(jī)械手可同時(shí)對預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺和焊接夾具上的工件進(jìn)行拾取或放置，所述半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法包括以下工序:工序一.加熱上料，上下料平臺把工件從料盤機(jī)構(gòu)移動(dòng)到預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺上；工序二.工件預(yù)加熱，工件在預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺上進(jìn)行加熱；工序三.焊接上料，轉(zhuǎn)換機(jī)械手把工件移動(dòng)到焊接夾具上；工序四.焊接，對工件進(jìn)行至少一次焊接；工序五.下料，把工件從焊接夾具移動(dòng)到料盤機(jī)構(gòu)上；根據(jù)上述技術(shù)方案作出進(jìn)一步的改進(jìn)，所述預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺設(shè)置有加熱塊，以及相對加熱塊轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)臺，所述轉(zhuǎn)臺設(shè)置有多個(gè)工位孔，所述工序二的步驟包括:預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺在水平方向轉(zhuǎn)動(dòng)，把工件送到轉(zhuǎn)換機(jī)械手的下方，利用轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)間對工件進(jìn)行加熱。
[0005]根據(jù)上述技術(shù)方案作出進(jìn)一步的改進(jìn)，所述轉(zhuǎn)臺設(shè)置有環(huán)形槽，所述加熱塊設(shè)置有與環(huán)形槽相配合的凸臺，所述凸臺非接觸式嵌套在環(huán)形槽中。
[0006]根據(jù)上述技術(shù)方案作出進(jìn)一步的改進(jìn)，所述轉(zhuǎn)換機(jī)械手設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，以及至少兩個(gè)偏離轉(zhuǎn)動(dòng)軸設(shè)置的取料部，所述工序三的步驟包括:轉(zhuǎn)換機(jī)械手的取料部把預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺取料區(qū)的工件拾取并水平旋轉(zhuǎn)。
[0007]根據(jù)上述技術(shù)方案作出進(jìn)一步的改進(jìn)，所述焊接夾具包括夾具支架，以及安裝在夾具支架上的焊線工作臺，所述夾具支架連接有驅(qū)使夾具支架轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，所述工序四的步驟包括:焊線工作臺夾緊工件，驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)使焊線工作臺垂直轉(zhuǎn)動(dòng)，至所需焊接的位置再進(jìn)行焊接，焊接完成后焊接夾具復(fù)位等待下料。
[0008]根據(jù)上述技術(shù)方案作出進(jìn)一步的改進(jìn)，所述工序五的步驟包括:所述轉(zhuǎn)換機(jī)械手把工件從焊接夾具上拾取，并水平旋轉(zhuǎn)換位，轉(zhuǎn)換機(jī)械手把工件放置到預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺上;上下料平臺把已加工工件從預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺上拾取，并移動(dòng)到料盤機(jī)構(gòu)上，完成下料。
[0009]根據(jù)上述技術(shù)方案作出進(jìn)一步的改進(jìn)，所述預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺內(nèi)設(shè)置有加熱器，預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺的溫度設(shè)置為150 °C至200 °C。[〇〇1 〇]根據(jù)上述技術(shù)方案作出進(jìn)一步的改進(jìn)，所述焊接夾具內(nèi)設(shè)置有加熱器，焊接夾具的溫度設(shè)置為100°c至150°C。
[0011]借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明的有益效果是:通過把半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法應(yīng)用在半導(dǎo)體自動(dòng)焊接設(shè)備的工藝流程中，把工件停留在夾具上加熱的時(shí)間區(qū)分出來，加熱工序在預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺上完成，使工件一上夾具就能進(jìn)行焊接，合理利用輔助時(shí)間對工件進(jìn)行充分預(yù)加熱，可提高焊接質(zhì)量和焊接效率。并且在焊接夾具增加旋轉(zhuǎn)功能，可對工件的多個(gè)工面進(jìn)行焊接而無需更換多種夾具，避免多次上下料，從而提高了焊接的效率?！靖綀D說明】
[0012]以下結(jié)合附圖和實(shí)例作進(jìn)一步說明。
[0013]圖1是本發(fā)明的半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法的工作流程圖。
[0014]圖2是本發(fā)明中的自動(dòng)焊接設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0015]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0016]參照圖1至圖2,一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，用于控制半導(dǎo)體自動(dòng)焊接設(shè)備的工藝流程，半導(dǎo)體自動(dòng)焊接設(shè)備包括料盤機(jī)構(gòu)1、可拾取工件的上下料平臺2、可對工件加熱的預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3、以及可以轉(zhuǎn)動(dòng)的用于固定工件的焊接夾具5,所述預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3和焊接夾具5之間設(shè)置有轉(zhuǎn)換機(jī)械手4,所述轉(zhuǎn)換機(jī)械手4可同時(shí)對預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3和焊接夾具5上的工件進(jìn)行拾取或放置，半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法包括以下工序:工序一.加熱上料，上下料平臺2把工件從料盤機(jī)構(gòu)1移動(dòng)到預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3上;工序一的步驟包括:a.把工件放置在料盤機(jī)構(gòu)1上，料盤機(jī)構(gòu)1放置在上下料平臺2上;b.上下料平臺2通過機(jī)械手把多個(gè)工件從料盤機(jī)構(gòu)1上拾取，逐一放到預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3上。
[0017]工序二.工件預(yù)加熱，工件在預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3上進(jìn)行加熱;所述預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3設(shè)置有加熱塊31，以及相對加熱塊31轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)臺32,所述轉(zhuǎn)臺32設(shè)置有多個(gè)工位孔，所述轉(zhuǎn)臺32 設(shè)置有環(huán)形槽，所述加熱塊31設(shè)置有與環(huán)形槽相配合的凸臺，所述凸臺非接觸式嵌套在環(huán)形槽中。工序二的步驟包括:c.轉(zhuǎn)臺32在水平方向轉(zhuǎn)動(dòng)180度，把工件送到轉(zhuǎn)換機(jī)械手4的下方，利用轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)間對工件進(jìn)行加熱，本實(shí)施例中的預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3設(shè)置4個(gè)用于放置工件的工件孔，工件經(jīng)過兩次90度的旋轉(zhuǎn)可到達(dá)轉(zhuǎn)換機(jī)械手4的下方，轉(zhuǎn)臺32的工件孔越多，則預(yù)加熱的時(shí)間越長，生產(chǎn)時(shí)可根據(jù)需要設(shè)置工件孔的數(shù)量。在批量生產(chǎn)時(shí)，本發(fā)明把加熱工序單獨(dú)區(qū)分出來，當(dāng)一個(gè)工件在焊接夾具5上焊接的同時(shí)，下一個(gè)待焊接的工件在預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3上進(jìn)行加熱，焊接的基本時(shí)間和加熱的輔助時(shí)間重疊，有效的縮短總輔助時(shí)間(即為了保證完成基本焊接過程而進(jìn)行的各種輔助操作所消耗的時(shí)間，如上下料和加熱)。[〇〇18]工序三.焊接上料，轉(zhuǎn)換機(jī)械手4把工件移動(dòng)到焊接夾具5上;轉(zhuǎn)換機(jī)械手設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)軸41，以及至少兩個(gè)偏離轉(zhuǎn)動(dòng)軸41設(shè)置的取料部42，工序三的步驟包括:d.轉(zhuǎn)換機(jī)械手4 取料部把預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3的工件拾取并水平旋轉(zhuǎn)180度;e.轉(zhuǎn)換機(jī)械手4把工件放在焊接夾具5上。
[0019]工序四.焊接，對工件進(jìn)行至少一次焊接;焊接夾具5包括夾具支架51，以及安裝在夾具支架上的焊線工作臺52,所述夾具支架51連接有驅(qū)使夾具支架51轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置53， 本實(shí)施例中的工序四的步驟包括:f.焊線工作臺52夾緊工件，進(jìn)行第一次焊接;g.驅(qū)動(dòng)裝置53驅(qū)使焊線工作臺52垂直轉(zhuǎn)動(dòng)，對工件進(jìn)行第二次焊接，焊接完成后焊接夾具5復(fù)位等待下料。
[0020]工序五.下料，把工件從焊接夾具5移動(dòng)到料盤機(jī)構(gòu)1上;本實(shí)施例中的工序五的步驟包括:h.轉(zhuǎn)換機(jī)械手4的取料部42把預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3取料區(qū)的工件拾取時(shí)，另一取料部42 把工件從焊接夾具5上拾取，兩取料部同時(shí)水平旋轉(zhuǎn)180度換位;1.轉(zhuǎn)換機(jī)械手旋轉(zhuǎn)使工件換位后，兩取料部同時(shí)把工件分別放置與預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺和焊接夾具上；j.重復(fù)步驟c，在把工件送到轉(zhuǎn)換機(jī)械手3下方的同時(shí)，把已加工工件送到上下料平臺2的下方;k.上下料平臺2 把已加工工件從預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3拾取，并移動(dòng)到料盤機(jī)構(gòu)1上，完成下料。當(dāng)批量生產(chǎn)時(shí)，半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法循環(huán)重復(fù)上述步驟b至k。
[0021]作為優(yōu)選，本發(fā)明的預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3內(nèi)設(shè)置有加熱器，預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺3的溫度設(shè)置為 150°C 至 200°C。
[0022]作為優(yōu)選，本發(fā)明的焊接夾具5內(nèi)設(shè)置有加熱器，焊接夾具5的溫度設(shè)置為100°C至 150°C，可在焊接時(shí)對工件進(jìn)行保溫，保證焊接質(zhì)量。[〇〇23]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、 “厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。[〇〇24]此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個(gè)”的含義是至少兩個(gè)，例如兩個(gè)，三個(gè)等，除非另有明確具體的限定。
[0025]在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體;可以是機(jī)械連接，也可以是電連接;可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0026]在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下” 可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0027]在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不必須針對的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實(shí)施例或示例進(jìn)行接合和組合。[〇〇28] 盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，可以理解的是，上述實(shí)施例是示例性的，不能理解為對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和變型。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，其特征在于:所述半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法用于控制半 導(dǎo)體自動(dòng)焊接設(shè)備的工藝流程，所述半導(dǎo)體自動(dòng)焊接設(shè)備包括料盤機(jī)構(gòu)、可拾取工件的上 下料平臺、可對工件加熱的預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺、以及可以轉(zhuǎn)動(dòng)的用于固定工件的焊接夾具，所述 預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺和焊接夾具之間設(shè)置有轉(zhuǎn)換機(jī)械手，所述轉(zhuǎn)換機(jī)械手可同時(shí)對預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺 和焊接夾具上的工件進(jìn)行拾取或放置，所述半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法包括以下工序:加熱上料，上下料平臺把工件從料盤機(jī)構(gòu)移動(dòng)到預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺上；工件預(yù)加熱，工件在預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺上進(jìn)行加熱；焊接上料，轉(zhuǎn)換機(jī)械手把工件移動(dòng)到焊接夾具上；焊接，對工件進(jìn)行至少一次焊接；下料，把工件從焊接夾具移動(dòng)到料盤機(jī)構(gòu)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，其特征在于:所述預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺 設(shè)置有加熱塊，以及相對加熱塊轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)臺，所述轉(zhuǎn)臺設(shè)置有多個(gè)工位孔，所述工序二的步 驟包括:預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺在水平方向轉(zhuǎn)動(dòng)，把工件送到轉(zhuǎn)換機(jī)械手的下方，利用轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)間對 工件進(jìn)行加熱。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，其特征在于:所述轉(zhuǎn)臺設(shè)置有環(huán) 形槽，所述加熱塊設(shè)置有與環(huán)形槽相配合的凸臺，所述凸臺非接觸式嵌套在環(huán)形槽中。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，其特征在于:所述轉(zhuǎn)換機(jī)械手設(shè) 置有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，以及至少兩個(gè)偏離轉(zhuǎn)動(dòng)軸設(shè)置的取料部，所述工序三的步驟包括:轉(zhuǎn)換機(jī)械手 的取料部把預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺取料區(qū)的工件拾取并水平旋轉(zhuǎn)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，其特征在于:所述焊接夾具包括夾具支架，以及安裝在夾具支架上的焊線工作臺，所述夾具支架連 接有驅(qū)使夾具支架轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，所述工序四的步驟包括:焊線工作臺夾緊工件，驅(qū)動(dòng)裝 置驅(qū)使焊線工作臺垂直轉(zhuǎn)動(dòng)至所需焊接的位置再進(jìn)行焊接，焊接完成后焊接夾具復(fù)位等待 下料。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，其特征在于:所述工序五的步驟 包括:所述轉(zhuǎn)換機(jī)械手把工件從焊接夾具上拾取，并水平旋轉(zhuǎn)換位，轉(zhuǎn)換機(jī)械手把工件放置 到預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺上;上下料平臺把已加工工件從預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺上拾取，并移動(dòng)到料盤機(jī)構(gòu) 上，完成下料。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，其特征在于:所述預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺 內(nèi)設(shè)置有加熱器，預(yù)加熱中轉(zhuǎn)臺的溫度設(shè)置為150°C至250°C。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體的自動(dòng)生產(chǎn)方法，其特征在于:所述焊接夾具內(nèi)設(shè) 置有加熱器，焊接夾具的溫度設(shè)置為150°C至250°C。
【文檔編號】H01L21/328GK105945481SQ201610410093
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年6月8日
【發(fā)明人】田少華
【申請人】廣東科杰機(jī)械自動(dòng)化有限公司