專利名稱：液量監(jiān)視裝置、搭載液量監(jiān)視裝置的半導(dǎo)體制造裝置、以及液體材料和液量的監(jiān)視方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適合于使用含有有機原料溶液的有機液體材料進行成膜的半導(dǎo)體制造裝置的液量監(jiān)視技術(shù)。
背景技術(shù)：
通常，有使用將液體有機金屬或有機金屬溶液等液體材料氣化的原料氣化供給系統(tǒng)的CVD裝置。液體材料不僅包括原料本身是液體的情況，也包括將固體或液體的原料溶解在溶劑中的狀態(tài)的原料溶液。
該CVD裝置被構(gòu)成為從容器向氣化器供給液體材料，在氣化器中使液體材料氣化后，將氣體導(dǎo)入成膜室，在成膜室的內(nèi)部，在基板上形成薄膜。
作為這樣的CVD裝置，例如，在特開平7-268634號公報中已有記載。該CVD裝置，將液體材料收容在容器內(nèi)，通過與容器連接的加壓管路向容器內(nèi)施加壓力，由此將液體材料擠出至與容器連接的液體供給管路。利用設(shè)置在液體供給管路上的液體材料供給部的流量控制器，向處理腔室內(nèi)供給規(guī)定量的液體材料。
液體材料供給部對容器內(nèi)的液體材料的余量進行管理，需要在液體材料用完之前更換成已填充了原料的容器。這樣的液體材料供給部，例如在特開2002-095955號公報中已公開了其結(jié)構(gòu)的例子。
以往，在檢測被收容在容器內(nèi)的液體的量時，采用使用浮子式余量計等液面?zhèn)鞲衅鞯姆椒?。但是，在CVD中使用的液體材料，由于傳感器部的耐藥品性、因原料附著在傳感器部上而引起的檢測精度降低、由傳感器部引起的原料污染、液體材料著火的危險性等理由，不能使用設(shè)置在容器內(nèi)的一般的液面?zhèn)鞲衅鳌?br> 因此，如特開2002-095955號公報中記載的那樣，在CVD裝置中，根據(jù)流量控制器的流量設(shè)定值或流量檢測值推算容器內(nèi)的液體材料的余量。即，根據(jù)液體材料的流量累計值或液體材料的流量與供給時間的積，算出液體使用量，根據(jù)該液體使用量求出容器內(nèi)的液體余量。
在上述的算出液體使用量或液體余量的方法中，流量的累計時間越長，算出的液體余量與實際的液體余量的誤差越大。因此，實際上，即使原料有剩余，也常常根據(jù)算出的液體余量，考慮到安全而提早更換原料容器。這樣，昂貴的液體材料白白地廢棄，存在運行成本增大的問題。
此外，采用該算出液體余量的方法時，容器的收容容積越大，余量顯示的誤差越大，因此，難以實現(xiàn)由容器的大型化而產(chǎn)生的液體材料的廢棄量的降低。
另一方面，作為其它方法，也可以考慮根據(jù)容器的重量變化進行液體材料的余量測定。但是，因為容器通常與配管等連接，所以無法測定容器單體的重量，檢測誤差大，不能了解準(zhǔn)確的液體余量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種滿足收容的液體原料的污染防止和耐藥品性、準(zhǔn)確地檢測出收容在容器內(nèi)的液體原料的余量的液量監(jiān)視裝置、搭載該液量監(jiān)視裝置的半導(dǎo)體制造裝置、以及液體材料和液量的監(jiān)視方法。
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制造裝置，其包括包含收容液體材料的容器，從該容器供給上述液體材料的液體材料供給部；使由上述液體材料供給部供給的上述液體材料氣化而生成氣體的液體氣化部；使用由上述液體氣化部供給的上述氣體進行處理的處理部；對上述處理部內(nèi)的氣體進行排氣的排氣部；和配置在上述容器的底部，向上述液體材料中導(dǎo)入聲波，根據(jù)被液面反射的反射波檢測上述液體材料的液位的液位檢測器。
本發(fā)明提供一種液量監(jiān)視裝置，其包括收容液體的容器；與上述容器連接的液體供給管路；設(shè)置在上述液體供給管路的中途的流量控制器或流量檢測器；配置在上述容器的底部，向上述液體材料中導(dǎo)入聲波，根據(jù)被液面反射的反射波檢測上述液體材料的液位的液位檢測器；根據(jù)對上述流量控制器的流量設(shè)定值或由上述流量檢測器得到的流量檢測值，算出液體使用量或上述容器內(nèi)的液體余量的液量算出單元；和利用由上述液位檢測器檢測出的液位檢測值，對由上述液量算出單元算出的上述液體使用量或上述液體余量進行修正的液量修正單元。
此外，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體制造裝置的液體材料監(jiān)視方法，其為從收容液體材料的容器送出上述液體材料并使其氣化以生成氣體、將上述氣體送至處理部進行處理的半導(dǎo)體制造裝置的液體材料監(jiān)視方法，從上述容器的底部向上述液體材料中導(dǎo)入聲波，根據(jù)被液面反射的反射波檢測上述液體材料的液位，使用檢測出的液位檢測值，確認上述容器內(nèi)的上述液體材料的余量。
此外，本發(fā)明還提供一種液量監(jiān)視方法，其為在通過與收容液體的容器連接的液體供給管路供給上述液體的過程中、監(jiān)視上述容器內(nèi)的上述液體的液量監(jiān)視方法，根據(jù)上述液體供給管路中的上述液體的流量，算出液體使用量或上述容器內(nèi)的液體余量，將利用聲波檢測上述液體的液位的液位檢測器配置在上述容器的底部，根據(jù)由上述液位檢測器檢測出的液位檢測值，對上述液體使用量或上述液體余量進行修正。


圖1是表示本發(fā)明的實施方式的半導(dǎo)體制造裝置的整體結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖2是表示實施方式的液體材料供給部的結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖3是表示實施方式的控制系統(tǒng)的主要部分的結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖4是表示實施方式的容器結(jié)構(gòu)的縱截面圖。
圖5是實施方式的容器底部的放大局部截面圖。
圖6是表示實施方式的液位檢測器的檢測波形例的圖。
圖7是表示實施方式的各部的動作定時的定時圖。
圖8是表示實施方式的液量監(jiān)視程序的步驟的概略流程圖。
具體實施例方式
以下，參照附圖，對本發(fā)明的實施方式進行詳細地說明。
對本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置、液量監(jiān)視裝置、液體材料監(jiān)視方法以及液量監(jiān)視裝置的實施方式進行說明。圖1是表示本實施方式的半導(dǎo)體制造裝置1的整體結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖。
在本實施方式中，作為半導(dǎo)體制造裝置1，以MOCVD裝置作為一個例子，其具備將作為液體材料的液體有機金屬或有機金屬溶液氣化后進行供給的液體材料氣化供給系統(tǒng)。但是，本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置可以應(yīng)用于MOCVD裝置以外的各種半導(dǎo)體制造裝置，例如，使用有機金屬原料以外的液體材料的批量式、單片式等各種CVD裝置，或者干蝕刻裝置等各種半導(dǎo)體制造用裝置。
半導(dǎo)體制造裝置1包括供給液體有機金屬或有機金屬溶液等液體材料的液體材料供給部2；使由液體材料供給部2供給的液體材料氣化而生成氣體的氣化器(液體氣化部)3；基于由氣化器3供給的氣體進行成膜的處理腔室4；用于對氣化器3、處理腔室4和液體材料供給部2進行排氣的排氣部13；和對包括這些構(gòu)成部位的裝置整體進行控制的控制部20。
圖2表示液體材料供給部2的結(jié)構(gòu)例。
液體材料不僅包括原料本身是液體的情況，也包括將固體或液體的原料溶解在溶劑中的狀態(tài)的原料溶液。此外，填充或收納作為液體材料的溶劑或原料的容器，稱為溶劑容器或原料容器或者簡稱為容器。
該液體材料供給部2包括溶劑供給部X、A材料供給部、B材料供給部和C材料供給部。溶劑供給部X包括向溶劑容器Xb供給不活潑氣體等的加壓氣體的加壓管路Xa、收容有機溶劑的溶劑容器Xb、以及從溶劑容器Xb供給有機溶劑的供給管路2X。
A材料供給部包括同樣的加壓管路Aa、收容液體有機原料或有機原料溶液的原料容器Ab、以及從原料容器Ab供給液體材料的供給管路2A。B材料供給部包括同樣的加壓管路Ba、收容液體有機原料或有機原料溶液的原料容器Bb、以及從原料容器Bb供給液體材料的供給管路2B。C材料供給部包括同樣的加壓管路Ca、收容液體有機原料或有機原料溶液的原料容器Cb、以及從原料容器Cb供給液體材料的供給管路2C。另外，在本實施方式中，溶劑容器或原料容器，通常具有0.5～50升左右的容積。
在使用半導(dǎo)體制造裝置1成膜PZT(Pb[Zr1-xTix]O3)等高介電常數(shù)薄膜(high-k材料)的情況下，作為液體材料之一的有機溶劑，使用乙酸丁酯等。作為A材料供給部供給的液體材料，可以使用Pb(DPM)2等有機Pb原料。作為B材料供給部供給的液體材料，可以使用Zr(O-t-Bu)4等有機Zr原料。作為C材料供給部供給的液體材料，可以使用Ti(O-i-Pr)4等有機Ti原料?？捎糜诔赡ぴ揾igh-k膜材料的BST、STO、BTO、SBT、ZrO的材料。另外，本發(fā)明并不限定于上述有機液體材料，例如，在成膜TiN的情況下，作為無機液體材料，可以使用TiCl4等，只要是液體，可以使用各種材料。
在上述的溶劑供給部X、A材料供給部、B材料供給部和C材料供給部中，供給管路2X、2A、2B、2C分別與原料混合部23連接。在各供給管路2X、2A、2B、2C中，開關(guān)閥Xh、Ah、Bh、Ch，開關(guān)閥Xi、Ai、Bi、Ci，過濾器Xj、Aj、Bj、Cj，開關(guān)閥Ap、Bp、Cp，由質(zhì)量流量計和流量控制閥等構(gòu)成的流量控制器Xc、Ac、Bc、Cc，以及開關(guān)閥Xd、Ad、Bd、Cd分別向下游側(cè)依次配置。此外，在加壓管路Xa、Aa、Ba、Ca上，向下游側(cè)依次配置有止回閥Xe、Ae、Be、Ce，開關(guān)閥Xf、Af、Bf、Cf，以及開關(guān)閥Xg、Ag、Bg、Cg。
此外，在加壓管路Xa、Aa、Ba、Ca中，開關(guān)閥Xf、Af、Bf、Cf與開關(guān)閥Xg、Ag、Bg、Cg之間的分支部位，和供給管路2X、2A、2B、2C中的開關(guān)閥Xi、Ai、Bi、Ci與開關(guān)閥Xh、Ah、Bh、Ch之間的分支部位，通過開關(guān)閥Xk、Ak、Bk、Ck連接。此外，供給管路2X、2A、2B、2C中的開關(guān)閥Xi、Ai、Bi、Ci與開關(guān)閥Xh、Ah、Bh、Ch之間的分支部位，分別通過開關(guān)閥Xl、Al、Bl、Cl與排氣管路2D連接。供給管路2X中的過濾器Xj與流量控制器Xc之間的分支部位，經(jīng)由開關(guān)閥Xm，分別通過An、Bn、Cn與加壓管路Aa、Ba、Ca連接。此外，同樣，經(jīng)由開關(guān)閥Xm，分別通過Ao、Bo、Co與供給管路2A、2B、2C連接。
加壓管路Xa、Aa、Ba、Ca的上游部位相互連結(jié)，通過開關(guān)閥25與不活潑氣體等的加壓氣體源連接。此外，在開關(guān)閥25的下游側(cè)設(shè)置有壓力計P2。此外，排氣管路2D與旁通管路26連接，經(jīng)由開關(guān)閥27與原料混合部23連接。該原料混合部23的下游端，通過開關(guān)閥24與向氣化器3導(dǎo)入的原料供給管路2S連接。此外，該原料混合部23的上游端，通過開關(guān)閥21和流量控制器22與不活潑氣體等載氣源連接。此外，排氣管路2D通過開關(guān)閥28與排水槽D連接，該排水槽D通過開關(guān)閥29與原料供給排氣管路13C連接。
如圖1所示，氣化器3包括從液體材料供給部2導(dǎo)出的原料供給管路2S；和與供給不活潑氣體等噴霧氣體的噴霧氣體管路3T連接的噴霧噴嘴5。該噴霧噴嘴5使液體材料的霧向被加熱的氣化器3的內(nèi)部噴射以將液體材料氣化，生成原料氣體。氣化器3與氣體供給管路3S連接。氣體供給管路3S通過氣體導(dǎo)入閥6與處理腔室4連接。
供給Ar等不活潑氣體等載氣的載氣供給管路4T與該氣體供給管路3S連接，通過氣體供給管路4S向處理腔室4導(dǎo)入載氣。
處理腔室4是用例如鋁等金屬形成的氣密的密閉容器，內(nèi)部成為用于進行成膜處理的成膜室8。該成膜室8中包括氣體導(dǎo)入部9，其與供給原料氣體的氣體供給管路4S和供給O2、O3、NO2等氧化性的反應(yīng)氣體的反應(yīng)氣體管路4V連接。該氣體導(dǎo)入部9具備從微細的細孔向成膜室8內(nèi)部導(dǎo)入原料氣體和反應(yīng)氣體的未圖示的噴頭結(jié)構(gòu)。
此外，在成膜室8內(nèi)設(shè)置有與氣體導(dǎo)入部9相對配置的基座10。在該基座10上載置作為處理對象的基板W。另外，壓力計P1用于測量成膜室8內(nèi)部的壓力。
排氣部13包括與成膜室8連接的主排氣管路13A。在該主排氣管路13A上，向下游側(cè)依次配置有壓力調(diào)整閥14、開關(guān)閥15、排氣捕集器16和開關(guān)閥17。
壓力調(diào)整閥14具有利用閥的開關(guān)度調(diào)整成膜室8內(nèi)部的壓力的功能，構(gòu)成自動壓力調(diào)整單元。壓力調(diào)整閥14根據(jù)壓力計P1的檢測壓力控制閥的開關(guān)度，自動地將成膜室8內(nèi)的壓力調(diào)整為設(shè)定值。此外，排氣部13中設(shè)置有旁通排氣管路13B，其在氣體供給管路3S和主排氣管路13A之間連接。該旁通排氣管路13B的上游端與氣化器3和氣體導(dǎo)入閥6之間連接，其下游端與排氣捕集器16和開關(guān)閥17之間連接。在旁通排氣管路13B上，向下游側(cè)依次設(shè)置有開關(guān)閥11和排氣捕集器12。
在排氣部13中設(shè)置有從液體材料供給部2導(dǎo)出的原料供給排氣管路13C。該原料供給排氣管路13C與主排氣管路13A的開關(guān)閥17和排氣裝置18之間連接。排氣裝置18分2段串聯(lián)配置，從處理腔室4側(cè)的低真空度排氣至高真空度的主排氣泵18A例如是機械增壓泵，下段的從大氣壓排氣至低真空度且承受主排氣泵18A的背壓的排氣泵18B例如是干式泵。
圖3是表示本實施方式的控制系統(tǒng)的主要部分的結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖。
本實施方式的控制部20包括由MPU(micro processing unit微處理單元)等構(gòu)成的控制部(運算處理部)1X，包括分別與控制部1X連接的操作部1P、開關(guān)閥控制部1Y、流量控制部1Z和液位測定部1W。
其中，操作部1P例如由鍵盤或觸摸面板等構(gòu)成，對控制部1X進行各種操作輸入。開關(guān)閥控制部1Y控制設(shè)置在裝置內(nèi)的各部中的開關(guān)閥。流量控制部1Z接收來自流量檢測器的信號，控制設(shè)置在裝置內(nèi)的各部中的流量控制器。流量控制部1Z根據(jù)從流量控制器Xc、Ac、Bc、Cc輸出的流量檢測值，進行它們的流量設(shè)定。流量控制器Xc、Ac、Bc、Cc，例如，由MFM(mass flow meter質(zhì)量流量計)等流量檢測器和高精度流量可變閥等流量調(diào)整閥構(gòu)成。
液位測定部1W控制設(shè)置在裝置內(nèi)的液位檢測器進行液位檢測。本實施方式的液位測定部1W，與在容器Xb、Ab、Bb、Cb的底部從外側(cè)緊密接觸配置的液位檢測器Xs、As、Bs、Cs連接。液位檢測器Xs、As、Bs、Cs利用聲波對容器Xb、Ab、Bb、Cb內(nèi)的溶劑或液體材料的液位進行檢測。即，這些液位檢測器Xs、As、Bs、Cs被構(gòu)成為將聲波通過容器的底壁導(dǎo)入內(nèi)部的液體中，聲波在液體中行進并被液面反射，通過檢測產(chǎn)生的反射波，就可以知道液位。另外，對于液位檢測器Xs、As、Bs、Cs的詳細情況，將在后面進行說明。
圖4是表示本實施方式的容器Xb、Ab、Bb、Cb的結(jié)構(gòu)的概略截面圖。
該容器具有由不銹鋼(SUS316)等形成的有底圓筒狀的殼體31。設(shè)置有可裝卸的蓋部33的凸緣32固著(焊接固定)在該殼體31的上部開口31a的開口邊緣上。蓋部33被與加壓管路Xa、Aa、Ba、Ca連接的加壓管35和與供給管路2X、2A、2B、2C連接的供給管36貫通固定。被配置成加壓管35在殼體31的上部開口，供給管36在殼體31的內(nèi)底部附近開口。
優(yōu)選將殼體31的底部31b構(gòu)成為能夠有效地送出液體材料的朝向外側(cè)的凸曲面狀。當(dāng)然，并不限定于凸曲面狀，也可以是平坦面。在殼體31的底部31b上固定有構(gòu)成液位檢測器Xs、As、Bs、Cs的檢測器主體37。檢測器主體37中設(shè)置有由壓電振動體等構(gòu)成的勵振部37A，在該勵振部37A的內(nèi)側(cè)(中心部)設(shè)置有溫度檢測部(未圖示)。檢測器主體37中，在勵振部37A的外周，設(shè)置有用于安裝支撐在底部31b上的支撐部。該支撐部例如能夠利用螺栓的固定或磁體的吸附將檢測器主體37可裝卸地安裝固定在底部31b上。除此以外，檢測器主體37例如也可以構(gòu)成為設(shè)置相對于殼體31被固定的保持框，在該保持框與檢測器主體37之間插入加壓彈簧等彈性部件，利用彈性力進行推壓以使其貼緊。此外，優(yōu)選在底部31b與支撐部的接觸面上涂敷潤滑脂或凝膠薄片等凝膠狀的聲音透過劑38以緊密固定。該聲音透過劑38能夠以高效率向殼體31內(nèi)傳播、導(dǎo)入由勵振部37A產(chǎn)生的超聲波。此外，在殼體31的底部31b上設(shè)置有環(huán)狀的腳部34，在將殼體31固定并且設(shè)置在設(shè)置場所時，腳部34具有保護檢測器主體37的功能。
圖5是將殼體31的下部(底部31b側(cè)部分)放大顯示的放大局部截面圖。在檢測器主體37中，通過向設(shè)置在未圖示的振動部上的壓電體等施加交流電壓等，可在規(guī)定期間內(nèi)在勵振部37A上引起振動。當(dāng)經(jīng)過規(guī)定期間時，對勵振部37A的驅(qū)動停止，勵振部37A成為自由振動狀態(tài)。
勵振部37A的振動會產(chǎn)生侵入殼體31的底部31b的聲波(超聲波)US，聲波US通過底部31b的底壁，在被收容于內(nèi)部的液體L中傳播，朝向處于上方的液面La前進。
然后，聲波US被液面La反射，其反射波RS向下方在液體L中傳播，該反射波RS通過底壁，使勵振部37A振動。檢測器主體37用未圖示的接收部接收該振動，由設(shè)置在接收部內(nèi)的壓電體產(chǎn)生電位。由該電位就可以知道液面La的位置。
圖6是表示如上述那樣向殼體31內(nèi)入射聲波US、接收其反射波RS時的聲波的波形的圖。在此，聲波用實線表示、且將其一部分省略，在圖中用虛線表示聲波的包絡(luò)線。
在此，聲波US的頻率為50kHz～1MHz左右。在圖6中，在發(fā)送波之后，依次檢測出一次接收波和二次接收波。若將從產(chǎn)生發(fā)送波開始到檢測出一次接收波(一次反射波)為止的時間記為δti、將從檢測出一次接收波開始到檢測出二次接收波(二次反射波)為止的時間記為δts，則液位(液面的高度)LH＝VL×(δti-2d/VS)/2在此，VL為聲波在液體L中的速度(聲速)，VS為聲波在殼體31中的速度(聲速)，d為殼體31的底部31b的壁面的厚度。
因此，通過測定δti，可以求出液位LH。該方法在液位LH大的區(qū)域中具有高靈敏度。在該情況下，當(dāng)由于液面La下降，液位LH減小，一次接收波的檢測時間δti小于tx時，無法區(qū)別發(fā)送波自身和檢測噪聲(由發(fā)送波的殘響或液面La以外的反射等引起的聲波)，從而無法檢測一次接收波。
另一方面，也可以利用液位LH＝VL×(δts-2d/VS)/4，通過測定二次反射波的δts，求出液位LH。該方法在液位LH小的區(qū)域中具有高靈敏度。在該情況下，當(dāng)由于液面La上升，液位LH變得過大時，由于聲波的衰減，難以檢測出二次接收波等高次的接收波。因此，通過將這些接收波組合，并利用勵振部37A的溫度檢測部檢測出液體材料的溫度以對聲速VL、VS進行修正，能夠檢測出準(zhǔn)確的液位。即，無論使用2種方法中的任一種方法進行檢測，或者將2種方法組合起來進行檢測，用液位檢測器進行的液位檢測，僅能在某個上限與下限之間的規(guī)定范圍內(nèi)進行。另外，在對聲速VL、VS進行修正的情況下，在液體材料的溫度不能直接測定時，可以檢測出容器的溫度來使用。
為了擴大該測定范圍，需要減少檢測噪聲。該檢測噪聲由各部中的反射波或殘響波等產(chǎn)生。例如，檢測噪聲由聲波在殼體31的表面被反射而產(chǎn)生。為了減少該反射波，減小殼體31的內(nèi)表面和外表面的表面粗糙度是有效的。即，如果殼體31的表面存在凹凸，則會因該凹凸部分而產(chǎn)生反射波，或者反射波在凹凸間進行回聲，它們會成為噪聲，由此會導(dǎo)致液面的可檢測范圍變得狹小或液面的檢測精度降低。
因此，在本實施方式中，將殼體31的表面形成為使得表面粗糙度Ry(最大高度)為10μm以下、優(yōu)選為小于1.0μm的值(例如，0.7μm左右)。這樣的容器的內(nèi)外表面的平滑性，可以用拋光研磨、化學(xué)研磨、電解研磨等研磨處理來實現(xiàn)。特別地，將機械研磨和電解研磨組合而成的復(fù)合電解研磨，可在高維中兼得平坦性與平滑性。此外，為了降低表面的加工變質(zhì)層的影響，優(yōu)選在研磨后在真空或不活潑氣體氣氛中進行退火等熱處理。
此外，如圖5所示，存在有在殼體31內(nèi)部傳播的聲波TS的反射波，會由該反射波產(chǎn)生檢測噪聲。特別地，在通過上部圓筒部件和下部圓筒部件的接合來形成殼體31的情況下，對上部圓筒部件和下部圓筒部件的接合面鏡面性地進行坡口加工，在進行了對焊之后，從接合部的外側(cè)進行堆焊，通過研磨將外表面做得平滑。這樣，在殼體31上存在因焊接等而產(chǎn)生的固著部31x的情況下，由于固著部31x的組織與周圍不同，在固著部31x處常常會產(chǎn)生反射波。即，當(dāng)由于焊接而向固著部31x施加高熱時，組織因熱影響而變質(zhì)，對聲波TS的傳播特性發(fā)生變化，使檢測噪聲增大。例如，在不銹鋼的情況下，由于熱而使得碳化鉻在晶界處析出，因此，擾亂聲波TS的傳播，成為使反射波增大的主要原因。
因此，在本實施方式中，不使用TIG焊接(Tungsten Inert GasWelding鎢極惰性氣體保護焊)等熱負荷大的焊接方法，而采用等離子體焊接、電子束焊接等熱負荷低的焊接方法。此外，更優(yōu)選不使用焊接等而直接將母材彼此無縫焊接。此外，為了防止焊接部分的變質(zhì)，優(yōu)選在真空減壓下或者在不活潑氣體氣氛中進行焊接。當(dāng)然，為了使殼體31的材質(zhì)均勻化，最優(yōu)選的是不進行焊接等接合處理而一體成型殼體31(不是將殼體31的上部與底部31b接合，而是將它們形成為一體成型品)。即，最優(yōu)選的是從容器的底部開始到內(nèi)部的液面La存在的位置為止的殼體31的壁面的材料被構(gòu)成為沒有接縫、均質(zhì)。殼體31的一體成型，例如可以通過拉伸加工(深拉伸加工)等進行。
此外，如上所述，可用液位檢測器進行檢測的液位的范圍受到限制，因此僅利用液位檢測進行液量管理并不一定容易，在本實施方式中，通過將使用液位檢測器進行的液位測定和基于流量檢測值的液體使用量或者液體余量的算出值組合，使液體使用量或者液體余量的高精度監(jiān)視成為可能。這可以通過由液量監(jiān)視程序等執(zhí)行的后述的液量監(jiān)視方法實現(xiàn)。
接著，對本實施方式的動作進行說明。
在本實施方式中，構(gòu)成為通過在圖3所示的控制部1X中執(zhí)行動作程序，使裝置整體自動地進行動作。例如，將動作程序存儲在MPU的內(nèi)部存儲器中，從內(nèi)部存儲器讀出該動作程序，由運算處理部執(zhí)行。此外，優(yōu)選構(gòu)成為動作程序具有各種動作參數(shù)，能夠通過來自操作部1P的輸入操作，適宜地設(shè)定動作參數(shù)。
圖7是表示半導(dǎo)體制造裝置1的各部的動作定時的定時圖。在此，溶劑流量是由圖2所示的供給管路2X供給的溶劑的流量，由流量控制器Xc進行控制。此外，原料流量是由圖2所示的供給管路2A、2B、2C供給的液體原料的流量，由流量控制器Ac、Bc、Cc進行控制。
此外，C1流量是向圖2所示的原料混合部23供給的載氣的流量，由流量控制器22進行控制。該載氣被直接導(dǎo)入氣體供給管路2S。此外，C2流量是由圖1所示的噴霧氣體管路3T供給的噴霧氣體(載氣)的流量，由未圖示的流量控制器進行控制，此外，氣體導(dǎo)入閥表示圖1所示的上述氣體導(dǎo)入閥6的驅(qū)動信號。
在動作剛開始后，如圖7的溶劑流量和C1流量所示，設(shè)置僅向氣化器3供給載氣和溶劑，使氣化器3的流通狀態(tài)和氣化狀態(tài)穩(wěn)定的期間(以下，稱為準(zhǔn)備期間)。例如，將溶劑流量設(shè)為1.2ml/min(換算成氣體為200ml/min)，將C1流量設(shè)為250ml/min，將C2流量設(shè)為50ml/min。在此，使C2流量總是恒定。在該準(zhǔn)備期間中，由于不供給液體原料，所以不會生成原料氣體。
接著，如圖7所示，設(shè)置如原料流量所示流入液體原料、而減少溶劑流量的期間(以下，稱為空轉(zhuǎn)(idling)期間)。例如，將液體材料設(shè)為0.5ml/min，將溶劑流量設(shè)為0.7ml/min，C1流量和C2流量不變。優(yōu)選在這些準(zhǔn)備期間和空轉(zhuǎn)期間中，將溶劑和液體材料合計起來的液體總供給量不變。在空轉(zhuǎn)期間中，因為已供給液體原料，所以在氣化器3內(nèi)生成原料氣體。此時，圖1所示的氣體導(dǎo)入閥6關(guān)閉，而開關(guān)閥11打開，由此，原料氣體通過旁通排氣管路13B進行排氣。
接著，在原料氣體的流量穩(wěn)定之后，設(shè)置打開氣體導(dǎo)入閥6并關(guān)閉開關(guān)閥11從而向成膜室8導(dǎo)入原料氣體的期間(以下，稱為成膜期間)。于是，在成膜室8內(nèi)，在基板W上進行成膜。經(jīng)過設(shè)定的成膜時間后堆積至期望的膜厚時，關(guān)閉氣體導(dǎo)入閥6，打開開關(guān)閥11，再次返回空轉(zhuǎn)期間。然后，停止液體原料的供給，返回到上述的準(zhǔn)備期間。在經(jīng)過該準(zhǔn)備期間后，再次反復(fù)進行空轉(zhuǎn)期間、成膜期間、空轉(zhuǎn)期間的循環(huán)，由此能夠依次進行多個成膜處理工序。
在本實施方式的圖7所示的例子中，記載的是在進行了2個成膜處理工序后結(jié)束處理，但是，并不限定于該例子，也可以僅進行1次成膜處理工序或反復(fù)進行3次以上的成膜處理工序。
此外，設(shè)置在空轉(zhuǎn)期間之間的準(zhǔn)備期間可以設(shè)定為適宜的長度，也可以省略。例如，是準(zhǔn)備期間、空轉(zhuǎn)期間、成膜期間、空轉(zhuǎn)期間、成膜期間、……(空轉(zhuǎn)期間與成膜期間的任意次數(shù)的反復(fù))、空轉(zhuǎn)期間、準(zhǔn)備期間的情況。這樣的制造工序中的各部的動作定時，可以預(yù)先設(shè)定在控制部1X中，或者也可以構(gòu)成為通過對操作部1P的操作而適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。
一旦通過操作在動作程序中設(shè)定了動作定時，控制部1X就向開關(guān)閥控制部1Y和流量控制部1Z提供指示，控制裝置整體，自動地執(zhí)行上述的成膜工序。動作程序中包括用于測定被收容在容器Xb、Ab、Bb、Cb中的溶劑或液體材料的使用量或余量的液量監(jiān)視程序。
利用該液量監(jiān)視程序，通過流量控制部1Z從流量控制器Xc、Ac、Bc、Cc讀出流量檢測值(或者，也可以是流量控制值)，根據(jù)該流量檢測值算出液體使用量(或者，也可以是容器內(nèi)的液體余量)。此外，也可以通過液位測定部1W從液位檢測器Xs、As、Bs、Cs讀出液位檢測值，根據(jù)該液位檢測值，測定液體使用量或液體余量。
圖8是表示使用液量監(jiān)視程序的控制部的動作步驟的一個例子的概略流程圖。
該液量監(jiān)視程序被構(gòu)成為利用多個動作模式中的任一種模式進行液量監(jiān)視。但是，在此，對設(shè)定為第一動作模式和第二動作模式這兩種模式的例子進行說明。另外，液量監(jiān)視程序可以被構(gòu)成為僅利用以下說明的動作模式中的任一種動作模式進行動作。
首先，當(dāng)通過操作部1P進行該動作模式的設(shè)定時，該設(shè)定的動作模式被記錄下來(步驟S1)。在此，當(dāng)通過操作部1P輸入容器的液體量的初始值時，要進行使容器內(nèi)的液體余量的初始值成為輸入值的初始化處理(步驟S2)。
接著，讀入動作模式的設(shè)定，判斷該設(shè)定是否為第一動作模式(步驟S3)。如果通過該判斷為第一動作模式，則轉(zhuǎn)移到下一個步驟S4。另一方面，如果不是第一動作模式(NO否)，則判斷為第二動作模式，轉(zhuǎn)移到后述的步驟S10。
接著，在通過上述步驟S3的判斷為第一動作模式的情況下，通過流量控制部1Z從流量控制器Xc、Ac、Bc、Cc讀出流量檢測值或流量控制值(步驟S4)。根據(jù)該流量檢測值(或流量設(shè)定值)算出液體使用量或液體余量，并顯示在監(jiān)視器等的畫面上(步驟S5)。
然后，判斷液體使用量或液體余量是否在達到規(guī)定值之前已達到下限值(步驟S6)，若已達到下限值(YES是)，則轉(zhuǎn)移到后述的結(jié)束處理(步驟S19)。另一方面，若沒有達到下限值，則判斷液體使用量或液體余量是否已達到規(guī)定值(步驟S7)。若通過該判斷已達到規(guī)定值(YES是)，則通過液位測定部1W從液位檢測器Xs、As、Bs、Cs讀出液位檢測值，根據(jù)該液位檢測值測定液體使用量或液體余量(步驟S8)。另一方面，若未達到規(guī)定值(NO否)，則返回步驟S4，逐次(或每隔規(guī)定時間)進行，直到達到規(guī)定值為止。
接著，在所測定的液體使用量或液體余量中，替換根據(jù)流量檢測值求得的液體使用量或液體余量，并顯示在監(jiān)視器等的畫面上(步驟S9)。逐次或每隔規(guī)定時間反復(fù)進行該順序，直到最終液體使用量或液體余量達到下限值(容器的更換時間)為止，當(dāng)最終達到下限值時，在步驟S6中，向結(jié)束處理(步驟S19)轉(zhuǎn)移。步驟S19的結(jié)束處理要進行裝置動作的停止處理、或通過顯示或聲音等報告液量不足的報告處理等。
上述的規(guī)定值優(yōu)選設(shè)定為能夠容易而且高精度地進行由液位檢測器進行的液位檢測的范圍。例如，如果上述范圍為液位1～150mm的范圍，則將與該范圍內(nèi)的液位對應(yīng)的液體使用量或液體余量(例如，液位3mm)作為上述的規(guī)定值。由此，在偏離上述范圍的區(qū)域(液位小于1mm或大于150mm的區(qū)域)中，由于檢測噪聲等而不能實施由液位檢測器進行的液位檢測的情況下，或者，在液位檢測的誤差大的情況下，也可以通過規(guī)定值的修正處理而在上述區(qū)域中進行比以往更準(zhǔn)確的液量測定。另外，規(guī)定值可以不僅是1個而設(shè)定有多個。
接著，在上述的步驟S3中，如果判斷為第二動作模式(NO否)，則通過流量控制部1Z從流量控制器Xc、Ac、Bc、Cc讀出流量檢測值(或者，也可以是流量控制值。以下同樣)(步驟S10)。根據(jù)該流量檢測值算出液體使用量，將液體使用量或液體余量記錄在內(nèi)部存儲器等中，并且在監(jiān)視器等的畫面上進行顯示(步驟S11)。
此外，通過液位測定部1W從液位檢測器Xs、As、Bs、Cs讀出液位檢測值，并將該液位檢測值逐次記錄在內(nèi)部存儲器等中(步驟S12)。反復(fù)進行步驟S10～S12的順序，直到既定的測定范圍結(jié)束為止(步驟S13)。在此，如果既定的測定范圍已結(jié)束(YES是)，則根據(jù)液體使用量或液體余量的記錄和液位檢測值的記錄，算出修正參數(shù)(步驟S14)。另一方面，如果既定的測定范圍尚未結(jié)束(NO否)，則返回到步驟S10，進行同樣的處理。
然后，在算出修正參數(shù)后，通過流量控制部1Z從流量控制器Xc、Ac、Bc、Cc讀出流量檢測值(步驟S15)。接著，算出液體使用量或液體余量(步驟S16)，利用修正參數(shù)對其進行修正處理，并在監(jiān)視器等的畫面上進行顯示(步驟S17)。然后，反復(fù)進行步驟S15～S17，直到液體余量達到下限值為止(步驟S18)，如果已達到下限值(YES是)，則進行步驟S30的結(jié)束處理，結(jié)束。
上述的修正參數(shù)，例如，是通過在既定的測定范圍內(nèi)將根據(jù)流量檢測值而求得的液體使用量或液體余量與液位檢測值進行比較而得到的參數(shù)。具體地說，將根據(jù)流量檢測值而求得的液體使用量或液體余量的變化量與根據(jù)液位檢測值而測定的液體使用量或液體余量的變化量進行比較，導(dǎo)出進行變化形態(tài)的修正的參數(shù)。例如，在將根據(jù)流量檢測值而求得的液體使用量或液體余量設(shè)為X、將利用液位檢測值而測定的液體使用量或液體余量設(shè)為Y時，用一次函數(shù)表示X與Y的關(guān)系。通過在既定的測定范圍內(nèi)進行變化量的比較，求出Y＝aX+b的系數(shù)a和b，將該系數(shù)a和b作為修正參數(shù)。在該情況下，從此以后，在算出X后，應(yīng)用修正參數(shù)a和b，通過Y＝aX+b的計算求出Y，并顯示該Y。另外，作為修正參數(shù)，也可以僅使用修正參數(shù)a或僅使用b。也可以使用高次函數(shù)代替一次函數(shù)，將用于確定該高次函數(shù)的系數(shù)作為修正參數(shù)。
此外，在本實施方式的裝置中，也可以利用控制部1X根據(jù)液位檢測值直接求出液體使用量或液體余量，并將其顯示在監(jiān)視器等的畫面上。這例如可以構(gòu)成為通過對操作部1P的操作而進行，或者，也可以構(gòu)成為自動且逐次(或定期地)進行。
這樣的構(gòu)成，在由液位檢測器進行的液位檢測在需要進行液量監(jiān)視的全部范圍內(nèi)都可實施的情況下特別有效。但是，即使是在僅可在一部分范圍內(nèi)進行液位檢測的情況下或僅可在一部分范圍內(nèi)進行高精度的液位檢測的情況下，也能夠直接知道液體使用量或液體余量，在這一點上優(yōu)選。
以上所述的本實施方式，具有以下的作用和效果。
本實施方式使用配置在容器底部上的液位檢測器，利用聲波檢測液體材料的液位，從而不需要使檢測器與液體材料直接接觸。由此，能夠避免液體材料的污染、確保檢測器的耐藥品性、因液體材料附著在檢測器上而引起的檢測精度降低、和液體材料的著火等。此外，通過檢測液體材料的液位，可以準(zhǔn)確地了解液體材料的使用量或容器內(nèi)的液體材料的余量。在此，作為液位檢測器，例如可以使用做成為使聲波從容器的底部進入到內(nèi)部，在液體材料的液面上進行反射，根據(jù)其反射波的檢測時間測定液體材料的液位的檢測器。此外，也可以根據(jù)由液面引起的聲波的1次反射波和2次反射波的檢測間隔來測定液位。此外，液位檢測器優(yōu)選以從外側(cè)貼緊的狀態(tài)設(shè)置在容器的底部上。
本實施方式根據(jù)液體供給管路的流量算出液體使用量或液體余量，利用由液位檢測器檢測出的液體材料的液位(液位檢測值)，修正液體使用量或液體余量的算出值。由此，可以準(zhǔn)確地了解液體材料的使用量或容器內(nèi)的液體材料的余量。此外，液位檢測器可以考慮液位的可檢測范圍或可高精度地檢測液位的范圍比了解液體使用量或液體余量所需要的范圍更窄的情況，在本實施方式中，如果利用在規(guī)定范圍內(nèi)得到的液位檢測值修正液體使用量或液體余量，則即使在液位的可檢測范圍以外或可進行高精度檢測的范圍以外，也可以了解比以往更準(zhǔn)確的液體使用量或液體余量。
本實施方式的液量修正單元，在液體使用量或液體余量達到規(guī)定值時進行修正。在該情況下，通過預(yù)先將規(guī)定值設(shè)定在液位檢測器的可檢測范圍內(nèi)或可進行高精度檢測的范圍內(nèi)，可以可靠地進行修正。由于逐次利用修正參數(shù)修正液體使用量或液體余量，所以能夠減少液位檢測的頻率，此外，即使從由液位檢測取得修正參數(shù)時經(jīng)過一段時間，也能夠某種程度地維持液體使用量或液體余量的精度。
本實施方式的液量修正單元，將液體使用量或液體余量的規(guī)定范圍內(nèi)的液體使用量或液體余量的變化量與液位檢測值的變化量進行比較，算出修正參數(shù)。由此，可以將變化率的差用作修正參數(shù)，因此，可以防止液體使用量或液體余量的偏差隨著時間的流逝而增大，即使從由液位檢測取得修正參數(shù)時經(jīng)過一段時間，也可以維持高精度。
本實施方式使用配置在容器底部上的液位檢測器，利用聲波檢測液體材料的液位。由此，不需要使檢測器與液體材料直接接觸，因此，能夠避免液體材料的污染、確保檢測器的耐藥品性、因液體材料附著在檢測器上而引起的檢測精度降低、和液體材料的著火等。此外，因為能夠檢測液體材料的液位，所以能夠準(zhǔn)確地了解液體材料的使用量或容器內(nèi)的液體材料的余量。
液位檢測器，例如可以使用做成為使聲波從容器的底部進入到內(nèi)部，在液體材料的液面上進行反射，根據(jù)其反射波的檢測時間測定液體材料的液位的檢測器。此外，也可以根據(jù)由液面引起的聲波的1次反射波和2次反射波的檢測間隔來測定液位。此外，液位檢測器優(yōu)選以從外側(cè)貼緊的狀態(tài)設(shè)置在容器的底部上。
本實施方式中，在根據(jù)液體供給管路的流量算出液體使用量或液體余量的情況下，使用配置在容器底部上的液位檢測器，利用聲波檢測液體材料的液位。通過用該液位檢測值修正液體使用量或液體余量，能夠準(zhǔn)確地了解液體材料的使用量或容器內(nèi)的液體材料的余量。此外，液位檢測器可以考慮液位的可檢測范圍或可進行高精度檢測的范圍比了解液體使用量或液體余量所需要的范圍更窄的情況，在本發(fā)明中，如果在液位的可檢測范圍內(nèi)或可進行高精度檢測的范圍內(nèi)修正液體使用量或液體余量，則即使在液位的可檢測范圍以外或可進行高精度檢測的范圍以外，也可以了解比以往更準(zhǔn)確的液體使用量或液體余量。
以上所說明的本發(fā)明，與現(xiàn)有裝置或現(xiàn)有方法比較，具有以下的優(yōu)點。
(1)在半導(dǎo)體制造裝置中，通過構(gòu)成為將使用聲波檢測液位的液位檢測器配置在容器底部上從而能夠與液體材料非接觸地檢測液位，能夠準(zhǔn)確地檢測出容器內(nèi)的液體材料的實際的余量，從而能夠適時地確認實際的液面、以防止余量推測值的偏差等，因此，能夠降低高價的液體材料的浪費，從而能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體的制造成本的削減。
(2)因為利用液位檢測器檢測被收容在容器內(nèi)的液體材料的液面，所以，與根據(jù)流量檢測值算出液體使用量或液體余量的現(xiàn)有方法比較，能夠更可靠而且以更高精度監(jiān)視液量。特別地，與現(xiàn)有方法比較，能夠消除累積的計算誤差，因此，能夠大幅減少液體材料的廢棄量。在液體材料是高價的材料或者廢棄處理難以進行的情況下，即使在成本方面，效果也極高。
(3)即使液位檢測器的可測定范圍或可進行高精度檢測的范圍某種程度上受到限定，通過同時使用根據(jù)流量檢測值算出液體使用量或液體余量，也能夠在寬廣的范圍內(nèi)監(jiān)視液量。即，通過利用液位檢測器的液位檢測值進行的修正處理，減少基于流量檢測值的液體使用量或液體余量的算出誤差，并且，通過根據(jù)流量檢測值算出液體使用量或液體余量，能夠彌補液位檢測器的檢測范圍的限制。
(4)此外，還能夠防止傳感器結(jié)構(gòu)對液體材料的污染，可以不需要由用于避免傳感器結(jié)構(gòu)被液體材料腐蝕等的耐藥品性所引起的對策，能夠防止因材料在傳感器結(jié)構(gòu)上的附著而引起的檢測精度的降低，能夠提高對易于著火的液體材料(例如，上述的有機溶劑等)的安全性等，跟與液體材料接觸的現(xiàn)有的液面?zhèn)鞲衅鞅容^，能夠?qū)崿F(xiàn)材料品位的提高、使對材料特性的應(yīng)對容易、安全性的提高、和檢測的高精度化等。
根據(jù)本發(fā)明，能夠準(zhǔn)確地了解收容在容器內(nèi)的液體的實際的余量，通過將余量抑制到最小限度，可減少高價的液體的浪費，因此，能夠得到可以抑制半導(dǎo)體的制造成本的優(yōu)異效果。
另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置、液量監(jiān)視裝置、液體材料監(jiān)視方法以及液量監(jiān)視方法，不只限定于上述圖示的例子，在不偏離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)，當(dāng)然可以進行各種變更。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于，包括包含收容液體材料的容器，從該容器供給所述液體材料的液體材料供給部；使由所述液體材料供給部供給的所述液體材料氣化而生成氣體的液體氣化部；使用由所述液體氣化部供給的所述氣體進行處理的處理部；對所述處理部內(nèi)的氣體進行排氣的排氣部；和配置在所述容器的底部，向所述液體材料中導(dǎo)入聲波，根據(jù)被液面反射的反射波檢測所述液體材料的液位的液位檢測單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述液體檢測單元具有用于將所述聲波導(dǎo)入所述液體材料中的由壓電振動體構(gòu)成的勵振部；和內(nèi)置在該勵振部內(nèi)的溫度檢測部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述液體材料供給部包括與收容所述液體材料的容器連接的液體供給管路；設(shè)置在所述液體供給管路的中途的流量控制器或流量檢測器；配置在所述容器的底部，向所述液體材料中導(dǎo)入聲波，根據(jù)被液面反射的反射波檢測所述液體材料的液位的液位檢測器；根據(jù)對所述流量控制器的流量設(shè)定值或由所述流量檢測器得到的流量檢測值，算出液體使用量或所述容器內(nèi)的液體余量的液量算出單元；和利用由所述液位檢測器檢測出的液位檢測值對由所述液量算出單元算出的所述液體使用量或所述液體余量進行修正的液量修正單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述液量修正單元是將所述液體使用量或所述液體余量更新為根據(jù)所述液位檢測值導(dǎo)出的值的單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述液量修正單元在所述液體使用量或所述液體余量達到規(guī)定值時進行修正。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述液量修正單元，根據(jù)所述液體使用量或所述液體余量和所述液位檢測值，預(yù)先算出修正參數(shù)，然后，將該修正參數(shù)應(yīng)用于所述液體使用量或所述液體余量以進行修正。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述液量修正單元，將所述液體使用量或所述液體余量的規(guī)定范圍內(nèi)的所述液體使用量或所述液體余量的變化量與所述液位檢測值的變化量進行比較，算出所述修正參數(shù)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述容器由相吻合的第一殼體部和第二殼體部構(gòu)成，所述相吻合的接觸部分由焊接單元接合。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述焊接單元使用等離子體焊接或電子束焊接中的任一種。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述第一殼體部和所述第二殼體部的表面粗糙度為10μm以下。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述容器通過無接縫的一體成型而形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述液體材料是有機金屬材料。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體制造裝置，其特征在于所述有機金屬材料是高電介質(zhì)薄膜材料。
14.一種液量監(jiān)視裝置，其特征在于，包括收容液體材料的容器；與所述容器連接的液體供給管路；設(shè)置在所述液體供給管路的中途的流量控制器或流量檢測器；配置在所述容器的底部，向所述液體材料中導(dǎo)入聲波，根據(jù)被液面反射的反射波檢測所述液體材料的液位的液位檢測器；根據(jù)對所述流量控制器的流量設(shè)定值或由所述流量檢測器得到的流量檢測值，算出液體使用量或所述容器內(nèi)的液體余量的液量算出單元；和利用由所述液位檢測器檢測出的液位檢測值，對由所述液量算出單元算出的所述液體使用量或所述液體余量進行修正的液量修正單元。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的液量監(jiān)視裝置，其特征在于所述液量修正單元是將所述液體使用量或所述液體余量更新為根據(jù)所述液位檢測值導(dǎo)出的值的單元。
16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的液量監(jiān)視裝置，其特征在于所述液量修正單元在所述液體使用量或所述液體余量達到規(guī)定值時進行修正。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的液量監(jiān)視裝置，其特征在于所述液量修正單元，根據(jù)所述液體使用量或所述液體余量和所述液位檢測值，預(yù)先算出修正參數(shù)，然后，將該修正參數(shù)應(yīng)用于所述液體使用量或所述液體余量以進行修正。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的液量監(jiān)視裝置，其特征在于所述液量修正單元，將所述液體使用量或所述液體余量的規(guī)定范圍內(nèi)的所述液體使用量或所述液體余量的變化量與所述液位檢測值的變化量進行比較，算出所述修正參數(shù)。
19.一種半導(dǎo)體制造裝置的液體材料監(jiān)視方法，該半導(dǎo)體制造裝置從收容液體材料的容器送出所述液體材料并使其氣化以生成氣體，將所述氣體送至處理部進行處理，其特征在于從所述容器的底部向所述液體材料中導(dǎo)入聲波，根據(jù)被液面反射的反射波檢測所述液體材料的液位，使用檢測出的液位檢測值，確認所述容器內(nèi)的所述液體材料的余量。
20.一種液量監(jiān)視方法，在通過與收容液體的容器連接的液體供給管路供給所述液體的過程中，監(jiān)視所述容器內(nèi)的所述液體，其特征在于根據(jù)所述液體供給管路中的所述液體的流量，算出液體使用量或所述容器內(nèi)的液體余量，將利用聲波檢測所述液體的液位的液位檢測器配置在所述容器的底部，根據(jù)由所述液位檢測器檢測出的液位檢測值，對所述液體使用量或所述液體余量進行修正。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的液量監(jiān)視方法，其特征在于所述液體使用量或所述液體余量通過更新為根據(jù)所述液位檢測值導(dǎo)出的值而被修正。
22.根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的液量監(jiān)視方法，其特征在于所述液體使用量或所述液體余量在達到規(guī)定值時被修正。
23.根據(jù)權(quán)利要求20所述的液量監(jiān)視方法，其特征在于根據(jù)所述液體使用量或所述液體余量和所述液位檢測值，預(yù)先算出修正參數(shù)，然后，將該修正參數(shù)應(yīng)用于所述液體使用量或所述液體余量，由此進行修正。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的液量監(jiān)視方法，其特征在于通過將規(guī)定范圍內(nèi)的所述液體使用量或所述液體余量的變化量與所述液位檢測值的變化量進行比較，算出所述修正參數(shù)。
全文摘要
半導(dǎo)體制造裝置包括包含收容液體材料的容器(Xb、Ab、Bb、Cb)，從該容器供給上述液體材料的液體材料供給部；使由上述液體材料供給部供給的上述液體材料氣化而生成氣體的液體氣化部；使用由上述液體氣化部供給的上述氣體進行成膜處理的處理部；對上述處理部進行排氣的排氣部；以及配置在上述容器的底部，利用聲波檢測上述液體材料的液位的液位檢測器(Xs、As、Bs、Cs)。
文檔編號C23C16/448GK1993805SQ200580026440
公開日2007年7月4日 申請日期2005年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月18日
發(fā)明者安室章, 飯塚八城 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社