專利名稱：磨石工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及磨石工具，其具有諸如樹(shù)脂磨石的磨石并用于對(duì)工件進(jìn)行預(yù)定加工，該樹(shù)脂磨石通過(guò)將磨粒與粘結(jié)材料揉合、將揉合好的產(chǎn)品模制成預(yù)定形式并將它燒硬而制造。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過(guò)程中，多個(gè)區(qū)域通過(guò)以網(wǎng)格圖案設(shè)在大體盤(pán)狀的半導(dǎo)體晶片的正面上的所謂的“芯片間隔”的分界線分區(qū)，諸如IC或LSI的電路形成在每個(gè)分區(qū)的區(qū)域中。在該半導(dǎo)體晶片的背面被研磨機(jī)研磨到預(yù)定厚度后，將該半導(dǎo)體晶片沿分界線切割，以分割成單獨(dú)的半導(dǎo)體芯片。
磨輪用于研磨上述半導(dǎo)體晶片的背面，磨石刀刃也用于沿分界線切割半導(dǎo)體晶片。對(duì)于上述加工，根據(jù)加工目的使用具有不同特性的磨石。樹(shù)脂磨石用作磨輪以及磨石刀刃中用的磨石，該樹(shù)脂磨石通過(guò)將與工件材料不同的磨粒和粘結(jié)材料揉合、將揉合好的產(chǎn)品模制并將它燒硬而制造，如JP-A 2004-181575和JP-A 8-224730所公開(kāi)的那樣。
如上所述，由于樹(shù)脂磨石是通過(guò)將磨粒與粘結(jié)材料揉合、將揉合好的產(chǎn)品模制成預(yù)定形式并將它燒硬而制造，它的質(zhì)量可能根據(jù)諸如生產(chǎn)過(guò)程中的爐的溫度、在爐中被燒硬的磨石的數(shù)目、磨石在爐中的位置、天氣等生產(chǎn)條件而改變。因此，磨石的質(zhì)量不能在制造它的時(shí)候檢查。因此，當(dāng)樹(shù)脂磨石斷裂或它在使用過(guò)程中損壞工件時(shí)，難以找出損壞的原因。
此外，不能檢查諸如切割刃的厚度、刀刃的突出邊的長(zhǎng)度、安裝到底座上的電鑄成型磨石刀刃或安裝到底座上的磨輪的磨粒的大小和密度的特性。因此，難以探測(cè)磨石刀刃或磨輪損壞的原因或者它在使用過(guò)程中損壞工件的原因。
另外，使用諸如樹(shù)脂磨石和電鑄成型磨石刀刃的磨石的使用者記錄有關(guān)磨石使用時(shí)間、被加工工件的類型、磨石的磨損、剩余磨石量、磨石的壽命、使用磨石的日期、與磨石一起使用的裝置、使用該磨石的操作員的姓名以及每個(gè)磨石產(chǎn)生故障的條件的信息。存儲(chǔ)每個(gè)磨石的使用記錄非常麻煩，并且也難保一定記錄了上述信息。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種磨石工具，其使得在使用后檢查諸如磨石的生產(chǎn)條件的特性以及記錄磨石的使用記錄成為可能。
根據(jù)本發(fā)明，上述目的可以通過(guò)一種用于對(duì)工件進(jìn)行預(yù)定加工的磨石工具實(shí)現(xiàn)，其中射頻IC標(biāo)簽被嵌入在磨石工具中，信息可無(wú)接觸地從該射頻IC標(biāo)簽讀取并且寫(xiě)到該射頻IC標(biāo)簽上。
上述磨石工具具有通過(guò)將磨粒與粘結(jié)材料揉合、將揉合好的產(chǎn)品模制并將它燒硬而制造的樹(shù)脂磨石，并且上述射頻IC標(biāo)簽嵌入在該樹(shù)脂磨石中。上述射頻IC標(biāo)簽嵌入在磨石的不使用的區(qū)域中。
上述磨石工具包括底座和安裝在底座上的磨石，并且射頻IC標(biāo)簽嵌入在底座中。
有關(guān)磨石特性的數(shù)據(jù)記錄在上述射頻IC標(biāo)簽中。磨石的使用記錄也被記錄在上述射頻IC標(biāo)簽中。
由于可無(wú)接觸地從其讀取信息并將信息寫(xiě)到其上的射頻IC標(biāo)簽嵌入在本發(fā)明的磨石工具中，通過(guò)將有關(guān)磨石特性的數(shù)據(jù)以及磨石的使用記錄存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽中，即使在進(jìn)行了加工工作后也能讀取存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽中的有關(guān)磨石特性的數(shù)據(jù)以及磨石的使用記錄。因此，當(dāng)磨石工具被損壞或它在使用過(guò)程中損壞工件時(shí)，通過(guò)讀取和檢查存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽中的有關(guān)磨石特性的數(shù)據(jù)以及磨石的使用記錄就能夠探測(cè)損壞的原因。


圖1是作為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的磨石工具的具有磨石的研磨輪的透視圖；圖2是由構(gòu)成圖1所示研磨輪的樹(shù)脂磨石組成的磨石的透視圖；圖3是用于將信息存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽中的系統(tǒng)的示意性構(gòu)造框圖，該射頻IC標(biāo)簽嵌入在由構(gòu)成圖1所示研磨輪的樹(shù)脂磨石組成的磨石中；圖4是裝有切割刀刃的切割機(jī)的心軸單元的分解透視圖，該切割刀刃作為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的磨石工具由樹(shù)脂磨石組成；
圖5是作為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的磨石工具的研磨輪的透視圖；和圖6是作為根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的研磨工具的電鑄成型磨石刀刃的透視圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例將參考附圖在下文中詳細(xì)描述。
圖1顯示作為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的磨石工具的具有磨石的研磨輪。
圖1所示的研磨輪2由環(huán)形磨石底座21和安裝在磨石底座21底面上的多個(gè)磨石22組成。每個(gè)磨石由通過(guò)將磨粒與樹(shù)脂粘結(jié)材料揉合、將揉合好的產(chǎn)品模制成矩形平行六面體形式并將它燒硬而制造的樹(shù)脂磨石構(gòu)成。所有由樹(shù)脂磨石構(gòu)成的磨石22中的一個(gè)在作為不使用的區(qū)域的頂部端面上具有凹陷部221，如圖2所示，射頻IC標(biāo)簽3嵌入在該凹陷部221中。射頻IC標(biāo)簽3包括存儲(chǔ)器，信息可以通過(guò)電波或電磁波的方式無(wú)接觸地從該存儲(chǔ)器中讀取或?qū)懙皆摯鎯?chǔ)器中。
有關(guān)樹(shù)脂磨石特性的數(shù)據(jù)在將射頻IC標(biāo)簽3嵌入到磨石22中的時(shí)候存儲(chǔ)在嵌入在磨石22的凹陷部221中的射頻IC標(biāo)簽3中。即，如圖3所示，代表樹(shù)脂磨石特性的波信號(hào)從控制器4通過(guò)天線5傳輸?shù)角度朐谘心ポ?中的射頻IC標(biāo)簽3中，其為讀/寫(xiě)頭，以存儲(chǔ)有關(guān)樹(shù)脂磨石特性的數(shù)據(jù)。樹(shù)脂磨石特性包括制造數(shù)據(jù)(爐的溫度、燒硬時(shí)間、在爐中被燒硬的樹(shù)脂磨石的數(shù)目、在爐中的位置、天氣等)、磨石成分(磨粒的類型和密度、粘結(jié)材料的類型等)、批號(hào)、應(yīng)用目的、形狀、尺寸、磨石底座21的外徑以及安裝在磨石底座21上的磨石的數(shù)目。
如上所述，由于有關(guān)樹(shù)脂磨石特性的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在嵌入在磨石22中的射頻IC標(biāo)簽3中，即使在通過(guò)使用安裝磨石22的研磨輪2進(jìn)行了研磨工作后，也能讀取存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽3中的有關(guān)樹(shù)脂磨石特性的數(shù)據(jù)。因此，當(dāng)磨石22被損壞或它在使用過(guò)程中損壞工件時(shí)，通過(guò)讀取并檢查存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽3中有關(guān)樹(shù)脂磨石特性的數(shù)據(jù)就能探測(cè)損壞的原因。
諸如磨石的使用時(shí)間、被加工工件的種類、磨石的磨損、剩余磨石量、磨石的壽命、使用磨石的日期、與磨石一起使用的機(jī)器、使用磨石的操作員的姓名、故障的條件等的磨石使用記錄由使用者或研磨機(jī)的控制裝置存儲(chǔ)在嵌入在磨石22中的射頻IC標(biāo)簽3中。由于存儲(chǔ)了磨石22的使用記錄，當(dāng)磨石22被損壞或它在使用過(guò)程中損壞工件的時(shí)候，通過(guò)讀取和檢查存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽3中的磨石22的使用記錄就能探測(cè)損壞的原因。
接下來(lái)參考圖4描述本發(fā)明的第二實(shí)施例。
在圖4所示的實(shí)施例中，本發(fā)明被應(yīng)用于作為安裝在用于沿預(yù)定分界線切割半導(dǎo)體晶片的切割機(jī)的心軸單元6上的切割工具的磨石刀刃61。該磨石刀刃61由通過(guò)將磨粒與樹(shù)脂粘結(jié)材料揉合、將揉合好的產(chǎn)品模制成環(huán)形形式并將它燒硬而制造的樹(shù)脂磨石構(gòu)成。由樹(shù)脂磨石構(gòu)成的環(huán)形磨石刀刃61在為不使用區(qū)域的內(nèi)圓周部具有孔661，射頻IC標(biāo)簽3嵌入在該孔661中。射頻IC標(biāo)簽3由存儲(chǔ)器構(gòu)成，如上所述，信息可以通過(guò)電波或電磁波的方式無(wú)接觸地從該存儲(chǔ)器中讀取或?qū)懭朐摯鎯?chǔ)器。有關(guān)樹(shù)脂磨石的諸如制造數(shù)據(jù)、磨石成分、批號(hào)、形狀、尺寸等特性信息的數(shù)據(jù)在將射頻IC標(biāo)簽3嵌入在磨石刀刃61中或?qū)⑺惭b在切割機(jī)的心軸單元上(將在后面描述)的時(shí)候存儲(chǔ)在嵌入在磨石刀刃61中的射頻IC標(biāo)簽3中，如上所述。
由嵌有上述射頻IC標(biāo)簽3的樹(shù)脂磨石構(gòu)成的環(huán)形磨石刀刃61安裝在裝在構(gòu)成切割機(jī)的心軸單元6的旋轉(zhuǎn)心軸62上的安裝裝置63上。即，環(huán)形磨石刀刃61通過(guò)將環(huán)形磨石刀刃61裝配到安裝裝置63的圓柱形工具安裝部613上、將夾層構(gòu)件64裝配到安裝部613上以及然后將夾緊環(huán)65擰到形成在安裝裝置63上的外螺紋部上而安裝到安裝裝置63上。
如上所述，由于有關(guān)樹(shù)脂磨石特性的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在嵌入在磨石刀刃61中的射頻IC標(biāo)簽3中，即使在磨石刀刃61安裝在切割機(jī)的心軸單元6上以進(jìn)行切割工作之后，也能讀取存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽3中有關(guān)樹(shù)脂磨石特性的數(shù)據(jù)。因此，當(dāng)磨石刀刃61被損壞或它在使用過(guò)程中損壞工件時(shí)，通過(guò)讀取并檢查存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽3中的有關(guān)樹(shù)脂磨石特性的數(shù)據(jù)就能夠探測(cè)損壞的原因。
通過(guò)將磨石刀刃61的使用記錄記錄在嵌在磨石刀刃61中的射頻IC標(biāo)簽3中，當(dāng)磨石刀刃61被損壞或它在使用過(guò)程中損壞工件時(shí)，通過(guò)讀取并檢查存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽3中的使用記錄就能夠探測(cè)損壞的原因。
接著將參考圖5描述本發(fā)明的第三實(shí)施例。由于除了射頻IC標(biāo)簽3的安裝位置之外圖5，所示的研磨輪2與圖1所示的研磨輪2基本上相同，因此與圖1所示的研磨輪2的那些構(gòu)件相同的構(gòu)件被給以相同的附圖標(biāo)簽。
和圖1所示的實(shí)施例類似，圖5所示的研磨輪2由環(huán)形磨石底座21和安裝在磨石底座21的底面上的磨石22組成。每個(gè)磨石22由通過(guò)將磨粒與樹(shù)脂粘結(jié)材料揉合、將揉合好的產(chǎn)品模制成矩形平行六面體形式并將它燒硬而制造的樹(shù)脂磨石構(gòu)成。在圖5所示的實(shí)施例中，凹陷部211形成在研磨輪2的環(huán)形磨石底座21外圓周部中，射頻IC標(biāo)簽3嵌入在該凹陷部211中并與合成樹(shù)脂等一起被模制。上述有關(guān)樹(shù)脂狀磨石特性的數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在該射頻IC標(biāo)簽3中，并且上述使用記錄也能被記錄在該射頻IC標(biāo)簽3中。因?yàn)檠心ポ?的旋轉(zhuǎn)平衡由于在環(huán)形磨石底座21中嵌入射頻IC標(biāo)簽3而稍稍改變，因此需要將平衡構(gòu)件212設(shè)在與在環(huán)形磨石底座21中嵌入射頻IC標(biāo)簽3的位置偏離180°的位置。
隨后將參考圖6描述本發(fā)明的第四實(shí)施例。
圖6顯示一種電鑄成型磨石刀刃7，其通過(guò)將磨粒固定到通過(guò)鍍鎳以及由蝕刻去除底座71的周邊部以使作為切割刀刃的磨石刀刃72突出而由鋁制成的盤(pán)狀底座71的側(cè)表面來(lái)制造。凹陷部711形成在因此而構(gòu)成的電鑄成型磨石刀刃7的底座71的預(yù)定位置處，射頻IC標(biāo)簽3嵌入在該凹陷部711中并與合成樹(shù)脂等一起被模制。諸如磨石刀刃72的厚度以及邊緣突出長(zhǎng)度、以及磨粒的大小和密度的特性的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在射頻IC標(biāo)簽3中，上述使用記錄也能被記錄在射頻IC標(biāo)簽3中。因?yàn)殡婅T成型磨石刀刃7的旋轉(zhuǎn)平衡由于在盤(pán)狀底座71中嵌入射頻IC標(biāo)簽3而稍稍改變，因此需要將平衡構(gòu)件712設(shè)在與在底座71中嵌入射頻IC標(biāo)簽3的位置偏離180°的位置。
權(quán)利要求
1.一種用于對(duì)工件進(jìn)行預(yù)定加工的磨石工具，其中射頻IC標(biāo)簽被嵌入在該磨石工具中，信息可無(wú)接觸地從該射頻IC標(biāo)簽讀取以及寫(xiě)入到該射頻IC標(biāo)簽中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨石工具，其特征在于，磨石工具具有通過(guò)將磨粒與粘結(jié)材料揉合、將揉合好的產(chǎn)品模制并將它燒硬而制造的樹(shù)脂磨石，并且所述射頻IC標(biāo)簽被嵌入在該樹(shù)脂磨石中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨石工具，其特征在于，所述射頻IC標(biāo)簽被嵌入在磨石的不使用的區(qū)域中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨石工具，其特征在于，該磨石工具包括底座和安裝在底座上的磨石，并且所述射頻IC標(biāo)簽嵌入在所述底座中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨石工具，其特征在于，有關(guān)磨石特性的數(shù)據(jù)被記錄在所述射頻IC標(biāo)簽中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨石工具，其特征在于，磨石的使用記錄被記錄在所述射頻IC標(biāo)簽中。
全文摘要
一種用于對(duì)工件進(jìn)行預(yù)定加工的磨石工具，其中射頻IC標(biāo)簽被嵌入在該磨石工具中，信息可無(wú)接觸地從該射頻IC標(biāo)簽讀取以及寫(xiě)入到該射頻IC標(biāo)簽中。
文檔編號(hào)B24D3/20GK1721137SQ200510084638
公開(kāi)日2006年1月18日 申請(qǐng)日期2005年7月15日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月15日
發(fā)明者關(guān)家一馬 申請(qǐng)人:株式會(huì)社迪斯科