專利名稱：大塊非晶合金材料的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及凝聚態(tài)物理和材料科學(xué)領(lǐng)域，特別是涉及非晶合金或金屬玻璃領(lǐng)域。
金屬玻璃通常是將熔化的金屬合金冷卻到玻璃轉(zhuǎn)變溫度以下并且在形核及晶化前凝固形成的。通常的金屬和合金從液態(tài)冷卻下來時(shí)都要結(jié)晶形成晶體。然而，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)了某些金屬和合金在冷卻速率足夠快時(shí)，在固化時(shí)會(huì)保持液態(tài)時(shí)的極端粘滯的狀態(tài)，從而抑制晶化，這種冷卻速率通常需要達(dá)到每秒鐘104～106K的數(shù)量級(jí)。為了獲得如此高的冷卻速率，只能將熔化的金屬或合金噴到導(dǎo)熱非常好的傳導(dǎo)基底上。這樣獲得的合金是非晶合金，但尺寸非常小。因此，以前獲得的非晶合金材料都是將熔態(tài)金屬或合金噴射到高速旋轉(zhuǎn)的銅輥上得到的薄帶，或澆鑄到冷基底中得到的薄片和粉末等。最近已找到了具有更強(qiáng)的抑制結(jié)晶能力的非晶合金，這樣就可以利用更低的冷卻速率來抑制結(jié)晶。如果在很低的冷卻速率下能夠抑制結(jié)晶，則可制得更大尺寸的非晶合金。
Duwez早在1960年就采用銅輥快淬法制備出了AuSi系非晶條帶(文獻(xiàn)1，W.Klement，R.H.Wilens，and Duwez，Nature，1960，vol.187，pp869-70)，隨后含有類金屬元素(如Si，C，B，Ge，P)的非晶合金，特別是鐵基合金被大量研究。但是由于大部分合金的非晶形成能力很差，若以快冷制備需要高于106K/s的冷卻速率，所以制得的非晶合金在尺寸上只能是低維材料，如薄帶、細(xì)絲、細(xì)粉。機(jī)械合金化也曾經(jīng)是制備非晶粉末的一個(gè)方法，許多合金可以通過高能球磨來轉(zhuǎn)變?yōu)榉蔷?，隨后可以把非晶粉末在過冷液相區(qū)壓結(jié)成非晶塊體。然而用此法制備的塊體金屬玻璃的致密度較差，而且容易混入其它雜質(zhì)。此外輻照也可以使金屬非晶化，如離子注入等。值得一提的是，貴金屬元素Pt和Pd的合金具有較高的非晶形成能力，如PtNiP，PdNiP，可以通過B2O3反復(fù)精煉，得到直徑10mm的球狀樣品(文獻(xiàn)2，H.S.Chen，Mater.Sci.Eng.，1976，Vol.23，pp151-54)。所以，獲得大塊非晶合金一直是科學(xué)家們幾十年來追求的目標(biāo)。
直到1989年，日本的Inoue等發(fā)現(xiàn)了MgCuY和LaAlNi系合金具有很高的非晶形成能力(文獻(xiàn)3，A.Inoue，T.Zhang，and T.Masumoto，Mater.Trans.，JIM，1989，Vol.30，pp965-72)，可以通過銅模鑄造制備出毫米級(jí)的非晶合金，這是首次發(fā)現(xiàn)不含貴金屬的毫米級(jí)非晶合金形成體系。隨后又發(fā)現(xiàn)了ZrAlNi，ZrAlCu和ZrAlNiCu等合金體系。在1993年美國和日本相繼研制成功了Zr41Ti14Cu12Ni10Be23和Zr65Al7.5Ni10Cul7.5大塊非晶合金(文獻(xiàn)4，A.Peker and W.L.Johnson，Appl.Phys.Lett.，1993，Vol.63，PP2342-44)，并且很快用在高爾夫球頭面板、其它精密光學(xué)儀器部件、耐腐蝕器皿、子彈或穿甲彈彈芯上。另外研究發(fā)現(xiàn)大塊非晶合金在過冷液相區(qū)具有超塑變形能力，因此為合金的成型和加工提供了可能。
美國的He等人在1994年最早報(bào)道了Nd基大塊金屬玻璃，他們用金屬鑄模法制備了幾種五元非晶，最大尺寸為約6mm(文獻(xiàn)5，Y.He，C.E.Price，S.J.Poon and G.J.Shiflet，Phil.Mag.Lett.，1994，Vol70，PP371-377)。到1996～1997年Inoue等人用吸鑄的方法制備出了最大尺寸可達(dá)φ15mm的Nd-Fe-Al系大塊金屬玻璃(BMG)(文獻(xiàn)6，A.Inoue，A.Takeuchi and T.Zhang，Metall.Mater.Trans.，1998，Vol.29A，PP 1770-1793)。Nd-Fe-Al系BMG的發(fā)現(xiàn)很快引起了廣泛的關(guān)注，它是大塊金屬玻璃體系中的一個(gè)特例，具有兩個(gè)不同于所有其它大塊金屬玻璃體系的特點(diǎn)。首先，這種材料在室溫顯示硬磁性，矯頑力約為300KAm-1。作為一種高矯頑力的硬磁性材料Nd基BMG為大塊非晶開拓了一個(gè)新的應(yīng)用領(lǐng)域，如在磁記錄材料，磁光元件，永磁體和勵(lì)磁材料等方面具有廣泛的應(yīng)用前景。
非晶態(tài)合金在鐵磁性方面具有巨大的實(shí)用性，這也是非晶材料發(fā)展的重要推動(dòng)力之一。非晶態(tài)合金在軟磁性材料方面已有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。這些非晶態(tài)的軟磁性材料按其成分的不同一般可分為三類(1)稀土—過渡金屬系(RE-TM)；(2)過渡金屬—類金屬系(TM-M)；(3)過渡金屬—金屬系(TM-MT)。這三類非晶材料中過渡金屬元素鐵、鈷、鎳為主要元素，一般占70～90％。這類合金要形成非晶態(tài)需要很高的冷卻速度，一般為104～106K/s。只能制備成低維材料，如薄帶、細(xì)絲和粉末等，最小一維的尺度一般小于40～60微米，其中最主要的是帶材，厚度一般為25～40微米。目前這些非晶態(tài)鐵磁性材料有幾個(gè)尚未解決的缺點(diǎn)，影響了制成品的性能優(yōu)勢(shì)和更廣泛的應(yīng)用一是帶材較薄，這增加了鐵心的疊片層數(shù)和降低了填充系數(shù)；二是退火脆性，傳統(tǒng)非晶材料的非晶熱穩(wěn)定性低，晶化難以控制，引起了材料的脆性，減少了設(shè)計(jì)和制造的選擇余地。本發(fā)明中提供的一系列非晶材料可制備成最小維度尺寸為100微米至15毫米的大塊非晶材料，其磁性能主要表現(xiàn)為硬磁性。其化學(xué)成分中，過渡金屬元素Nd和Pr為主要元素，占30～90％。在熱穩(wěn)定性方面，和Zr基大塊非晶合金材料相似，這種Nd(Pr)基塊體非晶態(tài)合金具有高的熱溫度性，在加熱到玻璃轉(zhuǎn)變溫度以上很寬的溫度區(qū)間內(nèi)都不發(fā)生晶化，一些成分的晶化溫度和熔點(diǎn)的比值(Tx/Tm)接近于0.9。這樣高的比值表明Nd(Pr)基非晶態(tài)材料具有很高的熱穩(wěn)定性。這種塊體的硬磁性非晶態(tài)合金在成分、性能和尺度上與傳統(tǒng)的非晶態(tài)鐵磁性材料有顯著的差別，也為非晶態(tài)材料的應(yīng)用開拓了新的應(yīng)用前景。
但是，非晶合金的形成總是面臨這樣一種困難，即深過冷的合金熔體凝固時(shí)總要結(jié)晶。結(jié)晶是通過形核和晶體生長(zhǎng)過程完成的。一般地說，過冷液體結(jié)晶很快。要形成非晶合金固體，必須將母合金熔液從熔化溫度Tm冷卻到玻璃轉(zhuǎn)變溫度Tg以下而不會(huì)發(fā)生結(jié)晶。
本發(fā)明的目的在于提供一系列大塊非晶合金材料，可以用如下公式表示[Nd1-xPrx]a-Feb-[Al1-ySiy]c-[Co1-zNiz]d-Cue-Bf-Zrg。其中a、b、c、d、e、f、g的變化范圍分別為30≤a≤90，5＜b＜65，5≤c≤30，0≤d≤40，0≤e≤20，0≤f≤30，0≤g≤10；x、y、z的變化范圍為0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1。該材料需包含至少50％體積百分比的玻璃相或非晶相。本發(fā)明材料的冷卻速率低，尺寸在各個(gè)維度不小于100微米。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的

圖1是典型的非晶合金的熱焓與溫度的曲線，其中曲線a是溫度與時(shí)間的對(duì)數(shù)曲線，圖中標(biāo)明了熔點(diǎn)Tm和玻璃轉(zhuǎn)變溫度Tg，曲線的前端代表了析出給定晶體體積率所需的最短時(shí)間。為了獲得一種無序的固體材料，合金必須從熔點(diǎn)以上通過玻璃轉(zhuǎn)變冷卻下來而且不發(fā)生晶化，即合金從熔點(diǎn)通過玻璃轉(zhuǎn)變溫度冷卻下來時(shí)不能與晶化曲線相交。晶化曲線a代表了最早期得到的非晶合金的晶化行為，其冷卻速率超過了105K/s，通常在106K/s的數(shù)量級(jí)。曲線b是后來開發(fā)的非晶合金的晶化曲線，形成非晶合金所需要的冷卻速率已經(jīng)降低了1或2、甚至3個(gè)數(shù)量級(jí)。曲線c是本發(fā)明所做的非晶合金的晶化曲線，所需的冷卻速率進(jìn)一步大大降低了，冷卻速率不超過每秒102K。
本發(fā)明提供的非晶合金材料可以用如下公式表示[Nd1-xPrx]a-Feb-[Al1-ySiy]c-[Co1-zNiz]d-Cue-Bf-Zrg，其中a、b、c、d、e、f、g均為原子百分?jǐn)?shù)，其變化范圍為30≤a≤90，5＜b＜65，5≤c≤30，0≤d≤40，0≤e≤20，0≤f≤30，0≤g≤10；x、y、z為原子分?jǐn)?shù)，其變化范圍為0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1。
除公式中已列出的幾種過渡金屬元素外，通常5％至10％的任何其它過渡族金屬元素在非晶合金中都是可接受的。并且非晶合金允許含有少量的雜質(zhì)(例如，少量的氧可能會(huì)溶解在非晶合金中而不會(huì)發(fā)生顯著的晶化，還可能含有其它的附帶元素)，但雜質(zhì)的總量應(yīng)少于5％(原子百分比)。微量元素的添加(如少量的鉬、錳、鉻、鈮、釩、鉿、鍺、磷、碳、氮等)會(huì)改善或降低材料的磁性能，這些元素的總量應(yīng)小于10％。以少量的重稀土元素(如Sm、Gb、Td、Eu、Dy、Er)替代材料中的Nd或Pr會(huì)提高合金的磁化強(qiáng)度，改善其它磁性能，且并不顯著提高材料的成本。
有各種表達(dá)合金成分的方法，上述公式表達(dá)是其中的一種。在公式表達(dá)中，一般用代數(shù)表達(dá)各種元素所占的比例，這種比例是相互依賴的。某些占有高比例的可以保持非晶相的元素可以克服其它元素促進(jìn)晶化的傾向，如元素鋁和硅可以提高稀土元素-過渡金屬體系的非晶形成能力，提高非晶材料的最大尺度。
為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，本發(fā)明的材料需包含至少50％體積百分比的玻璃相或非晶相。
可使用傳統(tǒng)的制備非晶合金的方法獲得本發(fā)明的非晶合金材料。如單輥甩帶或雙輥軋片等制備條帶、箔和薄片。具體實(shí)現(xiàn)方案如下本發(fā)明可采用國內(nèi)儲(chǔ)量非常豐富的工業(yè)純稀土元素Nd和Pr，制備出一系列適于國內(nèi)資源特點(diǎn)和易于工藝實(shí)現(xiàn)的Nd(Pr)基大塊金屬玻璃。
將均勻的合金熔體以1～100K/s或更低的冷卻速率冷卻，制備出的材料尺寸在各個(gè)維度不小于100微米。這樣的冷卻速率可以通過多種技術(shù)實(shí)現(xiàn)如可將合金澆鑄進(jìn)水冷銅模得到尺寸為1～10毫米或更大的板狀、棒狀、條狀或網(wǎng)狀部件；也可在石英容器中進(jìn)行水冷淬火，得到15毫米或更大尺寸的棒狀樣品；還可以單輥甩帶法或雙輥軋片等方法直接制備出厚度大于100微米的帶材或薄片。
1)水淬法將純度不低于99.8％的Nd、Pr、Al、Fe、Ni、Co、Cu、B、Si、Zr按所需原子配比在鈦吸附的氬氣氛中電弧熔煉，使之混合均勻，冷卻得到母合金鑄錠。這些鑄錠被粉碎裝入石英玻璃管中，將真空抽到10-1Pa后封裝，在爐中加熱到850℃保持10分鐘使鑄錠重熔，然后水淬，獲得成份均勻的[Nd1-xPrx]a-Feb-[Al1-ySiy]c-[Co1-zNiz]d-Cue-Bf-Zrg柱狀大塊合金，合金直徑可達(dá)到φ＝10mm。
2)澆鑄法將純度不低于99.8％的Nd、Pr、Al、Fe、Ni、Co、Cu、B等按所需要的原子配比在鈦吸附的氬氣氛中電弧熔煉，使之混合均勻，冷卻得到母合金鑄錠。然后將母合金鑄錠破碎后在高頻感應(yīng)爐中熔煉，高頻感應(yīng)爐真空室的真空度不低于10-1Pa，熔化后用氬氣吹入水冷銅模中。
3)真空吸鑄法將純度不低于99.8％的Nd、Pr、Al、Fe、Ni、Co、Cu、B等按所需要的原子配比在鈦吸附的氬氣氛中電弧熔煉，使之混合均勻，該電弧爐具有吸鑄裝置，將合金注入銅模。
4)單輥甩帶法將純度不低于99.8％的Nd、Pr、Al、Fe、Ni、Co、Cu、B等按所需要的原子配比在鈦吸附的氬氣氛中電弧熔煉，使之混合均勻，冷卻得到母合金鑄錠。然后在真空甩帶裝置中，在真空氣氛或氬氣保護(hù)氣氛下，用氬氣吹到旋轉(zhuǎn)的銅輥上，甩成薄帶。通過改變銅輥的轉(zhuǎn)速、熔融合金的流量和溫度等參數(shù)控制所獲帶材的厚度、寬度和組織狀態(tài)。
5)助熔劑方法將純度不低于99.8％的Nd、Pr、Al、Fe、Ni、Co、Cu、B等按所需原子配比在鈦吸附的氬氣氛中電弧熔煉，使之混合均勻，冷卻得到母合金鑄錠。用焙燒烘干后的三氧化二硼粉作助熔劑，與粉碎的母合金一同裝入石英玻璃管中，重量比為2∶5到3∶5。將真空抽到10-1Pa后封裝，在爐中加熱到850℃然后緩慢冷卻，如此反復(fù)加熱3～10次，最后在850℃保溫10分鐘，然后水淬。
非晶相所占比例可通過差熱分析來估計(jì)，方法是將完全非晶樣品加熱時(shí)釋放的熱焓與部分晶化的樣品加熱時(shí)釋放的熱焓相比較，其比例可給出非晶相在原樣品中所占的摩爾分?jǐn)?shù)，還可以用透射電子顯微鏡分析(TEM)確定其非晶相在非晶合金中的比例。非晶材料在電子顯微鏡分析方法中表現(xiàn)出的差別非常小，而晶化的材料就會(huì)有很大的差別，并且很容易區(qū)別。然后可以用透射電子衍射的方法鑒別相。樣品中的非晶材料的體積分?jǐn)?shù)也可以用透射電子顯微圖象來估計(jì)。
非晶合金中的非晶相可以通過許多已知方法來檢驗(yàn)證實(shí)。完全非晶合金的X射線衍射圖顯示了一個(gè)寬的彌散的散射峰。當(dāng)非晶合金中含有晶化相時(shí)，將會(huì)觀察到相對(duì)尖銳的代表晶化相的Bragg衍射峰。圖2至圖4是表1中所列的本發(fā)明的幾種非晶合金的X射線衍射分析圖，從圖中看出，在X射線衍射儀的有效分辨率內(nèi)沒有觀察到明顯的晶化峰，衍射譜中主要為寬的彌散的散射峰，說明所制備的合金中非晶占主要主體。
表1是可以用水淬法、澆鑄法和真空吸鑄法獲得的棒狀及甩帶法獲得的帶材合金的明細(xì)列表，這些合金的直徑至少100微米或更大，非晶相至少占50％。這些合金的性能也被列于表中，包括以絕對(duì)溫度表示的晶化溫度(Tx)、熔點(diǎn)(Tm)和一些磁性能，如飽和磁化強(qiáng)度(Ms)、剩余磁化強(qiáng)度(Mr)和矯頑力(Hc)，其溫度測(cè)量技術(shù)是差熱分析(DSC)。晶化溫度是將非晶合金樣品以每分鐘10K的加熱速率加熱到玻璃轉(zhuǎn)變溫度以上，記錄的晶化開始時(shí)焓變指示的溫度。
本發(fā)明提供的大部分非晶合金具有高矯頑力，其值與合金成分和制備工藝密切相關(guān)。大部分接近或超過3000奧斯特。從表1中可看到，絕大部分合金的晶化溫度超過700K，這說明它們具有很好的熱穩(wěn)定性。本發(fā)明提供的非晶合金在無結(jié)晶情況下的臨界冷卻速率都在1～100K/s，可形成最小一維尺度為100微米至15毫米的塊體非晶材料，表明它們均具有良好的非晶形成能力。用本發(fā)明所述的幾種制備方法，都能獲得超過100微米的非晶材料，最大尺寸可達(dá)15毫米。
下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明圖1是典型的非晶合金的熱焓與溫度的曲線，圖2～圖4是本發(fā)明的非晶合金的X射線衍射圖，圖5是本發(fā)明的幾種非晶合金的熱分析(DSC)曲線，圖6是本發(fā)明的幾種φ3mm非晶合金鑄棒的的室溫磁滯回線。
實(shí)施例1將純度為99.9％到99.99％的Nd、Al、及Fe按所需要的原子配比在鈦吸附的氬氣氛中電弧熔煉，使之混合均勻，冷卻得到鑄錠。然后將母合金鑄錠破碎后在高頻感應(yīng)爐中熔煉，高頻感應(yīng)爐真空室的真空度不低于10-1Pa，熔化后用氬氣吹入水冷銅模中，制備出的大塊非晶合金的成分為Nd65Al10Fe25，直徑為3毫米。X射線及透射電子顯微鏡證實(shí)主要為非晶相。從DSC曲線可以測(cè)得其晶化溫度(Tx)和熔化溫度(Tm)。此合金的熔點(diǎn)Tm為875K，晶化溫度Tx為814K，Tx和Tm的比值達(dá)到0.93，表明合金具有極高的熱穩(wěn)定性。此合金的矯頑力為3400奧斯特，飽和磁化強(qiáng)度為10.3emu/g，剩余磁化強(qiáng)度為8.2emu/g，剩磁比為0.8，表明其磁滯回線具有良好的矩形度。
實(shí)施例2技術(shù)方案如實(shí)施例1，制備出的大塊非晶合金的成分為Nd60Al10Fe20Co10。此合金是在Nd65Al10Fe25合金中，以Co替代Fe和Nd得到的。Co的加入，降低了合金的熔點(diǎn)，提高了合金的非晶形成能力，使合金具有更高和更好的工藝性。此合金的熔點(diǎn)Tm為783K，晶化溫度Tx為771K，Tx/Tm值為0.98，說明其非晶比實(shí)施例1制備的大塊非晶有更高的熱穩(wěn)定性，但晶化溫度的絕對(duì)值有所下降。此合金的矯頑力為3410奧斯特，高于實(shí)施例1的矯頑力值，而磁化強(qiáng)度值相近。
實(shí)施例3將純度為99.9％到99.99％的Nd、Al、及Fe按所需要的原子配比在鈦吸附的氬氣氛中電弧熔煉，使之混合均勻，冷卻得到鑄錠。這些鑄錠被粉碎裝入石英玻璃管中，抽高真空(10-1Pa)后封裝，在爐中使鑄錠重熔，然后水淬，獲得成份均勻的Nd65Al10Fe25柱狀大塊合金，直徑為5毫米，該合金的矯頑力為3380奧斯特，飽和磁化強(qiáng)度為10.9emu/g，剩磁為8.3emu/g。其磁性能與實(shí)施例所得到材料的磁性能非常接近。
實(shí)施例4將純度為99.9％到99.99％的Nd、Al、Fe及Co按所需要的原子配比在鈦吸附的氬氣氛中電弧熔煉，使之混合均勻，冷卻得到鑄錠。然后將母合金鑄錠破碎后在真空甩帶機(jī)中重熔，真空甩帶機(jī)真空室的真空度不低于10-1Pa，熔化后用氬氣吹到轉(zhuǎn)速為6m/s(線速度)銅輥表面，制備出厚度約為120微米的帶材，成分為Nd60Al10Fe20Co10。X射線及透射電子顯微鏡證實(shí)主要為非晶相。該材料的矯頑力為1300奧斯特，飽和磁化強(qiáng)度為15emu/g，剩磁為5.7emu/g，剩磁比為0.38?？梢娪么思夹g(shù)方案，獲得的非晶材料在性能上與同樣成分的實(shí)施例2材料的性能有明顯的區(qū)別，矯頑力顯著降低，硬磁性減弱，但飽和磁化強(qiáng)度明顯增加。磁滯回線的矩形度顯著惡化。
實(shí)施例5技術(shù)方案如實(shí)施例4，制備出的大塊非晶合金的成分為Nd40Al10Fe50。此合金是本發(fā)明提供的各種非晶合金成分中稀土元素含量較少的一種。與實(shí)施例1的成分相比，主要是用Fe替代了稀土元素Nd。替代后合金的熔點(diǎn)熔點(diǎn)顯著提高，Tm為954K，晶化溫度Tx也提高到760K。飽和磁化強(qiáng)度急劇增加到38.9emu/g，剩磁增加到10.2emu/g，矯頑力顯著降低到420奧斯特，硬磁性能消失。用過渡金屬替代稀土元素后，材料的成本明顯降低，磁化強(qiáng)度顯著提高，但矯頑力下降，硬磁性能不斷減弱。
實(shí)施例6技術(shù)方案如實(shí)施例1，制備出的大塊非晶合金的成分為Nd60Al10Co30。該合金的晶化溫度為552K，熔點(diǎn)為798K。該合金具有比實(shí)施例1低的熔點(diǎn)和晶化溫度，Tx/Tm比值為0.69。熱穩(wěn)定性降低。此合金不具有硬磁性能，在室溫表現(xiàn)為順磁性。
表權(quán)利要求
1.大塊非晶合金材料，其特征在于用如下公式表示[Nd1-xPrx]a-Feb-[Al1-ySiy]c-[Co1-zNiz]d-Cue-Bf-Zrg；其中a、b、c、d、e、f、g均為原子百分?jǐn)?shù)，其變化范圍分別為30≤a≤90，5＜b＜65，5≤c≤30，0≤d≤40，0≤e≤20，0≤f≤30，0≤g≤10；x、y、z為原子分?jǐn)?shù)，其變化范圍分別為0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1。
2.按權(quán)利要求1所述的大塊非晶合金材料，其特征在于還可含有5％至10％原子百分比的任何過渡族金屬元素或重過渡金屬元素。
3.按權(quán)利要求1所述的大塊非晶合金材料，其特征在于還可含有總量少于5％原子百分比雜質(zhì)。
4.按權(quán)利要求1所述的大塊非晶合金材料，其特征在于需包含至少50％體積百分比的非晶相。
全文摘要
本發(fā)明涉及非晶合金領(lǐng)域。本發(fā)明提供的一系列大塊非晶合金材料可用如下公式表示[Nd
文檔編號(hào)C22C45/00GK1403618SQ0113090
公開日2003年3月19日 申請(qǐng)日期2001年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2001年8月24日
發(fā)明者魏炳忱, 趙德乾, 汪衛(wèi)華, 潘明祥, 聞平, 張志 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院物理研究所