專利名稱：非鐵基表面硅化鈦涂層裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅化鈦的涂層裝置。
目前，在非鐵基表面硅化鈦的涂層是采用硅烷和四氯化鈦?zhàn)鳛闅庠吹幕瘜W(xué)氣相沉積(CVD)方法，化學(xué)氣相沉積薄膜生長(zhǎng)通常都是在高頻加熱爐、離子束加熱爐及光加熱爐中進(jìn)行。高頻加熱爐要用石墨基座作為發(fā)熱體，離子束加熱爐和光加熱爐可以直接對(duì)基體加熱。上述三種加熱方法很難在非鐵基表面進(jìn)行硅化鈦涂層，同時(shí)它們引起的氣體氣相分解要破壞硅化鈦涂層的質(zhì)量，再則其加熱功率也難達(dá)到要求。
本實(shí)用新型的目的是提供一種容易在非鐵基表面進(jìn)行硅化鈦涂層的抑制氣相分解的用電阻加熱的裝置。
本實(shí)用新型的目的是通過(guò)下述方案實(shí)現(xiàn)的設(shè)置一個(gè)頂端固定連接成一體的布置在圓形固定支承架上的雙層石英玻璃鐘罩，內(nèi)罩有一個(gè)通氮?dú)獾倪M(jìn)氣管和一個(gè)通氣源氣的喇叭口位于當(dāng)中向下的進(jìn)氣管，外罩有3～6個(gè)均勻分布的出氣管，內(nèi)罩下邊沿短于外罩下邊沿；在雙層石英玻璃鐘罩的外罩與固定架支承架之間設(shè)置密封圈，在固定支承架中間依次布置圓形的電爐、基座、轉(zhuǎn)軸從下面通過(guò)固定支承架、電爐的中心孔與基座固定連接，在電爐與密封圈之間的固定支承架下面布置水冷卻管，在電爐下面的轉(zhuǎn)軸上設(shè)置水冷卻套。
在固定支承架中間設(shè)置布置電爐和基座的凹穴。在電爐和基座之間布置一層石英片。
本實(shí)用新型能抑制氣相分解，有利于在非鐵基表面進(jìn)行硅化鈦涂層，硅烷與四氯化鈦在450℃左右反應(yīng)能生成高質(zhì)量的硅化鈦涂層，基座的轉(zhuǎn)動(dòng)使生長(zhǎng)的硅化鈦涂層均勻。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。


圖1是本實(shí)用新型的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
參照
圖1，一個(gè)頂端固定連接成一體的圖形雙層石英玻璃鐘罩1，內(nèi)罩有一個(gè)進(jìn)氣管2和一個(gè)進(jìn)氣管3，進(jìn)氣管3有一個(gè)喇叭口位于當(dāng)中向下，且高于內(nèi)罩的下邊沿，外罩有4個(gè)均勻分布的出氣管4，位于其上半截由內(nèi)罩與外罩之間通出，內(nèi)罩的下邊沿短于外罩的下邊沿。一個(gè)圓形支承架8中間有圓形凹穴。雙層石英玻璃鐘罩1的外罩下邊沿正好布置在固定支承架8的邊沿內(nèi)側(cè)，在它們之間布置橡膠密封圈7使其密封。在固定支承架8中間的凹穴內(nèi)依次布置圓形的電爐10、石英片6、基座5，固定支承架8、電爐10、石英片6有中心孔，石英片6起絕緣作用。一個(gè)由電機(jī)帶動(dòng)的轉(zhuǎn)軸12從下面通過(guò)固定支承架8、電爐10、石英片6的中心孔與基座5固定連接，此時(shí)基座5與固定支承架8的凹穴相平，與雙層石英玻璃鐘罩1的內(nèi)罩下沿相對(duì)。在電爐10與橡膠密封圈7之間的固定支承架8下面布置水冷卻管9。在靠電爐10下面的轉(zhuǎn)軸12上設(shè)置水冷卻套11。
操作過(guò)程1．打開(kāi)雙層石英玻璃鐘罩1，清洗基座5和雙層石英玻璃鐘罩1；2．經(jīng)處理后，將非鐵基襯底整齊地放在基座5上，再蓋好雙層石英玻璃鐘罩；3．經(jīng)進(jìn)氣管2通高純氮?dú)馐闺p層石英玻璃鐘罩1內(nèi)處于正壓狀態(tài)，5分鐘后開(kāi)通水冷卻管9和水冷卻套11的冷卻水，以防加熱時(shí)橡膠密封圈7和電機(jī)受熱影響，再對(duì)電爐10通電加熱，同時(shí)開(kāi)動(dòng)電機(jī)使轉(zhuǎn)軸12帶動(dòng)基座5轉(zhuǎn)動(dòng)；4．在非鐵基襯底加熱到450℃時(shí)，由進(jìn)氣管3通入硅烷和四氯化鈦的混合氣體，再關(guān)閉進(jìn)氣管2的氮?dú)?，混合氣體經(jīng)過(guò)450℃的非鐵基襯底后，經(jīng)分解-化合，在非鐵基襯底上生成硅化鈦，經(jīng)過(guò)20分鐘后，再通入氮?dú)?，同時(shí)關(guān)閉混合氣體；5．繼續(xù)加熱1小時(shí)后關(guān)電爐10的電源，讓非鐵基襯底自然冷卻到60℃以下；6．關(guān)掉電機(jī)、冷卻水和氮?dú)?，打開(kāi)雙層石英玻璃鐘罩1取出制品。
權(quán)利要求1．一種非鐵基表面硅化鈦涂層裝置，其特征在于內(nèi)罩有一個(gè)通氮?dú)獾倪M(jìn)氣管[2]和一個(gè)通氣源氣的喇叭口位于當(dāng)中向下的進(jìn)氣管[3]的，外罩有3～6個(gè)均勻分布的出氣管[4]的，內(nèi)罩下邊沿短于外罩下邊沿的頂端固連成一體的雙層石英玻璃鐘罩[1]，布置在圓形固定支承架[8]上，在雙層石英玻璃鐘罩[1]的外罩與固定支承架[8]之間設(shè)置密封圈[7]，在固定支承架[8]中間依次布置圓形的電爐[10]、基座[5]，轉(zhuǎn)軸[12]從下面通過(guò)固定支承架[8]、電爐[10]的中心孔與基座[5]固連，在電爐[10]與密封圈[7]之間的固定支承架[8]下面布置水冷卻管[9]，在電爐[10]下面的轉(zhuǎn)軸[12]上設(shè)置水冷卻套[11]。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的非鐵基表面硅化鈦涂層裝置，其特征在于在固定支承架[8]中間設(shè)置布置電爐[10]、基座[5]的凹穴。
3．根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的非鐵基表面硅化鈦涂層裝置，其特征在于在電爐[10]和基座[5]之間布置一層石英片[6]。
專利摘要非鐵基表面硅化鈦涂層裝置,頂端成一體的在固定支承架上的雙層石英玻璃鐘罩,內(nèi)罩有氮?dú)獾倪M(jìn)氣管和氣源氣的喇叭口在當(dāng)中向下的進(jìn)氣管,外罩有3～6個(gè)均布的出氣管,內(nèi)罩下邊沿短于外罩下邊沿;在固定支承架中間依次是圓形的電爐、基座,轉(zhuǎn)軸從下面通過(guò)固定支承架、電爐的中心孔與基座固連,在電爐與密封圈間的固定支承架下有水冷卻管,電爐下面的轉(zhuǎn)軸上有水冷卻套。本裝置能抑制氣相分解,在非鐵基表面進(jìn)行均勻的高質(zhì)量的硅化鈦涂層。
文檔編號(hào)C23C16/42GK2437694SQ00247388
公開(kāi)日2001年7月4日 申請(qǐng)日期2000年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月11日
發(fā)明者楊云 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)