專利名稱：真空蒸鍍線狀掩膜的掩膜板的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是一種真空蒸鍍線狀掩膜的掩膜板，適用于電致發(fā)光元件的有機薄膜彩色條和金屬薄膜電極的制備。
本發(fā)明的掩膜板包含彈性線4，帶有切口8的固定框架3，在固定框架3上相對平行的兩框的外側分別置放有結構、形狀和大小完全相同的兩個定位柱2、6。定位柱2、6上帶有相互平行的等間距的定位槽2602和分布在兩端的頂緊螺絲1。在固定框架3上還分布有固定螺釘5和壓緊螺釘11。彈性線4通過兩定位柱2、6上的定位槽2606定位纏繞成平直線組構成掩膜線7。如

圖1、2、3所示。
如上述的結構，繞成平直線組后的彈性線4的兩端分別由固定螺釘5固定在固定框架3上。擰動分布在定位柱2、6兩端的頂緊螺絲1，能夠使平直線組中每條線都繃得又緊又平直。待鍍襯底10連同壓板9一起插入固定框架3的切口8內，通過壓緊螺釘11頂緊壓在待鍍襯底10上的壓板9，使待鍍襯底10的待鍍表面緊緊地貼在掩膜線7上。掩膜板每次蒸鍍使用過后，都可以調節(jié)固定螺釘5使彈性線4拉緊。同時可以調節(jié)頂緊螺絲1，使平直線組繃緊，使每條線都不再松塌，始終保持最初的平直平行的限定等間距的掩膜線7。
與在先技術相比，本發(fā)明的掩膜板由于包含帶有定位槽2602和頂緊螺絲1的結構、形狀和大小都相同的兩個定位柱2、6。彈性線4通過兩定位柱2、6上的定位槽2602定位繞成平直線組的掩膜線7，能夠隨時通過調節(jié)頂緊螺絲1使平直線組繃緊繃直。還可以調節(jié)固定螺釘5使彈性線4拉緊拉直。由于待鍍襯底10是插入固定框架3的切口8內，所以，貼在待鍍襯底10待鍍表面上的掩膜線7是單層的平直線組。不會出現(xiàn)重疊重影的現(xiàn)象?？傊?，本發(fā)明的掩膜板是完全克服了在先技術中存在的掩膜條線用焊錫焊死不能調節(jié)的弊端。不僅提高了使用掩膜板蒸鍍的精度和分辨率，同時，也大大提高了掩膜板的使用率和壽命。本發(fā)明的掩膜板用途廣泛，既可以使用在蒸鍍有機彩色薄膜上，也可以用在蒸鍍金屬薄膜的電極上等。
圖2是本發(fā)明掩膜板結構的頂視示意圖。
圖3是圖2的A-A剖面視圖。
所說的固定框架3是長方形，或是方形。它可以由相對平行的兩長框301和與長框301垂直的兩平行的橫框302構成。關鍵是帶有切口8。兩長框301的外側是與定位柱2、6相匹配的圓弧305，圓弧305的中間部位有凹槽306。在長框301上(或是橫框302)有與固定螺釘5相匹配的固定螺孔303(至少2個)。在固定框架3的橫框302上有與壓緊螺釘11相匹配的壓緊螺孔303(至少4個)。
所說的彈性線4是具有高彈力的金屬絲，或者是塑料絲。彈性線4的形狀可以是普通的直徑在0.03mm至1mm的圓絲，或者是厚度為0.03mm至0.5mm，寬度為0.03mm至1mm的扁線。
所說的結構、形狀和大小完全相同的定位柱2、6置放在固定框架3相互平行的兩長框301外側與之相匹配的圓弧305內，頂緊螺絲1通過定位柱2、6上的頂緊螺孔2601恰好頂在長框301外側圓弧305中間部位的凹槽306內。
所說的定位柱2、6上的相互平行的等間距的定位槽2602是刻槽，或者是螺紋。
當待鍍襯底10連同壓板9一起插入固定框架3的切口8內時，壓緊螺釘11通過固定框架3橫框302上的壓緊螺孔303頂在壓板9上，使壓板9壓緊待鍍襯底10，從而使待鍍襯底10的待鍍表面能夠緊貼在掩膜線7上。使蒸鍍后的線條更清晰，更精細，分辨率更高。
權利要求
1，一種真空蒸鍍線狀掩膜的掩膜板，含有固定框架(3)和彈性線(4)，其特征在于固定框架(3)含有切口(8)，在固定框架(3)相對平行的兩框外側分別置有結構、形狀和大小完全相同的兩個定位柱(2、6)，定位柱(2、6)上帶有相互平行的等間距的定位槽(2602)和分布在定位柱(2、6)兩端的頂緊螺絲(1)，在固定框架(3)上還分布有固定螺釘(5)和壓緊螺釘(11)，彈性線(4)通過兩定位柱(2、6)上的定位槽(2602)定位纏繞成平直線組構成掩膜線(7)。
2，根據(jù)權利要求1所述的真空蒸鍍線狀掩膜的掩膜板，其特征在于所說的彈性線(4)是具有高彈力的金屬絲，或者是塑料絲。
3，根據(jù)權利要求1或2所述的真空蒸鍍線狀掩膜的掩膜板，其特征在于所說的彈性線(4)的形狀是直徑在0.03mm至1mm的圓絲，或者是厚度為0.03mm至0.5mm，寬度為0.03mm至1mm的扁線。
4，根據(jù)權利要求1所述的真空蒸鍍線狀掩膜的掩膜板，其特正在于所說的定位柱(2、6)上相互平行的等間距的定位槽(2602)是刻槽，或者是螺紋。
全文摘要
一種真空蒸鍍線狀掩膜的掩膜板，適用于電致發(fā)光元件的有機薄膜彩色條和金屬薄膜電極的制備。它主要含有帶切口的固定框架，置放在固定框架相對平行兩框外側的帶定位槽和頂緊螺絲的定位柱。彈性絲通過定位柱上定位槽的定位繞成平直線組構成掩膜線。掩膜線能夠通過調節(jié)兩端的固定螺釘使其拉緊拉直。能夠隨時調節(jié)頂緊螺絲使全部掩膜線繃緊繃直。本發(fā)明的掩膜板完全克服了在先技術中存在的掩膜線松塌后，不能再使其繃緊繃直等缺陷。提高了掩膜板的精度、使用率和壽命。
文檔編號C23C14/24GK1450196SQ03116759
公開日2003年10月22日 申請日期2003年5月6日 優(yōu)先權日2003年5月6日
發(fā)明者鐘國柱, 張志林 申請人:上海航天上大歐德科技有限公司