專利名稱：直線前進(jìn)型研磨方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)金屬(鋼鐵、非鐵金屬)或非金屬(陶瓷、玻璃、塑料)等的研磨加工(abrasive finishing)者。
背景技術(shù)：
采用介經(jīng)使游離研磨粒分散的研磨劑而使被加工對(duì)象和研光具(lap)相互摩擦并被稱作研光(lapping)或較金屬柔軟的拋光具(polisher)的工具而研磨的拋光(polishing)等的研磨加工是機(jī)械加工的最后修整步驟用的加工法，隨著近年機(jī)器的高品質(zhì)化而重要性日益增加的加工法。
研磨加工雖是對(duì)單面、二面、曲面等多種表面進(jìn)行的加工作業(yè)，但基本上如圖10所示，于研磨工作臺(tái)(surface plate)10上(拋光時(shí)，經(jīng)予貼合于工作臺(tái)上的拋光具11上)，以壓力P擠壓經(jīng)予收容予以載具13等予以支持并以n速度旋轉(zhuǎn)的支架14內(nèi)的被加工對(duì)象3，于研磨工作臺(tái)10上(拋光時(shí)，是拋光具11上)，滴下含有游離研磨粒12的研磨液15，同時(shí)以N速度旋轉(zhuǎn)研磨工作臺(tái)10，通過(guò)該旋轉(zhuǎn)和被加工對(duì)象3的旋轉(zhuǎn)間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以游離研磨粒12去除被加工對(duì)象3的表面，使表面成高度平滑的加工法。至于拋光具，大多采用非織物或麂皮型(suede-type)塑料?，F(xiàn)況上這種研磨加工的最高研磨速度乃被視為約2m/s程度。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明欲解決的課題然而，于采用旋轉(zhuǎn)型研磨工作臺(tái)的研磨加工方面，通常成為所謂的批次加工方式，被加工對(duì)象的裝卸須暫時(shí)停止研磨工作臺(tái)后始能進(jìn)行，而使被加工對(duì)象所需的裝卸時(shí)間增長(zhǎng)。另外，為了進(jìn)行被加工對(duì)象的兩面研磨加工，欲建構(gòu)出連續(xù)的送入裝置且自動(dòng)的對(duì)被加工對(duì)象進(jìn)行研磨加工的系統(tǒng)是較困難的，尤其于大規(guī)模生產(chǎn)的情況時(shí)，提高研磨的加工效率即成亟待解決的課題。
再者，為于旋轉(zhuǎn)型研磨工作臺(tái)上加工，研磨工作臺(tái)的直徑至少需為被加工對(duì)象的2倍以上，對(duì)較大的被加工對(duì)象即需要較大的研磨工作臺(tái)、即成為需要供研磨裝置而用的大設(shè)置面積。再者制作以旋轉(zhuǎn)軸為橫軸方向，以旋轉(zhuǎn)面為垂直方向的旋轉(zhuǎn)型二面研磨工作臺(tái)時(shí)，原理上欲支持被加工對(duì)象是較困難的，故較難實(shí)現(xiàn)，欲充分利用裝置周圍的空間是較困難的。由此事欲開(kāi)發(fā)出可容易建構(gòu)以較緊密且可連續(xù)的將被加工對(duì)象送入裝置的自動(dòng)研磨加工系統(tǒng)，也可利用裝置周圍的空間的新概念的研磨加工法正被強(qiáng)烈的期盼著。
實(shí)施內(nèi)容為解決課題而采的手段本發(fā)明是提供以采用現(xiàn)在的旋轉(zhuǎn)型研磨工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)型研磨加工法上較難實(shí)現(xiàn)而可容易建構(gòu)以較緊密且可連續(xù)的將被加工對(duì)象送入裝置的自動(dòng)研磨加工系統(tǒng)，也可有效的使用裝置周圍的空間的新概念的研磨加工法和其加工裝置。
也即，本發(fā)明是通過(guò)擠壓被加工對(duì)象至平行相鄰且相互進(jìn)行相反方向的直線運(yùn)動(dòng)的一組的平行直線型工作臺(tái)的二者，對(duì)被加工對(duì)象施加供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而用的耦合力(couple of force)，通過(guò)其旋轉(zhuǎn)和進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的該一組工作臺(tái)間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以研磨粒研磨被加工對(duì)象的直線前進(jìn)型研磨方法。于此方法，使一組的平行平面工作臺(tái)和另外一組的平行平面工作臺(tái)對(duì)向，于其間挾持被加工對(duì)象并可研磨單面或二面。
又，本發(fā)明是對(duì)直線運(yùn)動(dòng)方向使進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的單一平面工作臺(tái)的表面的摩擦是數(shù)于垂直方向上不同，通過(guò)擠壓被加工對(duì)象至該平面工作臺(tái)上，對(duì)被加工對(duì)象施加供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而用的耦合力，通過(guò)其旋轉(zhuǎn)和進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的該單一的平面工作臺(tái)間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以研磨粒研磨被加工對(duì)象的直線型研磨方法。于此方法，使另外的平面工作臺(tái)和平面工作臺(tái)對(duì)向，于其間挾持被加工對(duì)象并可研磨單面或二面。
于上述的各種方法，以具有圓板狀孔穴的長(zhǎng)尺度板狀載具支持以圓板狀的次載具經(jīng)予固定的被加工對(duì)象，隨著研磨的進(jìn)行將載具朝單方向徐緩的拉出，同時(shí)可連續(xù)的進(jìn)行研磨加工。
又于上述的各種方法，可采用通過(guò)被加工對(duì)象的支持臺(tái)上的皮帶型拋光具以取代平面工作臺(tái)。
又，本發(fā)明是以由呈平行相鄰的一組平面工作臺(tái)、使該工作臺(tái)于相互相反方向上進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的設(shè)備、擠壓被加工對(duì)象至該工作臺(tái)上的設(shè)備而成者為特征的直線前進(jìn)型研磨裝置。于此裝置，一組平行平面工作臺(tái)和另一組平行平面工作臺(tái)對(duì)向且可予配置于其間至可挾持被加工對(duì)象。
于上述裝置，在研磨中可提供連續(xù)的供給、排出被加工對(duì)象至研磨裝置的長(zhǎng)尺度的板狀載具。又，于板狀載具內(nèi)，于平行平面工作臺(tái)的相鄰中心線上或于離開(kāi)相鄰中心線上的位置上可提供具有旋轉(zhuǎn)中心的圓形被加工對(duì)象支持用次載具孔穴。再者于板狀載具內(nèi)，可提供具有圓形、正方形、長(zhǎng)方形、多邊形等的被加工對(duì)象支持孔穴，其旋轉(zhuǎn)中心位于平行平面工作臺(tái)的相鄰中心線上的圓板狀次載具孔穴。
再者，本發(fā)明是以對(duì)直線運(yùn)動(dòng)方向使表面的摩擦是數(shù)于直線運(yùn)動(dòng)方向上不同而進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的單一的平面工作臺(tái)，擠壓被加工對(duì)象至該平面工作臺(tái)上的設(shè)備而成者為特征的直線前進(jìn)型研磨裝置。于此裝置，平面工作臺(tái)和另一平面工作臺(tái)對(duì)向且可予配置于其間至可挾持被加工對(duì)象。
又，于上述裝置，可組合通過(guò)被加工對(duì)象支持臺(tái)和其上的一組皮帶型拋光具以取代平面工作臺(tái)。
若依本發(fā)明的方法時(shí)，通過(guò)利用進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的平面工作臺(tái)所施加的耦合力邊使被加工對(duì)象旋轉(zhuǎn)邊予研磨，故可得未刻劃單方向的研磨條痕的該種無(wú)方向性的粗糙度約1.5nm以下(數(shù)個(gè)原子間隔以下)的良好的加工面。若被加工對(duì)象不旋轉(zhuǎn)時(shí)，則超過(guò)于平面工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)方向的方向性的10nm以上的粗糙度的條痕可予形成。由而，若依本發(fā)明的方法時(shí)，則可得不刻劃研磨條痕的超級(jí)平滑面。
發(fā)明的功效本發(fā)明的直線前進(jìn)型研磨加工方法，是具有下述功效。
1)可制造出較旋轉(zhuǎn)型研磨加工方法省空間的研磨裝置。
2)在已使用習(xí)用的旋轉(zhuǎn)型研磨工作臺(tái)的研磨法較難實(shí)現(xiàn)而可連續(xù)的將被加工對(duì)象送入裝置的自動(dòng)研磨加工系統(tǒng)的建構(gòu)是可能的。
3)可制作出旋轉(zhuǎn)面是垂直方向的直立型的二面自動(dòng)研磨系統(tǒng)，可有效的利用裝置周圍的空間。


圖1是表示本發(fā)明的直線前進(jìn)型研磨方法的原理的模式圖。
圖2是表示本發(fā)明的直線前進(jìn)型二面研磨方法的實(shí)施形態(tài)的模式圖。
圖3是表示利用本發(fā)明的直線前進(jìn)型二面研磨裝置的連續(xù)自動(dòng)加工法的模式圖。
圖4是表示圖3所示的連續(xù)自動(dòng)加工法的修飾形態(tài)的模式圖。
圖5是表示圖3所示的連續(xù)自動(dòng)加工法的其它修飾形態(tài)的模式圖。
圖6是表示本發(fā)明的直線前進(jìn)型二面研磨方法的其它實(shí)施形態(tài)的模式圖。
圖7是表示圖6所示的直線前進(jìn)型二面研磨方法的修飾形態(tài)的模式圖。
圖8是實(shí)施例已采用的直線前進(jìn)型研磨裝置的側(cè)視圖。
圖9是表示利用光干擾式高精確度表面測(cè)定器(WYKO)測(cè)定由拋光而得的磁盤基板的表面的平滑度而得的三維粗糙度測(cè)定結(jié)果的圖面代用照相。
圖10是表示習(xí)用的研磨加工方法(拋光加工的例子)的原理的模式圖。
圖號(hào)說(shuō)明3 被加工對(duì)象10 研磨工作臺(tái)11 拋光具12 游離研磨粒13 載具支架15 研磨液實(shí)施發(fā)明而采的最佳形態(tài)以圖1所示的說(shuō)拋光的情形的例子為準(zhǔn)，說(shuō)明本發(fā)明的直線前進(jìn)型研磨加工方法的原理。由本發(fā)明而得的拋光方法，是采用已平行相鄰的一組拋光具11作為平行平面工作臺(tái)A、B。一組拋光具11是挾持相鄰中心線于相互相反方向上以V的速度進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)。以壓力P擠壓經(jīng)予收容于對(duì)旋轉(zhuǎn)幾乎不受限制的支架14內(nèi)的被加工對(duì)象，至使接觸至一組拋光具11的二者。由而，對(duì)被加工對(duì)象3施加供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而用的耦合力。對(duì)拋光具11上供給含游離研磨粒的研磨液。因此，通過(guò)被加工對(duì)象3的旋轉(zhuǎn)和直線運(yùn)動(dòng)的拋光具11的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以游離研磨粒去除被加工對(duì)象3的表面，使表面成高度平滑。本發(fā)明的方法雖是基本上利用工作臺(tái)或研磨具的運(yùn)動(dòng)方向或表面構(gòu)造進(jìn)行工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)的方法，但是通過(guò)來(lái)自電動(dòng)機(jī)等的動(dòng)力使被加工對(duì)象旋轉(zhuǎn)，調(diào)整和工作臺(tái)或研磨具間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，也可進(jìn)行研磨。于采用此方法的研磨裝置，已增加一組拋光具11的各寬幅的寬度若成為較被加工對(duì)象3的直徑稍大時(shí)，則因可進(jìn)行研磨加工，故空間較旋轉(zhuǎn)型工作臺(tái)小即可完成。
又于此方法對(duì)被加工對(duì)象的二面進(jìn)行拋光加工時(shí)，如圖2所示，挾持于相互以V速度于相反方向上進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的二組平行平面拋光具11并放置被加工對(duì)象3。因此介經(jīng)已以金屬或陶瓷等制作的被加工對(duì)象支持臺(tái)(未予圖標(biāo))，通過(guò)以壓力P由垂直(上下)方向擠壓使被加工對(duì)象3的表面接觸拋光具11的表面，對(duì)被加工對(duì)象3施加供旋轉(zhuǎn)運(yùn)而用的耦合力，對(duì)拋光具11上供給含游離研磨粒的研磨液。由而，以游離研磨粒去除被加工對(duì)象3的上下表面，使表面呈現(xiàn)高度平滑。拋光具11是通過(guò)采用皮帶型拋光具，可連續(xù)的供給研磨具至研磨位置上。
再者，于圖2所示的方法，如圖3所示般，于具有以圓板狀孔穴為被加工對(duì)象的長(zhǎng)尺度的板狀載具13上支持被加工對(duì)象3，若能作成移動(dòng)載具13至使隨著研磨的進(jìn)行徐緩的朝任一方向拉出時(shí)，則對(duì)被加工對(duì)象的二面研磨加工的連續(xù)自動(dòng)化也成為有可能的。加上，也可容易的使第3圖所示的旋轉(zhuǎn)面為水平方向的橫置型的二面研磨加工方法成為旋轉(zhuǎn)面為垂直方向的直立型二面研磨加工方法，也可有效的利用裝置周圍的空間的二面研磨加工系統(tǒng)。
于圖1至圖3所示的研磨方法，載具13的被加工對(duì)象支持孔穴于一組平行平面工作臺(tái)的相鄰中心線上時(shí)，如磁盤基板般有中心孔穴的被加工對(duì)象雖無(wú)問(wèn)題，但如硅晶圓般在無(wú)中心孔穴的被加工對(duì)象，因中心部并未和拋光具接觸，故中心部未能研磨。因此，如圖4所示般，于由一組的平行平面工作臺(tái)A、B的相鄰中心線上離開(kāi)的位置上，通過(guò)將具有旋轉(zhuǎn)中心的圓形孔穴的次載具13A放入板狀的載具13內(nèi)，可使被加工對(duì)象3的全面進(jìn)行研磨。
次載具13A內(nèi)的孔穴的形狀是除圓形以外，也以正方形、長(zhǎng)方形、多邊形等可予研磨。又于無(wú)孔穴的圓形被加工對(duì)象時(shí)，在不用次載具13A下，即使將次載具13A內(nèi)的被加工對(duì)象的孔穴中心設(shè)成由相鄰中心線上離開(kāi)的位置上，也可使被加工對(duì)象3的全面進(jìn)行研磨。
又于次載具13A的旋轉(zhuǎn)中心的周圍上，如圖5所示般，于由次載具13A的旋轉(zhuǎn)中心離開(kāi)的位置上，若采用具有二個(gè)以上的被加工對(duì)象支持孔穴的次載具13A時(shí)，縱使有無(wú)被加工對(duì)象孔穴，也可使被加工對(duì)象3的表面進(jìn)行全面研磨。此方法是適于研磨大量的被加工對(duì)象。
圖6、圖7是表示本發(fā)明的研磨方法和裝置的其它實(shí)施形態(tài)的概念圖。通過(guò)使進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的直線前進(jìn)型工作臺(tái)的表面的摩擦力對(duì)直線運(yùn)動(dòng)方向不同于垂直方向，于該直線前進(jìn)型工作臺(tái)上擠壓被加工對(duì)象，可施加供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而用的耦合力至被加工對(duì)象上。
由此方法而得的拋光加工，是如圖7所示般，作為上下一組的平面工作臺(tái)，挾持于相互以V速度于相對(duì)方向上進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的皮帶型拋光具11、11間，并置放在已支持于載具13上的被加工對(duì)象3，以壓力P由上下擠壓拋光具11、11，使被加工對(duì)象3的表面接觸至拋光具11、11的表面并進(jìn)行單面或二面研磨的方法。
使拋光具的表面狀態(tài)于拋光具的長(zhǎng)度方向中心線的左右作成不同，使摩擦力成為不同。例如，通過(guò)于單側(cè)的拋光具表面上對(duì)長(zhǎng)度方向中心線刻劃圓形狀孔穴或直線狀的溝槽，使該單側(cè)的被加工對(duì)象和拋光具間的接觸面積減少，可由另一側(cè)減少摩擦力。又，即使于拋光具的長(zhǎng)度方向中心線的左右通過(guò)改變拋光具表面的硬度類的機(jī)械特性，因可使在左右的被加工對(duì)象和拋光具間的接觸狀態(tài)改變，故改變?cè)谧笥业哪Σ亮Α⑹┘玉詈狭Τ蔀榭赡堋?br> 通過(guò)如此實(shí)施，可對(duì)被加工對(duì)象3施加供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而用的耦合力。對(duì)拋光具11上供給含游離研磨粒的研磨液。因此，通過(guò)被加工對(duì)象3的旋轉(zhuǎn)和進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的拋光具11的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以游離研磨粒去除被加工對(duì)象3的上下表面，使呈現(xiàn)高度平滑。此方法如第7圖所示般，即使采用以V速度于相同方向上進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的皮帶型拋光具11、11，也可同樣的進(jìn)行研磨。
圖6、圖7雖是表示著使直線運(yùn)動(dòng)型平面工作臺(tái)對(duì)向，于其間挾持被加工對(duì)象并進(jìn)行單面或二面研磨的形態(tài)，但通過(guò)對(duì)以V速度進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的單一拋光具擠壓被加工對(duì)象，也可對(duì)被加工對(duì)象施加供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而用的耦合力，通過(guò)其旋轉(zhuǎn)和拋光具的直線運(yùn)動(dòng)間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)也可進(jìn)行研磨。
實(shí)施例實(shí)施例1以下參考圖8并表示本發(fā)明方法的實(shí)施例。
如圖8所示，通過(guò)對(duì)通過(guò)被加工對(duì)象支持臺(tái)上的一組相鄰的皮帶型拋光具各自利用電動(dòng)機(jī)M1和M2使于相互成相反方向上以直線運(yùn)動(dòng)循環(huán)著。于挾持一組拋光具的相鄰中心線的二側(cè)表面上，擠壓被加工對(duì)象的圓板狀磁盤基板并進(jìn)行拋光。均勻的供給研磨粒的氧化鋁研磨粒至拋光具上。擠壓壓力是3.7kPa，拋光具的移動(dòng)速度是1.5m/s，拋光具是麂皮型。磁盤基板是鋁型，研磨時(shí)間是5min。結(jié)果，磁盤基板是通過(guò)耦合力以至少0.15m/s以上的速度旋轉(zhuǎn)，通過(guò)進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的拋光具A、B間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以研磨粒研磨基板，使基板呈現(xiàn)平滑化。
圖9是表示利用光干擾式高精確度表面測(cè)定器(WYKO)測(cè)定由拋光而得的磁盤基板的表面的平滑度而得的三維粗糙度測(cè)定結(jié)果。磁盤基板表面是利用拋光可予非常清凈的研磨，可達(dá)以Ra值計(jì)約1.3nm的超級(jí)平滑面，顯示出本發(fā)明的直線前進(jìn)型研磨裝置的有效性。
權(quán)利要求
1.一種直線前進(jìn)型研磨方法，是通過(guò)擠壓被加工對(duì)象使于平行相鄰而相互進(jìn)行相反方向的直線運(yùn)動(dòng)的一組的平行平面工作臺(tái)的二者上，對(duì)被加工對(duì)象施加供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而用的耦合力，通過(guò)被加工對(duì)象的旋轉(zhuǎn)和進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的該一組工作臺(tái)間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以研磨粒研磨被加工對(duì)象而成。
2.如權(quán)利要求1所述的直線前進(jìn)型研磨方法，是使一組的平行平面工作臺(tái)對(duì)向于另外一組的平行平面工作臺(tái)，于其間挾持被加工對(duì)象并進(jìn)行研磨單面或二面。
3.一種直線前進(jìn)型研磨方法，是對(duì)直線運(yùn)動(dòng)方向使進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的單一平面工作臺(tái)的表面的摩擦是數(shù)于垂直方向上不同，通過(guò)擠壓被加工對(duì)象至該平面工作臺(tái)上，對(duì)被加工對(duì)象施加供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而用的耦合力，通過(guò)被加工對(duì)象的旋轉(zhuǎn)和進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的該單一的平面工作臺(tái)間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以研磨粒研磨被加工對(duì)象而成。
4.如權(quán)利要求3所述的直線前進(jìn)型研磨方法，是使另外的平面工作臺(tái)和前述平面工作臺(tái)對(duì)向，于其間挾持被加工對(duì)象并研磨單面或二面。
5.如權(quán)利要求1至4的任一項(xiàng)所述的直線前進(jìn)型研磨方法，是以用具有圓板狀孔穴的長(zhǎng)尺度板狀載具支持經(jīng)圓板狀次載具予以固定的被加工對(duì)象，隨著研磨的進(jìn)行徐緩的朝單方向拉出載具，同時(shí)連續(xù)的進(jìn)行研磨加工。
6.一種直線前進(jìn)型研磨方法，其特征在于，權(quán)利要求1至5的任一項(xiàng)所述的研磨方法，采用通過(guò)被加工對(duì)象支持臺(tái)上的皮帶型拋光具以取代平面工作臺(tái)。
7.一種直線前進(jìn)型研磨裝置，是由呈平行相鄰的一組平面工作臺(tái)、使該工作臺(tái)于相互相反方向上進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的設(shè)備、擠壓被加工對(duì)象至該工作臺(tái)上的設(shè)備而成。
8.如權(quán)利要求7所述的直線前進(jìn)型研磨裝置，是以一組的平行平面工作臺(tái)是和另一組的平行平面工作臺(tái)相對(duì)向并予配置至使于其間挾持被加工對(duì)象。
9.如權(quán)利要求8所述的直線前進(jìn)型研磨裝置，是具有于研磨中連續(xù)的供給、排出被加工對(duì)象至研磨裝置上的長(zhǎng)尺度板狀載具。
10.如權(quán)利要求9所述的直線前進(jìn)型研磨裝置，是于板狀載具內(nèi)，于平行平面工作臺(tái)的相鄰中心線上或于離開(kāi)相鄰中心線上的位置上可提供具有旋轉(zhuǎn)中心的圓形被加工對(duì)象支持用次載具孔穴。
11.如權(quán)利要求10所述的直線前進(jìn)型研磨裝置，是于板狀載具內(nèi)，提供具有圓形、正方形、長(zhǎng)方形、多邊形等的被加工對(duì)象支持孔穴，其旋轉(zhuǎn)中心位于平行平面工作臺(tái)的相鄰中心線上的圓板狀次載具孔穴。
12.一種直線前進(jìn)型研磨裝置，是對(duì)直線運(yùn)動(dòng)方向使表面的摩擦是數(shù)于直線運(yùn)動(dòng)方向上不同而進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的單一的平面工作臺(tái)、擠壓被加工對(duì)象至該平面工作臺(tái)上的設(shè)備而成。
13.如權(quán)利要求12所述的直線前進(jìn)型研磨裝置，前述平面工作臺(tái)是和另一平面工作臺(tái)對(duì)向且可予配置于其間至可挾持被加工對(duì)象。
14.一種直線前進(jìn)型研磨裝置，其特征在于，權(quán)利要求7至13的任一項(xiàng)所述的裝置上，組合通過(guò)被加工對(duì)象支持臺(tái)和其上的一組皮帶型拋光具以取代平面工作臺(tái)。
全文摘要
于旋轉(zhuǎn)型研磨加工法方面，欲連續(xù)的將被加工對(duì)象送入裝置或欲用有效的裝置周圍的空間是較難實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明是提供解決這些問(wèn)題的新概念的直線前進(jìn)型研磨加工法和裝置。平行相鄰的一組平行直線型工作臺(tái)各自于相互相對(duì)方向上進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)。于此工作臺(tái)的二者上通過(guò)擠壓被加工對(duì)象，對(duì)被加工對(duì)象施加供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而用的耦合力。通過(guò)被加工對(duì)象的旋轉(zhuǎn)和進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的一組工作臺(tái)間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以研磨粒研磨被加工對(duì)象。也可采用通過(guò)被加工對(duì)象值持臺(tái)上的皮帶型拋光具以取代平面工作臺(tái)。
文檔編號(hào)B24B37/07GK1929954SQ200580007988
公開(kāi)日2007年3月14日 申請(qǐng)日期2005年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月31日
發(fā)明者安井平司 申請(qǐng)人:獨(dú)立行政法人科學(xué)技術(shù)振興機(jī)構(gòu)