用于測(cè)量嵌入式微小型工件切削量的精密測(cè)量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于精密加工及切削量精密測(cè)量領(lǐng)域，特別涉及一種用于測(cè)量嵌入式微小型工件切削量的精密測(cè)量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展及社會(huì)需求的增加，微小零件在工業(yè)產(chǎn)品中的應(yīng)用日益增多，各種各樣的微小零件被不斷設(shè)計(jì)制造出來(lái)，給人類的生活帶來(lái)了巨大的便利，如微型齒輪、微型軸承等。目前，各種微小零件被廣泛應(yīng)用于通訊、光學(xué)、航空航天和機(jī)械加工等領(lǐng)域，這些微小零件外形尺寸一般在幾十微米到數(shù)毫米之間，雖然重量輕但功能反而更強(qiáng)。
[0003]微小型工件的裝夾和定位是十分困難的，其體積小，容易丟失和損壞，而且各功能表面小，對(duì)其重新定位夾緊不可靠且容易變形，輕者會(huì)造成加工精度喪失，重者會(huì)導(dǎo)致工件報(bào)廢。為了提高微小型工件的加工精度和加工效率，其中最實(shí)用的方法是把微小型工件牢牢嵌入在一個(gè)小型工件襯底中，再把該小型工件襯底安裝在大型夾具上以方便加工。而由于微小型工件嵌入在一個(gè)小型工件襯底中無(wú)法取出，若采取直接測(cè)量的方法，則會(huì)產(chǎn)生測(cè)量精度低，對(duì)加工表面有損傷等問(wèn)題，考慮到切削量對(duì)于檢測(cè)加工完的工件的形狀和精度有重要的指導(dǎo)意義，所以精密測(cè)量嵌入式微小型工件的切削量至關(guān)重要，而目前還沒(méi)有一套用于測(cè)量嵌入式微小型工件切削量的精密測(cè)量的可行的裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型提供一種用于測(cè)量嵌入式微小型工件切削量的精密測(cè)量裝置，以解決目前微小型工件的切削量難以精密測(cè)量的問(wèn)題，致力于提供一種用于測(cè)量嵌入式微小型工件切削量的精密、可靠、簡(jiǎn)便的測(cè)量裝置。
[0005]本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是，主間距調(diào)節(jié)單元、滑塊調(diào)節(jié)單元與副間距調(diào)節(jié)單元均安裝在底板上。
[0006]所述主間距調(diào)節(jié)單元的結(jié)構(gòu)是:固定底座a安裝在底板上，調(diào)節(jié)螺桿a安裝在固定底座a上，移動(dòng)支座a安裝在固定底座a上、且與固定底座a滑動(dòng)連接，并能用調(diào)節(jié)螺桿a調(diào)節(jié)移動(dòng)支座a與固定底座a之間的距離，移動(dòng)板通過(guò)緊定螺釘一安裝在移動(dòng)支座a上，工件襯底通過(guò)緊定螺釘二與固定底座a固定連接，被測(cè)工件嵌入安裝在工件襯底中，主電容位移傳感器穿過(guò)移動(dòng)板上的一個(gè)孔與工件襯底并排安裝在移動(dòng)板上，導(dǎo)向支架a通過(guò)緊定螺釘三安裝在移動(dòng)板上，導(dǎo)向支架a上開(kāi)有正方形孔，正方型導(dǎo)柱a穿入該孔中，為主電容位移傳感器起到軸向?qū)蜃饔?，主電容位移傳感器與正方型導(dǎo)柱a連接為一整體，導(dǎo)線一從正方形導(dǎo)柱中引出，微調(diào)旋鈕a與主電容位移傳感器螺紋連接，并位于導(dǎo)向支架a與移動(dòng)板之間，主電容位移傳感器沿旋轉(zhuǎn)微調(diào)旋鈕a軸向移動(dòng)，緊定螺釘四用于主電容位移傳感器的軸向固定。
[0007]所述滑塊調(diào)節(jié)單元的結(jié)構(gòu)是:測(cè)量觸板安裝在底板上，鋼珠嵌入安裝在測(cè)量觸板上，作為切削量測(cè)量基準(zhǔn)，移動(dòng)塊安裝在測(cè)量觸板的孔中，并沿該孔軸向移動(dòng)，調(diào)節(jié)螺釘六與移動(dòng)塊的突出部分螺紋連接，擋塊通過(guò)緊定螺釘五安裝在測(cè)量觸板上，調(diào)節(jié)螺釘六的螺帽由擋塊和測(cè)量觸板上的小凸臺(tái)軸向限位，微調(diào)旋鈕C安裝在調(diào)節(jié)螺釘六的端部，并由螺母一和螺母二進(jìn)行雙面固定，旋轉(zhuǎn)微調(diào)旋鈕C可調(diào)節(jié)移動(dòng)塊的軸向位移量。
[0008]所述副間距調(diào)節(jié)單元的結(jié)構(gòu)是:固定底座b安裝在底板上，調(diào)節(jié)螺桿b安裝在固定底座b上，移動(dòng)支座b安裝在固定底座b上、并與固定底座b滑動(dòng)連接，并可用調(diào)節(jié)螺桿b調(diào)節(jié)移動(dòng)支座b與固定底座b之間的軸向距離，缸體通過(guò)緊定螺釘九安裝在移動(dòng)支座b的孔中，圓柱形活塞安裝在缸體中，可在缸體內(nèi)實(shí)現(xiàn)軸向移動(dòng)和繞軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)，以調(diào)節(jié)位于末端的副電容位移傳感器相對(duì)于滑塊調(diào)節(jié)單元的移動(dòng)塊的距離與角度，圓柱形活塞的末端被削去一部分以安裝副電容位移傳感器的位移微調(diào)機(jī)構(gòu)，副電容位移傳感器位于圓柱形活塞的末端孔內(nèi)，導(dǎo)向支架b通過(guò)緊定螺釘八安裝于圓柱形活塞的末端削去部分內(nèi)，副電容位移傳感器與正方型導(dǎo)柱b連接為一整體，導(dǎo)線二從正方形導(dǎo)柱b中引出，正方型導(dǎo)柱b為副電容位移傳感器起到軸向?qū)蜃饔?，微調(diào)旋鈕b與電容位移傳感器的螺紋部分旋合，并位于導(dǎo)向支架b與圓柱形活塞之間，旋轉(zhuǎn)微調(diào)旋鈕b、副電容位移傳感器可沿其軸向移動(dòng)，緊定螺釘七用于副電容位移傳感器的軸向固定。
[0009]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)新穎，通過(guò)測(cè)量主、副位移傳感器相對(duì)于移動(dòng)塊的距離來(lái)間接地精密測(cè)量嵌入式微小型難夾持工件的切削量；采用了分情況測(cè)量原理，當(dāng)切削量小于主位移傳感器與移動(dòng)塊的初始距離時(shí)，只需測(cè)量主位移傳感器與移動(dòng)塊的距離變化量；當(dāng)切削量大于主位移傳感器與移動(dòng)塊的初始距離時(shí)，需要測(cè)量主、副位移傳感器與移動(dòng)塊的之間距離變化量；所述的測(cè)量方法對(duì)工件沒(méi)有損壞；采用電容位移傳感器作為測(cè)量元件，測(cè)量精度高，可達(dá)納米級(jí)。本實(shí)用新型適用于嵌入式微小型難夾持工件的切削量的精密測(cè)量。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型的測(cè)量原理示意圖；
[0011]圖2是本實(shí)用新型測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3是本實(shí)用新型測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖4是本實(shí)用新型測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖5是本實(shí)用新型測(cè)量裝置的主間距調(diào)節(jié)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖6是本實(shí)用新型測(cè)量裝置的主間距調(diào)節(jié)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖7是本實(shí)用新型測(cè)量裝置的滑塊調(diào)節(jié)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖8是本實(shí)用新型測(cè)量裝置的滑塊調(diào)節(jié)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖9是本實(shí)用新型測(cè)量裝置的滑塊調(diào)節(jié)單元的剖視圖；
[0019]圖10是本實(shí)用新型測(cè)量裝置的副間距調(diào)節(jié)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖11是本實(shí)用新型測(cè)量裝置的副間距調(diào)節(jié)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖中:主間距調(diào)節(jié)單元1、滑塊調(diào)節(jié)單元2、副間距調(diào)節(jié)單元3和底板4 ;
[0022]移動(dòng)支座alOl、移動(dòng)板102、緊定螺釘一 103、固定底座al04、調(diào)節(jié)螺桿al05、導(dǎo)向支架al06、微調(diào)旋鈕al07、緊定螺釘二 108、工件襯底109、被測(cè)工件110、主電容位移傳感器111、緊定螺釘三112、緊定螺釘四113、正方型導(dǎo)柱all4，導(dǎo)線一 115 ;
[0023]測(cè)量觸板201、緊定螺釘五202、移動(dòng)塊203、鋼珠204、調(diào)節(jié)螺釘六205、小凸臺(tái)206、擋塊207、螺母一 208、微調(diào)旋鈕c209和螺母二 210 ；
[0024]圓柱形活塞301、緊定螺釘七302、副電容位移傳感器303、緊定螺釘八304、缸體305、緊定螺釘九306、調(diào)節(jié)螺桿b307、移動(dòng)支座b308、固定底座b309、導(dǎo)線二 310、正方型導(dǎo)柱b311、微調(diào)旋鈕b312和導(dǎo)向支架b313。
【具體實(shí)施方式】
[0025]主間距調(diào)節(jié)單元1、滑塊調(diào)節(jié)單元2、副間距調(diào)節(jié)單元3和底板4 ;主間距調(diào)節(jié)單元1、滑塊調(diào)節(jié)單元2與副間距調(diào)節(jié)單元3均安裝在底板4上。
[0026]所述固定底座al04安裝在底板4上，調(diào)節(jié)螺桿al05安裝在固定底座al04上，移動(dòng)支座alOl安裝在固定底座al04上，與固定底座al04滑動(dòng)連接，并可用調(diào)節(jié)螺桿al05調(diào)節(jié)移動(dòng)支座alOl與固定底座al04之間的距離，移動(dòng)板102通過(guò)緊定螺釘一 103安裝在移動(dòng)支座alOl上，工件襯底109通過(guò)緊定螺釘二 108與固定底座al04固定連接，被測(cè)工件110嵌入安裝在工件襯底109中，主電容位移傳感器11