專利名稱：條帶處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及帶有權(quán)利要求1前序部分所述特征的條帶處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
所述類型的處理設(shè)備主要用于在真空中涂敷柔性條帶基材，例如塑料薄片、磁帶、薄膜等(例如通過濺射即目標(biāo)噴霧、最終由磁場(chǎng)加固、蒸發(fā)、PVD或CVD處理)，以及附加處理方法，例如預(yù)處理/清潔/干燥/表面活化/聚合等。這樣需要將以捆或者卷的形式提供的條帶基材送入設(shè)備中，所述捆或者卷形式的條帶基材被放在支撐軸上，這樣在涂敷過程中，可以從所述卷上解繞下條帶基材。
在涂敷間室遠(yuǎn)端/下游，設(shè)置有另一個(gè)帶有一收緊卷軸的軸，已涂敷的條帶基材被重新卷繞到該收緊卷軸上。
所述條帶涂敷設(shè)備大致可以被劃分為多個(gè)模塊(解繞、涂敷和收緊模塊)。
在已知的設(shè)備上，為解繞或者卷繞所述條帶基材而雙邊安裝的軸或者圓筒被安裝在常規(guī)的支架形基座上，這種形式的好處在于所述軸或者圓筒處于相對(duì)固定并且牢固的位置關(guān)系。當(dāng)軸或者圓筒都被設(shè)置在涂敷模塊的兩側(cè)時(shí)，在更換帶軸的過程中，也可以利用隔離措施避免給真空工作的涂敷間室通風(fēng)。
應(yīng)當(dāng)注意在每次更換基材捆包的時(shí)候，即當(dāng)從條帶基材移動(dòng)出一個(gè)新卷好的捆包的時(shí)候，不要給真空工作的涂敷間室通風(fēng)。
因此，眾所周知要在單獨(dú)的模塊之間安裝空氣鎖閥門。這樣將被再通風(fēng)的容積明顯地減小，因?yàn)橹挥袑?dǎo)納和移動(dòng)位置被單獨(dú)地通風(fēng)，并且有效的涂敷間室將永久地保持被抽空狀態(tài)。顯然，在需要的情況下，可以對(duì)整個(gè)設(shè)備通風(fēng)。
編號(hào)為19735603C1的德國專利申請(qǐng)公開了一個(gè)帶有順序布置的不同涂敷間室的連續(xù)真空涂敷設(shè)備，其中每個(gè)涂敷間室內(nèi)部設(shè)置有一個(gè)滾筒框架，所述滾筒框架包括旁路滾筒、條帶測(cè)量滾筒以及冷卻滾筒。所述滾筒框架可以按照一種方式在其各自的涂敷間室中調(diào)整，該方式為后續(xù)的間室的滾筒和圓筒可以被相對(duì)地調(diào)節(jié)。所述涂敷間室的磁電源與滾筒框架分開安裝，這樣可以在不改變圓筒的位置的前提下調(diào)整和更換磁電源與滾筒框架。
將被處理的條帶基材將從解卷繞間室送入涂敷間室并且隨后被送入卷起或者卷繞間室，并且在解卷繞間室、卷繞間室與涂敷間室之間設(shè)置有真空閥門，此處不對(duì)該閥門進(jìn)行詳細(xì)描述。
編號(hào)為10157186C1的德國專利申請(qǐng)公開了另一個(gè)連續(xù)的真空涂敷單元，其可細(xì)分到解卷繞、涂敷、卷繞間室，在這些間室之間設(shè)置有空氣鎖或者條帶閥門。設(shè)置在可抽真空的解卷繞和卷繞間室中的帶軸的軸被設(shè)置在所述滾筒框架上，所述帶軸軸彼此分離地固定并且可以被單獨(dú)地從所述設(shè)備中移出。與此相反，處理模塊中的圓筒被設(shè)置在一常規(guī)的滾筒框架上。對(duì)于所有的滾筒框架，常規(guī)固定或者存儲(chǔ)點(diǎn)被設(shè)置在卷繞間室和處理模塊之間的分隔壁上。通過在操作中在卷繞間室和處理模塊之間提供50帕的最大壓力差值可以避免在操作中滾筒的相對(duì)位移。所述處理模塊可以被一在其旋轉(zhuǎn)方向上設(shè)有訪問口的單獨(dú)的遮蓋物封閉。
編號(hào)為WO99/50472的專利申請(qǐng)公開了一種真空條帶涂敷設(shè)備，該設(shè)備包括一帶有相應(yīng)的設(shè)置在常規(guī)間室中的纏繞卷軸和解繞卷軸的順序進(jìn)料以及出料室，以及至少一單獨(dú)設(shè)置的反應(yīng)間室(涂敷模塊)。條帶基材穿過進(jìn)料和出料室之間的圓筒空氣鎖，所述空氣鎖充當(dāng)壓力級(jí)。在一種形式中，條帶基材可能在彼此滾繞的兩個(gè)圓筒之間通過，并且在另一形式中，條帶基材可以在一個(gè)圓筒以及固定的密封塊之間通過。這些圓筒空氣鎖可以被打開，以便引入例如新的條帶基材。為達(dá)此目的，任何一個(gè)圓筒可以被展開，其轉(zhuǎn)動(dòng)軸被可繞一旋轉(zhuǎn)軸折疊地安裝，或者密封塊可從圓筒中移出。
在所述已知設(shè)備的一個(gè)實(shí)施例中，全部帶有驅(qū)動(dòng)器的圓筒和閥門被設(shè)置在一個(gè)常規(guī)基座上，該基座將被放入一個(gè)殼體中。借助環(huán)形密封件可以真空密封地封閉基座與殼體之間的空隙。然而，考慮到其空間順序，特別是在所述空氣鎖閥門區(qū)域，不是所有的密封件可以被應(yīng)用在平面的密封表面上。同樣在這個(gè)設(shè)備中，考慮到存在所述空氣鎖閥門，可以在不給處理間室通風(fēng)的情況下更換條帶帶軸。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供另一種處理設(shè)備，其允許在不對(duì)整個(gè)設(shè)備通風(fēng)即保持處理部分真空的條件下，更換解繞與卷繞帶軸。
根據(jù)本發(fā)明，上述任務(wù)可以被權(quán)利要求1的特征所解決。從屬權(quán)利要求說明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
根據(jù)本發(fā)明，卷繞室和處理室被設(shè)置在不同的基座內(nèi)部或之上，所述不同基座可以相對(duì)彼此移動(dòng)。處理設(shè)備的基座是設(shè)備殼體的固定部分，在工作時(shí)，所述設(shè)備殼體還圍繞著卷繞部分。
卷繞部分被設(shè)置在一結(jié)構(gòu)中，所述結(jié)構(gòu)包括其常規(guī)基座和朝向處理模塊的孔，其相對(duì)設(shè)備殼體是可移動(dòng)的，并且所述卷繞部分可以被閥門密封與實(shí)際處理設(shè)備(或者處理模塊)隔開。
優(yōu)選地，整個(gè)基座是封閉的板，形成所述結(jié)構(gòu)的壁部。在特定的優(yōu)選實(shí)施例中，在工作條件下，卷繞室的所述基板同時(shí)形成整個(gè)設(shè)備的殼體的壁部。此外，形成在該結(jié)構(gòu)本身的內(nèi)部的所述基板構(gòu)成了間室的壁部，所述間室基本為封閉的形式。
可以通過所述設(shè)備殼體的單獨(dú)的孔從外部訪問卷繞室，在操作過程中該孔可以被緊密密封。所述孔與所述結(jié)構(gòu)的壁中的孔相對(duì)應(yīng)，所述壁承載著卷繞室。在封閉所述閥門并且對(duì)卷繞室通風(fēng)以后，可以對(duì)條帶帶軸進(jìn)行迅速的更換，而且不需要對(duì)整個(gè)設(shè)備進(jìn)行通風(fēng)并且避免了必須將卷繞室從設(shè)備殼體中抽出。
在一個(gè)特別優(yōu)選的實(shí)施例中，結(jié)構(gòu)或者以及設(shè)備殼體包括一個(gè)圍繞著裝料和/或卸料孔的密封件。優(yōu)選地可以通過液壓來操作這個(gè)密封件，以便其處于密封位置以及非活動(dòng)位置。當(dāng)處于后一種位置的時(shí)候，可以在不對(duì)所述密封件施加壓力的條件下，進(jìn)行對(duì)所述卷繞部分的簡單的抽出和引入。在密封位置，單獨(dú)的孔可以被用于改變裝料動(dòng)作，而不用對(duì)整個(gè)設(shè)備通風(fēng)。優(yōu)選地，所述密封件可以被用于密封所述殼的平的內(nèi)部壁，并且可以被放置在所述壁上，以便在需要的時(shí)候被用于密封所述結(jié)構(gòu)的邊緣部分。
優(yōu)選地，空氣鎖閥門被設(shè)置為帶有一允許所述條帶基材穿過的孔以及一封閉所述孔的部分，所述主體的密封位置還可以用于在更換基材帶軸或者支撐件的時(shí)候，支撐所述條帶基材。


可以從一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的附圖中以及基于后續(xù)的詳細(xì)描述了解本發(fā)明的其他細(xì)節(jié)以及優(yōu)點(diǎn)。
附圖以簡單的形式示出了圖1是根據(jù)本發(fā)明的整個(gè)連續(xù)處理設(shè)備的示意基礎(chǔ)圖(截面)；圖2是同一連續(xù)處理設(shè)備的視圖，該視圖相對(duì)圖1旋轉(zhuǎn)了90°，該設(shè)備帶有用于卷繞室的結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)處于從所述殼體抽出的位置；圖3是與圖2類似的另一個(gè)視圖，其中示出了處于工作位置的、帶有被插入所述殼體的結(jié)構(gòu)的所述連續(xù)處理設(shè)備；圖4是帶有空氣鎖閥門的卷繞室、結(jié)構(gòu)和殼體的橫截面視圖；圖5是圖3的變體，其中設(shè)置有以一前一后的方式排列的用于卷繞和解卷繞的兩個(gè)卷繞室，以及集成到單元中的兩個(gè)空氣鎖閥門；圖6是一個(gè)空氣鎖閥門的優(yōu)選實(shí)施例。
具體實(shí)施例方式
圖1示出了帶有一個(gè)連續(xù)處理設(shè)備的殼體1，所述殼體1可以被未詳細(xì)示出的裝置抽真空。在一側(cè)，其帶有一個(gè)由邊緣3圍繞的大孔(在本視圖中，可看到孔內(nèi)部)。圖2和圖3示出了這個(gè)主孔5的用途；其允許用于卷繞室10的結(jié)構(gòu)12的插入和抽出，以及整卷的條帶材料的插入和抽出，該材料將被設(shè)備中的一個(gè)處理步驟所處理。在所述邊緣3上設(shè)置有一個(gè)環(huán)狀密封件4。
在所述殼體1的底部區(qū)域，僅示出處理組B，例如其可以包含至少一個(gè)濺射陰極。全部的旁路和冷卻圓筒都是卷繞系統(tǒng)的一部分并且被安裝在所述結(jié)構(gòu)12上。圖1示出了較小直徑的一些旁路圓筒的位置，而這些圓筒在圖2和圖3中沒有進(jìn)一步詳細(xì)示出。此處只示出了兩個(gè)圓筒，即一(上)卷繞或者解卷繞圓筒17以及設(shè)置在下端的冷卻或涂敷圓筒。
圖2示出了處于其抽出位置的結(jié)構(gòu)12，其中整個(gè)設(shè)備即整個(gè)殼體1被通風(fēng)。
圖3示出了引入殼體1中的結(jié)構(gòu)12的工作位置。下面，只有卷繞室將被繼續(xù)描述；第二卷繞室的結(jié)構(gòu)形成與上述類似的功能。所述第二卷繞室位于圖2和圖3中的時(shí)候，隱藏于在卷繞室/圓筒17之后的可視方向中；在圖1和圖5中都可以看見第二卷繞室。
圖2和圖3的插入軌跡在圖1中以點(diǎn)線示出。在圖1中在卷繞室17之間的分隔壁并不是功能性必須的，并且當(dāng)不希望以相互獨(dú)立的方式對(duì)卷繞室一同通風(fēng)的時(shí)候，則可以完全地放棄分隔壁。圖1示出了一個(gè)帶有集成的圓筒的所述殼體1及其所含的結(jié)構(gòu)12橫截面圖。
將要被涂敷的條帶基材將從一解卷繞圓筒17送入下方的涂敷圓筒并穿過處理室B。后者可能顯然也可包含不同的濺射陰極。隨后，所述基材被朝上引導(dǎo)以便被卷繞圓筒接收(也可以在圖1中看到)。
在殼體1的上側(cè)、內(nèi)側(cè)壁6(卷繞室10以上)上，設(shè)置有至少一個(gè)通常被間室蓋體8封閉的孔7。所述間室蓋體8被設(shè)置在內(nèi)部壁6的邊界上，圍繞著孔7，并且通過環(huán)狀密封件9被牢固地密封住。如同在圖1中可見的，對(duì)于每一卷繞室，單獨(dú)的孔7也設(shè)置有間室蓋體8和密封件9。
從同一個(gè)平的內(nèi)部壁6還形成了泵座的內(nèi)部孔(在間室側(cè))，此處未示出。
優(yōu)選地，在插入位置所述間室蓋體8可以隨著卷繞室打開。
支架12具有板狀的基座11，密封并且附屬于卷繞室10。其還包含一上部孔3，以及一“激活”密封件14，所述密封件14環(huán)繞孔13并且優(yōu)選地可以隨液壓膨脹，一封閉(抵抗)安裝板15，兩個(gè)穩(wěn)定地固定在基座11以及安裝板15上的用于基材卷或者捆包的承窩16，以及最后一可旋轉(zhuǎn)地附著在所述承窩16上的基材圓筒17。設(shè)置在下部的涂敷圓筒安裝在特定的安裝支架上，與解卷繞圓筒相獨(dú)立。
密封件14被設(shè)置在邊緣圍繞孔13上；為了簡化附圖，此處未示出操作需要的液壓連接。優(yōu)選地，所述密封將被設(shè)置在所述邊緣的圍繞凹槽內(nèi)部，以便在未被積極使用的時(shí)候，安全地保護(hù)不受機(jī)械損傷。
基座11和安裝板15包括一結(jié)構(gòu)12的封閉側(cè)壁。結(jié)構(gòu)12的上部總體上形成了圍繞所述基材圓筒17基本封閉的間室，只能通過孔13訪問所述間室。
圖3示出了密封件14的功能細(xì)節(jié)，在結(jié)構(gòu)12插入殼體1內(nèi)部以后密封件將膨脹并且處于圍繞在所述殼體的內(nèi)部壁6上的孔13的周圍位置。還可以看到板狀基座11的邊緣在所述卷繞室10的最終或者工作位置，環(huán)狀地停留在殼體1的所述孔5的邊緣3上，封閉了殼體并且殼體的內(nèi)部表面被支撐以抵住密封件4。因此，所述孔5被嚴(yán)密地封閉并且基座11在該位置形成了所述殼體1的壁。
圖3在所述對(duì)面板15下面示出了一個(gè)控制臺(tái)1K，在需要的情況下，所述結(jié)構(gòu)12即其間室可以被在殼體1中支撐在該控制臺(tái)上。與這個(gè)極度簡化的表示不同，還可以在結(jié)構(gòu)12以及在對(duì)面板15上設(shè)置殼體1內(nèi)的引導(dǎo)軌道或者類似設(shè)備形式的帶有匹配的抵消件的所述支撐件，這樣整套圓筒不僅在插入條件下被支撐，還可以在每次抽出以及插入步驟中被支撐。
所述卷繞室10的結(jié)構(gòu)12中的孔13的尺寸大得足以覆蓋帶有間室蓋子8的內(nèi)部壁6的孔7。因此，可膨脹密封件12也圍繞所述孔7。
與所示出的不同，密封件14基本上可以也被設(shè)置在所述殼體1的內(nèi)部壁6上的同樣一點(diǎn)處，以便在膨脹條件下，并列在圍繞結(jié)構(gòu)11的孔13的邊緣上。
在試運(yùn)轉(zhuǎn)處理設(shè)備之前以及在修正結(jié)構(gòu)12在殼體1中的位置之后，后者將通過泵(未示出)的空氣抽吸被抽空。密封件14可以應(yīng)用在殼體1的平的內(nèi)部壁6上(密封位置)，通過未示出的液壓連接件施加壓力。
然而，在所述處理設(shè)備的常規(guī)工作中，不是必須被持續(xù)“激活”，由于殼體1環(huán)抱著卷繞室以及處理室，所述處理室因此同時(shí)被抽空。當(dāng)希望對(duì)卷繞室10單獨(dú)通風(fēng)，而保持殼體1其他部分密閉即當(dāng)希望打開間室蓋子8的時(shí)候，才需要激活密封件14。
在卷繞室10相對(duì)殼體1的移動(dòng)過程中，-即不是處于設(shè)備的操作狀態(tài)，例如在維修或者清潔操作中，所述維修或者清潔操作在打開間室蓋子8后很難簡單地實(shí)現(xiàn)-或者帶有完全抽真空的殼體1的情況下，(包括卷繞間室10)，所述密封14將被膨脹(其內(nèi)部氣壓將被中和)或者其將暴露于更低的負(fù)氣壓。結(jié)果是，所述密封14將很大程度地回縮到其容納凹槽中(縮回位置)，在該位置可以避免摩擦和損傷。
如同對(duì)比圖2與圖3可以看到的，結(jié)構(gòu)12相對(duì)殼體1的移動(dòng)分別地平行于卷繞室10或者基材圓筒17的軸。
在所述基材圓筒17下面，一條帶基材17S被從結(jié)構(gòu)12中的解卷繞室10中引導(dǎo)出而向下進(jìn)入處理模塊B。卷繞間室或者卷繞室10的相應(yīng)的孔可以被空氣閥門18相對(duì)所述殼體1和處理室B鎖定。所述空氣鎖閥門，被設(shè)置在所述可移動(dòng)結(jié)構(gòu)12的內(nèi)部；在結(jié)構(gòu)12的打開和抽出過程中，其也將被從殼體1中移出。
空氣鎖閥門18使得可以避免在對(duì)殼體1全部通風(fēng)的情況下，更換卷繞室10中存在的基材支撐件或者圓筒17。如同下面將描述的，在其關(guān)閉位置，所述空氣鎖閥門18將所述處理室B與卷繞室10無縫地鎖定。所述空氣鎖閥門18被設(shè)計(jì)為靜態(tài)閥門，在設(shè)備工作中，其提供相對(duì)大的穿越部分，所述條帶基材可以不與旁邊接觸地通過該部分。
圖4單獨(dú)地示出了卷繞室10的另一角度的視圖。其還說明了被間室蓋體8密封的殼體1的孔7是足夠大的以便在打開間室蓋體8后更換，即提升基材圓筒17，從而引入新的基材圓筒，而不必相對(duì)殼體1移動(dòng)卷繞室。
這樣，還可以知道可以被從基材圓筒17移出的柔性基材17S如何被通過(至少)一個(gè)旁路圓筒從結(jié)構(gòu)12傳送到設(shè)置在卷繞室下的處理模塊B，以及如何通過空氣鎖閥門18，該閥門也是示意性地被示出。所述空氣鎖閥門被牢固地安裝在結(jié)構(gòu)12上。
因此如同已經(jīng)提到的，卷繞室10的結(jié)構(gòu)12通過另一個(gè)底面，形成由常規(guī)基座11和安裝板15圍繞(圖4和圖5)的間室，所述間室?guī)в腥菁{所述空氣閥門18的孔以及帶有在所述基材圓筒17右側(cè)和左側(cè)可見的側(cè)壁。
可以通過孔7從外部進(jìn)入所述間室，其可被間室蓋子8封閉并且被密封件14環(huán)狀地密封，當(dāng)所述間室處于工作條件在所述處理設(shè)備的殼體1內(nèi)部時(shí)也可進(jìn)行上述進(jìn)入。
根據(jù)圖4，在與卷繞室10相對(duì)，從處理模塊B向下(朝下)，設(shè)置有另一個(gè)類似的卷繞室(此處未示出)，該另一卷繞室可以設(shè)想處于相對(duì)卷繞室10的鏡面位置，其包括通過孔從殼體1移出和最終更換包含其中的基材圓筒的可能性。
可以知道，卷繞室10可以被彼此獨(dú)立地打開和通風(fēng)，即當(dāng)一個(gè)單元被通風(fēng)的時(shí)候，另一個(gè)保持真空(此種情況下，操作需要圖1中示出的分隔壁)，或者基礎(chǔ)地卷繞室都可以被一同通風(fēng)。在后一種情況，單元不是必須被彼此相互地密封的。
根據(jù)圖1的原理的所述第二卷繞室10被設(shè)置在同一結(jié)構(gòu)12中，并且因此具有相對(duì)卷繞室10的相對(duì)固定的位置。結(jié)果是，全部單元可以被通過結(jié)構(gòu)12統(tǒng)一地從殼體1移出—在打開密封件14后。
在工作中，所述空氣鎖閥門18可以安全地減少較大的壓力差異例如在大氣壓力和真空之間的壓力差異。
但是，也可以在一側(cè)打開以便允許自由通道和基材流通，以及在另一側(cè)，以便實(shí)現(xiàn)可能的穿過，即當(dāng)前面的被處理后，引入新的基材，柔性基材被完全地從設(shè)備中移出。明顯地，閥門孔的寬度被設(shè)定為與將要?jiǎng)e處理的基材的尺寸適應(yīng)(特別是寬度)。
最后，通過空氣鎖閥門18，處理結(jié)束的條帶基材的終端部分可以被保留，以便以已知的方式在所述終端部分固定新的條帶基材，并且隨后-代替復(fù)雜的手動(dòng)引入過程-通過“舊”的保持元件引入并且穿過新的條帶基材。
因此，基本可以按照WO-A199/50472中公開的同樣方式設(shè)計(jì)空氣鎖閥門。但是，也可以使用其他實(shí)施例。結(jié)合附圖5，示意性地描述一個(gè)因此，所述空氣鎖閥門18對(duì)于上述選擇來說是非常重要的，以便在不完全抽出解卷繞室10的情況下更換基材圓筒。位于關(guān)閉位置的所述空氣鎖閥門18允許不對(duì)隨后被抽真空的處理模塊B進(jìn)行類似通風(fēng)的條件下，打開所述間室蓋子8。
圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的處理設(shè)備的另一個(gè)實(shí)施例，包括在卷繞模塊10’中緊湊的常規(guī)結(jié)構(gòu)12”中的處于一前一后兩個(gè)卷繞室。這提供了以下好處，可以通過常規(guī)間室蓋子8’訪問兩個(gè)基材圓筒17，這樣在殼體1中只有一個(gè)孔需要被設(shè)置和密封。在這種形式下，還需要常規(guī)地并且以更簡單的形式為卷繞室設(shè)置環(huán)狀密封件14。
此外，空氣鎖閥門18可以在此連接以形成一個(gè)構(gòu)造單元18’，盡管明顯地對(duì)于每個(gè)抽出和引入基材部分，必須設(shè)置特定/獨(dú)立的閥門功能。
最后，圖6示出了優(yōu)選地在此處描述的連續(xù)單元中使用的空氣鎖閥門18的實(shí)施例的截面。可以了解穿過所述空氣鎖閥門18的基材17S，進(jìn)一步講，一個(gè)孔19(切口狀)可以被其封閉。所述閥門18的一部分也是一個(gè)圓筒形的閥門主體21，所述閥門主體21可旋轉(zhuǎn)地安裝在圍繞軸20的殼體或者結(jié)構(gòu)的內(nèi)部，在示出的關(guān)閉位置和由點(diǎn)線示出的打開位置之間。然而，所述圓筒主體21可以在所述基材17S上滾動(dòng)，但是可以預(yù)見，在處理設(shè)備的連續(xù)操作中，所述閥門主體21不與基材17S接觸。為了澄清這一點(diǎn)，帶有打開的閥門18的所述基材17S的大致軌跡以點(diǎn)線示出。然而，在推出和處理結(jié)束/已涂敷基材部分，可以有效地避免與設(shè)備組件的摩擦接觸(因此對(duì)于已知設(shè)備，只偶爾地設(shè)置帶有最小空氣間隙的閥門)。
可以知道，殼體內(nèi)的朝向閥門主體21的面，孔19結(jié)束于該面，以下述方式形成，在所述孔(其也可以用于或者被形成為密封表面22)的邊緣部分以及觸及到關(guān)閉位置的閥門主體21之間的基材17S可以被以平行的方式安裝，而不在處理中被過度彎曲。朝向密封邊緣的表面22，斜著朝向條帶基材平面被設(shè)置。最終在一中間位置帶有基材17S的可以被閥門主體21關(guān)閉的密封表面22以下述形式在孔19(最終使用軟的彈性材料作為邊緣或者表面密封件)設(shè)計(jì)為，無論閥門主體21被強(qiáng)制地與基材單獨(dú)地應(yīng)用或者一同應(yīng)用，都能分別地保持良好的密封效果。
優(yōu)選地，所述空氣鎖閥門18將被設(shè)置在結(jié)構(gòu)12或者12’中作為單獨(dú)的模塊。這也適用于圖4中示出的可以彼此單獨(dú)工作的兩個(gè)空氣鎖閥門被融合為一個(gè)閥門鎖。
如同前面所公開的，本實(shí)施例使得，一方面，基材還保持在設(shè)備內(nèi)部對(duì)所述卷繞室10或者10’通風(fēng)，同時(shí)處理模塊B保持真空，另一方面，在基材圓筒被更換后，新的條帶基材可以通過固定在閥門中的剩余的條帶部分被引入。因此，新的條帶基材的初始部分將與剩余的帶部分粘合在一起。
權(quán)利要求
1.一種用于處理特別是對(duì)通過的柔性基材(17S)例如條帶、薄片以及類似單元涂敷的連續(xù)處理設(shè)備，其包括每個(gè)都用于解卷繞和卷繞所述柔性基材的卷繞室(10；10’)，設(shè)置在所述兩個(gè)室之間的基材路徑中的至少一個(gè)處理室(B)，以及每個(gè)都集成在卷繞室(10；10’)和至少一個(gè)處理室之間的閥(18)，所述閥(18)被設(shè)計(jì)為在所述卷繞室以及在至少一個(gè)處理室中提供不同的壓力級(jí)別，所述卷繞室被設(shè)置在可移動(dòng)的基座(11)上，并且可以例如為了更換基材的目的從設(shè)備中抽出，其特征在于，所述卷繞室(10；10’)以及處理室(B)被設(shè)置在不同的相對(duì)可移動(dòng)的基座之中或之上，處理室的基座是固定的并且被設(shè)計(jì)為圍繞所述處理室(B)的殼體(1)的一部分，以及在操作條件下，也圍繞所述卷繞室(10；10’)，所述殼體包含閥(18)；所述卷繞室(10；10’)被設(shè)置在結(jié)構(gòu)(12)的內(nèi)部，包括其基座(11)并且具有可被所述閥(18)封閉的孔，所述孔在操作狀態(tài)被集成到處理室的所述殼體(1)之中；在所述閥(18)打開的條件下，處理室(B)與卷繞室(10；10’)可以被共同地抽空，并且在閥(18)的關(guān)閉狀態(tài)，所述卷繞室可以與處理室單獨(dú)地被通風(fēng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，卷繞室的所述基座(11)形成了所述結(jié)構(gòu)(12)的壁，包括至少一個(gè)用于基材支撐件(17)的支撐件(16)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，卷繞室的所述基座(11)在設(shè)備的工作狀態(tài)形成所述殼體(1)的至少一壁部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，卷繞室的所述結(jié)構(gòu)(12)形成了由常規(guī)基座(11)和安裝盤(15)圍繞的以及由帶有一朝向空氣鎖閥門(18)的孔的其他壁和側(cè)壁圍繞的間室。
5.如上述任何權(quán)利要求之一所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，其殼體(1)具有至少一個(gè)用于卷繞室的裝料和/或卸料孔(7)，所述孔(7)可以被間室蓋子(8)鎖住。
6.根據(jù)權(quán)利要求4和5所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，所述間室的所述結(jié)構(gòu)(12)的孔(13)朝向孔(7)，并且被間室蓋子(8)封閉，其中該結(jié)構(gòu)(12)在殼體(1)內(nèi)部，所述孔(13)對(duì)準(zhǔn)蓋子以便在所述間室蓋子(8)打開后進(jìn)行對(duì)所述基材支撐件(17)的更換。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，所述孔(13)被密封件(14)圍繞，所述密封件(14)在設(shè)備的工作狀態(tài)將被設(shè)在所述殼體(1)的內(nèi)部壁(6)以及孔(13)的邊緣之間，所述密封件(14)被設(shè)置在結(jié)構(gòu)(12)或者殼體(1)內(nèi)部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，密封件(14)可以設(shè)在殼體的平的內(nèi)部壁(6)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，優(yōu)選地在密封位置(暴露于壓力)以及在縮回位置(膨脹或暴露于負(fù)壓力)，密封件(14)可以被液壓控制。
10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，在被密封件(14)圍繞的區(qū)域中存在設(shè)備真空的連接。
11.如上述任何權(quán)利要求之一所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，在卷繞室(10)的結(jié)構(gòu)(12)之中設(shè)置有至少一個(gè)空氣鎖閥門(18)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，所述空氣鎖閥門(18)包括一個(gè)以框狀方式圍繞孔(19)的密封表面(5)，孔(19)被設(shè)置充當(dāng)基材(17)的通道，以及用于關(guān)閉所述孔(19)的主體(21)，可以下述形式在密封表面和/或在延伸過孔(19)的所述基材(17)上擠壓所述主體(21)，所述基材通過至少間接的在所述密封表面的邊緣部分的鄰接來阻隔孔(19)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，所述條帶基材可以牢固地通過主體(21)固定在孔(19)內(nèi)部，特別地以便通過固定在空氣鎖閥門(18)內(nèi)部的剩余的條帶部分來支持新基材的引入。
14.根據(jù)上述任何權(quán)利要求之一所述的連續(xù)處理設(shè)備，其特征在于，所述閥門(18)被單獨(dú)地或聯(lián)合地設(shè)置在單獨(dú)的殼體或結(jié)構(gòu)內(nèi)部，牢固地固定在結(jié)構(gòu)(12)內(nèi)部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于處理連續(xù)柔性基材(17S)的連續(xù)處理系統(tǒng)，其包括用于解卷繞和卷繞所述基材的兩個(gè)卷繞室，設(shè)置在所述兩個(gè)室之間的基材路徑中的至少一個(gè)處理室(B)，以及每個(gè)都位于卷繞室(10；10’)和至少一個(gè)處理室之間的閥(18)，所述閥(18)被設(shè)計(jì)為在所述卷繞室以及在至少一個(gè)處理室中維持不同的壓力級(jí)別，所述卷繞室被設(shè)置在基座(11)上，并且可以為了更換基材的目的從設(shè)備中抽出。根據(jù)本發(fā)明，所述卷繞室(10；10’)以及處理室(B)被設(shè)置在不同的相對(duì)可移動(dòng)的基座之中或之上。處理室的基座是固定的并且被設(shè)計(jì)為圍繞所述處理室(B)的殼體(1)的一部分，以及在操作條件下，也圍繞所述卷繞室(10；10’)，所述殼體包含閥(18)；所述卷繞室(10；10’)被設(shè)置在結(jié)構(gòu)(12)的內(nèi)部，所述結(jié)構(gòu)(12)圍繞其常規(guī)基座(11)并且具有可被所述閥(18)封閉的孔。在操作中，所述結(jié)構(gòu)容納在處理室的殼體(1)的內(nèi)部。打開的閥門(18)可以連帶地對(duì)處理室(B)以及卷繞室(10；10’)通風(fēng)，并且當(dāng)閥門(18)被關(guān)閉，卷繞室可以與處理室相獨(dú)立地被通風(fēng)。
文檔編號(hào)C23C14/56GK1842614SQ200480024305
公開日2006年10月4日 申請(qǐng)日期2004年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月25日
發(fā)明者斯特凡·海因 申請(qǐng)人:應(yīng)用薄膜有限責(zé)任與兩合公司