專利名稱：真空鍍膜中電阻加熱式蒸發(fā)舟活動電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是在真空鍍膜系統(tǒng)中用電阻加熱式蒸發(fā)舟電極，特別是涉及一種對于需要多次加料的電阻蒸發(fā)舟的支持電極的改進。
在通用的真空鍍膜設(shè)備里，電阻加熱式電極的結(jié)構(gòu)包括電阻加熱蒸發(fā)舟、電極柱、絕緣密封法蘭、電極連板、電極夾板。由于蒸發(fā)舟一般由鉬、鎢等高熔點金屬材料做成。蒸發(fā)舟固定在電極夾板上，當電阻加熱蒸發(fā)舟通電加熱時，蒸發(fā)舟的材料分子結(jié)晶形式發(fā)生了變化，使得這些材料經(jīng)過一定溫度條件下的使用后就變得特別脆弱，經(jīng)不起二次或多次的裝拆使用。造成蒸發(fā)舟因加熱變形或蒸發(fā)舟裝卸過程中產(chǎn)生的應(yīng)力而導(dǎo)致?lián)p壞的可能，從而使蒸發(fā)舟的使用壽命低。
本實用新型的目的是為了解決蒸發(fā)舟因加熱變形和裝卸產(chǎn)生的應(yīng)力而導(dǎo)致?lián)p壞，使蒸發(fā)舟使用壽命降低的問題。本實用新型提供一種可方便裝拆、延長蒸發(fā)舟的使用壽命，具有一定自由轉(zhuǎn)動的真空鍍膜中電阻加熱式蒸發(fā)舟活動電極。
本實用新型的詳細內(nèi)容它包括在外部真空室14中安置電極柱1、絕緣密封法蘭2、螺釘3、電極連板4、電極夾板5、蒸發(fā)舟6、轉(zhuǎn)動軸7、導(dǎo)線8、轉(zhuǎn)動電極連板9、固定電極連板10及底臺11，蒸發(fā)舟6的兩端對稱安置電極柱1、絕緣密封法蘭2、螺釘3、電極夾板5，兩個絕緣密封法蘭2將兩個電極柱1密封在外部真空室14的底臺11上，一個螺釘3將電極連板4和一個電極柱1固定連接為一體，固定電極連板10的一端和一個電極柱1用一個螺釘3固定連接，轉(zhuǎn)動軸7與轉(zhuǎn)動電極連板9一端和固定電極連板10的另一端為轉(zhuǎn)動連接，導(dǎo)線8與轉(zhuǎn)動電極連板9和固定電極連板10連接，電極連板9的夾子端與蒸發(fā)舟6的一端連接。
本實用新型的動態(tài)工作過程當各個部件都連接好后，可以對外部的真空室14抽真空進行蒸發(fā)操作。當真空室14的真空度達到可以蒸發(fā)材料時，在電極柱1上由小到大逐步施加電壓，蒸發(fā)舟6的溫度隨之逐步升高，由于熱脹冷縮的原理，蒸發(fā)舟6就要伸長，因轉(zhuǎn)動電極連板9上有可以自由轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸7的原因，蒸發(fā)舟6可以平整的向外移動，而不會彎曲，當蒸發(fā)舟6已蒸發(fā)完所需要的材料，而要把溫度降下來時，蒸發(fā)舟6就會縮短，這種變化也通過自由轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸7使轉(zhuǎn)動電極連板9內(nèi)移，從而使蒸發(fā)舟6處于平整的狀態(tài)而不產(chǎn)生應(yīng)力。
本實用新型的積極效果是在通用的真空加熱電極的基礎(chǔ)之上設(shè)計了一個帶有自由轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動電極連板，解決了在通常情況下的固定式電極在通電加熱后，以及蒸發(fā)舟在上下裝卸的過程中，由于應(yīng)力的作用引起蒸發(fā)舟材料折斷的問題，已有技術(shù)蒸發(fā)舟只能使用二到三次，使用本實用新型時蒸發(fā)舟能使用二十次左右，從而提高蒸發(fā)舟的使用壽命。在蒸發(fā)的升溫和降溫整個過程中不發(fā)生反復(fù)的彎折現(xiàn)象，達到延長使用壽命的目的。


圖1是本實用新型的主視圖圖2是本實用新型的俯視圖圖3是電阻加熱蒸發(fā)舟的結(jié)構(gòu)示意圖本實用新型的實施例圖1、圖2、圖3電極柱1、絕緣密封法蘭2和底臺11是真空室14上的一部分。螺釘3為市場供應(yīng)的M4緊固螺釘。電極連板4、電極夾板5、轉(zhuǎn)動軸7、導(dǎo)線8、轉(zhuǎn)動電極連板9和固定電極連板10采用無氧銅或紫銅制成。電極連板4、電極夾板5、轉(zhuǎn)動電極連板9和固定電極連板10它們的兩端制備有圓孔或根據(jù)其它需要制孔。蒸發(fā)舟6用鉬、鎢和鉭制成片狀或絲狀電阻加熱蒸發(fā)舟。電阻加熱片12和料盒13用鉬制成。
實施例在蒸發(fā)化合物半導(dǎo)體CdSe在成膜的過程中，化學(xué)元素Cd和Se的配比在蒸發(fā)中保持一致是非常重要的。為了減少配比的變化，把蒸發(fā)舟6制成如圖3所示的形狀比較有效。在蒸發(fā)化合物半導(dǎo)體CdSe在成膜的過程中，使用蒸發(fā)舟6時，把料盒13填加上CdSe粉料，然后將料盒13掛在電阻加熱片12上，由蒸發(fā)電極夾板5把電阻加熱片12兩端夾牢。對于如圖3所示的蒸發(fā)舟由于需要掛料盒13，電阻加熱片12在使用時平整將料盒13掛上。當蒸發(fā)舟6加熱或裝卸中有應(yīng)力的作用時，就完全可以通過轉(zhuǎn)動電極連板9的一端相對移動而得到化解，不致于使蒸發(fā)舟6由于應(yīng)力而彎曲或折斷。轉(zhuǎn)動電極連板9一端和固定電極連板10另一端本體上的制備連接孔。蒸發(fā)舟6是通過電極夾板5將其和電極連板4、電極連板9連接，以保證機械支撐和電路的導(dǎo)通。轉(zhuǎn)動電極連板9和固定電極板10與轉(zhuǎn)動軸7連接在一起，在轉(zhuǎn)動電極連板9和固定電極連板10之間用導(dǎo)線8將它們聯(lián)接，外加電流加到蒸發(fā)舟6上，導(dǎo)線8有一定的截面積和柔軟性，確保大電流通導(dǎo)到蒸發(fā)舟6上。
權(quán)利要求1.真空鍍膜中電阻加熱式蒸發(fā)舟活動電極，它包括在外部真空室14中安置電極柱1、絕緣密封法蘭2、螺釘3、電極連板4、電極夾板5、蒸發(fā)舟6及底臺11，蒸發(fā)舟6的兩端對稱安置電極柱1、絕緣密封法蘭2、螺釘3、電極夾板5，兩個絕緣密封法蘭2將兩個電極柱1密封在外部真空室14的底臺11上，一個螺釘3將電極連板4和一個電極柱1固定連接為一體，其特征在于它還包括在外部真空室14中安置轉(zhuǎn)動軸7、導(dǎo)線8、轉(zhuǎn)動電極連板9和固定電極連板10，固定電極連板10的一端和一個電極柱1用一個螺釘3固定連接，轉(zhuǎn)動軸7與轉(zhuǎn)動電極連板9一端和固定電極連板10的另一端為轉(zhuǎn)動連接，導(dǎo)線8與轉(zhuǎn)動電極連板9和固定電極連板10連接，電極連板9的夾子端與蒸發(fā)舟6的一端連接。
專利摘要本實用新型是在真空鍍膜系統(tǒng)中用電阻加熱式蒸發(fā)舟的電極,特別是涉及一種對于需要多次加料的電阻蒸發(fā)舟支持電極的改進。包括:電極柱、法蘭、螺釘、電極連板、電極夾板、蒸發(fā)舟、軸、導(dǎo)線、轉(zhuǎn)動電極連板和固定電極連板。它的轉(zhuǎn)動電極可避免由于固定式電極在通電加熱后,以及蒸發(fā)舟在上下裝卸的過程中,由于應(yīng)力的作用引起蒸發(fā)舟材料的折斷,從而提高蒸發(fā)舟的使用壽命。在蒸發(fā)的升溫和降溫整個過程中不發(fā)生反復(fù)的彎折現(xiàn)象,達到延長使用壽命的目的。
文檔編號C23C14/26GK2438724SQ0025155
公開日2001年7月11日 申請日期2000年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月7日
發(fā)明者李志明 申請人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所