專利名稱：一種用于玻璃材料的拋光液及其制備方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種拋光液及其制備方法，特別是一種用于玻璃材料 的拋光液及其制備方法。
(二) 背景技術-
玻璃材料拋光及其平面加工是涉及許多領域的技術，其中包括
LCD面板，光學用玻璃等廣泛的領域。由于玻璃材料本身脆性大，化 學拋光作用不明顯，給材料表面平坦化加工帶來了很大難度。目前國 際上主要采用氧化鈰的粉末作為拋光加工磨料，但氧化鈰顆粒的清洗 工藝比較復雜，因此限制了氧化鈰的技術應用。
(三)
發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于提供一種用于玻璃的拋光液及其制備方法，它 克服了現(xiàn)有技術中的缺點，是一種高效、易清洗且對設備無損害的用 于玻璃材料的拋光液及其制備方法。
本發(fā)明的技術方案 一種用于玻璃材料的拋光液，其特征在于 由磨料、表面活性劑、PH值調節(jié)劑和去離子水組成，各種成分所占 的重量百分比為磨料10 50%;表面活性劑0.01 0. 6%; PH
值調節(jié)劑1 6%;去離子水為余量；拋光液PH值范圍為11 12，粒 徑為50nm 200nm。
上述所說的磨料是指粒徑范圍為50nm 200nm的水溶硅溶膠 或金屬氧化物Si0" A1A、 Ce02或Ti02的水溶膠。
上述所說的表面活性劑系采用非離子型表面活性劑，如脂肪醇聚 氧乙稀醚或烷基醇酰胺。
上述所說的PH調節(jié)劑是指氫氧化鈉、氫氧化鉀、多羥多胺和胺 中的一種或其組合。
一種用于玻璃材料的拋光液制備方法，其特征在于首先將制備 拋光液的各種組分分別進行過濾凈化處理，然后在千級凈化室的環(huán)境 內，將各種組分在真空負壓的動力下，通過質量流量計輸入容器罐中
并充分攪拌，混合均勻即可。
本發(fā)明的優(yōu)點是拋光液是堿性，不腐蝕污染設備，容易清洗； 玻璃材料拋光速率快，平整性好；對有害金屬離子的鰲合作用強；采 用非離子型表面活性劑，能對磨料和反應產物從襯底表面產生有效的 吸脫作用；工藝簡單，成本低。 具體實施例方式
實施例1:配置200g拋光液
所需原料包括40gAlA磨料，粒徑100-120nm; 4g四輕基乙基
乙二胺；4g氫氧化鉀；lg脂肪醇聚氧乙稀醚；余量加入去離子水。 拋光液的制備方法為首先將制備拋光液的各種組分分別進行過濾凈
化處理，然后在千級凈化室的環(huán)境內，將各種組分在真空負壓的動力 下，通過質量流量計輸入容器罐中并充分攪拌，混合均勻即可。
實驗檢測結果上述拋光液PH值為11.2，粒徑分布為100-120nm。 用配好的拋光液在風雷C6382I/YJ型拋光機上，在壓力為100g/cm2、 拋光盤轉速為80轉/分鐘、流量900ml/分鐘的條件下，對砷化鎵晶片 進行拋光，測得玻璃的平均速率為0.2微米/分鐘，表面質量良好。
實施例2:配置2000g拋光液
所需原料包括750g水溶硅溶膠磨料，粒徑60-80nm; 30gEDTA， 60g氫氧化鉀，15g烷基醇酰胺，余量加入去離子水。拋光液的制備 方法為首先將制備拋光液的各種組分分別進行過濾凈化處理，然后 在千級凈化室的環(huán)境內，將各種組分在真空負壓的動力下，通過質量 流量計輸入容器罐中并充分攪拌，混合均勻即可。
實驗檢測結果上述拋光液PH值為10.2，粒徑分布為60-80nm。 用配好的拋光液在風雷C6382I/YJ型拋光機上，在壓力為100g/cm2、 拋光盤轉速為80轉/分鐘、流量900ml/分鐘的條件下，對玻璃材料 進行拋光，測得玻璃的平均速率為0.35微米/分鐘，表面質量好。
權利要求
1.一種用于玻璃材料的拋光液，其特征在于由磨料、表面活性劑、PH值調節(jié)劑和去離子水組成，各種成分所占的重量百分比為磨料10～50％；表面活性劑0.01～0.6％；PH值調節(jié)劑1～6％；去離子水為余量；拋光液PH值范圍為11～12，粒徑為15nm～100nm。
2. 根據權利要求1所述的一種用于玻璃的拋光液，其特征在于其磨料是指粒徑范圍為50nm 200mn的水溶硅溶膠或金屬氧化物 Si02、 A1A、 Ce02或Ti02的水溶膠。
3. 根據權利要求1所述的一種用于玻璃材料的拋光液，其特征在 于其表面活性劑系采用非離子型表面活性劑，如脂肪醇聚氧乙稀醚 或烷基醇酰胺。
4. 根據權利要求1所述的一種用于玻璃材料的拋光液，其特征在 于其PH調節(jié)劑是指氫氧化鈉、氫氧化鉀、多羥多胺和胺中的一種或其組合。
5. 根據權利要求1_4所述的一種用于玻璃材料的拋光液的制備 方法，其特征在于首先將制備拋光液的各種組分分別進行過濾凈化 處理，然后在千級凈化室的環(huán)境內，將各種組分在真空負壓的動力下， 通過質量流量計輸入容器罐中并充分攪拌，混合均勻即可。
全文摘要
一種用于玻璃材料的拋光液，由磨料、表面活性劑、pH值調節(jié)劑和去離子水組成，各種成分所占的重量百分比為磨料10～50％；表面活性劑0.01～0.6％；pH值調節(jié)劑1～6％；去離子水為余量；拋光液pH值范圍為11～12，粒徑為50nm～200nm。所述拋光液的制備方法是首先將制備拋光液的各種組分分別進行過濾凈化處理，然后在千級凈化室的環(huán)境內，將各種組分在真空負壓的動力下，通過質量流量計輸入容器罐中并充分攪拌，混合均勻即可。本發(fā)明的優(yōu)點是拋光液是堿性，不腐蝕污染設備；玻璃材料拋光速率快，平整性好；工藝簡單，成本低。
文檔編號B24B9/08GK101096571SQ200610014590
公開日2008年1月2日 申請日期2006年6月30日 優(yōu)先權日2006年6月30日
發(fā)明者仲躋和, 劉玉嶺 申請人:天津晶嶺電子材料科技有限公司