專利名稱：制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機源噴霧器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及太陽電池疊層結(jié)構(gòu)制作裝置，特別是涉及制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機源噴霧器。
背景技術：
太陽電池以其清潔能源、無污染、成本低的優(yōu)勢被普遍的推廣與應用。太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性關鍵在于疊層結(jié)構(gòu)。為了提高太陽電池的效率和穩(wěn)定性，要求制備太陽電池疊層結(jié)構(gòu)膜層均勻，其膜層厚度可控，疊層介面清晰，無相互擴散，現(xiàn)有成膜技術對高技術指標的要求還有些差距。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術問題，是提供一種制備太陽電池疊層結(jié)構(gòu)膜層均勻，厚度可控，疊層介面清晰，無相互擴散，完全滿足使用要求的制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機源噴霧器。
采用的技術方案是制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機源噴霧器，包括噴霧頭、金屬源進氣管、氣簾進氣管、氫化物進氣管、冷卻水管、氣簾板、柵網(wǎng)。所述的噴霧頭由第一層氣室、第二層氣室、金屬源噴霧管、氫化物噴霧管、水套構(gòu)成。第一層氣室連接第二層氣室，第二層氣室連接水套，金屬源噴霧管連接第二層氣室并相通，氫化物噴霧管連接第二層氣室并相通構(gòu)成一個整體噴霧頭。柵網(wǎng)通過螺釘固定在噴霧頭上，位于金屬源噴霧管和氫化物噴物管下面，氣簾板通過螺釘固定在噴霧頭上，位于柵網(wǎng)外側(cè)。金屬源進氣管固定連接在第二層氣室上并相通，氫化物進氣管固定連接在第一層氣室上并相通，氣簾進氣管固定連接在噴物頭兩側(cè)上與氣簾板圍成的空間相通，冷卻水管固定連接在水套上并相通。噴霧頭設有法蘭，噴霧頭通過法蘭固定在MOCVD真空室中，構(gòu)成制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機源噴霧器。
本發(fā)明經(jīng)過多次試驗實用，制備太陽電池疊層結(jié)構(gòu)均勻，疊層介面清晰，無相互擴散，成模技術指標的質(zhì)量提高一個等級，優(yōu)點是，可以提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率，減薄電池厚度，保持較大光電流強度，縮短制備時間，可降低太陽電池生產(chǎn)成本。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機源噴霧器，包括噴霧頭1金屬源進氣管5、氣簾進氣管6、氫化物進氣管7、冷卻水管8、氣簾板14、柵網(wǎng)10。全部采用不銹鋼結(jié)構(gòu)，氬弧焊接，整體經(jīng)電解拋光處理，按超高真空10-8pa以上的真空清洗工藝清洗組裝。所述的噴霧頭1由第一層氣室4、第二層氣室3、金屬源噴霧管12、氫化物噴霧管11、水套13構(gòu)成。第一層氣室4連接第二層氣室3，第二層氣室3連接水套13，金屬源噴霧管12連接第二層氣室3并相通，氫化物噴霧管11連接第一層氣室4并相通構(gòu)成一個整體噴霧頭1。柵網(wǎng)10通過螺釘固定在噴霧頭1上，位于金屬源噴霧管12和氫化物噴霧管11下面，氣簾板14通過螺釘固定在噴霧頭1上，位于柵網(wǎng)10外側(cè)。金屬源進氣管5焊接在第二層氣室3上并相通，氫化物進氣管7焊接在第一層氣室4上并相通，氣簾進氣管6焊接在噴物頭1兩側(cè)上與氣簾板14圍成的空間相通，氣簾板14與噴霧頭1之間空隙形成氣簾9，冷卻水管8焊接在水套13上并相通。噴霧頭1設有法蘭2，噴霧頭1通過法蘭2固定在MOCVD真空室中。金屬源噴霧管12和氫化物噴霧管11的孔徑為Φ0.5-2.0mm，根據(jù)氣體種類而定。柵網(wǎng)10孔徑或目數(shù)根據(jù)噴霧氣體需求而定，構(gòu)成制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機源噴霧器。
工作原理金屬源氣體通過金屬源進氣管5進入第二層氣室3，通過水套13冷卻由金屬源噴霧管12噴出，氫化物氣通過氫化物進氣管7進入第一層氣室4，不需冷卻經(jīng)氫化物噴霧管11噴出，在柵網(wǎng)10前混合經(jīng)柵網(wǎng)10噴出。通過氣簾進氣管6進入工作氣體經(jīng)氣簾板14噴出氣簾9，由氣簾9將金屬源氣及氫化物氣限定在規(guī)定的噴霧區(qū)內(nèi)，保證噴霧成膜均勻可控。
權利要求
1.制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機源噴霧器，包括噴霧頭(1)金屬源進氣管(5)、氣簾進氣管(6)、氫化物進氣管(7)、冷卻水管(8)、氣簾板(14)、柵網(wǎng)(10)，其特征在于所述的噴霧頭(1)由第一層氣室(4)、第二層氣室(3)、金屬源噴霧管(12)、氫化物噴霧管(11)、水套(13)構(gòu)成，第一層氣室(4)連接第二層氣室(3)，第二層氣室(3)連接水套(13)，金屬源噴霧管(12)連接第二層氣室(3)并相通，氫化物噴霧管(11)連接第一層氣室(4)并相通構(gòu)成一個整體噴霧頭(1)，柵網(wǎng)(10)通過螺釘固定在噴霧頭(1)上，位于金屬源噴霧管(12)和氫化物噴霧管(11)下面，氣簾板(14)通過螺釘固定在噴霧頭(1)上，位于柵網(wǎng)(10)外側(cè)，金屬源進氣管(5)固定連接在第二層氣室(3)上并相通，氫化物進氣管(7)固定連接在第一層氣室(4)上并相通，氣簾進氣管(6)固定連接在噴霧頭(1)兩側(cè)上與氣簾板(14)圍成的空間相通，氣簾板(14)與噴霧頭(1)之間空隙形成氣簾(9)，冷卻水管(8)固定連接在水套(13)上并相通，噴霧頭(1)設有法蘭(2)，噴霧頭(1)通過法蘭(2)固定在MOCVD真空室中。
全文摘要
制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機源噴霧器，包括噴霧頭、金屬源進氣管、氣簾進氣管、氫化物進氣管、冷卻水管、氣簾板、柵網(wǎng)。所述的噴霧頭由第一層氣室連接第二層氣室，第二層氣室連接水套，金屬源噴霧管連接第二層氣室，氫化物噴霧管連接第二層氣室構(gòu)成一個整體噴霧頭。柵網(wǎng)和氣簾板分別固定在噴霧頭下面。金屬源進氣管固定連接在第二層氣室上并相通，氫化物進氣管固定連接在第一層氣室并相通，氣簾進氣管固定連接在噴霧頭兩側(cè)上與氣簾板圍成的空間相通，冷卻水管固定連接水套。噴霧頭通過法蘭固定在MOCVD真空室中，構(gòu)成制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機源噴霧器。優(yōu)點是疊層結(jié)構(gòu)均勻，疊層界面清晰，無相互擴散，使成模技術指標質(zhì)量提高一個等級，可提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
文檔編號C23C16/52GK1827230SQ200610046300
公開日2006年9月6日 申請日期2006年4月13日 優(yōu)先權日2006年4月13日
發(fā)明者董毅 申請人:沈陽慧宇真空技術有限公司