專利名稱：二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型公開了一種制造二氧化錫透明導(dǎo)電膜的陶瓷輥傳送裝置。確切的說是以陶瓷管作傳送件，常壓化學(xué)汽相沉積法制備二氧化錫透明導(dǎo)電膜技術(shù)背景目前，制造二氧化錫透明導(dǎo)電膜是采用常壓化學(xué)氣相沉積法ACVD，其制造裝置是采用隧道窯式爐體結(jié)構(gòu)，由金屬傳送帶輸送襯底，如


圖1，我國在八十年代未，九十年代初從美國克羅拉公司引進兩條非晶硅太陽能電池生產(chǎn)線中的二氧化錫透明導(dǎo)電膜設(shè)備，以及美國BTU公司專業(yè)制造的二氧化錫透明導(dǎo)電膜設(shè)備均采用這種隧道窯式爐體結(jié)構(gòu)，由金屬傳送帶輸送襯底(普通玻璃)。噴涂原料均采用四氯化錫、水、甲醇、氟利昂等。中國專利二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造方法公開號CN1270419A，公開了以二氯二乙基錫為源，制造二氧化錫透明導(dǎo)電膜，由惰性氣體攜帶與氧化氣體同時進入氣體混合器中，再從噴頭的噴口噴到襯底上，形成二氧化錫透明導(dǎo)電膜。省去了氟里昂，設(shè)備得到簡化，透明導(dǎo)電膜質(zhì)量得到改善。但襯底的傳送采用金屬傳送帶。專利透明導(dǎo)電膜和減反射薄膜噴涂裝置及其方法專利號99116819.4，是對專利申請?zhí)?8103399一種超聲波霧化容器的改進，即在超聲振蕩霧化噴涂沉積導(dǎo)電膜的基礎(chǔ)上對霧化容器進行改造，以其達到霧化容器結(jié)構(gòu)簡單、操作方便。
綜上所述，目前二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制備，在噴涂材料上，仍然采用腐蝕性較強的四氯化錫或二氯二乙基錫作主要原料。在襯底傳送上，仍然采用金屬傳送帶，如
圖1，窯體11、電機裝置12、傳動裝置13、托板14、金屬傳送帶15，襯底9、噴頭裝置10、金屬傳送帶15是采用不銹鋼V形編織網(wǎng)?，F(xiàn)有技術(shù)主要存在以下二個方面的問題一是對于連續(xù)生產(chǎn)設(shè)備，長期在強酸性的環(huán)境中，金屬不銹鋼材料容易被腐蝕，影響設(shè)備壽命；二是金屬傳送帶15的長度一般是襯底9(普通玻璃)長度12-16倍左右，如襯底寬度12時、長度36時時，則傳送帶的長度為11.0-1463m，如襯底寬度14時、長度48時，則傳送帶的長度為14.6-19.5m，如此長距離的不銹鋼V形編織網(wǎng)帶是無法保持水平，為解決水平問題，只好采用托板14來支撐不銹鋼V形編織網(wǎng)帶，在噴涂工藝要求襯底溫度400-700℃情況下，托板4的材料必須選擇耐高溫、抗強酸的不銹鋼材料，厚度20mm以上，它不但造價高，而且在生產(chǎn)過程，長期處在400-700℃高溫，且生產(chǎn)過程中有時停機開機，即高低溫交替，托板14容易變形，由于它的變形，不銹鋼V形編織網(wǎng)帶也緊貼托板而無法保持水平，那么襯底(普通玻璃)在＞500℃時開始軟化而緊貼不銹鋼V形編織網(wǎng)帶而變形，導(dǎo)致噴涂導(dǎo)電膜不均勻，或因變形而成廢品，對此，如果降低噴涂溫度，如溫度＜500℃時，襯底可能變形小一些，但噴鍍的導(dǎo)電膜牢固度下降，容易脫膜而成廢品。
本實用新型內(nèi)容本實用新型目的就在于克服以上所說現(xiàn)有技術(shù)中的不足，采用陶瓷管作傳動部件，對鍍膜輥道窯傳送機構(gòu)進行改造，實現(xiàn)超薄大型襯底在高溫下由陶瓷傳送帶傳送，不變形，保持水平勻速移動、均勻噴涂，提高成膜率和質(zhì)量，延長設(shè)備使用壽命。
按照本技術(shù)解決方案，由陶瓷管作為傳動件的鍍膜輥道窯，還包括由電機裝置帶動的齒輪傳動裝置，所述鍍膜輥道窯的窯體內(nèi)設(shè)加熱體，且窯體中間安裝若干根陶瓷管，在齒輪傳動裝置作用下勻速滾動，由陶瓷管構(gòu)成的傳送帶，襯底在該陶瓷管傳送帶上水平移動到窯體中部，在設(shè)有噴頭裝置的窯體內(nèi)對襯底表面噴鍍二氧化錫透明導(dǎo)電膜。
按照本技術(shù)解決方案，所說的陶瓷管一頭安裝在帶鎖緊口一側(cè)的齒輪傳動裝置上緊固連接，為主傳動側(cè)。陶瓷管的另一頭由設(shè)有固定軸的齒輪傳動裝置的從動側(cè)承載。
按照本技術(shù)解決方案，所說的齒輪傳動裝置還包括減速器及一斜齒一圓柱齒輪組，由電機裝置通過傳動鏈帶動齒輪組和陶瓷管作勻速轉(zhuǎn)動。
按照本技術(shù)解決方案，所述勻速滾動狀態(tài)的陶瓷管安裝在窯體的一側(cè)預(yù)留的孔，陶瓷管通過該予留孔內(nèi)腔，在不停機狀態(tài)下把陶瓷管插入齒輪傳動裝置的鎖緊口鎖定緊固。
按照本技術(shù)解決方案，所述電機裝置帶動的傳動鏈接的齒輪傳動裝置，由變頻調(diào)速器控制電機的轉(zhuǎn)速，使多臺電機同步運行，通過傳動鏈、齒輪傳動裝置、鎖緊口達到控制襯底的勻速傳送。
按照本技術(shù)解決方案，所說的作為傳動件的陶瓷管與陶瓷管之間等距離，水平切線速度相同，各陶瓷管中心間距均勻。
按照本技術(shù)解決方案，傳送采用陶瓷管作為傳動的鍍膜輥道窯，陶瓷的優(yōu)點是具有較強的抗酸性和耐腐蝕性，延長設(shè)備使用壽。陶瓷耐高溫，在高溫＞1000℃，在400-700℃下，不變形，作傳送件可保證襯底(普通玻璃)保持水平，不變形，同時可通過適當(dāng)提高噴涂溫度，如提高到＞500℃，導(dǎo)電膜的牢固度明顯加強，有利于成膜質(zhì)量。
以下結(jié)合附圖進一步說明本實用新型的技術(shù)內(nèi)容。
圖1、是已知技術(shù)二氧化錫透明導(dǎo)電膜裝置示意圖。
圖2、是本實用新型的裝置示意圖。
圖3、本發(fā)明制造裝置A-A剖面示意圖。
見圖2和圖3所示制造裝置包括窯體1、電機裝置2、傳動鏈3、齒輪傳動裝置4、鎖緊口5、軸承6、陶瓷管7、加熱裝置8、襯底9、噴頭裝置10。窯體1一側(cè)裝有齒輪傳動裝置4，齒輪傳動裝置4出口安裝鎖緊口5，作主傳動，另一側(cè)裝有固定軸承6，作為從傳動、陶瓷管7通過窯體1的預(yù)留的孔插入鎖緊口5，傳動裝置4設(shè)有減速器以及一組斜齒-圓柱齒輪傳動裝置、在電機裝置2并通過傳動鏈3連接使鎖緊口5傳動，被鎖緊的陶瓷管7緊跟勻速轉(zhuǎn)動，由于陶瓷管7的勻速轉(zhuǎn)動，帶動了襯底9前進，經(jīng)過噴頭裝置10后，襯底9表面鍍上一層二氧化錫導(dǎo)電膜。
電機裝置2設(shè)置了變頻系統(tǒng)，頻率可在0-50Hz進行無級調(diào)節(jié)，通過調(diào)節(jié)頻率改變電機轉(zhuǎn)速，通過傳動鏈3、傳動裝置4、鎖緊口5，使陶瓷管7轉(zhuǎn)動，最終帶動襯底9可調(diào)速前進。加熱裝置8設(shè)有0-700℃溫度自動控制系統(tǒng)，可改變襯底9的溫度。陶瓷管7的管徑、管距尺寸的選擇與襯底9的尺寸重量有關(guān)，管徑小，承載襯底9的重量小，管徑大，管距大，當(dāng)管徑太大時，襯底9(普通玻璃)達到軟化點溫度時有變形趨勢。對于襯底9的尺寸，如果長為915-1220mm，寬為305-355mm，厚0.5-5mm，其陶瓷管7的直徑選擇40mm，相鄰陶瓷管的中心距為550mm。
具體實施例例1、二氧化錫導(dǎo)電膜的制造裝置。
窯體1內(nèi)腔寬450mm，高350mm；窯體1長19.5m；陶瓷管7的直徑40mm；陶瓷管7與陶瓷管7之間中心距550mm；電機裝置2；傳動裝置4；傳動鏈3；鎖緊口5；軸承6；加熱裝置8。
襯底為普通玻璃，長1220mm，寬356mm，厚3mm。
制備流程襯底清洗；襯底加熱溫度520℃；襯底以300mm/min速度勻速地在陶瓷管傳送帶上被動傳送；化學(xué)氣相噴涂，載氣流量15ml/min；檢測。
取得效果如下在普通玻璃表面噴涂一層二氧化錫薄膜，經(jīng)檢測導(dǎo)電膜玻璃平整無變形，薄膜層厚度為3000nm，導(dǎo)電方塊電阻為10Ω/□，薄膜可見光區(qū)平均透過率92％，導(dǎo)電薄膜層牢固度好，經(jīng)激光刻劃，超聲清洗無發(fā)現(xiàn)膜層脫落。
例2用普通玻璃做襯底9，長1220mm，寬356mm，厚3mm窯體1內(nèi)腔寬400mm，高300mm；窯體1長14m；陶瓷管7的直徑40mm；陶瓷管7與陶瓷管7間的中心距550mm；電機裝置2；傳動裝置4；傳動鏈3；鎖緊口5；軸承6；加熱裝置8。
制備流程襯底9清洗；襯底9加熱溫度580℃；襯底9水平被動傳動速度300mm/min；化學(xué)氣相沉積噴涂，載氣流量15ml/min；檢測。
在普通玻璃襯底9表面上噴涂一層二氧化錫導(dǎo)電膜，檢測結(jié)果表明襯底9即導(dǎo)電膜玻璃平整無變形，薄膜層厚為3200nm，導(dǎo)電方塊電阻8Ω/□，薄膜可見光區(qū)平均透過率90％，導(dǎo)電薄膜層牢固度好，經(jīng)激光刻劃，超聲清洗無發(fā)現(xiàn)膜脫落。
權(quán)利要求1.一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，其特征在于鍍膜輥道窯由陶瓷管作為傳動件，還包括由電機裝置帶動的傳動裝置，所述鍍膜輥道窯的窯體內(nèi)設(shè)加熱體，且窯體中間安裝若干根陶瓷管，由數(shù)根陶瓷管構(gòu)成的傳送帶在齒輪傳動裝置作用下勻速滾動，襯底在陶瓷管上作水平移動到窯體中部，在設(shè)有噴頭裝置的窯體內(nèi)對襯底表面噴鍍二氧化錫透明導(dǎo)電膜層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，其特征還在于所說的陶瓷管一頭安裝在帶鎖緊口齒輪傳動裝置上鎖定為主傳動側(cè)，陶瓷管的另一頭在傳動裝置的另一側(cè)為從動側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的這種一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，其特征還在于所說的齒輪傳動裝置還包括減速器及一斜齒-圓柱齒輪組，由電機裝置通過傳動鏈帶動齒輪組和陶瓷管作勻速轉(zhuǎn)動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，其特征還在于所述的勻速轉(zhuǎn)動的陶瓷管安裝在窯體側(cè)的預(yù)留孔內(nèi)，陶瓷管通過該予留孔內(nèi)腔，在主傳動側(cè)的出口處有鎖緊口，陶瓷管一頭插入鎖緊口鎖定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，其特征還在于所述電機裝置帶動的傳動鏈接的齒輪傳動裝置，由變頻調(diào)速器控制至少一臺以上同步電機，通過傳動鏈帶動齒輪傳動裝置組和鎖緊口上鎖定的陶瓷管同步轉(zhuǎn)動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，其特征在于所述齒輪傳動裝置的主動側(cè)一邊的出口處水平設(shè)置一組組陶瓷管鎖緊口，陶瓷管一頭插入對應(yīng)的鎖緊口鎖定，陶瓷管另一頭在齒輪傳動裝置的從動側(cè)的固定齒輪上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，其特征在于所說的作為傳動件的陶瓷管與陶瓷管之間等距離，切線速度相同，各陶瓷管中心間距均勻。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，其特征還在所說的窯體內(nèi)玻璃襯底長約915-1220mm，寬約305-350mm，厚度0.5-5mm，襯底加熱溫度400-700℃。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，其特征還在于所說的窯體內(nèi)腔寬約450mm，高約350mm，窯體長約19.5m，陶瓷管直徑約40mm，陶瓷管之間中心距約550mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，其特征是玻璃襯底加熱溫度是520℃，襯底均速運行的速度為300mm/min，化學(xué)氣相，載氣量為15ml/min。
專利摘要本實用新型創(chuàng)造涉及二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，以陶瓷管作為傳動件構(gòu)成，包括數(shù)根同步滾動的陶瓷管構(gòu)成送帶裝置。包括窯體、電機控制裝置、傳動鏈、齒輪傳送裝置、窯體加熱裝置，鍍膜襯底在陶瓷管傳送帶上被傳送至窯體中部，窯體中部噴頭對襯底表面噴鍍二氧化錫透明導(dǎo)電膜層。主傳動側(cè)設(shè)有電機、傳動鏈、齒輪傳送裝置、鎖緊口，從動側(cè)設(shè)有固定齒輪，數(shù)根陶瓷管水平放置，一頭被鎖定，可以不停機更換陶瓷管，不影響生產(chǎn)。克服了用金屬傳送帶易腐蝕，襯底變形。提高襯底溫度，使導(dǎo)電膜牢固產(chǎn)品質(zhì)量提高，延長設(shè)備使用壽命，降低生產(chǎn)成本。
文檔編號C23C16/40GK2707775SQ20042004472
公開日2005年7月6日 申請日期2004年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月14日
發(fā)明者鄭澤文, 李毅 申請人:李毅