一種鎢絲繩壓頭成型裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及單晶爐生產(chǎn)技術領域，尤其涉及一種鎢絲繩壓頭成型裝置。
【背景技術】
[0002]目前，單晶硅制造行業(yè)采用的CZ直拉法技術生產(chǎn)單晶硅晶體，在拉制單晶時需要一種提拉軟軸。作為單晶爐內(nèi)提拉系統(tǒng)的一個中要組件，提拉軟軸的工作環(huán)境惡劣，不僅要承載單晶棒的重量，而且要承受單晶爐內(nèi)1500°C的高溫。因此，提拉軟軸必須需要滿足高強度、耐高溫、耐疲勞等技術要求。
[0003]長期以來，單晶爐提拉軟軸選用鋼絲繩，但隨著IC行業(yè)和光伏行業(yè)對原材料單晶硅純度要求的不斷提高，以及將“有磁場”植入單晶爐內(nèi)，鋼絲繩的劣勢越來越明顯。此外，鋼絲繩的Fe元素和C元素也會造成單晶硅的雜質(zhì)含量超標，并且鋼絲繩制備的提拉軟軸承載端的承載球為熔化繩頭堆積成型，繩體與承載球連接薄弱，容易發(fā)生斷裂失效，在拉晶過程中提拉軟軸的斷裂將造成嚴重的經(jīng)濟損失。
[0004]由于鎢絲繩優(yōu)異的物理和力學性能，已經(jīng)取代鋼絲繩成為單晶爐提拉系統(tǒng)的重要組成部分。鎢絲繩由繩體、壓頭(包括承載頭和固定頭)組成，壓頭設置在繩體的兩端，在使用過程中起到固定和承載的作用。鎢絲繩壓頭的連接強度直接影響鎢絲繩的使用壽命，但由于鎢的熔點較高，鎢絲繩的壓頭無法采用融化成型的方法與繩體連接。因此，提供一種鎢絲繩壓頭制備裝置有很大的必要性。
[0005]中國專利申請?zhí)?00810150620.8，公開一種鎢絲繩端頭承載球的成形工藝，利用鈮或鉭或以鈮或鉭為基材的合金材料的金屬塑性變型，進行冷擠壓工藝成形，壓制過程為:在一個包括上模和下模，且上模和下模中間制有球形成形內(nèi)腔和作為溢流口的鎢絲繩通道的擠壓模具的球形成形內(nèi)腔放置大小合適的鈮或鉭或以鈮或鉭為基材的合金材料;將鎢絲繩繩頭放入擠壓模具的鎢絲繩通道內(nèi)，將上模和下模合并后通過壓力機擠壓，此成型工藝無法確保上下模均勻施力，從而影響壓頭成型率，而且此結(jié)構(gòu)只能上下壓制，不適合特殊壓頭的實際需求，比如多棱柱狀結(jié)構(gòu)等。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]有鑒于此，本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術的不足，提供一種鎢絲繩壓頭成型裝置，解決了單晶爐技術領域中鎢絲繩壓頭成型率低的技術問題。
[0007]為達到上述目的，本實用新型采用以下技術方案:
[0008]—種鎢絲繩壓頭成型裝置，包括壓制模具、成型結(jié)構(gòu)和液壓控制裝置，所述壓制模具包括多個壓制模塊，所述多個壓制模塊相互配合后形成鏤空部;所述成型結(jié)構(gòu)包括底座和設置在所述底座上的壓制結(jié)構(gòu)，所述壓制結(jié)構(gòu)設置中空部，所述壓制結(jié)構(gòu)設置多個頂推結(jié)構(gòu)，所述頂推結(jié)構(gòu)一端與所述壓制模塊固定連接，所述頂推結(jié)構(gòu)另一端與所述液壓控制裝置相連接。
[0009]優(yōu)選的，所述壓制結(jié)構(gòu)為筒狀，所述壓制結(jié)構(gòu)內(nèi)設置有油腔，所述液壓控制裝置的輸出端、所述油腔和所述頂推結(jié)構(gòu)依次相連通，所述壓制結(jié)構(gòu)端面設有多個固定密封螺栓。
[0010]優(yōu)選的，所述頂推結(jié)構(gòu)通過液壓進出結(jié)構(gòu)與所述液壓控制裝置相連接。
[0011]優(yōu)選的，所述頂推結(jié)構(gòu)一端與所述壓制模塊的一端采用相互配合的鍥形結(jié)構(gòu)固定連接。
[0012]優(yōu)選的，所述頂推結(jié)構(gòu)設置固定擋板，所述固定擋板一端與所述頂推結(jié)構(gòu)固定連接，所述固定擋板另一端與所述壓制模塊接觸連接。
[0013]優(yōu)選的，所述液壓控制裝置包括液壓缸和液壓控制模塊，所述頂推結(jié)構(gòu)通過液壓進出結(jié)構(gòu)與所述液壓缸固定連接;所述液壓控制模塊包括依次電連接的壓力傳感器、信號調(diào)理電路、控制器和電磁閥，所述壓力傳感器和所述電磁閥分別與所述液壓缸固定連接。
[0014]本實用新型的有益效果是:
[0015]本實用新型公開的一種鎢絲繩壓頭成型裝置，壓制模具包括多個壓制模塊，即壓制模具為分割體，多個壓制模塊拼接后形成的鏤空部即壓頭的設計形狀，每個壓制模塊分別固定連接有頂推結(jié)構(gòu)，頂推結(jié)構(gòu)與液壓控制裝置相連接，通過液壓控制裝置帶動頂推結(jié)構(gòu)和壓制模具沿徑向施力在鎢絲繩壓頭上使鎢絲繩壓頭成型，多個壓制模塊設計且分別配合頂推結(jié)構(gòu)使本實用新型在壓制過程中對鎢絲繩壓頭多角度均勻施力。綜上，本實用新型公開的技術方案相對本領域技術人員是不易想到的。
[0016]首先多角度均勻施力有利于減少鎢絲繩內(nèi)部的結(jié)構(gòu)間隙，從而保證了成型鎢絲繩壓頭的結(jié)構(gòu)強度，同時增加鎢絲繩壓頭的壓制精度降低生產(chǎn)過程中的不良率;其次，通過更換全部或部分壓制模具，在其他結(jié)構(gòu)不變化的情況下可以壓制不同形狀的壓頭，從而增加本實用新型的實用性，而且拆裝過程操作便捷。
[0017]另外，壓制結(jié)構(gòu)為筒狀，壓制結(jié)構(gòu)內(nèi)設置有油腔，液壓控制裝置的輸出端、油腔和頂推結(jié)構(gòu)依次相連通，液壓油可以通過液壓控制裝置輸送到油腔或者從油腔中回流到液壓控制裝置，以此控制頂推結(jié)構(gòu)的伸縮，壓制結(jié)構(gòu)端面設有多個固定密封螺栓，密封螺栓的設計便于壓制結(jié)構(gòu)的檢修工作;頂推結(jié)構(gòu)通過液壓進出結(jié)構(gòu)與所述液壓控制裝置相連接，液壓進出結(jié)構(gòu)可以采用密封轉(zhuǎn)接結(jié)構(gòu)，有利于本實用新型的檢修工作，也可以使用液體流量控制裝置，有利于監(jiān)控液壓控制裝置中液體的進出量;頂推結(jié)構(gòu)一端與壓制模塊的一端采用相互配合的鍥形結(jié)構(gòu)固定連接，頂推結(jié)構(gòu)設置鍥形槽，壓制模塊設置鍥形凸起，鍥形結(jié)構(gòu)的相互配合便于壓制模塊的安裝與拆卸;頂推結(jié)構(gòu)設置固定擋板，固定擋板一端與頂推結(jié)構(gòu)固定連接，固定擋板另一端與壓制模塊接觸連接，固定擋板的增設可以進一步的增加壓制模塊的固定強度，防止長期使用過程中壓制模塊的松脫。
[0018]此外，液壓控制裝置包括液壓缸和液壓控制模塊，液壓控制模塊使用數(shù)字化管理，使本實用新型可以根據(jù)不同的壓頭調(diào)整壓力參數(shù)，而且易于監(jiān)控。
[0019]綜上所述，本實用新型具有施力均勻、壓頭結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、壓頭精度高、成型率高等優(yōu)點，相對現(xiàn)有技術和公知常識是具有實質(zhì)性特點和進步。
【附圖說明】
[0020]圖1為本實用新型實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖。
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