專利名稱：磨制方法、電子元件和可變電容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種磨制方法，其中對(duì)具有不同厚度的多個(gè)工件執(zhí)行磨制操作，在每個(gè)工件的厚度方向上的端面是一個(gè)要被磨制的表面。更加具體來說，本發(fā)明涉及一種改進(jìn)，以對(duì)多個(gè)工件獲得均勻的磨制。
本發(fā)明還涉及一種電子元件，例如可變電容器，其具有用上述磨制方法磨制的部件。
例如，在日本未審查專利申請(qǐng)公告第6-290994和10-321467號(hào)中公開一種與本發(fā)明相關(guān)的電子元件，更加具體來說是可變電容器。公開于這些專利申請(qǐng)公告中的可變電容器基本上包括相同的部件。在日本未審查專利申請(qǐng)公告10-321467號(hào)中描述的可變電容器在圖2至4中示出。
圖2為示出可變電容器1的外觀的透視圖，圖3為從底部看圖2中所示的可變電容器的透視圖，以及圖4為圖2中所示的的可變電容器的剖面圖。
可變電容器1包括作為部件的定片2、動(dòng)片3和蓋4。
定片2包括陶瓷絕緣件，并且定片電極5和6在其中并排形成。包括導(dǎo)電膜的定片端7和8形成在定片2的邊緣的外表面上，使得其分別與定片電極5和6電連接。
兩個(gè)定片電極5和6以及兩個(gè)定片端7和8如上文所述形成，使得定片2具有對(duì)稱結(jié)構(gòu)，并且可變電容器1可以用定片2來組裝，不用考慮到定片2的方向。在圖2至4中所示的組裝狀態(tài)中，定片電極5和定片端7起作用，而定片電極6和定片端8不起作用。
突出部分9形成在定片2的下表面上，使其在中心的縱向延伸。
動(dòng)片3包括導(dǎo)電金屬，并且置于在定片2的厚度方向中的上端面10上?；旧蠟榘雸A形的具有突出臺(tái)階的動(dòng)片電極11形成在動(dòng)片3下表面上。具有與動(dòng)片電極11相同高度的突起12形成在動(dòng)片3的下表面上，從而避免動(dòng)片3由于存在動(dòng)片電極11而傾斜。動(dòng)片3還具有起子凹口13，以允許例如起子這樣的工具來旋轉(zhuǎn)動(dòng)片3。
蓋4包括導(dǎo)電金屬，并且固定在定片2上并容納動(dòng)片3。動(dòng)片3由蓋4所支承以使其可以相對(duì)于定片2旋轉(zhuǎn)。
用于暴露出動(dòng)片3的起子凹口13的調(diào)節(jié)孔14形成在蓋4中。與動(dòng)片3接觸并使得動(dòng)片3與定片2加壓接觸的彈簧作用部分15被提供在調(diào)節(jié)孔14的外圍。彈簧作用部分15在調(diào)節(jié)孔14外圍向著中心加壓，并且具有多個(gè)突起16。
在相對(duì)側(cè)向下延伸的嚙合部分17和18被提供于蓋4上。嚙合部分17和18被彎曲，以與定片2的下表面相嚙合，從而蓋4被固定到定片2上。提供于定片2的下表面上的突起部分9的突起量基本上與嚙合部分17和18的突起相同，從而可變電容器1可以穩(wěn)定地安裝在適當(dāng)?shù)牟季€板(未在圖中示出)上。
動(dòng)片端19還提供在蓋4上，向下延伸。
在具有上述結(jié)構(gòu)的可變電容器1中，動(dòng)片電極11與定片電極5相對(duì)，并且構(gòu)成定片2的陶瓷絕緣件的一部分夾在其間，從而產(chǎn)生電容。動(dòng)片3被旋轉(zhuǎn)以改變動(dòng)片電極11與定片電極5之間的重疊面積，從而改變電容量。可以在電連接到定片電極5的定片端7與提供于與形成有動(dòng)片電極11的動(dòng)片3相接觸的蓋4上的動(dòng)片端19之間獲得可變電容。
在該可變電容器1中，為了增加最大電容量并且獲得穩(wěn)定的電容量，定片2的端面10被磨制，從而端面10與定片電極5和6之間的絕緣件的厚度降低，并且還可以在與動(dòng)片電極11接觸的端面10獲得較平整的表面。
當(dāng)定片2的端面10被磨制時(shí)，為了有效地執(zhí)行磨制操作，多個(gè)定片2可以同時(shí)處理。
圖5A和5B示出用于上述的磨制操作的常規(guī)磨制方法。要被磨制的工件21對(duì)應(yīng)于定片2，并且被簡(jiǎn)要示出。
在圖中所述的工件21具有要在下表面的厚度的方向上磨制的表面22，并且要被磨制的表面22對(duì)應(yīng)于端面10。在工件21中，電極23對(duì)應(yīng)于平行于要被磨制的表面22延伸的定片電極5和6。在工件21中，還形成對(duì)應(yīng)于突起部分9的突起部分24。
如圖5A中所示，制備具有平的固定表面25的固定器26，并且制備多個(gè)工件21。由于所用的制造方法，工件21具有不同的厚度。
接著，工件21由固定器26所固定，與每個(gè)工件的要被磨制的表面22相對(duì)的相對(duì)表面27與固定器26的固定表面相接觸。另外，盡管未在圖中示出，例如提供粘合劑以便在固定表面25上固定各個(gè)工件21。
由固定器所固定的工件21的表面22被磨具28所磨制。在圖5A中，在執(zhí)行磨制之后的磨具28位置由虛線所示。從而，執(zhí)行磨制的磨削量對(duì)應(yīng)于在磨制之前示出磨具28的實(shí)線與虛線之間的距離。
圖5B示出被磨制的工件21。如圖中所示，在常規(guī)磨制方法中，由于磨制操作是根據(jù)相對(duì)表面27執(zhí)行的，在工件21的整體厚度中的差別導(dǎo)致在完成的各個(gè)工件中要被磨制的表面22與在電極23之間的距離的變化。因此，在可變電容器1中出現(xiàn)電容中的變化。
為了克服上述缺點(diǎn)，在此還公開一種在圖6A至6C中所示的磨制方法。在圖6A至6C中，相同的參考標(biāo)號(hào)用于對(duì)應(yīng)圖5A和5B中所示的部件的部件，并且省略對(duì)其的描述。
如圖6A中所示，制備具有平的固定表面29的第一固定器30和多個(gè)工件21。
接著，工件21由第一固定器30所固定，每個(gè)工件的要被磨制的表面22與固定表面29相接觸。
接著，工件21的相對(duì)表面27受到模具31的初次磨制，直到圖6A中的虛線所示的位置，同時(shí)工件21由第一固定器30固定。
圖6B示出用初次磨制完成的工件21。在該階段，工件21被調(diào)節(jié)以具有相同的整體厚度。
接著，如圖6C所示，制備具有平的固定表面32的第二固定器33。
工件21被第二固定器33所固定，每個(gè)工件21的相對(duì)表面27與第二固定器33的固定表面32相接觸。
由第二固定器33所固定的工件的要被磨制的表面22被磨具34進(jìn)行第二次磨制，直到由圖6C中所示的虛線的位置為止。另外，磨具34和磨具31可以為相同。
在這種磨制方法中，在初次磨制步驟中，相對(duì)表面27被磨制使得工件21具有相同的整體厚度，然后要被磨制的表面22在第二次磨制步驟中磨制。因此，在用第二次磨制完成的工件21中，在電極23與要被磨制的表面22之間的距離中的變化可以減小。
但是，在圖6A至6C中所示的磨制方法中，由于磨制操作必須在兩個(gè)步驟中執(zhí)行，即，初次磨制和第二次磨制，在磨制操作中的步驟數(shù)增加，結(jié)果用于磨削加工的成本增加。
在磨削加工中，通常，在加工時(shí)出現(xiàn)不可避免的偏差，并且由于在加工偏差不可避免的磨制操作被執(zhí)行兩次，因此加工偏差加倍，導(dǎo)致加工精度下降。
相應(yīng)地，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種可以解決上述問題的磨制方法。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供具有用這種磨制方法磨制的部件的電子元件及可變電容器。
在本發(fā)明的一個(gè)方面中，一種磨制方法，其中對(duì)具有不同厚度的多個(gè)工件執(zhí)行磨制操作，在每個(gè)工件的厚度方向上的端面是要被磨制的表面，其中包括如下步驟由固定器固定多個(gè)工件，使得要被磨制的表面在同一平面上對(duì)準(zhǔn)，并且在由固定器固定該工件時(shí)磨制該要被磨制的表面。
在本發(fā)明的另一個(gè)方面中，一種磨制方法，其中對(duì)具有不同厚度的多個(gè)工件執(zhí)行磨制操作，在每個(gè)工件的厚度方向上的端面是要被磨制的表面，其中包括如下步驟制備具有平的對(duì)準(zhǔn)表面的對(duì)準(zhǔn)件；由對(duì)準(zhǔn)件對(duì)齊工件，而要被磨制的各個(gè)工件的表面與對(duì)準(zhǔn)件的對(duì)準(zhǔn)表面相接觸；制備固定器，其具有固定表面，用于將由對(duì)準(zhǔn)件所對(duì)準(zhǔn)的工件固定在與要被磨制的表面相對(duì)的相對(duì)表面?zhèn)?，以及磨制用固定劑，其把各個(gè)工件固定在固定器上；通過磨制用固定劑把工件固定在與固定器的固定表面相對(duì)表面的一側(cè)；從工件上分離對(duì)準(zhǔn)件；以及當(dāng)工件被固定在固定器上時(shí)，磨制工件的要被磨制的表面。
根據(jù)條件，磨制用固定劑可以處于固定狀態(tài)或者可以處于無定形狀態(tài)，可以使用各種類型的固定劑。
例如，當(dāng)磨制用固定劑在室溫中處于液態(tài)，并通過冷卻到低于室溫的溫度而固化，用于把工件固定在固定器上的步驟包括在等于或高于室溫的溫度把處于液態(tài)的磨制用固定劑注入固定器和工件之間的步驟，以及冷卻以固化磨制用固定劑的步驟。
當(dāng)磨制用固定劑在室溫中處于固態(tài)并且通過加熱到高于室溫的溫度而液化時(shí)，用于把工件固定在固定器上的步驟包括如下步驟當(dāng)加熱到高于室溫時(shí)，把處于液態(tài)的磨制用固定劑注入在固定器和工件之間的步驟；以及把溫度降低到室溫以固化磨制用固定劑。
在磨制工件要被磨制的表面時(shí)，磨制用固定劑可以被冷卻。
在本發(fā)明的磨制方法中，可以使用對(duì)準(zhǔn)用固定劑，以把工件固定在對(duì)準(zhǔn)件上。按照類似于上述磨制用固定劑的方式，對(duì)準(zhǔn)用固定劑可以根據(jù)條件而處于固定狀態(tài)或無定形狀態(tài)。
當(dāng)對(duì)準(zhǔn)用固定劑在室溫中處于液態(tài)并且通過冷卻到低于室溫的溫度而固化時(shí)，由對(duì)準(zhǔn)件固定工件的步驟包括如下步驟在等于或高于室溫的溫度施加對(duì)準(zhǔn)用固定劑步驟，使得對(duì)準(zhǔn)用固定劑與工件和對(duì)準(zhǔn)件相接觸；以及冷卻以固化對(duì)準(zhǔn)用固定劑的步驟。
當(dāng)對(duì)準(zhǔn)用固定劑在室溫處于固態(tài)并且通過加熱到高于室溫的溫度而液化時(shí)，由對(duì)準(zhǔn)件固定工件的步驟包括如下步驟在等于或高于室溫的溫度施加對(duì)準(zhǔn)用固定劑步驟，使得對(duì)準(zhǔn)用固定劑與工件和對(duì)準(zhǔn)件相接觸；以及把溫度降低到室溫以固化對(duì)準(zhǔn)用固定劑的步驟。
在從工件上分離對(duì)準(zhǔn)件的步驟中，對(duì)準(zhǔn)用固定劑可以被加熱使得至少其部分被轉(zhuǎn)換為液態(tài)。在這種情況下，最好通過加熱對(duì)準(zhǔn)件而加熱對(duì)準(zhǔn)用固定劑。
當(dāng)使用對(duì)準(zhǔn)用固定劑時(shí)，通過選擇磨制用固定劑與對(duì)準(zhǔn)用固定劑的適當(dāng)?shù)慕M合，并考慮到磨制用固定劑與對(duì)準(zhǔn)用固定劑的特性，可以有效和平滑地把工件從對(duì)準(zhǔn)件傳送到固定器，更加具體來說，從工件上分離對(duì)準(zhǔn)件的步驟可以有效和平滑地執(zhí)行。磨制用固定劑和對(duì)準(zhǔn)用固定劑的最佳組合包括如下。
首先，可以使用固化或液化溫度高于對(duì)準(zhǔn)用固定劑的磨制用固定劑。其次，可以使用在預(yù)定溶劑中與對(duì)準(zhǔn)用固定劑不同的溶解度的磨制用固定劑。第三，可以使用具有比對(duì)準(zhǔn)用固定劑更大的結(jié)合力的磨制用固定劑。
另外，不依靠磨制用固定劑和對(duì)準(zhǔn)用固定劑的特性，在固定器的固定表面上的浸潤性可以被設(shè)為高于在對(duì)準(zhǔn)件的對(duì)準(zhǔn)表面上的浸潤性。
本發(fā)明的磨制方法可以有利地用于例如在上述可變電容器1中的定片2上執(zhí)行的磨制操作。也就是說，在磨制方法中，工件是其中具有電極的絕緣部件，并且要被磨制的表面是平行于電極延伸的絕緣部件的端面。
在本發(fā)明的另一方面中，電子元件包括由上述磨制方法所磨制的部件。
在本發(fā)明的另一方面中，可變電容器包括由上述方法所磨制的絕緣部件。
圖1A至1E為簡(jiǎn)要示出在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的磨制方法的步驟的剖面圖；圖2為示出本發(fā)明涉及的可變電容器1的外觀的透視圖；圖3是圖2所示的可變電容器1的透視圖；圖4是圖2所示的可變電容器1的剖面圖；圖5A和5B是示出第一常規(guī)的磨制方法的剖面圖；圖6A和6B是示出第二常規(guī)的磨制方法的剖面圖。
圖1A-1E示出了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的磨制方法的步驟。在附圖中示意地示出的工件21是圖2-4中所示的可變電容器1上具有的定片2，對(duì)于工件21，圖5A和5B及圖6A-6C中所用的相同的標(biāo)號(hào)用于相應(yīng)的部分。
首先，如圖1A所示，制備具有平的對(duì)準(zhǔn)表面41的板對(duì)準(zhǔn)件42。多個(gè)工件21與每個(gè)工件21的要被磨制的表面22對(duì)準(zhǔn)，每個(gè)工件21要被磨制的表面22與對(duì)準(zhǔn)件42的對(duì)準(zhǔn)表面41接觸。
接著，如圖1B所示，由對(duì)準(zhǔn)件42固定工件21。更具體地說，制備對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，其用于將工件21固定在對(duì)準(zhǔn)件42上，使用對(duì)準(zhǔn)用固定劑43將工件21固定在對(duì)準(zhǔn)件42上。
作為對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，可使用各種的固定劑。
首先，可使用諸如水或低溫凝結(jié)劑之類的對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，其在室溫下呈液態(tài)，在冷卻到低于室溫的溫度下固化。在這種情況下，以液態(tài)施加對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，以便在等于或高于室溫的溫度下與工件21和對(duì)準(zhǔn)件42接觸，然后，通過冷卻使對(duì)準(zhǔn)用固定劑43固化。另外，在工件21由對(duì)準(zhǔn)件42固定后，直到進(jìn)行下一個(gè)步驟，在冷卻狀態(tài)下保持對(duì)準(zhǔn)件42固定工件21。
第二，可使用諸如臘或石蠟之類的對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，其在室溫下呈固態(tài)，在加熱到高于室溫的溫度下液化。在這種情況下，將對(duì)準(zhǔn)用固定劑43加熱到高于室溫的溫度，以液態(tài)施加對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，以便與工件21和對(duì)準(zhǔn)件42接觸，然后，通過將溫度降低到室溫使對(duì)準(zhǔn)用固定劑43固化。在這種情況下，在室溫下保持對(duì)準(zhǔn)件42固定工件21。
另外，如上所述，可不使用對(duì)準(zhǔn)用固定劑43由對(duì)準(zhǔn)件42固定工件21，例如，可采用各個(gè)工件21由一個(gè)機(jī)械裝置支撐的結(jié)構(gòu)。
接著，如圖1C所示，制備具有固定表面44的固定器45，其用于將由對(duì)準(zhǔn)件42固定的工件21固定在與要被磨制的表面22相對(duì)的相對(duì)表面27的一側(cè)上，還制備磨制用固定劑46，其用于將工件21固定在固定器45上。
通過磨制用固定劑46將由對(duì)準(zhǔn)件42固定的工件21固定在固定器45的固定表面44上的相對(duì)表面27一側(cè)上。施加磨制用固定劑46，以便充填工件21和固定表面44之間的空隙，同時(shí)補(bǔ)償空隙中的尺寸差別。
作為磨制用固定劑46，可以用類似于對(duì)準(zhǔn)用固定劑43的方式使用各種類型的固定劑。
例如，可使用諸如水或低溫凝結(jié)劑之類的磨制用固定劑46，其在室溫下呈液態(tài)，在冷卻到低于室溫的溫度下固化。在這種情況下，為了將工件21固定在固定器45上，在室溫下(或高于室溫的溫度下)以液態(tài)將磨制用固定劑46施加在固定器45和工件21之間，然后，通過冷卻使磨制用固定劑46固化。
例如，可使用諸如蠟或石蠟之類的磨制用固定劑46，其在室溫下呈固態(tài)，在加熱到高于室溫的溫度下液化。在這種情況下，為了將工件21固定在固定器45上，在加熱到高于室溫的溫度下以液態(tài)將磨制用固定劑46施加在固定器45和工件21之間，然后，使溫度降低到室溫以使磨制用固定劑46固化。
接著，如圖1D所示，對(duì)準(zhǔn)件42與工件21分離。在這個(gè)階段中，為了有效地將對(duì)準(zhǔn)件42與工件21分離，加熱對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，于是，至少一部分與對(duì)準(zhǔn)表面41接觸的對(duì)準(zhǔn)用固定劑43變成液態(tài)。
當(dāng)加熱對(duì)準(zhǔn)用固定劑43時(shí)，盡管可用爐子等進(jìn)行整個(gè)加熱，但是，最好是加熱對(duì)準(zhǔn)件42。通過加熱對(duì)準(zhǔn)件42，由于熱傳導(dǎo)作用，可在分離對(duì)準(zhǔn)件42時(shí)需要的部分處使對(duì)準(zhǔn)用固定劑43快速液化，并且即使與磨制用固定劑46相同的固定劑用作對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，也可以僅液化對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，并且保持磨制用固定劑46不會(huì)由于熱傳導(dǎo)的差異而處于液態(tài)，從而防止工件21以所不希望的方式從固定器45上落下來。
另外，為了更可靠地防止固定劑46的所不希望的液化，最好是，磨制用固定劑46的固化或液化溫度被設(shè)定的高于對(duì)準(zhǔn)用固定劑43的固化或液化溫度。
接著，如圖1E所示，通過磨制用固定劑46由固定器45固定工件21，工件21要被磨制的表面22由模具47磨制到比如虛線所示的位置處。
如上所述，由于在各個(gè)要被磨制的表面22對(duì)準(zhǔn)在相同的平面的同時(shí)進(jìn)行磨制，基本上可在多個(gè)工件21中獲得均勻的磨削量，不會(huì)受到每個(gè)工件21的整體厚度的差異的影響，并且在磨制步驟進(jìn)行后可以減少要被磨制的表面22與電極23之間的距離的變化。
另外，盡管要被磨制工件21的整體厚度可能變化，但這樣的變化基本上不影響可變電容器1的特性。
在上述的磨制步驟中，可在冷卻磨制用固定劑46的同時(shí)進(jìn)行磨制。尤其是，如果通過冷卻到低于室溫的溫度來固化磨制用固定劑46，則最好是在冷卻的同時(shí)進(jìn)行磨制步驟。
磨制步驟完成后，工件21與固定器45分開。在這個(gè)階段中，溫度加熱到等于或高于磨制用固定劑46的液化溫度，以分開工件21與固定器45，粘結(jié)到工件21上的磨制用固定劑46和對(duì)準(zhǔn)用固定劑43被去除。另外，為了去除粘結(jié)到與固定器45分開的工件21上的磨制用固定劑46和對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，除了加熱外，可采用使用溶劑等清洗、機(jī)械剝皮等等。
在分離圖1D所示的對(duì)準(zhǔn)件42的步驟中，為了有效地和平滑地進(jìn)行分離，如上所述，加熱對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，其中可加熱對(duì)準(zhǔn)件42，或者可使用固化或液化溫度低于磨制用固定劑46的對(duì)準(zhǔn)用固定劑43。
首先，可使用在預(yù)定的溶劑中具有不同溶解度的對(duì)準(zhǔn)用固定劑43和磨制用固定劑46。例如，如果使用在水中可溶解而在有機(jī)溶劑中不溶解的固定劑作為對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，使用在有機(jī)溶劑可溶解而在水中不溶解的固定劑作為磨制用固定劑46，當(dāng)對(duì)準(zhǔn)件42被分離時(shí)，對(duì)準(zhǔn)用固定劑43被溶解在水中。進(jìn)行磨制后，通過將磨制用固定劑46溶解在有機(jī)溶劑中，可容易地將工件21與固定器45分開。另外，在這種情況下，更具體地說，作為對(duì)準(zhǔn)用固定劑43，可使用可溶解在水中的聚乙烯醇等等，作為磨制用固定劑46，可使用可溶解在醚中的石蠟等等。
第二，可使用結(jié)合力比對(duì)準(zhǔn)用固定劑43更強(qiáng)的磨制用固定劑46。因此，通過簡(jiǎn)單地將對(duì)準(zhǔn)件42從固定器45上拉下，可使對(duì)準(zhǔn)件42與工件21分開，同時(shí)保持工件21由固定器45固定的狀態(tài)。
第三，固定器45的固定表面44上的預(yù)定粘合劑的浸潤性可被設(shè)定的比對(duì)準(zhǔn)件42的對(duì)準(zhǔn)表面41上的浸潤性大。例如，固定器45由陶瓷等組成，而對(duì)準(zhǔn)件42由諸如聚乙烯、聚丙烯或聚乙烯對(duì)苯二酸之類的樹脂制成；使用含氟樹脂進(jìn)行表面處理；或者可進(jìn)行防粘劑的施加。在這種情況下，通過簡(jiǎn)單地將對(duì)準(zhǔn)件42從固定器45上拉下，可使對(duì)準(zhǔn)件42與工件21分開，同時(shí)保持工件21由固定器45固定的狀態(tài)。
在上述的實(shí)施例中，本發(fā)明的磨制方法所采用的工件21是圖2-4中所示的可變電容器1上的定片2。但是，本發(fā)明不限于此。如果工件是其中具有電極的絕緣元件，要被磨制的表面是平行于電極延伸的端面，也可以以類似于上述的方式使用本發(fā)明的磨制方法。除了絕緣元件外，對(duì)于電子元件上要被磨制的部件或除電子元件外其它應(yīng)用的部件，也可使用本發(fā)明的磨制方法。
在上述的實(shí)施例中，通過對(duì)準(zhǔn)用固定劑43等將工件21固定在對(duì)準(zhǔn)件42的對(duì)準(zhǔn)表面41上。但是，在不進(jìn)行這種固定的情況下，在多個(gè)工件21由對(duì)準(zhǔn)件42簡(jiǎn)單地對(duì)準(zhǔn)的情況下，也可進(jìn)行將工件21固定在固定器45的固定表面44上的相對(duì)表面27一側(cè)上的步驟。
此外，為了將工件21的要被磨制的表面22對(duì)準(zhǔn)在相同的表面上，也可以采用不使用上述的對(duì)準(zhǔn)件42的方法。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的磨制方法，由固定器進(jìn)行多個(gè)工件的固定，以便各個(gè)工件的以便磨制的表面對(duì)準(zhǔn)在相同的平面內(nèi)，在被固定器固定的同時(shí)磨制工件的以便磨制的表面。結(jié)果是，在工件中可獲得均勻的磨削量，不會(huì)受到工件整體厚度變化的影響。
為了獲得均勻的磨削量，由于僅進(jìn)行一個(gè)磨制步驟，可以降低磨削加工的成本，也改進(jìn)了加工精度。
在本發(fā)明中，為了將各個(gè)工件的要被磨制的表面對(duì)準(zhǔn)在相同的平面內(nèi)，制備具有平的對(duì)準(zhǔn)表面的對(duì)準(zhǔn)件，由對(duì)準(zhǔn)件對(duì)準(zhǔn)工件，同時(shí)要被磨制的表面與對(duì)準(zhǔn)表面接觸，于是，可容易地將各個(gè)工件的要被磨制的表面對(duì)準(zhǔn)在相同的平面內(nèi)。
為了由固定器固定工件，制備用于固定固定器上的工件的磨制用固定劑，通過磨制用固定劑將由對(duì)準(zhǔn)件對(duì)準(zhǔn)的在與要被磨制的表面相對(duì)的相對(duì)表面一側(cè)上的工件固定在固定器的固定表面上，因此，不管工件的整體厚度如何變化，可容易地由固定器固定工件。結(jié)果是，通過在工件固定在固定器的固定表面上之后將對(duì)準(zhǔn)件與工件分離，可露出工件的要被磨制的表面，可以在工件被固定器固定的同時(shí)磨制工件的要被磨制的表面。
如果使用在室溫下呈液態(tài)而在冷卻到低于室溫的溫度下固化的磨制用固定劑，或者如果使用在室溫下呈固態(tài)而在加熱到高于室溫的溫度下液化的磨制用固定劑，通過控制磨制用固定劑的溫度條件，可容易地將工件固定在固定器上和容易地將工件與固定器分開。
當(dāng)使用磨制用固定劑時(shí)，在磨制工件的要被磨制的表面的步驟中，通過冷卻磨制用固定劑，可以通過磨制用固定劑更牢固地固定工件。
如上所述，當(dāng)使用對(duì)準(zhǔn)件時(shí)，為了由對(duì)準(zhǔn)件固定工件，如果使用對(duì)準(zhǔn)用固定劑將工件固定在對(duì)準(zhǔn)件上，可以容易地通過對(duì)準(zhǔn)件固定工件，并且下一個(gè)步驟可以不受工件未對(duì)準(zhǔn)的影響。
以類似于磨制用固定劑的方式，通過使用在室溫下呈液態(tài)而在冷卻到低于室溫的溫度下固化的對(duì)準(zhǔn)用固定劑，或者通過使用在室溫下呈固態(tài)而在加熱到高于室溫的溫度下液化的對(duì)準(zhǔn)用固定劑，通過控制對(duì)準(zhǔn)用固定劑的溫度條件，可容易地由對(duì)準(zhǔn)件固定工件和容易地將對(duì)準(zhǔn)件與工件分開。
當(dāng)對(duì)準(zhǔn)件與工件分離時(shí)，通過加熱對(duì)準(zhǔn)用固定劑，使得其至少一部分變成液態(tài)，可以容易地進(jìn)行分離。
為了加熱對(duì)準(zhǔn)用固定劑，如果加熱對(duì)準(zhǔn)件，由于熱傳導(dǎo)作用，可在分離對(duì)準(zhǔn)件時(shí)需要的部分處使對(duì)準(zhǔn)用固定劑快速液化，并且即使與磨制用固定劑相同的固定劑用作對(duì)準(zhǔn)用固定劑，也可以僅液化對(duì)準(zhǔn)用固定劑，并且保持磨制用固定劑不會(huì)由于熱傳導(dǎo)的差異而處于液態(tài)，從而防止工件以所不希望的方式從固定器上落下來。
在本發(fā)明中，當(dāng)既使用磨制用固定劑又使用對(duì)準(zhǔn)用固定劑時(shí)，通過將磨制用固定劑的固化或液化溫度設(shè)定的高于對(duì)準(zhǔn)用固定劑的固化或液化溫度，通過使用在預(yù)定的溶劑中具有不同的溶解度的磨制用固定劑和對(duì)準(zhǔn)用固定劑，通過使用結(jié)合力比磨制用固定劑更強(qiáng)的對(duì)準(zhǔn)用固定劑，或通過將固定器的固定表面上的預(yù)定粘合劑的浸潤性設(shè)定的比對(duì)準(zhǔn)件的對(duì)準(zhǔn)表面上的浸潤性更大，可以有效地和平滑地分離對(duì)準(zhǔn)件與工件，結(jié)果是，可以容易地將工件從對(duì)準(zhǔn)件轉(zhuǎn)移到固定器上。
通過將本發(fā)明的方法應(yīng)用在可變電容器中的具有電極的絕緣元件的磨制上，具體地說，是一個(gè)具有定片電極的定片，可以減少由可變電容器產(chǎn)生的電容量的變化，結(jié)果是，可以提供更高精度的電容的容差范圍必須變窄的可變電容器。由于磨削量的變化減少，可以容易地減小電極和要被磨制的表面之間的距離，因此，可增加最大電容量，使得電容的調(diào)節(jié)范圍增大。
權(quán)利要求
1．一種磨制方法，其中對(duì)具有不同厚度的多個(gè)工件執(zhí)行磨制操作，在每個(gè)工件的厚度方向上的端面是要被磨制的表面，其中包括如下步驟由固定器固定多個(gè)工件，使得要被磨制的表面在同一平面上對(duì)準(zhǔn)；以及在由固定器固定該工件時(shí)，磨制該要被磨制的表面。
2．一種磨制方法，其中對(duì)具有不同厚度的多個(gè)工件執(zhí)行磨制操作，在每個(gè)工件的厚度方向上的端面是要被磨制的表面，其中包括如下步驟制備具有平的對(duì)準(zhǔn)表面的對(duì)準(zhǔn)件；由對(duì)準(zhǔn)件對(duì)齊工件，而要被磨制的各個(gè)工件的表面與對(duì)準(zhǔn)件的對(duì)準(zhǔn)表面相接觸；制備固定器，其具有固定表面，用于將由對(duì)準(zhǔn)件所對(duì)準(zhǔn)的工件固定在與要被磨制的表面相對(duì)的相對(duì)表面?zhèn)龋约澳ブ朴霉潭▌?，其把各個(gè)工件固定在固定器上；通過磨制用固定劑把工件固定在與固定器的固定表面相對(duì)表面的一側(cè)；從工件上分離對(duì)準(zhǔn)件；以及當(dāng)工件被固定在固定器上時(shí)，磨制工件的要被磨制的表面。
3．根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨制方法，其特征在于，磨制用固定劑在室溫中處于液態(tài)，并通過冷卻到低于室溫的溫度而固化，用于把工件固定在固定器上的步驟包括如下步驟在等于或高于室溫的溫度把處于液態(tài)的磨制用固定劑注入固定器和工件之間的步驟，以及冷卻以固化磨制用固定劑的步驟。
4．根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨制方法，其特征在于，磨制用固定劑在室溫中處于固態(tài)并且通過加熱到高于室溫的溫度而液化時(shí)，用于把工件固定在固定器上的步驟包括如下步驟當(dāng)加熱到高于室溫時(shí)，把處于液態(tài)的磨制用固定劑注入在固定器和工件之間的步驟；以及把溫度降低到室溫以固化磨制用固定劑。
5．根據(jù)權(quán)利要求權(quán)利要求2至4中的任何一項(xiàng)所述的磨制方法，其特征在于，在磨制用固定劑被冷卻時(shí)，執(zhí)行磨制工件要被磨制的表面的步驟。
6．根據(jù)權(quán)利要求2至4中的任何一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，還包括制備用于把工件固定在對(duì)準(zhǔn)件上的對(duì)準(zhǔn)用固定劑的步驟，其中用對(duì)準(zhǔn)件對(duì)準(zhǔn)工件的步驟包括使用對(duì)準(zhǔn)用固定劑把工件固定在對(duì)準(zhǔn)件上的步驟。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的磨制方法，其特征在于，對(duì)準(zhǔn)用固定劑在室溫中處于液態(tài)并且通過冷卻到低于室溫的溫度而固化，由對(duì)準(zhǔn)件固定工件的步驟包括如下步驟在等于或高于室溫的溫度施加對(duì)準(zhǔn)用固定劑步驟，使得對(duì)準(zhǔn)用固定劑與工件和對(duì)準(zhǔn)件相接觸；以及冷卻以固化對(duì)準(zhǔn)用固定劑的步驟。
8．根據(jù)權(quán)利要求6所述的磨制方法，其特征在于，對(duì)準(zhǔn)用固定劑在室溫處于固態(tài)并且通過加熱到高于室溫的溫度而液化，由對(duì)準(zhǔn)件固定工件的步驟包括如下步驟在等于或高于室溫的溫度施加對(duì)準(zhǔn)用固定劑步驟，使得對(duì)準(zhǔn)用固定劑與工件和對(duì)準(zhǔn)件相接觸；以及把溫度降低到室溫以固化對(duì)準(zhǔn)用固定劑的步驟。
9．根據(jù)權(quán)利要求7所述的磨制方法，其特征在于，從工件上分離對(duì)準(zhǔn)件的步驟是通過把對(duì)準(zhǔn)用固定劑加熱使得至少其部分被轉(zhuǎn)換為液態(tài)而執(zhí)行的。
10．根據(jù)權(quán)利要求9所述的磨制方法，其特征在于，在從工件上分離對(duì)準(zhǔn)件的步驟中，通過加熱對(duì)準(zhǔn)件而加熱對(duì)準(zhǔn)用固定劑。
11．根據(jù)權(quán)利要求7所述的磨制方法，其特征在于，磨制用固定劑的固化或液化溫度被設(shè)為高于對(duì)準(zhǔn)用固定劑的固化或液化溫度。
12．根據(jù)權(quán)利要求6所述的磨制方法，其特征在于，對(duì)準(zhǔn)用固定劑與磨制用固定劑在預(yù)定溶劑中具有不同的溶解度。
13．根據(jù)權(quán)利要求6所述的磨制方法，其特征在于，磨制用固定劑具有比對(duì)準(zhǔn)用固定劑更大的結(jié)合力。
14．根據(jù)權(quán)利要求6所述的磨制方法，其特征在于，在固定器的固定表面上的浸潤性被設(shè)為高于在對(duì)準(zhǔn)件的對(duì)準(zhǔn)表面上的浸潤性。
15．根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨制方法，其特征在于，工件是其中具有電極的絕緣部件，并且要被磨制的表面是平行于電極延伸的絕緣部件的端面。
16．一種電子元件包括用根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨制方法所磨制的部件。
17．一種可變電容器包括根據(jù)權(quán)利要求15所述的絕緣部件。
全文摘要
一種磨制方法,其中對(duì)具有不同厚度的多個(gè)工件執(zhí)行磨制操作,在每個(gè)工件的厚度方向上的端面是一個(gè)要被磨制的表面,其包括如下步聚:由固定器固定工件,使得各個(gè)工件的要被磨制的表面對(duì)準(zhǔn)在相同的平面內(nèi),以及在工件由固定器固定的同時(shí)磨制工件的要被磨制的表面。本發(fā)明還公開了一種具有通過該磨制方法磨制的部件的電子元件和一種具有要被磨制的部件的可變電容器。
文檔編號(hào)B24B37/30GK1303758SQ0110045
公開日2001年7月18日 申請(qǐng)日期2001年1月12日 優(yōu)先權(quán)日2000年1月12日
發(fā)明者武田博道, 岸下浩幸, 喜田英稔, 森田啟三 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所