專利名稱：就地確定膜層厚度的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種確定膜層厚度的方法。
背景技術(shù)：
在例如內(nèi)部處理(內(nèi)表面的鋁化)的鍍膜處理中，通過金屬學(xué)檢驗(yàn)獲得膜層厚度。為此，在待鍍膜元件的典型位置上附著鍍膜處理中的金屬絲樣本，在鍍膜處理結(jié)束之后，提取該金屬絲樣本，然后對(duì)其進(jìn)行花費(fèi)很大的切割和檢驗(yàn)。通過同時(shí)進(jìn)行的工作試驗(yàn)檢查和記錄每次鍍膜處理。用這種測(cè)量和檢驗(yàn)方法無法對(duì)不合格的已結(jié)束的鍍膜處理進(jìn)行最新的校正。因此，這種保證質(zhì)量的方式成本高。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，提供一種解決上述問題的確定膜層厚度的方法。
本發(fā)明的技術(shù)問題是通過這樣一種方法解決的，即，象對(duì)待處理元件那樣對(duì)一個(gè)傳感器進(jìn)行鍍膜處理，并測(cè)量由于該鍍膜處理而改變的該傳感器的電特性，從而可以在進(jìn)行鍍膜處理期間就地確定膜層厚度。
本方法尤其適用于滲鋁處理，其中將鋁加到元件中(磨光)。
在此，優(yōu)選的地采用電阻作為簡(jiǎn)單的、對(duì)鍍膜結(jié)果來說是典型的電的測(cè)量值。
所述傳感器例如是燒結(jié)物(Sinter1ing)，因?yàn)闊Y(jié)物能以典型方式吸收被鍍上的鍍膜材料(附著速度和擴(kuò)散速度)，也可以是多孔的，或用待鍍膜元件的材料制成，或用金屬鉻合金(MCrA1y)制成。
本方法尤其適用于元件內(nèi)部的鍍膜處理，因?yàn)樵撎幚聿缓眠M(jìn)入。


下面結(jié)合附圖簡(jiǎn)要描述本發(fā)明的實(shí)施方式。其中示出了
圖1為具有待鍍膜傳感器的元件，其中應(yīng)用了本發(fā)明的方法用于確定膜層厚度；和圖2為具有按照本發(fā)明方法的傳感器的測(cè)量裝置。
具體實(shí)施例方式
圖1示出了中空的元件1，應(yīng)當(dāng)對(duì)其例如在內(nèi)表面4進(jìn)行鍍膜。然而，本方法也可以應(yīng)用于就地確定外表面的膜層厚度。
在內(nèi)表面4上，借助公知方法，例如CVD方法(化學(xué)汽相淀積)、電化學(xué)方法或其它公知鍍膜方法鍍上用材料M制成的膜層7。傳感器10設(shè)置在元件1的空腔19中，并因此和待處理的元件1一樣進(jìn)行鍍膜。
圖2示出了傳感器10的放大圖。
傳感器10由一種材料組成，該材料通過任意的與構(gòu)成鍍膜的材料M的交互作用改變電特性，例如電阻、阻抗、電容等。傳感器10可以采取任意形狀，例如可以是導(dǎo)線段，或平板形狀。
傳感器10通過電導(dǎo)線13與測(cè)量電量大小的電測(cè)量裝置16相連，該電量大小由于用材料M對(duì)傳感器10進(jìn)行了鍍膜而改變。通過預(yù)先計(jì)算出的校準(zhǔn)曲線，膜層厚度與電量大小的關(guān)系是已知的。
本方法尤其適用于將鋁鍍?cè)谠?內(nèi)表面4上(金屬為鋁)的內(nèi)部處理中。在此，所述傳感器例如由金屬鉻合金(金屬為鐵、鈷和鎳)材料制成，并利用化學(xué)汽相淀積(CVD)處理中被鍍上的鋁這樣來改變，即以典型方式按鍍膜結(jié)果改變所測(cè)量的電參數(shù)。
權(quán)利要求
1.一種用于在鍍膜處理期間就地確定膜層厚度的方法，其中通過該鍍膜處理這樣改變傳感器(10)，即由此影響該傳感器(10)的與膜層厚度相關(guān)的電特性，并將該電特性的改變用于鍍膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述傳感器(10)由金屬鉻合金制成，其中金屬是鐵、鈷或鎳組中的一種元素。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述鍍膜過程是一種鋁化過程。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述電特性是電阻。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述傳感器(10)是一種燒結(jié)元件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述鍍膜過程是化學(xué)汽相淀積過程。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述鍍膜過程用于元件(1)的內(nèi)部鍍膜。
全文摘要
根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，在鍍膜處理期間確定膜層厚度花費(fèi)很大。其中，為了檢查膜層厚度，必須切割參考樣本并由此破壞參考樣本。只有當(dāng)參考樣本具有所期望的膜層厚度時(shí)，才能采用與參考樣本一起鍍膜的元件。按照本發(fā)明的一種用于確定膜層厚度的方法允許在鍍膜處理期間就地確定膜層厚度，其中，采用了一個(gè)傳感器，該傳感器通過鍍膜過程以典型方式按獲得各膜層的厚度改變所測(cè)量的電特性。
文檔編號(hào)C23C16/52GK1456704SQ0312348
公開日2003年11月19日 申請(qǐng)日期2003年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月10日
發(fā)明者烏爾里克·巴斯特, 羅曼·拜爾, 拉爾夫·賴歇 申請(qǐng)人:西門子公司