專利名稱：回轉(zhuǎn)體及其涂覆方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在燃氣輪機、蒸汽輪機、壓縮機等中使用的轉(zhuǎn)動葉片和迷宮式密封件等回轉(zhuǎn)體及其涂覆方法，特別涉及在回轉(zhuǎn)體的一部份上形成含有硬質(zhì)材料的涂膜的回轉(zhuǎn)體及其涂覆方法。
相關技術的說明在燃氣輪機運轉(zhuǎn)時，需要對轉(zhuǎn)動葉片和迷宮式密封件等回轉(zhuǎn)體進行設置，從而合理地保持其與諸如轉(zhuǎn)動葉片的殼蓋或屏蔽板之間的徑向間隙、與迷宮式密封件上蜂窩密封件之間的密封間隙這種旋轉(zhuǎn)部位與靜止部位之間的間隙。這是由于，如果害怕接觸而使間隙過大，燃氣輪機的效率就會下降，相反，如果使間隙過小，回轉(zhuǎn)體的頂端就會受損害，引起燃氣輪機的故障。
于是，考慮到與回轉(zhuǎn)體的圍繞組件(殼蓋、屏蔽板、蜂窩密封件等)的接觸，在轉(zhuǎn)動葉片或迷宮式密封件的頂端上，采用相對于圍繞組件的接觸面材料更硬的材料，施加切削接觸對象的研磨涂層(Abrasive Coating)，在圍繞組件的側(cè)面上施加較容易被切削的材料的可研磨涂層(Abradable Coating)。這是為了利用涂層硬度的差異，在燃氣輪機開動時，通過用回轉(zhuǎn)體的頂端切削圍繞組件一側(cè)，將組件間隙或密封間隙調(diào)整至最小值。
在這里，

圖1A為普通渦輪機轉(zhuǎn)動葉片的透視圖，圖1B為帶有頂端屏蔽板的渦輪機轉(zhuǎn)動葉片的透視圖，圖1C為壓縮機葉片的透視圖。而且，在這些圖中，省略了渦輪機圓盤面的平臺和鳩尾槽的圖。在圖1A中表示的渦輪機葉片1的情況下，在該葉片的頂端的整個面上設置研磨涂層5a。另外，在圖1B中表示的帶有頂端屏蔽板的渦輪機轉(zhuǎn)動葉片2上，在設置于頂端屏蔽板3上的翅片4的頂端(也就是渦輪機轉(zhuǎn)動葉片的頂端)的整個面上設置研磨涂層5b。此外，在圖1C中表示的壓縮機的轉(zhuǎn)動葉片1的情況下，也將研磨涂層5c設置在該葉片頂端的整個區(qū)域(也包括圖的背面)內(nèi)。
另外，圖2是表示迷宮式密封件頂端的一個例子的剖面圖。迷宮式密封件是為了防止在旋轉(zhuǎn)部位和靜止部位的間隙內(nèi)的空氣和燃燒氣體的泄漏而設置的部件，是經(jīng)常用于燃氣輪機和壓縮機的密封結(jié)構(gòu)。一般在旋轉(zhuǎn)部位一側(cè)設置具有凹凸部的環(huán)狀迷宮式密封件6，在靜止部位一側(cè)設置具有易于切削結(jié)構(gòu)的蜂窩密封件(沒有圖示)。圖2是沿包括迷宮式密封件6的軸心的平面而切斷得到的剖面圖，在該迷宮式密封件6的凸部頂端上設置研磨涂層5d。
這些研磨涂層可以通過以前的焊接、熱噴涂、電鍍等方法進行涂覆(例如，參照專利文獻1以及2)。在通過焊接進行涂覆的情況下，使用焊條和粉劑，在渦輪機轉(zhuǎn)動葉片或者迷宮式密封件的頂端等指定部位上進行涂覆。在通過熱噴涂進行涂覆的情況下，用與基底材料的熱膨脹差別小、硬度更高的氧化鋯(維式硬度1300HV)進行熱噴涂。在利用電鍍進行涂覆的情況下，利用鎳電鍍等對硬度高的cBN(Cubic Boron Nitride)的磨粒(維式硬度4500HV)進行電鍍。
而且，作為與本發(fā)明相關的其它的在先技術，有專利文獻3、專利文獻4中所示的技術。
專利文獻1JP特開平11-286768號公報專利文獻2JP特開2000-345809號公報專利文獻3JP特開平7-301103號公報專利文獻4JP特開平8-319804號公報但是，在上述方法中，為了粘緊研磨涂層，需要在沒有必要進行涂覆的地方進行掩蔽，或者為了提高粘附力，需要對涂覆表面進行噴砂操作，預處理較多，存在成本高的問題。另外，在以前的熱噴涂或者電鍍方法中，涂層的粘附力都較差，在開動時會發(fā)生剝離，除了發(fā)動機發(fā)生故障之外，還存在不能合理地保持徑向間隙和密封間隙的問題。此外，在利用焊接進行涂覆的情況下，由于只有硬度比陶瓷低很多的金屬可以進行涂覆，因此，存在研磨性能(切削摩擦對象的性能)較差的問題。另外，根據(jù)操作者的技能，品質(zhì)容易產(chǎn)生很大不同，熱傳導差、延伸率低的材料很容易產(chǎn)生焊接裂縫。此外，為了在焊接后加工成所需尺寸，需要磨削這樣的后處理，因此，比較麻煩。
另外，根據(jù)第3以及第4項發(fā)明，在涂覆方法中，在消耗電極的第1放電條件下，在上述回轉(zhuǎn)體和上述電極之間進行放電，使電極形狀成為效仿涂膜形成部位的形狀，然后，在第2放電條件下，在該電極和上述回轉(zhuǎn)體之間形成涂膜，即使沒有將電極加工成預制品形狀，也可以在涂覆對象的部位上進行合適地涂覆，優(yōu)選將消耗電極的第1放電條件設定如下將電極作為陰極，脈沖寬度為1μs以下，電流強度為10A以下，優(yōu)選將形成涂膜的第2放電條件設定如下將電極作為陰極，脈沖寬度為2-10μs，電流強度為5-20A。
另外，在以前的研磨涂覆中，由于在轉(zhuǎn)動葉片的頂端的整個表面上進行涂覆，因此，涂覆的范圍廣，存在產(chǎn)品的成品率較差的問題。
此外，以前由于通過電鍍或熱噴涂而實施涂覆，因此，在迷宮式密封件的生產(chǎn)(制造)中，進行涂覆之前需要噴砂操作、掩蔽帶的粘貼操作等涂覆預處理，涂覆之后需要進行掩蔽帶的除去操作等涂覆后處理。因此，迷宮式密封件的生產(chǎn)(制造)所需的作業(yè)時間變長，不容易提高迷宮式密封件的生產(chǎn)率。
另外，根據(jù)同樣的理由，不能使研磨涂層牢固地結(jié)合在密封翅片的頂端邊沿。因此，研磨涂層容易從密封翅片的頂端邊沿剝落，存在迷宮式密封件的質(zhì)量不穩(wěn)定問題。
發(fā)明概要本發(fā)明是為了解決上述各種問題而創(chuàng)造的。即，本發(fā)明的第1個目的是提供無需預處理和后處理，粘附力良好，在精密且研磨性能良好的旋轉(zhuǎn)中，涂覆有相對于接觸對象的材料硬度更高的材料(以下，在本說明書中，為了方便起見，稱作硬材料)的回轉(zhuǎn)體及其涂覆方法。
另外，在涂覆研磨層的部件方面，還提供在HCF(High Cycle Fatigue)或者LCF(Low Cycle Fatigue)的試驗中具有長壽命的涂覆方法。
另外，本發(fā)明的第2個目的是提供通過對硬材料的涂覆范圍進行最優(yōu)化，從而可以提高成品率的回轉(zhuǎn)體及其涂覆方法。
此外，本發(fā)明的第3個目的是提供能夠縮短迷宮式密封件的生產(chǎn)所需的作業(yè)時間，從而提高迷宮式部件的生產(chǎn)率的回轉(zhuǎn)體及其涂覆方法。
為了達到第1個目的，根據(jù)第1項發(fā)明，提供回轉(zhuǎn)體的涂覆方法，該涂覆方法的特征在于在形成指定形狀的回轉(zhuǎn)體與含有硬材料或利用放電而成為硬材料的材料的壓塊電極或者固態(tài)硅放電電極之間，在絕緣液體或絕緣氣體中，通過產(chǎn)生脈沖式放電，在每次脈沖放電時，使電極材料或者通過電極材料改變而產(chǎn)生的硬質(zhì)材料轉(zhuǎn)移至回轉(zhuǎn)體一側(cè)，從而形成硬的凹凸部，通過重復進行脈沖放電，在回轉(zhuǎn)體上形成由該凹凸部構(gòu)成的硬涂膜。
另外，根據(jù)第2項發(fā)明，在回轉(zhuǎn)體的涂覆方法中，在部分回轉(zhuǎn)體上形成具有切削與上述回轉(zhuǎn)體相互摩擦的對象部件的研磨性能的涂膜。
根據(jù)第1以及第2項發(fā)明，即通過使用放電涂覆的方法，可以不需要掩蔽和噴砂處理等預處理和磨削等后處理，而形成粘附力優(yōu)良的涂膜或涂層，此外，由于可以涂覆含有cBN(立方晶氮化硼)等非常堅硬的硬材料的涂膜，因此，可以形成硬涂膜以及研磨性能優(yōu)良的涂膜。
通過在形成表面粗糙的涂覆條件下進行處理，使研磨性得到提高。
另外，根據(jù)第3項發(fā)明，在回轉(zhuǎn)體的涂覆方法中，在上述消耗放電電極的第1放電條件下，在上述回轉(zhuǎn)體和上述放電電極之間進行放電，使電極形狀成為效仿涂膜形成部位的形狀，然后，在第2放電條件下，在該放電電極和上述回轉(zhuǎn)體之間形成涂膜，即使沒有將電極加工成預制品形狀，也可以在涂覆對象的部位上進行適當?shù)赝扛病?br> 另外，根據(jù)第4項發(fā)明，優(yōu)選將消耗放電電極的第1放電條件設定如下將電極作為陰極，脈沖寬度為1μs以下，電流強度為10A以下，優(yōu)選將形成涂膜的第2放電條件設定如下將電極作為陰極，脈沖寬度為2-10μs，電流強度為5-20A。
另外，優(yōu)選在回轉(zhuǎn)體的頂端形成上述涂膜，此外，上述硬材料為如第8項發(fā)明那樣，優(yōu)選使用含有cBN、TiC、TiN、TiAlN、TiB2、WC、Cr3C2、SiC、ZrC、VC、B4C、Si3N4、ZrO2、Al2O3中的任何一種或者它們的混合物的壓塊放電電極而形成涂膜。
另外，通過放電而成為硬材料的材料優(yōu)選為Ti、Cr、W、V、Zr、Si、Mo、Nb中的任何一種或者它們的混合物，通過在油中的放電使這些材料成為碳化物，從而形成硬質(zhì)涂膜。
通過這種方法，即，通過使用放電涂覆方法，可以簡單地在回轉(zhuǎn)體的頂端涂覆硬質(zhì)材料。另外，從抗氧化性的觀點來看，優(yōu)選在低溫下使用的回轉(zhuǎn)體上形成含有TiC、WC或cBN的涂膜，在高溫下使用的回轉(zhuǎn)體上形成含有cBN或者Cr3C2的涂膜，在更高溫下使用的回轉(zhuǎn)體上形成含有ZrO2、Al2O3的涂膜。
根據(jù)第5、6、7以及9項發(fā)明，提供使涂覆面的疲勞強度提高的方法。
如果在表面上制造比基底材料更難延展的涂膜，由于薄的涂膜承擔拉伸負荷，因此，表面涂膜容易破裂。在利用放電進行表面處理的涂覆中，由于硬質(zhì)層牢固地焊接于基底材料，因此，涂膜的破裂會發(fā)展至基底材料的破裂。為了避免上述問題，需要形成具有延展性的涂膜，或者在基底材料和涂膜之間制作防止破裂發(fā)展的涂層，或者形成拉伸能力強的涂層。所述是提供該方法的發(fā)明。
在第5項發(fā)明中，通過控制涂膜上涂覆了硬質(zhì)材料的表面中的涂覆面積的比例，即覆蓋度，并通過分散、保留沒有涂覆硬質(zhì)材料的部位，即具有延展性的部位來保持延展性。
在第6項發(fā)明中，通過使放電電極含有難以形成碳化物的金屬，使具有延展性金屬的地方分散于硬質(zhì)材料的間隙中，從而保持延展性。
在第7項發(fā)明中，在底層上形成以金屬為主要成份的多孔涂膜，然后，在多孔涂膜上形成含有硬質(zhì)材料的涂膜，通過這樣防止涂層的破裂發(fā)展至基底材料。
在第9項發(fā)明中，在涂層表面上進行噴丸強化，保留壓縮殘余應力，即使基底材料拉伸，也可以減小拉伸應力。
第5-7以及9項發(fā)明并不限于涂覆硬質(zhì)材料，對在耐磨涂層等表面上形成涂膜的放電表面處理也是有效的。
另外，根據(jù)第8項發(fā)明，通過提供在硬質(zhì)材料的涂層中所使用的非常堅硬的陶瓷，可以提供有用的硬質(zhì)材料涂層。
另外，根據(jù)第10項發(fā)明，提供一種回轉(zhuǎn)體，其特征在于在回轉(zhuǎn)體與含有硬材料或利用放電而成為硬材料的材料的壓塊放電電極之間，在絕緣液體或絕緣氣體中，產(chǎn)生脈沖式放電，利用該放電能量，使上述放電電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)在該回轉(zhuǎn)體的一部分上形成含有硬質(zhì)材料的研磨性涂膜。上述回轉(zhuǎn)體的制造方法的特征在于不需要掩蔽和噴砂處理等預處理和研磨等后處理，并可以形成粘附力良好的涂膜或涂層。進一步優(yōu)選在回轉(zhuǎn)體的頂端部位形成上述涂膜。
通過在絕緣液體或絕緣氣體中，使回轉(zhuǎn)體和放電電極之間發(fā)生放電，在回轉(zhuǎn)體的一部分上形成含有硬質(zhì)材料的研磨性涂膜，可以得到研磨性優(yōu)異的回轉(zhuǎn)體。
根據(jù)第11-14項發(fā)明，通過形成具有延展性的涂膜、形成防止基底材料和涂膜之間破裂發(fā)展的層、形成抗拉伸強度較強的涂層，提供疲勞強度高的回轉(zhuǎn)體。
另外，根據(jù)第15項發(fā)明，通過提供在硬質(zhì)材料涂層中使用的非常堅硬的陶瓷，可以提供研磨性能優(yōu)異的回轉(zhuǎn)體。
為了達到第2個目的，根據(jù)第16項發(fā)明，提供只在具有與回轉(zhuǎn)體對抗部件的接觸可能性的回轉(zhuǎn)體的鄰近部位上涂覆硬材料的回轉(zhuǎn)體。從而可以獲得操作的麻煩少、電極用量低、產(chǎn)品產(chǎn)率良好、且廉價的回轉(zhuǎn)體。
在第17項發(fā)明中，通過局部地縮小進行涂覆的范圍，可以提供更廉價的回轉(zhuǎn)體。
第18項發(fā)明提供利用第10-17項發(fā)明的提高研磨性能的方法得到的經(jīng)過涂覆的回轉(zhuǎn)體。在使表面粗糙的狀態(tài)下，進行涂覆，從而提高研磨性。
第19項發(fā)明是第16項發(fā)明的具體例子，提供一種在頂端部位上進行涂覆硬材料的轉(zhuǎn)動葉片，其特征在于只在轉(zhuǎn)動葉片旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位以及該拐角附近的部位上涂覆硬質(zhì)材料。
通過對硬質(zhì)材料的涂覆范圍進行最優(yōu)化，可以提高成品率，另外，可以縮短作業(yè)時間以及節(jié)約涂覆材料。
第20項發(fā)明是第17項發(fā)明的具體例子，該項發(fā)明提供一種回轉(zhuǎn)體，其特征在于在部分的轉(zhuǎn)動葉片上形成涂膜，而不是在轉(zhuǎn)子或ブリスク上全面形成涂膜。通過將經(jīng)過涂覆的葉片的數(shù)量控制在最少的程度，可以進一步縮短作業(yè)時間以及節(jié)約涂覆材料。
為了達到第3個目的，第21項發(fā)明的特征在于上述回轉(zhuǎn)體是在靜止部件和回轉(zhuǎn)部件之間抑制氣體或者液體泄漏的迷宮式密封件結(jié)構(gòu)的構(gòu)件之一的、旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件，具有環(huán)狀的密封部件主體和在上述密封部件主體圓周面上一體形成的環(huán)狀密封翅片，并且，在上述密封翅片的頂端緣上具有硬質(zhì)材料的涂層，使用具有可消耗性的涂覆用電極，在具有絕緣性的液體中或者氣體中，在上述涂覆用電極和上述密封翅片的頂端之間，發(fā)生脈沖式放電，并利用該放電能量在上述密封翅片的頂端緣形成硬質(zhì)材料的涂膜，該硬質(zhì)材料的涂膜為含有由上述涂覆用電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)構(gòu)成的硬質(zhì)材料的涂膜。
在這里，所謂“具有可消耗性的涂覆用電極”，一般是指對粉末狀金屬(包括金屬化合物)、粉末狀金屬和粉末狀陶瓷的混合材料或者具有導電性的粉末狀陶瓷進行壓縮成型而形成的壓塊電極(包括加熱處理的壓塊電極)，還包括由固體硅構(gòu)成的硅電極。而且，對具有導電性的陶瓷進行適當?shù)乇砻嫣幚怼?br> 根據(jù)第21項發(fā)明，不利用電鍍或者熱噴涂，而通過在上述涂覆用電極和上述密封翅片的頂端之間產(chǎn)生的放電能量在上述密封翅片的頂端上形成含有由上述涂覆用電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)構(gòu)成的硬質(zhì)材料的涂膜，因此，在上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件的生產(chǎn)中，不需要掩蔽帶的粘貼操作等涂覆預處理、掩蔽帶的除去操作等涂覆后處理。
另外，由于利用放電能量進行涂覆的上述硬質(zhì)材料涂層和上述密封翅片的母體之間的邊界部分具有梯度合金特性，可以使上述硬質(zhì)材料涂層牢固地結(jié)合在上述密封翅片的頂端上。
另外，在第21項發(fā)明中，如上述第22項發(fā)明中所述，上述硬質(zhì)材料的涂層優(yōu)選為在上述密封翅片的頂端上圓周方向的多個被處理部位局部形成的多個局部的涂膜。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于上述硬質(zhì)材料的涂層由多個局部涂層構(gòu)成，換句話說，由于不是上述密封翅片的末端邊緣的整個圓周上而是在上述密封翅片的末端邊緣圓周方向的多個被處理部位上，局部地形成含有由上述涂覆用電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)構(gòu)成的硬質(zhì)材料的涂膜，因此，可以根據(jù)上述密封翅片頂端邊緣上的被處理部位的尺寸、形狀，縮小上述涂覆用電極，而且將其形成簡單的形狀，同時，還可以降低用于上述涂覆用電極的電極材料的數(shù)量。
而且，如上所述，由于可以使上述硬質(zhì)材料的涂層(上述硬質(zhì)材料的局部涂層)牢固地結(jié)合在上述密封翅片的末端邊緣，因此，即使沒有在上述密封翅片的末端邊緣的整個圓周上涂覆上述硬質(zhì)材料的涂層，也可以通過多個上述硬質(zhì)材料的局部涂層具有上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件總體所具有的足夠的研磨性。
此外，在第10項發(fā)明中，如第15項發(fā)明所述，上述涂覆用電極優(yōu)選為由粉末狀的金屬、粉末狀金屬和粉末狀陶瓷的混合材料或者具有導電性的粉末狀陶瓷經(jīng)壓縮成型而形成的壓塊電極、或者固體硅電極，而且，上述陶瓷為cBN、Cr3C2、TiC、TiN、TiAlN、TiB2、ZrO2-Y、ZrC、VC、B4C、WC、SiC、Si3N4、Al2O3中的任意一種或者它們的混合物。
這里，“粉末狀的金屬”還包括粉末狀的金屬化合物。而且，對不具有導電性的陶瓷進行合適的表面處理而確保導電性。
另外，第23項發(fā)明涉及抑制靜止部件和旋轉(zhuǎn)部件之間的氣體或液體的泄漏的迷宮式密封件結(jié)構(gòu)，其特征在于其具有一體地設置于上述靜止部件上的靜止側(cè)密封部件；設置于上述靜止側(cè)密封部件的內(nèi)側(cè)、可以與上述旋轉(zhuǎn)部件一起旋轉(zhuǎn)且一體地設置于上述旋轉(zhuǎn)部件上的環(huán)狀密封部件主體；一體地形成于上述密封部件主體的外周面的環(huán)狀密封翅片，上述密封翅片具有涂覆于頂端緣的硬質(zhì)性涂層，該硬質(zhì)性涂層是利用具有消耗性的涂覆用電極，在該涂覆用電極和上述密封翅片的頂端緣之間進行脈沖放電，利用該放電能量在上述密封翅片的頂端緣上進行涂覆的，含有由上述涂覆用電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)構(gòu)成的硬質(zhì)材料的涂膜。
這里，“靜止側(cè)密封部件”包括蜂窩狀的靜止側(cè)蜂窩密封件部件或者在內(nèi)側(cè)涂覆有可研磨涂層的靜止側(cè)可研磨密封部件。
另外，所謂“具有消耗性的涂覆用電極”通常是指由粉末狀的金屬(包括金屬化合物)、粉末狀的金屬和粉末狀的陶瓷的混合材料或者具有導電性的粉末狀陶瓷經(jīng)壓縮成型而形成的壓塊電極(包括經(jīng)加熱處理的壓塊電極)，還包括由固體硅構(gòu)成的硅電極。而且，對于沒有導電性的陶瓷，在沒有導電性的陶瓷粉末的表面上進行涂覆導電性涂膜的處理，并適當?shù)剡M行表面處理，從而確保導電性。
根據(jù)第23項發(fā)明，由于上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件具有上述硬質(zhì)材料涂層，因此，當使上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件與上述旋轉(zhuǎn)部件一起旋轉(zhuǎn)時，即使上述靜止側(cè)密封部件發(fā)生變形，并且上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件與上述靜止側(cè)密封部件相接觸，利用位于上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件上的上述硬質(zhì)材料涂層，只切削上述靜止側(cè)密封部件，而幾乎不發(fā)生上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件被切削的情況。
從而，可以在上述旋轉(zhuǎn)部件發(fā)生旋轉(zhuǎn)的過程中，抑制上述靜止側(cè)密封和上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件之間的空隙的增大，從而可以將上述迷宮式密封件結(jié)構(gòu)的密封效果維持在適當?shù)臓顟B(tài)。另外，在上述旋轉(zhuǎn)部件進行初始旋轉(zhuǎn)時，事先將上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件和上述靜止側(cè)密封部件設置成稍微接觸，從而可在上述初始旋轉(zhuǎn)以后，盡可能地減小上述靜止側(cè)密封部件和上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件之間的空隙，更進一步地提高上述迷宮式密封件結(jié)構(gòu)的密封效果。
另外，由于不利用電鍍或者熱噴涂，而通過在上述涂覆用電極和上述密封翅片的頂端緣之間產(chǎn)生的放電能量在上述密封翅片的頂端緣上形成含硬質(zhì)材料的涂層，上述含硬質(zhì)材料的涂層為含有由上述涂覆用電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)構(gòu)成的硬質(zhì)材料的涂膜，所以，在上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件的生產(chǎn)中，不需要噴砂處理、掩蔽帶的粘貼操作等涂覆預處理、掩蔽帶的除去操作等涂覆后處理。
此外，由于利用放電能量進行涂覆的上述硬質(zhì)材料涂層和上述密封翅片的基底材料之間的交界部分具有梯度合金特性，因此，可以使上述硬質(zhì)材料涂層牢固地結(jié)合在上述密封翅片的頂端緣。
另外，在第24項發(fā)明中，上述硬質(zhì)材料的涂層優(yōu)選為在上述密封翅片的頂端緣上的圓周方向的多個被處理部位上局部形成的多個局部的涂膜。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于使上述硬質(zhì)材料的涂層由多個硬質(zhì)材料的局部涂層構(gòu)成，換句話說，由于在上述密封翅片的頂端邊緣上的圓周方向的多個被處理部位上，而不是上述密封翅片的頂端邊緣的整個圓周上，局部地形成含有由上述涂覆用電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)構(gòu)成的硬質(zhì)材料的涂膜，因此，可以根據(jù)上述密封翅片頂端緣上的被處理部位的尺寸、形狀，縮小上述涂覆用電極，而且將其形成簡單的形狀，同時，還可以降低用于上述涂覆用電極的電極材料的數(shù)量。
而且，如上所述，由于可以使上述硬質(zhì)材料的涂層(上述硬質(zhì)材料的局部涂層)牢固地結(jié)合在上述密封翅片的頂端邊緣，因此，即使沒有在上述密封翅片的頂端邊緣的整個圓周涂覆上述硬質(zhì)材料的涂層，也可以通過多個上述硬質(zhì)材料的局部涂層具有作為上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件總體的足夠的研磨性。
第25項發(fā)明提供回轉(zhuǎn)體的制造方法，該制造方法具有第1工序利用機械加工，將鍛造材料或者鑄造材料成型為指定形狀；第2工序進行脈沖放電，通過重復脈沖放電在回轉(zhuǎn)體上形成由凹凸部構(gòu)成的硬質(zhì)涂膜。
第26項發(fā)明提供上述回轉(zhuǎn)體的制造方法，其特征在于在第2工序中，在部分回轉(zhuǎn)體上形成切削與上述回轉(zhuǎn)體相互摩擦的對象部件的研磨性涂膜。
第27項發(fā)明提供回轉(zhuǎn)體的制造方法，其中，在上述第2工序中，將放電電極的形狀成型為效仿回轉(zhuǎn)體的指定部位的形狀。
第28項發(fā)明提供將放電電極的形狀成型為效仿回轉(zhuǎn)體的指定部位的形狀的放電條件和不會帶來麻煩的電極形成方法。
第29項發(fā)明提供回轉(zhuǎn)體的制造方法，其中，在上述第2工序中進行涂膜時，通過控制放電條件，使作為形成含有硬質(zhì)材料的涂膜的面積比例的覆蓋度為95％以下，從而使回轉(zhuǎn)體難于疲勞破壞。
第30項發(fā)明通過表示對上述覆蓋度比例的控制，提供難于疲勞破壞的回轉(zhuǎn)體的制造方法。
第31項發(fā)明提供回轉(zhuǎn)體的制造方法，其中，在上述第2工序中，使用含有5體積％以上的易于形成碳化物的金屬的壓塊電極進行放電，從而使回轉(zhuǎn)體難于疲勞破壞。
第32項發(fā)明提供回轉(zhuǎn)體的制造方法，其中，在上述第2工序中，在回轉(zhuǎn)體的指定部位形成多孔膜后，在該多孔涂膜上形成含有硬質(zhì)材料的涂膜，從而使回轉(zhuǎn)體難于疲勞破壞。
第33項發(fā)明通過提供在上述第2工序中使用的壓塊放電電極材料，提供研磨性能優(yōu)異的回轉(zhuǎn)體的制造方法。
第34項發(fā)明提供回轉(zhuǎn)體的制造方法，其中，對在上述第2工序中形成的涂膜進行噴丸強化處理的第3工序，使回轉(zhuǎn)體難于疲勞破壞。
通過參照附圖的以下說明，本發(fā)明的其它目的以及有利特征將變得更清楚明了。
附圖簡要說明圖1A為普通渦輪機的轉(zhuǎn)動葉片的透視圖，圖1B為帶有頂端屏蔽板的渦輪機轉(zhuǎn)動葉片的透視圖，圖1C為壓縮機轉(zhuǎn)動葉片的示意圖。
圖2為表示以前的迷宮式密封件頂端的一個例子的透視圖。
圖3為本發(fā)明的回轉(zhuǎn)體和涂覆方法的實施例1的示意圖。
圖4為本發(fā)明的回轉(zhuǎn)體和涂覆方法的實施例2的示意圖。
圖5為本發(fā)明的回轉(zhuǎn)體和涂覆方法的實施例3的示意圖。
圖6為本發(fā)明的回轉(zhuǎn)體和涂覆方法的實施例4的示意圖。
圖7A，B，C為作為本發(fā)明的回轉(zhuǎn)體實施例5的普通渦輪機轉(zhuǎn)動葉片的透視圖。
圖8A，B，C為作為本發(fā)明的回轉(zhuǎn)體的實施例6的帶有頂端屏蔽板的渦輪機轉(zhuǎn)動葉片的透視圖。
圖9A，B為作為本發(fā)明的回轉(zhuǎn)體的實施例7的壓縮機葉片的透視圖。
圖10為本發(fā)明的涂覆方法的實施例5的示意圖。
圖11為作為本發(fā)明的回轉(zhuǎn)體的實施例8的迷宮式密封件結(jié)構(gòu)的模式圖。
圖12為圖11迷宮式密封件的正面視圖。
圖13為表示本發(fā)明的涂覆方法的實施例8的放電加工機械的模式圖。
優(yōu)選實施例的說明下面，參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行說明。而且，在各附圖中，在共同的部分標有相同的符號，并省略重復的說明。
圖3是表示本發(fā)明的回轉(zhuǎn)體和涂覆方法的實施例1的示意圖。該圖表示在燃氣機輪和壓縮機中使用的轉(zhuǎn)動葉片1的頂端部位涂布硬質(zhì)材料涂層的情況。
在本發(fā)明的方法中，如圖3所示，將轉(zhuǎn)動葉片1和含有cBN(立方晶氮化硼)的放電電極11浸入注滿絕緣液體(油)的加工槽12內(nèi)。在轉(zhuǎn)動葉片1的頂端部位和放電電極11之間，利用放電電源14發(fā)生脈沖放電，從而使放電電極11熔融，使放電電極的一部分焊接于轉(zhuǎn)動葉片1的頂端部位，從而形成含有cBN的涂膜10。這里，只示出轉(zhuǎn)動葉片1以及放電電極11的截面，利用葉片夾具固定葉片1，利用沒有圖示的電極夾具固定放電電極11。而且，在圖3中，舉例說明了轉(zhuǎn)動葉片，對于作為相同回轉(zhuǎn)體的迷宮式密封件，也可以利用同樣的方法涂覆硬質(zhì)材料涂層。在該圖中，13為葉片夾具。
根據(jù)上述說明，使用cBN作為硬質(zhì)材料，cBN在常溫下的維式硬度為4500HV，即使在900℃以上的高溫下，也能夠保持接近2000HV的維式硬度，因此，是最適合曝露于高溫的渦輪機轉(zhuǎn)動葉片的涂覆材料。除此之外，從抗氧化性的觀點來看，可以將TiC和WC用于低溫下使用的回轉(zhuǎn)體，將Cr3C2用于高溫下使用的回轉(zhuǎn)體，將ZrO2或Al2O3的硬質(zhì)材料用于更高溫下使用的回轉(zhuǎn)體。因此，根據(jù)本發(fā)明，可以在低溫下使用的回轉(zhuǎn)體上形成含有TiC、WC或cBN的涂層，在高溫下使用的回轉(zhuǎn)體上形成含有cBN或Cr3C2的涂膜，在更高溫下使用的回轉(zhuǎn)體上形成含有ZrO2或Al2O3的涂膜。當然還可以通過混合這些硬質(zhì)材料而形成更合適的涂膜。而且，例如，在特開平7-197275號“利用液體中的放電的金屬材料表面處理方法”中公開了有關放電涂覆技術，因此，省略對該技術的說明。
在這里，由于cBN等陶瓷是絕緣物質(zhì)類的硬質(zhì)材料，因此，不能利用cBN等陶瓷單質(zhì)來形成放電電極，但可以通過使用導電性的粘結(jié)劑而形成含有cBN等陶瓷的放電電極。例如，可以使用Co類合金粉末作為粘結(jié)劑，可以將cBN等陶瓷粉末和Co類合金粉末進行混合，并將混合物裝入壓力模具并進行壓縮成型。而且，優(yōu)選使粘結(jié)劑的量約為50體積％以上。
此外，也可以用作為粘結(jié)劑的Ti(鈦)、Ni(鎳)或者Co(鈷)包覆cBN等陶瓷粉末，并利用所得材料形成放電電極。由于需要使全部粉末的粒徑小于放電表面處理時電極和被加工件的間隙距離，因此，粒徑優(yōu)選為10μm以下?？梢岳谜舭l(fā)等，方便地將Ti、Ni或者Co金屬薄涂膜涂覆于cBN等的陶瓷粉末。
象這樣，通過混入導電性粘結(jié)劑而形成含有cBN等陶瓷的放電電極，可以在粘結(jié)劑部分產(chǎn)生放電，并利用該熱能使放電電極成為熔融狀態(tài)，從而可以使放電電極的一部分焊接于轉(zhuǎn)動葉片等回轉(zhuǎn)體的頂端部分。于是，可以將含有cBN等陶瓷的硬質(zhì)涂膜涂布于回轉(zhuǎn)體的頂端部分。
在這里，利用本發(fā)明的涂覆方法對2片實驗片(上部實驗片和下部實驗片)進行涂覆處理，并進行在高溫下使所得材料相互摩擦的摩擦損耗實驗，表示1為上述實驗的結(jié)果。
表1
上部實驗片是涂覆作為鎳合金的RENE77，下部實驗片是涂覆作為本發(fā)明的涂膜的cBN。實驗條件如下，溫度800℃，承載7MPa，頻率107次，振幅0.35mm。從表1中可以看出，對Ni合金測定到600μm以上的磨損量，對于cBN涂膜沒有檢測到磨損。從上述結(jié)果可以看出，cBN的研磨性很優(yōu)異。而且，該Ni合金是由如下的組分比構(gòu)成的合金，Ni57％、Cr15％、Co15％、Mo5％、Ti3.5％、Al4.4％、C0.1％。
象這樣，通過使用所謂的放電涂覆方法而在轉(zhuǎn)動葉片那樣的回轉(zhuǎn)體的頂端涂布含有cBN等陶瓷的涂膜，可以容易地涂布帶有cBN等陶瓷的特征的硬質(zhì)涂膜，而且，可以涂布與焊接和熱噴涂等以前的方法相比，粘附力、品質(zhì)更佳的涂膜。另外，根據(jù)本發(fā)明，由于可以形成數(shù)微米～30μm的薄涂膜(或者層)，因此，難以發(fā)生涂膜破裂，精度可以控制在幾μm單位，因此，提供了適用于轉(zhuǎn)動葉片和迷宮式密封件那樣的精密部件的涂覆方法。
對于切削摩擦對象部件的研磨性能來說，表面粗糙時性能較好。在實施例中，表面粗糙度大于1.2μmRa。
如上所述，由于本發(fā)明使用所謂的放電涂覆方法，因此，不需要掩蔽和噴砂處理等預處理，從而可以容易、且廉價地形成粘附力優(yōu)異的涂膜，此外，由于可以涂布含有cBN(立方氮化硼)等陶瓷的涂膜，因此，能夠在要求回轉(zhuǎn)體研磨性的地方涂布研磨性優(yōu)異的硬質(zhì)涂膜。
由于硬質(zhì)材料的涂層較硬，延展性小，因此，延展性大的部件內(nèi)部的基質(zhì)材料不承受作用于部件上的拉伸應力，從而，只有表面涂層承受上述的拉伸應力。因此，具有表面上發(fā)生破裂，并發(fā)展至基質(zhì)材料的危險。為了避免上述危險，采用使涂層具有延展性的方法。
表2表示在圓棒的外徑處涂布硬質(zhì)材料涂層，反復向軸方向施加拉伸負荷，通過HCF(High Cycle Fatigue)實驗顯示至損壞，頻率數(shù)。
當沒有硬質(zhì)材料的涂層時，直到100萬次才發(fā)生斷裂，對于在硬質(zhì)材料的涂層面中的涂部面積的比例，即涂層的覆蓋度(參照圖4)為98％的涂層，經(jīng)過2萬次發(fā)生斷裂，如果控制覆蓋度約為95％，直到100此才發(fā)生斷裂。
表2
HFC的實驗條件500℃，650MPa，30Hz的沿5mm直徑的圓棒軸向的拉伸力。
通過使涂層的覆蓋度降低至95％以下，以稍微犧牲涂覆面總體的研磨性能為代價而增加延展性。如果提高覆蓋度，延展性降低，疲勞強度下降，但是，覆蓋度為95％時，疲勞強度降低的不多，研磨性能的下降程度也很小。作為降低覆蓋度的技術之一，通過縮短放電時間，保留沒有放電的范圍，可以較低地控制覆蓋度。通常在約5分鐘/cm2的時間內(nèi)進行處理，但是可將該時間控制在約3.8分鐘/cm2。
計算式如下獲得95％覆蓋度的時間＝獲得98％覆蓋度的時間*LOG(1-0.95)/LOG(1-0.98)。98％覆蓋度可以看作是100％覆蓋度。在由獲得50％覆蓋度的時間而進行計算時，可以將LOG(1-0.98)中的0.98換成0.5。
另一種方法如下如圖5所示，通過使用添加難以碳化的金屬粉末的電極，從而使涂層具有金屬延展性的某種性質(zhì)。如果在電極中含有5％以上的難以碳化的金屬，具有延展性的地方保留5％以上，可以期望與表2相同的效果。該方法也以少量犧牲涂層表面總體的研磨性為代價。作為難以碳化的金屬，有鈷、鎳、鐵。關于覆蓋度，對一片葉片進行說明，由于具有多片葉片，因此，即使覆蓋度低，即使存在某片葉片的某些地方?jīng)]有研磨性，其它葉片也能夠包括該性能。即使是環(huán)狀密封件，在圓周的任何部位具有研磨性能都可以，是相同的。
另外，作為又一方法，如圖6所示，為了不使涂層的破裂發(fā)展至基底材料，在硬質(zhì)材料的涂層的襯底內(nèi)制作多孔層。也可以利用放電涂覆形成該襯底。多孔層可以通過利用對Stellite等金屬的粉末進行壓縮而成型的電極、堆積成厚度為0.05mm以上而形成。然后，在多孔層上涂覆硬質(zhì)材料。
另外，對硬質(zhì)材料的涂覆表面進行噴丸強化，通過拉伸表面而具有壓縮應力，通過這樣，即使基底材料發(fā)生延展，也要使拉伸應力降低。利用這樣的效果，可以提高疲勞強度。
圖7A-C、圖8A-C以及圖9A、B為表示本發(fā)明回轉(zhuǎn)體的實施例5-7的透視圖。而且，在這些圖中，省略了圓盤側(cè)的平臺和鳩尾槽。
對于圖7的渦輪機轉(zhuǎn)動葉片1，在轉(zhuǎn)動葉片的旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位，即轉(zhuǎn)動葉片頂端部位的背面的葉片表面和頂端面上涂布硬質(zhì)材料的涂層20。
對于圖7B的渦輪機的薄轉(zhuǎn)動葉片，在轉(zhuǎn)動葉片頂端部位的背面的葉片面和整個頂端面上進行涂布，還可以不在相反的表面上進行涂布。
對于圖7C的渦輪機轉(zhuǎn)動葉片，在轉(zhuǎn)動葉片頂端部位的背面的葉片面上進行涂布，整個頂端面不進行涂布。
對于圖8A的帶有頂端屏蔽板的渦輪機轉(zhuǎn)動葉片2，在翅片4的頂端部位的旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位上或者在旋轉(zhuǎn)方向的表面，即頂端部位的背面上涂布硬質(zhì)材料涂層21。而且，頂端屏蔽板3是為了防止燃氣輪機高速旋轉(zhuǎn)時轉(zhuǎn)動葉片2的共振，以及防止高溫蒸汽泄漏至轉(zhuǎn)動葉片2的外側(cè)而設置的部件。
對于圖8B的小葉片，在整個頂端面和旋轉(zhuǎn)方向的表面(即頂端部位的背面)上進行涂布，還可以不在相反表面上進行涂布。
對于圖8C的渦輪機轉(zhuǎn)動葉片，在旋轉(zhuǎn)方向的表面(即頂端部位的背面)上進行涂布，在整個頂端面上不進行涂布。
對于圖9A的壓縮機轉(zhuǎn)動葉片1，在轉(zhuǎn)動葉片的旋轉(zhuǎn)方向的拐角，即轉(zhuǎn)動葉片頂端的中腹的葉片面和頂端面上涂布硬質(zhì)材料涂層22。
對于圖9B的壓縮機轉(zhuǎn)動葉片，在旋轉(zhuǎn)方向的表面，即轉(zhuǎn)動葉片頂端部位的中腹的葉片面上進行涂布，在整個頂端面上不進行涂布。
對于圖9A和圖9B的葉片，進行模擬真機的研磨性實驗，未顯示出性能差。
如上所述，硬質(zhì)材料涂層是為了利用與殼蓋和屏蔽板上涂布的可研磨涂層之間的硬度差，燃氣輪機啟動時在轉(zhuǎn)動葉片1，2的頂端部位切削可研磨涂層，而使組件間隙保持最小值而設置的。那么，這種現(xiàn)象通過轉(zhuǎn)動葉片1，2的旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位接觸而開始，通過殼蓋或屏蔽板被切削而結(jié)束。也就是說，上述拐角部位接觸后，相同葉片的其它部位幾乎不與殼蓋或屏蔽板接觸。鑒于上述事實，不需要象以前那樣在整個葉片頂端部位上涂布硬質(zhì)材料的涂層，如本發(fā)明所示，只在與對象接觸的區(qū)域上，即在旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位上，或者只在旋轉(zhuǎn)方向的表面上涂布硬質(zhì)材料涂層20、21、22就足夠了。通過象這樣對涂布范圍進行最優(yōu)化，可以使涂布范圍變窄、產(chǎn)品的成品率提高、作業(yè)時間縮短和節(jié)約高價的涂覆材料，從而可以降低成本。
圖10是表示本發(fā)明的涂覆方法的實施例5的示意圖，即，表示圖7A-C所示的轉(zhuǎn)動葉片的涂覆方法的示意圖。在本發(fā)明的涂覆方法中，將轉(zhuǎn)動葉片1以及放電電極23浸入充滿絕緣液體(油)的加工槽12內(nèi)，并在轉(zhuǎn)動葉片1的旋轉(zhuǎn)方向的拐角附近設置放電電極23，通過在葉片和電極之間進行放電，只在轉(zhuǎn)動葉片1的旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位涂布硬質(zhì)材料的涂層20。
由于該硬質(zhì)材料涂層20為10-20μm，非常薄(在圖中，為了易于了解而將其夸大)，因此，按照以前的技術形成轉(zhuǎn)動葉片1后，只在與對象接觸的范圍內(nèi)，即，只在旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位上或者只在旋轉(zhuǎn)方向的表面上涂布硬質(zhì)材料涂層20就足夠了。當然，還可以利用機械加工將轉(zhuǎn)動葉片1的拐角部位切削掉硬質(zhì)材料涂層20的厚度，或者可以使用預先考慮該因素的模具而形成轉(zhuǎn)動葉片1。
另外，對于厚度較薄的葉片，在旋轉(zhuǎn)方向的表面和整個頂端面上涂布硬質(zhì)材料的涂層。但是，無需在與旋轉(zhuǎn)相反的表面上進行涂覆。
而且，對于圖10所示的轉(zhuǎn)動葉片1以及放電電極23，只表示了其截面。
在該涂覆方法中，為了能夠只在轉(zhuǎn)動葉片1的旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位進行放電涂覆，優(yōu)選使用具有只覆蓋轉(zhuǎn)動葉片頂端部位的背面的葉片面和頂端面那樣的形狀的放電電極23。例如，該放電電極23的截面大致呈L字形，并具有沿著葉片的背面而彎曲的形狀。
還可以預先將電極加工成產(chǎn)品的形狀，為了使電極與產(chǎn)品形狀相符，還可以在容易消耗電極的放電條件下形成電極。這樣所需的條件如下將電極作為負極，脈沖寬度為1μs以下，電流值10A以下，如果在這樣較小的能量條件下進行放電，可以抑制對產(chǎn)品的損壞，并可以使電極效仿產(chǎn)品的形狀。
在形成涂膜時，將電極作為負極，脈沖寬度為2-10μs，電流值為5-20A，在這樣較大的能量條件下進行放電。
此外，當如圖8A-C所示帶有頂端屏蔽板的渦輪機轉(zhuǎn)動葉片2的情況下，可以使用覆蓋翅片4的旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位的電極，雖然這一點在圖中未示出。
在放電涂覆中，通過向浸漬于絕緣溶液中的轉(zhuǎn)動葉片1和放電電極23外加電壓，而在相對面上進行放電，通過放電使放電電極23的表面熔融，使熔融的單質(zhì)粘附于轉(zhuǎn)動葉片1的表面，并使之合金化。對于放電電極23，使用將涂覆材料固化的材料。
由于可以將涂覆厚度控制在幾μm，因此，放電涂覆法對于如轉(zhuǎn)動葉片1那樣的精密部件來說，是最佳的涂覆方法。另外，由于在不放電的地方不進行涂布，因此，可以局部地，在想進行涂布的地方進行涂布，所以，不需要掩蔽等預處理，熱輸入少，從而不發(fā)生轉(zhuǎn)動葉片的熱變形，因此，也不需要后處理。
如上所述，由于本發(fā)明使硬質(zhì)材料的涂布范圍最優(yōu)化，因此，可以提高產(chǎn)品的成品率，另外，可以縮短作業(yè)時間以及節(jié)約涂覆材料，從而可以試圖降低成本。此外，通過使用所謂的放電涂覆，可以容易地、且廉價地，只在轉(zhuǎn)動葉片的旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位或者只在旋轉(zhuǎn)方向的表面上涂布硬質(zhì)材料涂層。
另外，盡管不在安裝于渦輪轉(zhuǎn)子的全部葉片上涂布硬質(zhì)材料的涂層，而是在部分葉片上涂布硬質(zhì)材料涂層，仍可以獲得效果。對于環(huán)狀密封件，由于圓周上的任何地方只要具有研磨性就可以，故效果一樣。
圖11是作為本發(fā)明的回轉(zhuǎn)體的實施例8的迷宮式密封件結(jié)構(gòu)的模式圖，圖12是圖11的迷宮式密封件的正視圖。另外，圖13為表示本發(fā)明的涂覆方法的實施例8的放電處理機的模式圖。
如圖11以及圖12所示，涉及本發(fā)明實施方式的迷宮式密封件結(jié)構(gòu)31是用于噴氣發(fā)動機等的燃氣輪機的密封結(jié)構(gòu)，是抑制引擎靜止部件33和引擎旋轉(zhuǎn)部件35之間的燃燒氣體泄漏的密封結(jié)構(gòu)。而且，迷宮式密封件結(jié)構(gòu)31是以一體地設置于引擎靜止部件33上的蜂窩狀的靜止側(cè)蜂窩密封件部件37和布置于該靜止側(cè)蜂窩密封件部件37內(nèi)部、且可以與引擎旋轉(zhuǎn)部件35一起旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)迷宮式密封件部件39作為構(gòu)件。另外，還可以使用內(nèi)部涂布有可研磨涂層的靜止側(cè)可研磨密封部件來替代靜止側(cè)蜂窩密封件部件37。
作為本發(fā)明實施方式的主要部分的旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39的具體的結(jié)構(gòu)如下。
即，將作為旋轉(zhuǎn)迷宮式密封件部件39的主體的環(huán)狀密封部件主體41一體地設置于引擎旋轉(zhuǎn)部件35上，在該密封部件主體41的外周面上，一體地形成多個環(huán)狀的密封翅片43。另外，將硬質(zhì)材料涂層45分別涂布于各密封翅片43的頂端緣。此外，使用具有消耗性的涂覆用電極47(參照圖13)，在涂覆用電極47和密封翅片43的頂端緣之間進行脈沖放電，利用該放電能量，在密封翅片43的頂端緣的多個被處理部位上，涂覆用電極47的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)形成含有硬質(zhì)材料的涂膜，如此等間隔地涂布多個(在本發(fā)明實施方式中為4個)硬質(zhì)材料的局部涂層45a，各硬質(zhì)材料的涂層45由上述局部涂層45a構(gòu)成。
這里，在本發(fā)明的實施方式中，所謂“具有消耗性的涂覆用電極”通常是指對粉末狀的金屬(包括金屬化合物)、粉末狀的金屬和粉末狀陶瓷的混合材料或者具有導電性的粉末狀陶瓷進行壓縮成型而形成的壓塊電極(包括加熱處理的壓塊電極)，還包括由固體硅構(gòu)成的硅電極。另外，對于具有導電性的陶瓷，在陶瓷粉末上覆蓋導電性涂膜，進行上述表面處理之后，對其進行壓縮成型，從而可以確保導電性陶瓷的導電性。特別地，“粉末狀金屬”包括，例如，Ti、Co等，“粉狀狀陶瓷”包括，例如，cBN、TiC、TiN、TiAlN、AlN、TiB2、WC、Cr3C2、SiC、ZrC、VC、B4C、Si3N4、ZrO2-Y、Al2O3等。
利用放電能量進行反應，而形成含有硬質(zhì)材料的涂膜的材料有Ti、W、Cr、Zr、Si、V、Mo、Nb。
此外，涂覆電極47呈現(xiàn)出近似于密封翅片43的頂端緣的被處理部位的形狀。
下面，參照圖13，對涂布硬質(zhì)材料涂層45時使用的放電處理機49的具體結(jié)構(gòu)以及涂布硬質(zhì)材料涂層45的涂覆方法進行說明。
即，涉及本發(fā)明實施方式的放電處理機49以底座51為處理機底座，在該底座51上設置工作臺53，該工作臺53利用X軸伺服馬達(省略圖示)的驅(qū)動可以沿X軸方向(在圖13中為左右方向)移動，并且利用Y軸伺服馬達(省略圖示)的驅(qū)動可以沿Y軸方向(在圖13中，朝向紙面的前后方向)移動。
在工作臺53上，設置存儲具有電絕緣性處理油等處理液L的加工槽55，在該加工槽55內(nèi)設置支撐金屬板57。在該支撐金屬板57上設置固定密封部件主體41的保護件59。
在底座51的上方(在圖13中的上方)，通過柱(沒有圖示)設置工作頭61，該工作頭61通過Z軸伺服馬達(沒有圖示)的驅(qū)動可以沿Z軸方向(在圖13中的上下方向)移動。而且，在工作頭61上，設置保持涂覆用電極47的電極保護部件63。
此外，將電極保持部件63以及定位器69與電源65電連接。
因此，合適的被處理部位在加工槽55內(nèi)朝著正上方向，在這樣的狀態(tài)下，利用夾具59，將密封部件主體41固定在密封翅片43的頂端緣的圓周方向上。接著，利用X軸伺服馬達、Y軸伺服馬達的驅(qū)動，使工作臺53沿X軸方向、Y軸方向(至少是任一方向)移動，通過這樣，進行一方密封翅片43的定位，以便對該密封翅片43的頂端緣而言適合的被處理部與涂覆用電極47相對。
于是，一邊通過Z軸伺服馬達的驅(qū)動使涂覆用電極47與工作頭51一體地沿Z軸方向移動，一邊在具有電絕緣性的絕緣液體L中，在涂覆用電極47和一方翅片43的頂端緣上的適當?shù)谋惶幚聿恐g進行脈沖放電。從而，利用放電能量，使涂覆用電極的電極材料局部地擴散和/或焊接于一方的密封翅片43的頂端緣的適當?shù)谋惶幚聿可?，而可以在一方的密封翅?3的頂端緣的適當?shù)谋惶幚聿可暇植康赝坎加操|(zhì)材料的局部涂層45a。
此外，通過利用Y軸伺服馬達而使工作臺53沿Y軸方向的移動，進行另一密封翅片43的定位，以便該另一密封翅片43的頂端緣的適當?shù)谋惶幚聿亢屯扛灿秒姌O47相對。于是，如上所述，利用放電能量，使涂覆用電極47的電極材料局部地擴散和/或焊接于另一密封翅片43的頂端緣的適當?shù)谋惶幚聿?，從而在另一的密封翅?3的頂端的適當?shù)谋惶幚聿可?，局部地涂布硬質(zhì)材料的局部涂層45a。
在多個密封翅片43的頂端緣的適當?shù)谋惶幚聿可?，局部地涂布硬質(zhì)材料的局部涂層45a之后，通過反復進行同樣的操作，對多個密封翅片43的頂端緣的其他被處理部位，分別局部地涂布硬質(zhì)材料的局部涂層45a。
下面，對本發(fā)明實施方式的作用進行說明。
由于旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39具有硬質(zhì)材料涂層45，因此，當使旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39與引擎旋轉(zhuǎn)部件35一起旋轉(zhuǎn)時，即使引擎靜止密封部件39發(fā)生變形，使靜止側(cè)蜂窩部件37與旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39接觸，利用位于上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39上的硬質(zhì)材料涂層45，只切削上述靜止側(cè)蜂窩部件37，而幾乎不發(fā)生上述旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39被切削的情況。
由此，可以在引擎旋轉(zhuǎn)部件35發(fā)生旋轉(zhuǎn)過程中，抑制靜止側(cè)蜂窩密封件部件37和旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39之間的空隙的增大，從而可以將迷宮式密封件結(jié)構(gòu)31的密封效果維持在適當?shù)臓顟B(tài)。另外，在引擎旋轉(zhuǎn)部件35進行初始旋轉(zhuǎn)時，事先將旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式部件39和上述靜止蜂窩密封件部件37設置成稍微接觸，由此，在初始旋轉(zhuǎn)以后，可以盡可能地減小靜止側(cè)蜂窩密封件部件37和旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式部件39之間的空隙，從而可以更進一步地提高迷宮式密封件結(jié)構(gòu)31的密封效果。
另外，不利用電鍍或者熱噴涂，而通過在涂覆用電極47和密封翅片43的頂端緣之間產(chǎn)生的放電能量而在密封翅片43的頂端緣上使涂覆用電極47的電極材料擴散和/功焊接，由于硬質(zhì)材料的涂層45是通過上述過程涂布的，因此，在旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39的生產(chǎn)中，不需要噴砂處理、掩蔽帶的除去操作等涂覆后處理。
此外，由于利用放電能量而涂覆的硬質(zhì)材料涂層45和密封翅片43的基底材料之間的交界部分具有梯度合金特性，因此，可以使硬質(zhì)材料涂層45牢固地結(jié)合在密封翅片43的頂端緣。
另外，由于硬質(zhì)材料的涂層45由多個硬質(zhì)材料的局部涂層45a構(gòu)成，換句話說，由于使在密封翅片43的頂端緣上的圓周方向的多個被處理部位上，而不是密封翅片43的頂端緣的整個圓周上，局部地使涂覆用電極47的電極材料擴散和/或焊接，因此，可以根據(jù)密封翅片43的頂端緣上的被處理部位的尺寸、形狀，縮小涂覆用電極47，而且將其形成簡單的形狀，同時，還可以降低用于涂覆用電極47的電極材料的量。
而且，如上所述，由于可以使硬質(zhì)材料的涂層45(硬質(zhì)材料的局部涂層45a)牢固地結(jié)合在密封翅片43的頂端緣，因此，即使在密封翅片43的頂端緣的整個圓周沒有涂覆硬質(zhì)材料的涂層45，也可以通過多個硬質(zhì)材料的局部涂層45a具有作為旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39總體所具有的足夠的研磨性。
根據(jù)如上所述的本發(fā)明的實施方式，在旋轉(zhuǎn)迷宮式密封件部件39的生產(chǎn)過程中，分別不需要噴砂處理、掩蔽帶的粘貼處理等涂覆預處理、掩蔽帶的除去處理等涂覆后處理，因此，可以縮短生產(chǎn)旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39所需的作業(yè)時間，并可以容易地嘗試提高旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39的生產(chǎn)率。
另外，由于可以使硬質(zhì)材料的涂層45牢固地與密封翅片43的頂端緣結(jié)合，因此，硬質(zhì)材料涂層45難以從密封翅片43的頂端剝離，旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39的品質(zhì)穩(wěn)定。
此外，雖然具有作為整個旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39的足夠的研磨性能，但可以根據(jù)密封翅片43的頂端緣的被處理部位的尺寸、形狀，使涂覆用電極47變小，且將其形成簡單的形狀，同時，還可以減少用于涂覆用電極47的電極材料的量，從而可以嘗試降低旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件39的生產(chǎn)成本。
另外，本發(fā)明并不限于上述的實施方式，例如，將在具有電絕緣性的絕緣液體L中進行放電，變換成在具有電絕緣性的氣體中進行放電等，通過這樣的適當變換，能夠以其它各種方式實施本發(fā)明。
根據(jù)如上所述的發(fā)明，在旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件的生產(chǎn)過程中，分別不需要噴砂處理、掩蔽帶的粘貼處理等涂覆預處理、掩蔽帶的除去處理等涂覆后處理，因此，可以縮短生產(chǎn)旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件所需的作業(yè)時間，并可以容易地嘗試提高旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件的生產(chǎn)率。
另外，由于可以使硬質(zhì)材料的涂層牢固地與密封翅片的頂端緣結(jié)合，因此，硬質(zhì)材料涂層難以從密封翅片的頂端緣剝離，迷宮式密封件部件的品質(zhì)穩(wěn)定。
此外，除了上述的效果，雖然具有作為整個旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件的足夠的研磨性能，但可以根據(jù)密封翅片的頂端緣的被處理部位的尺寸、形狀，使涂覆用電極變小，且將其形成簡單的形狀，同時，還可以減少用于涂覆用電極的電極材料的量，從而可以嘗試降低旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件的生產(chǎn)成本。
另外，應該理解的是，雖然通過幾個優(yōu)選的實施例對本發(fā)明進行了說明，但是本發(fā)明所包括的權利要求的范圍不限于這些實施例。相反，本發(fā)明的權利要求的范圍包括所附權利要求所包含的全部的改進、修正以及等同物。
權利要求
1.一種回轉(zhuǎn)體的涂覆方法，該涂覆方法的特征在于在形成指定形狀的回轉(zhuǎn)體與含有硬材料或利用放電而成為硬材料的材料的壓塊或者固態(tài)硅放電電極之間，在絕緣處理液或絕緣氣體中，發(fā)生脈沖式放電，由此每當放電脈沖，使電極材料或者通過電極材料改變而產(chǎn)生的硬質(zhì)材料轉(zhuǎn)移至回轉(zhuǎn)體側(cè)，形成硬的凹凸部，通過重復進行放電脈沖，在回轉(zhuǎn)體上形成由該凹凸部構(gòu)成的硬涂膜。
2.如權利要求1所述的涂覆方法，其特征在于，在回轉(zhuǎn)體的涂覆方法中，在部分回轉(zhuǎn)體上形成切削與上述回轉(zhuǎn)體相摩擦的對象部件的研磨性的涂膜。
3.如權利要求1或2所述的涂覆方法，其特征在于，具有下列工序在回轉(zhuǎn)體的涂覆方法中，在使上述放電電極消耗的第1放電條件下，在上述回轉(zhuǎn)體和上述放電電極之間進行放電，使電極形狀成為效仿涂膜形成部位的形狀的工序，和其后的在第2放電條件下，在該放電電極和上述回轉(zhuǎn)體之間形成涂膜的工序。
4.如權利要求1-3所述的涂覆方法，其特征在于，在所述的放電條件中，將消耗放電電極的第1放電條件設定為將放電電極作為陰極，脈沖寬度為1μs以下，電流強度為10A以下；將形成涂膜的第2放電條件設定為將放電電極作為陰極，脈沖寬度為2-10μs，電流強度為5-20A。
5.如權利要求1-4任一項所述的涂覆方法，其特征在于在上述涂膜中，使作為涂布面內(nèi)的涂覆面積比例的覆蓋度為95％以下。
6.如權利要求1-4任一項所述的涂覆方法，其特征在于，在上述涂膜中，使用含有5體積％以上的，難以形成碳化物的金屬的放電電極來形成涂膜。
7.如權利要求1-4任一項所述的涂覆方法，其特征在于，在形成上述涂膜時，在襯底上形成多孔涂膜，然后，在多孔涂膜上形成含有硬質(zhì)材料的涂膜。
8.如權利要求1-7任一項所述的涂覆方法，其特征在于，使用含有cBN、TiC、TiN、TiAlN、TiB2、WC、Cr3C2、SiC、ZrC、VC、B4C、Si3N4、ZrO2、Al2O3中的任一種或者它們的混合的壓塊放電電極來形成涂膜。
9.如權利要求1-8任一項所述的涂覆方法，其特征在于，在上述涂膜上進行噴丸強化。
10.一種回轉(zhuǎn)體，其特征在于在回轉(zhuǎn)體與含有硬材料或利用放電而成為硬材料的材料的壓塊放電電極之間，在絕緣處理液或絕緣氣體中，發(fā)生脈沖式放電，利用該放電能量，使上述放電電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)在該回轉(zhuǎn)體的一部分上形成含有硬質(zhì)材料的研磨性涂膜。
11.如權利要求10的所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于，在上述涂膜中，形成涂層覆蓋度為95％以下的涂膜。
12.如權利要求10所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于，在上述涂膜中，使用含有硬質(zhì)材料或者通過放電而形成硬質(zhì)材料的材料和難以形成碳化物的金屬的壓塊放電電極，并利用含有5體積％以上的難以形成碳化物的金屬的放電電極來形成涂膜。
13.如權利要求10所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于，在上述涂膜中，在回轉(zhuǎn)體和難以形成碳化物金屬主體的壓塊放電電極之間，在電絕緣性的處理液中或者氣體中，進行脈沖放電，利用該放電能量，在回轉(zhuǎn)體的一部分上形成由上述放電電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)構(gòu)成的第1多孔層，在第1層和含有硬質(zhì)材料或者利用放電形成硬質(zhì)材料的材料的壓塊放電電極之間，在電絕緣性的處理液中或者氣體中，進行脈沖放電，利用該放電能量，在上述第1多孔層的上面，硬質(zhì)材料電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)形成含有硬質(zhì)材料的第2層。
14.如權利要求10-13任一項所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于，在上述涂膜中，形成涂膜后，通過進行噴丸強化，獲得噴丸強化層。
15.如權利要求10-14任一項所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于，上述放電電極是對金屬粉末、金屬化合物的粉末、陶瓷粉末或者它們的混合粉末進行壓縮形成的壓塊、或者對該壓塊加熱處理的壓塊或者固體硅電極，上述陶瓷為cBN、Cr3C2、TiC、TiN、TiAlN、TiB2、ZrO2-Y、ZrC、VC、B4C、WC、SiC、Si3N4、Al2O3中的任意一種或者它們的混合物。
16.如權利要求10-15任一項所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于，在與回轉(zhuǎn)體的對抗部件相對的部位或者形成接觸的部位上形成上述涂膜。
17.如權利要求10-16任一項所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于，在與回轉(zhuǎn)體的對抗部件相對的部位或者形成接觸的部位的一部分上形成上述涂膜。
18.如權利要求10-17所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于在由回轉(zhuǎn)體和覆蓋回轉(zhuǎn)體的靜止的外殼部件構(gòu)成的回轉(zhuǎn)體中，每當放電脈沖，使電極材料或者通過電極材料改變而產(chǎn)生的硬質(zhì)材料轉(zhuǎn)移至回轉(zhuǎn)體表面，從而在回轉(zhuǎn)體上形成硬的凹凸部，通過重復進行放電脈沖，在回轉(zhuǎn)體上形成由該凹凸部構(gòu)成的硬涂膜，該外殼部件由比該硬質(zhì)涂膜材料硬度低的材料構(gòu)成。
19.如權利要求10-15任一項所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于，上述回轉(zhuǎn)體為如下形成的轉(zhuǎn)動葉片將轉(zhuǎn)動葉片以及放電電極浸漬于電絕緣性的處理液體或者氣體中，并在轉(zhuǎn)動葉片頂端的旋轉(zhuǎn)方向的拐角附近，和/或轉(zhuǎn)動葉片頂端的旋轉(zhuǎn)方向的表面附近，和/或轉(zhuǎn)動葉片頂端面附近設置放電電極，并通過在所述葉片和電極之間進行放電，在轉(zhuǎn)動葉片頂端的旋轉(zhuǎn)方向的拐角部位或者轉(zhuǎn)動葉片頂端的旋轉(zhuǎn)方向的表面，或者轉(zhuǎn)動葉片頂端面，或者轉(zhuǎn)動葉片頂端面和轉(zhuǎn)動葉片頂端的旋轉(zhuǎn)方向的表面上涂布含有硬質(zhì)材料的涂層。
20.如權利要求10-16、18或19所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于，在轉(zhuǎn)子或ブリスク的部分轉(zhuǎn)動葉片上形成研磨性涂膜，而不是在所有轉(zhuǎn)動葉片上形成涂膜。
21.如權利要求10-15任一項所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于，上述回轉(zhuǎn)體是作為抑制靜止部件和旋轉(zhuǎn)部件之間的氣體或者液體泄漏的迷宮式密封件結(jié)構(gòu)的組件之一的旋轉(zhuǎn)側(cè)迷宮式密封件部件，其具有環(huán)狀的密封部件主體，和在上述密封部件主體的外周面上一體形成的環(huán)狀密封翅片，在上述密封翅片的頂端緣上具有含有硬質(zhì)材料的涂層，使用具有可消耗性的涂覆用電極，在具有絕緣性的液體中或者氣體中，在上述涂覆用電極和上述密封翅片的頂端緣之間，發(fā)生脈沖式放電，利用該放電能量在上述密封翅片的頂端緣形成硬質(zhì)材料的涂膜，該硬質(zhì)材料的涂膜為含有由上述涂覆用電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)而構(gòu)成的硬質(zhì)材料的涂膜。
22.如權利要求21所述的回轉(zhuǎn)體，其特征在于含有上述硬質(zhì)材料的涂層為在上述密封翅片的頂端緣上的圓周方向的多個被處理部位上局部形成的多個局部的涂膜。
23.一種迷宮式密封件結(jié)構(gòu)，其抑制靜止部件和旋轉(zhuǎn)部件之間的氣體或液體的泄漏，其特征在于其具有一體地設置于上述靜止部件上的靜止側(cè)密封部件；設置于上述靜止側(cè)密封部件的內(nèi)側(cè)，可以與上述旋轉(zhuǎn)部件一起旋轉(zhuǎn)，且一體地設置于上述旋轉(zhuǎn)部件的環(huán)狀密封部件主體；一體地形成于上述密封部件主體的外周面的環(huán)狀密封翅片；具有涂覆于上述密封翅片的頂端緣的硬質(zhì)涂層，在該涂覆電極和上述密封翅片的頂緣端之間進行脈沖放電，利用該放電能量而在上述密封翅片的頂端緣上涂覆上述涂覆用電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)，該硬質(zhì)性涂層是含有由上述涂覆用電極的組成材料或者該組成材料的反應物質(zhì)構(gòu)成的硬質(zhì)材料的涂膜。
24.如權利要求23所述的迷宮式密封件結(jié)構(gòu)，其特征在于含有上述硬質(zhì)材料的涂層為在上述密封翅片的頂端緣上的圓周方向的多個被處理部位上局部形成的多個局部的涂膜。
25.一種回轉(zhuǎn)體的制造方法，包括第1工序利用對鍛造品或鑄造品進行機械加工而將葉片或者迷宮式部件回轉(zhuǎn)體成型為指定形狀；第2工序在含有硬材料或利用放電而成為硬材料的材料的壓塊或者固態(tài)硅放電電極之間，在絕緣液體或絕緣氣體中，發(fā)生脈沖式放電，通過這樣，每當放電脈沖，使電極材料或者通過電極材料改變而產(chǎn)生的硬質(zhì)材料轉(zhuǎn)移至回轉(zhuǎn)體表面，從而形成硬的凹凸部，通過重復進行放電脈沖，在回轉(zhuǎn)體上形成由該凹凸部構(gòu)成的硬涂膜。
26.如權利要求25所述的回轉(zhuǎn)體的制造方法，其特征在于在第2工序中，在部分回轉(zhuǎn)體上形成切削與上述回轉(zhuǎn)體相互摩擦的對象部件的可研磨性涂膜。
27.如權利要求25或26所述的回轉(zhuǎn)體的制造方法，其特征在于在第2工序中，將放電電極的形狀成型為效仿回轉(zhuǎn)體指定部位的形狀，在第一放電條件下，在上述回轉(zhuǎn)體和上述放電電極之間進行放電，然后，在該電極和上述回轉(zhuǎn)體之間，在第二放電條件下形成涂膜。
28.如權利要求27所述的回轉(zhuǎn)體的制造方法，其特征在于將消耗電極的第1放電條件設定如下將放電電極作為陰極，脈沖寬度1μs以下，電流強度10A以下，將形成涂膜的第2放電條件設定如下將電極作為陰極，脈沖寬度2-10μs，電流強度5-20A。
29.如權利要求25-28任一項所述的回轉(zhuǎn)體的制造方法，其特征在于在上述第2工序中形成涂膜時，在涂膜形成的特定部位，通過控制放電條件，使作為形成含有硬質(zhì)材料的涂膜的面積比例的覆蓋度為95％以下。
30.如權利要求29所述的回轉(zhuǎn)體的制造方法，其特征在于通過將處理時間減少至100％覆蓋度的處理時間的76％以下，從而控制覆蓋度的比例。
31.如權利要求25-28任一項所述的回轉(zhuǎn)體的制造方法，其特征在于在上述第2工序中形成涂膜時，使用含有5體積％以上的容易制成碳化物的金屬的壓塊電極而進行放電。
32.如權利要求25-28任一項所述的回轉(zhuǎn)體的制造方法，其特征在于在第2工序中形成涂膜時，在回轉(zhuǎn)體的規(guī)定部位形成多孔膜后，在該多孔涂膜上形成含有硬質(zhì)材料的涂膜。
33.如權利要求25-29任一項所述的回轉(zhuǎn)體的制造方法，其特征在于在第2工序中使用的壓塊放電電極是對cBN、TiC、TiN、TiAlN、TiB2、WC、Cr3C2、SiC、ZrC、VC、B4C、Si3N4、ZrO2、Al2O3中的任意一種或者它們的混合物進行壓縮成型而形成的壓塊放電電極。
34.如權利要求25-33任一項所述的回轉(zhuǎn)體的制造方法，其特征在于在第2工序中形成的涂膜上實施噴丸強化處理的第3工序。
全文摘要
在絕緣液體中或者氣體中，在回轉(zhuǎn)體的頂端部位和放電電極之間，利用放電電源進行脈沖放電，從而使放電電極熔融，并使電極的一部分沉積于回轉(zhuǎn)體的頂端部位，并形成含有如cBN這樣的硬質(zhì)材料的研磨性涂膜。
文檔編號C23C26/02GK1692179SQ200380100440
公開日2005年11月2日 申請日期2003年10月9日 優(yōu)先權日2002年10月9日
發(fā)明者落合宏行, 渡邊光敏, 荒井干也, 佐分茂, 山川剛, 津組昭悟, 酒井淳, 手塚津奈生, 后藤昭弘, 秋吉雅夫 申請人:石川島播磨重工業(yè)株式會社, 三菱電機株式會社