專利名稱：制備多層金屬鍍層復(fù)合膜的裝置及其制造工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種多層金屬鍍層復(fù)合膜的裝置及制造工藝，特別適用于彩色顯像管的多層金屬鍍膜制造中。
本發(fā)明的另一目的是提供一種多層金屬鍍層復(fù)合膜的制造工藝。
實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是這樣解決的多層金屬鍍層復(fù)合膜的裝置包括一個電源，一個真空蒸發(fā)室，真空蒸發(fā)室內(nèi)置有金屬材料，其突出的特點(diǎn)在于真空蒸發(fā)室內(nèi)同時設(shè)有至少有兩個或兩個以上蒸發(fā)源，在各自的蒸發(fā)源中放置不同的蒸發(fā)材料，按蒸發(fā)時序進(jìn)行蒸發(fā)。
本發(fā)明的制造工藝包括下述步驟其工藝流程為a、用真空泵對真空蒸發(fā)室進(jìn)行抽真空；b、對真空蒸發(fā)室內(nèi)的蒸發(fā)源通電、并低溫預(yù)熱蒸發(fā)材料；
c、將低溫預(yù)熱好的蒸發(fā)材料用高溫使蒸發(fā)材料蒸發(fā)進(jìn)行鍍膜；d、第一材料蒸發(fā)形成第一層鍍膜，第二層材料再蒸發(fā)疊加于第一層膜之上，以后各膜蒸發(fā)材料依次類推，便形成多層金屬鍍層復(fù)合膜。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，只用一亇真空蒸發(fā)室，按蒸發(fā)時序就能一次完成多層金屬鍍層復(fù)合膜的制造，具有操作簡單，節(jié)省時間和能源，降低了生產(chǎn)成本，金屬鍍層互不污染與滲透，提高了產(chǎn)品質(zhì)量等特點(diǎn)，有一定的經(jīng)濟(jì)和社會效益。
圖2所示為本發(fā)明的工藝流程圖，即抽真空→蒸發(fā)材料預(yù)熱→第一種蒸發(fā)材料蒸發(fā)形成第一層鍍膜→第二種蒸發(fā)材料蒸發(fā)形成第二層鍍膜→其余以此類推→完成多層金屬復(fù)合膜。
綜上所述，在54cm平面直角彩色顯像管制造工藝技術(shù)的鋁膜制造中，真空蒸發(fā)室2內(nèi)同時設(shè)有至少有兩個蒸發(fā)源4、5，一亇真空蒸發(fā)源4中放置純鋁材料，另一個真空蒸發(fā)源5中放置鋁、鐵合金材料，這種多層金屬鍍層復(fù)合膜的內(nèi)層為鋁膜，它起反射作用，中層為鋁鐵膜，外層為鐵膜，它吸收管內(nèi)的熱量。本例應(yīng)用的工藝流程為抽真空→鋁、鋁鐵合金蒸發(fā)材料預(yù)熱→鋁蒸發(fā)材料蒸發(fā)形成第一層鍍膜→第二種鋁鐵合金蒸發(fā)材料蒸發(fā)形成第二層鍍膜→完成多層金屬復(fù)合膜。
權(quán)利要求
1.種制備多層金屬鍍層復(fù)合膜的裝置，包括一個電源(1)，一個真空蒸發(fā)室(2)，真空蒸發(fā)室(2)內(nèi)置有金屬材料(3)，其特征在于真空蒸發(fā)室(2)內(nèi)同時設(shè)有至少有兩個或兩個以上蒸發(fā)源(4、5)，在各自的蒸發(fā)源中放置不同的蒸發(fā)材料(3)，按蒸發(fā)時序進(jìn)行蒸發(fā)。
2.根據(jù)權(quán)利要求所述的制備多層金屬鍍層復(fù)合膜的裝置，其特征在于所說的蒸發(fā)時序是按膜層要求第一層鍍膜材料行蒸發(fā)、第二層材料再蒸發(fā)依次類推順序蒸發(fā)。
3.一種使用權(quán)利要求1所述的多層金屬鍍層復(fù)合膜的制造工藝，其工藝流程為a、用真空泵對真空蒸發(fā)室(2)進(jìn)行抽真空；b、對真空蒸發(fā)室(2)內(nèi)的蒸發(fā)源(4、5)通電、并低溫預(yù)熱蒸發(fā)材料(3)；c、將低溫預(yù)熱好的蒸發(fā)材料(3)再用高溫使蒸發(fā)材料(3)蒸發(fā)進(jìn)行鍍膜；d、第一材料蒸發(fā)形成第一層鍍膜，第二層材料再蒸發(fā)疊加于第一層膜之上，以后各膜蒸發(fā)材料依次類推，便形成多層金屬復(fù)合膜。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種多層金屬鍍層復(fù)合膜的裝置及制造工藝，包括電源，真空蒸發(fā)室，真空蒸發(fā)室內(nèi)置有金屬材料，真空蒸發(fā)室內(nèi)同時設(shè)有至少有兩個或兩個以上蒸發(fā)源，在各自的蒸發(fā)源中放置不同的蒸發(fā)材料，按蒸發(fā)時序進(jìn)行蒸發(fā)。其工藝流程為a、用真空泵對真空蒸發(fā)室進(jìn)行抽真空；b、對真空蒸發(fā)室內(nèi)的蒸發(fā)源通電、并低溫預(yù)熱蒸發(fā)材料；c、將低溫預(yù)熱好的蒸發(fā)材料用高溫使蒸發(fā)材料蒸發(fā)進(jìn)行鍍膜；d、第一材料蒸發(fā)形成第一層鍍膜，第二層材料再蒸發(fā)疊加于第一層膜之上，以后各膜蒸發(fā)材料依次類推，便形成多層金屬鍍層復(fù)合膜。具有操作簡單，節(jié)省時間和能源，降低了生產(chǎn)成本，金屬鍍層互不污染與滲透，提高了產(chǎn)品質(zhì)量等特點(diǎn)，有一定的經(jīng)濟(jì)和社會效益。
文檔編號C23C14/24GK1477227SQ0310804
公開日2004年2月25日 申請日期2003年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月19日
發(fā)明者王勇, 韓秀鈴, 王新, 王鵬, 王 勇 申請人:彩虹彩色顯像管總廠, 彩虹顯示器件股份有限公司