專利名稱:一種高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)的制作方法
【專利摘要】一種高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)，包括底座，所述底座的上側(cè)面設(shè)有固定板以及由電機(jī)帶動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的第一拋光平臺(tái)和第二拋光平臺(tái)。該高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)，通過設(shè)有的第一拋光平臺(tái)和第二拋光平臺(tái)并且通過打磨裝置和拋光裝置對(duì)于碳化硅進(jìn)行拋光，這樣可以對(duì)于碳化硅有一個(gè)初步的磨平棱角的工序，不僅方便了下面的拋光工序，而且使得拋光更為徹底，通過環(huán)形廢液槽和廢液收集槽可以對(duì)于使用過的拋光液進(jìn)行收集，使得拋光液不會(huì)到處流淌，方便了工作之后的清潔，而且從一定程度上還可以節(jié)約拋光時(shí)間和成本，具有很強(qiáng)的實(shí)用性。
【專利說明】
一種高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及碳化硅化學(xué)拋光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種高效且方便清潔的碳化娃化學(xué)拋光機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著高亮度LED在照明工程領(lǐng)域需求量的急劇增長，帶動(dòng)了國內(nèi)碳化硅襯底材料制備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。由于碳化硅晶體(α-Α1203)具有耐高溫、耐腐蝕、透光波段寬等顯著特點(diǎn)，是外延長GaN的首選襯底材料，但也正是由于碳化娃硬度極高、脆性大、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的特點(diǎn)，給材料加工，尤其是晶片表面納米級(jí)拋光在技術(shù)上帶來很多困難，在加工碳化硅的工序中需要對(duì)碳化硅的表面進(jìn)行拋光處理，目前的拋光技術(shù)為單一面的加工，當(dāng)加工一面完畢之后再對(duì)另一面進(jìn)行拋光處理，加工工序繁瑣，工作效率低下，不利于生產(chǎn)，而且加工一般不具備化學(xué)拋光機(jī)，這樣使得拋光不徹底，而且化學(xué)拋光機(jī)的廢液不易收集，對(duì)此我們提出一種高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)，以解決上述【背景技術(shù)】中提出的問題。
[0004]本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)方案為:一種高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)，包括底座，所述底座的上側(cè)面設(shè)有固定板以及由電機(jī)帶動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的第一拋光平臺(tái)和第二拋光平臺(tái)，所述第一拋光平臺(tái)的一側(cè)設(shè)有垂直安裝于底座的打磨裝置，所述打磨裝置包括位于第一拋光平臺(tái)正上方的打磨棒;所述的固定板上設(shè)置有儲(chǔ)液倉和拋光裝置，儲(chǔ)液倉底端連通拋光液輸送管一端，拋光液輸送管另一端連接有位于第二拋光平臺(tái)正上方的噴頭，在第二拋光平臺(tái)底端環(huán)繞第二拋光平臺(tái)設(shè)有環(huán)形廢液槽，所述環(huán)形廢液槽經(jīng)一導(dǎo)流槽與廢液收集槽連通;所述的拋光裝置包括位于第二拋光平臺(tái)正上方的拋光片。
[0005]工作時(shí)，把需要加工的碳化硅放在第一拋光平臺(tái)上進(jìn)行初步加工，啟動(dòng)電機(jī)和打磨裝置，轉(zhuǎn)動(dòng)第一拋光平臺(tái)利用打磨棒進(jìn)行打磨，對(duì)碳化硅上一些較大的棱角進(jìn)行磨平，之后再把初步加工過的碳化硅放在第二拋光平臺(tái)上，通過噴頭在碳化硅上噴灑拋光液，再啟動(dòng)電機(jī)和拋光裝置，轉(zhuǎn)動(dòng)第二拋光平臺(tái)利用拋光片進(jìn)行拋光，對(duì)碳化硅進(jìn)行最后的精拋光工作，噴灑出來的拋光液在使用之后，回流進(jìn)環(huán)形廢液槽內(nèi)，再通過導(dǎo)流槽流進(jìn)廢液收集槽內(nèi)，這樣不僅可以對(duì)于碳化硅進(jìn)行精準(zhǔn)完善的拋光，而且還便于清潔，經(jīng)濟(jì)實(shí)用。
[0006]所述底座為中空結(jié)構(gòu)，且底座的內(nèi)部設(shè)有與第一拋光平臺(tái)和第二拋光平臺(tái)位置對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸下端連接電機(jī)，上端貫穿底座并且與第一拋光平臺(tái)和第二拋光平臺(tái)連接。電機(jī)通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸帶動(dòng)第一拋光平臺(tái)和第二拋光平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0007]為了保證環(huán)形廢液槽與廢液收集槽之間具有一定高度差，廢液能夠順利流入廢液收集槽，所述的廢液收集槽位于底座一側(cè)，所述的導(dǎo)流槽設(shè)于底座上。
[0008]優(yōu)選的，所述底座通過軸承與轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接。摩擦阻力小，減小轉(zhuǎn)動(dòng)軸與底座之間的摩擦損傷，提高機(jī)械效率，便于安裝拆卸，維修方便。本實(shí)用新型的有益效果是:該高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)，通過設(shè)有的第一拋光平臺(tái)和第二拋光平臺(tái)并且通過打磨裝置和拋光裝置對(duì)于碳化硅進(jìn)行拋光，這樣可以對(duì)于碳化硅有一個(gè)初步的磨平棱角的工序，不僅方便了下面的拋光工序，而且使得拋光更為徹底，通過環(huán)形廢液槽和廢液收集槽可以對(duì)于使用過的拋光液進(jìn)行收集，使得拋光液不會(huì)到處流淌，方便了工作之后的清潔，而且從一定程度上還可以節(jié)約拋光時(shí)間和成本，具有很強(qiáng)的實(shí)用性。
【附圖說明】

[0009]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)不意圖；
[00?0]圖2為本實(shí)用新型的電機(jī)不意圖。
[0011]圖中:I底座、2第一拋光平臺(tái)、3第二拋光平臺(tái)、4環(huán)形廢液槽、5打磨裝置、6拋光裝置、7拋光液輸送管、8噴頭、9廢液收集槽、1打磨棒、11電機(jī)、12固定板、13儲(chǔ)液倉、14導(dǎo)流槽、15拋光片、16轉(zhuǎn)動(dòng)軸。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。如圖1-2中所示，一種高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)，包括底座I，所述底座I的上側(cè)面設(shè)有固定板12以及由電機(jī)11帶動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的第一拋光平臺(tái)2和第二拋光平臺(tái)3，所述第一拋光平臺(tái)2的一側(cè)設(shè)有垂直安裝于底座I的打磨裝置5，所述打磨裝置5包括位于第一拋光平臺(tái)2正上方的打磨棒10;所述的固定板12上設(shè)置有儲(chǔ)液倉13和拋光裝置6，儲(chǔ)液倉13底端連通拋光液輸送管7—端，拋光液輸送管7另一端連接有位于第二拋光平臺(tái)3正上方的噴頭8，在第二拋光平臺(tái)3底端環(huán)繞第二拋光平臺(tái)3設(shè)有環(huán)形廢液槽4，所述環(huán)形廢液槽4經(jīng)一導(dǎo)流槽14與廢液收集槽9連通;所述的拋光裝置6包括位于第二拋光平臺(tái)3正上方的拋光片15。所述底座I為中空結(jié)構(gòu)，且底座I內(nèi)部設(shè)有與第一拋光平臺(tái)2和第二拋光平臺(tái)3位置對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸16，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸16下端連接電機(jī)11，上端貫穿底座I并且與第一拋光平臺(tái)2和第二拋光平臺(tái)3連接，所述底座I通過軸承與轉(zhuǎn)動(dòng)軸16連接。
[0013]工作流程:首先，把需要加工的碳化硅放在第一拋光平臺(tái)2上，啟動(dòng)電機(jī)11和打磨裝置5，邊轉(zhuǎn)動(dòng)邊打磨，對(duì)碳化硅上一些較大的棱角進(jìn)行磨平，之后再把初步加工過的碳化硅放在第二拋光平臺(tái)3上，通過噴頭在碳化硅上噴灑拋光液，再啟動(dòng)電機(jī)11和拋光裝置6，邊轉(zhuǎn)動(dòng)邊拋光，對(duì)碳化硅進(jìn)行最后的精拋光工作，噴灑出來的拋光液在使用之后，回流進(jìn)環(huán)形廢液槽4內(nèi)，在通過導(dǎo)流槽14流進(jìn)廢液收集槽9內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)，包括底座(I)，其特征在于:所述底座(I)的上側(cè)面設(shè)有固定板(12)以及由電機(jī)(11)帶動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的第一拋光平臺(tái)(2)和第二拋光平臺(tái)(3)，所述第一拋光平臺(tái)(2)的一側(cè)設(shè)有垂直安裝于底座(I)的打磨裝置(5)，所述打磨裝置(5)包括位于第一拋光平臺(tái)(2)正上方的打磨棒(10);所述的固定板(12)上設(shè)置有儲(chǔ)液倉(13)和拋光裝置(6)，儲(chǔ)液倉(13)底端連通拋光液輸送管(7)—端，拋光液輸送管(7)另一端連接有位于第二拋光平臺(tái)(3)正上方的噴頭(8)，在第二拋光平臺(tái)(3)底端環(huán)繞第二拋光平臺(tái)(3)設(shè)有環(huán)形廢液槽(4)，所述環(huán)形廢液槽(4)經(jīng)一導(dǎo)流槽(14)與廢液收集槽(9)連通;所述的拋光裝置(6)包括位于第二拋光平臺(tái)(3)正上方的拋光片(15)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)，其特征在于:所述底座(1)為中空結(jié)構(gòu)，且底座(I)內(nèi)部設(shè)有與第一拋光平臺(tái)(2)和第二拋光平臺(tái)(3)位置對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸(16)，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸(16)下端連接電機(jī)(11)，上端貫穿底座(I)并且與第一拋光平臺(tái)(2)和第二拋光平臺(tái)(3)連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)，其特征在于:所述的廢液收集槽(9)位于底座(I) 一側(cè)，所述的導(dǎo)流槽(14)設(shè)于底座(I)上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效且方便清潔的碳化硅化學(xué)拋光機(jī)，其特征在于:所述底座(I)通過軸承與轉(zhuǎn)動(dòng)軸(16)連接。
【文檔編號(hào)】B24B37/10GK205703715SQ201620388348
【公開日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年4月29日
【發(fā)明人】宗艷民
【申請(qǐng)人】山東天岳晶體材料有限公司