一種晶圓切割裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種晶圓切割裝置，屬于晶圓切割技術領域。
【背景技術】
[0002]隨著晶圓的使用需求越來越大，晶圓的加工生產的效率亟需提高。在現有技術中對晶圓大多是采用激光切割方式，這種方式不僅無污染而且效率高，但是在節(jié)能方面，由于激光切割本身的耗能就相對比較大，因此雖然效率高了，但是實際生產過程中的能源消耗也是很大的，給企業(yè)的生產提高了很大的成本。
【實用新型內容】
[0003]為解決現有技術的不足，本實用新型的目的在于提供一種節(jié)省能源的晶圓切割裝置。
[0004]為了實現上述目標，本實用新型采用如下的技術方案:
[0005]一種晶圓切割裝置，其特征是，包括傳送帶、位于所述傳送帶上方的切割模塊；所述切割模塊包括定位電缸和位于所述定位電缸上的激光切割器；所述定位電缸包括X軸電缸、I軸電缸和Z軸電缸；所述激光切割器位于X軸電缸上。
[0006]前述的一種晶圓切割裝置，其特征是，所述X軸電缸的一端設置在所述z軸電缸上，所述z軸電缸設置在所述y軸電缸上。
[0007]前述的一種晶圓切割裝置，其特征是，所述y軸電缸的末端設置有z軸方向的滑軌，所述滑軌用于z軸電缸的垂直滑動。
[0008]前所述的一種晶圓切割裝置，其特征是，還包括來料檢測模塊；所述來料檢測模塊包括控制模塊和CCD檢料模塊。
[0009]前述的一種晶圓切割裝置，其特征是，所述控制模塊用于控制傳送帶的傳送速度和切割模塊的運作。
[0010]如述的一種晶圓切割裝置，其特征是，所述y軸電缸的側面設置有啟動按鈕和急停開關。
[0011]本實用新型所達到的有益效果:采用來料檢測模塊進行監(jiān)控是否有待加工的晶圓傳送過來，當CCD檢料模塊檢測到有晶圓時，控制模塊啟動切割模塊進行切割，可以節(jié)省一部分的能源浪費，X、1、Z三軸電缸的設計可以使得激光切割器在切割的過程中更加容易定位，切割準確且效率高。
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0013]圖中附圖標記的含義:
[0014]1-來料檢測模塊，2-傳送帶，3-y軸電缸，4_滑軌，5_z軸電缸，6_x軸電缸。
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖對本實用新型作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0016]本實用新型涉及的一種晶圓切割裝置，包括傳送帶2、位于傳送帶2上方的切割模塊和來料檢測模塊I。
[0017]如圖1，切割模塊包括定位電缸和激光切割器。定位電缸包括X軸電缸6、y軸電缸3和z軸電缸5。激光切割器位于X軸電缸6上。X軸電缸6的一端設置在z軸電缸5上，z軸電缸5設置在y軸電缸3上。y軸電缸3的末端設置有z軸方向的滑軌4，滑軌4用于z軸電缸5的垂直滑動。這樣z軸電缸5在滑軌4上進行垂直方向也就是z軸方向的滑動，在y軸電缸3上進行y軸方向的滑動，X軸電缸6在z軸電缸5上進行x軸方向的滑動。整個定位電缸只有y軸電缸3是固定不動的。y軸電缸3的側面設置有啟動按鈕和急停開關，用作緊急狀況下的備用按鈕。
[0018]來料檢測模塊I包括控制模塊和CXD檢料模塊。控制模塊用于控制傳送帶2的傳送速度和切割模塊的運作。來料檢測模塊I進行監(jiān)控是否有待加工的晶圓傳送過來，當CCD檢料模塊檢測到有晶圓時，控制模塊啟動切割模塊進行切割，可以節(jié)省一部分的能源浪費，X、y、z三軸電缸的設計可以使得激光切割器在切割的過程中更加容易定位，切割準確且效率高。
[0019]以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變形，這些改進和變形也應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種晶圓切割裝置，其特征是，包括傳送帶、位于所述傳送帶上方的切割模塊；所述切割模塊包括定位電缸和位于所述定位電缸上的激光切割器；所述定位電缸包括X軸電缸、I軸電缸和Z軸電缸；所述激光切割器位于X軸電缸上。
2.根據權利要求1所述的一種晶圓切割裝置，其特征是，所述X軸電缸的一端設置在所述z軸電缸上，所述z軸電缸設置在所述I軸電缸上。
3.根據權利要求2所述的一種晶圓切割裝置，其特征是，所述y軸電缸的末端設置有z軸方向的滑軌，所述滑軌用于z軸電缸的垂直滑動。
4.根據權利要求1所述的一種晶圓切割裝置，其特征是，還包括來料檢測模塊；所述來料檢測模塊包括控制模塊和CCD檢料模塊。
5.根據權利要求4所述的一種晶圓切割裝置，其特征是，所述控制模塊用于控制傳送帶的傳送速度和切割模塊的運作。
6.根據權利要求1所述的一種晶圓切割裝置，其特征是，所述y軸電缸的側面設置有啟動按鈕和急停開關。
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶圓切割裝置，其特征是，包括傳送帶、位于所述傳送帶上方的切割模塊；所述切割模塊包括定位電缸和位于所述定位電缸上的激光切割器；所述定位電缸包括x軸電缸、y軸電缸和z軸電缸；所述激光切割器位于x軸電缸上。本實用新型所達到的有益效果：采用來料檢測模塊進行監(jiān)控是否有待加工的晶圓傳送過來，當CCD檢料模塊檢測到有晶圓時，控制模塊啟動切割模塊進行切割，可以節(jié)省一部分的能源浪費，x、y、z三軸電缸的設計可以使得激光切割器在切割的過程中更加容易定位，切割準確且效率高。
【IPC分類】B23K26-38, B23K26-08
【公開號】CN204504515
【申請?zhí)枴緾N201420861060
【發(fā)明人】劉思佳
【申請人】蘇州凱锝微電子有限公司
【公開日】2015年7月29日
【申請日】2014年12月31日