專利名稱:輝光離子滲氮爐用陰極輸電裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種熱處理設(shè)備,特別涉及一種適用于離子滲氮爐中的可確保離子滲氮爐內(nèi)輝光放電的正常進行的輝光離子滲氮爐用陰極輸電裝置。
背景技術(shù):
陰極輸電裝置的作用是將高壓電源電能輸送給陰極而確保輝光放電的進行,陰極輸電裝置除輸送電力外,陰極盤同時還兼作承載被處理工件的功能,它需要有良好的絕緣性、密封性以及滅弧、高溫承重和長期穩(wěn)定工作的特性。傳統(tǒng)的離子滲氮爐陰極輸電裝置中,導電材料與絕緣材料件之間的相接觸處極易導致弧光放電,一般在陰極盤接觸處設(shè)有縱向或橫向屏蔽間隙保護,間隙大小固定,無法調(diào)節(jié),云母支座為一體結(jié)構(gòu),在云母支座中部開有幾個徑向槽。在陰極盤的上部通過一內(nèi)六角螺釘將陰極盤與陰極桿相聯(lián)接,經(jīng)長期使用后容易造成云母座的上、下導通,造成打弧及輝光放電不穩(wěn)定,需要定期對云母座表面進行清理。另外,在高溫狀態(tài)下長期工作,由于聯(lián)接螺釘?shù)氖軣崤蛎浖白冃斡绊懫渑c陰極桿的接觸電阻,使電流傳輸中斷。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的正是針對上述現(xiàn)有技術(shù)中所存在的不足之處而提供一種結(jié)構(gòu)更為科學、合理的可確保離子滲氮爐內(nèi)輝光放電的正常進行的輝光離子滲氮爐用陰極輸電裝置。
本實用新型的目的可通過下述技術(shù)措施來實現(xiàn)本實用新型的輝光離子滲氮爐用陰極輸電裝置包括陰極盤、屏蔽部份、絕緣部份、陰極部份。其特征A屏蔽部份由陰極導電螺母、屏蔽外套、屏蔽內(nèi)套、云母保護環(huán)等組成,陰極導電螺母裝在陰極盤和屏蔽外套之間,其中間螺紋孔與陰極桿上端的螺紋聯(lián)接,屏蔽外套與陰極導電螺母不接觸,留有間隙,屏蔽外套的內(nèi)螺紋與屏蔽內(nèi)套的外螺紋聯(lián)接,屏蔽內(nèi)套和云母保護環(huán)之間留有縱向間隙,云母保護環(huán)和絕緣上支座相接觸,保護其外表面,屏蔽內(nèi)套上口與絕緣上支座的上凸臺接觸,用于縱向定位;B絕緣部份由絕緣上支座、護隙環(huán)、絕緣中支座、護隙環(huán)、絕緣下支座、金屬底座、高度調(diào)節(jié)環(huán)、陰極內(nèi)套、陰極內(nèi)套等組成。絕緣上支座、護隙環(huán)、絕緣中支座、護隙環(huán)、絕緣下支座、陰極內(nèi)套、陰極內(nèi)套都是熔鑄云母材料制成,陰極內(nèi)套、陰極內(nèi)套裝在高度調(diào)節(jié)環(huán)及金屬底座內(nèi);C陰極部份包括陰極隔水套、陰極套管、聯(lián)接固定法蘭、陰極密封座、陰極桿、陰極壓緊蓋板、快速電纜接頭、爐底板外壁、爐底板組成;陰極套管和陰極密封座是聚四氟乙烯材料制成,陰極壓緊蓋板是環(huán)氧層壓玻璃布材料制成,陰極密封座上、下面設(shè)置有密封圈,把它置于陰極隔水套、陰極套管和陰極桿下段之間。爐底板外壁和爐底板的中孔與陰極隔水套密封焊接固定在一起,爐底板和爐底板外壁之間通入冷卻水。
絕緣部份特征在于先將高度調(diào)節(jié)環(huán)與金屬底座螺紋聯(lián)接后套在陰極內(nèi)套和陰極內(nèi)套的外邊,再裝絕緣下支座、護隙環(huán)、絕緣中支座、護隙環(huán)、絕緣上支座、云母保護環(huán),屏蔽內(nèi)套處于云母保護環(huán)的外邊;屏蔽內(nèi)套的上口與絕緣上支座的上臺階接觸,屏蔽外套用螺紋聯(lián)接在屏蔽內(nèi)套外邊,屏蔽外套上面與陰極導電螺母下邊不接觸,留有間隙,在護隙環(huán)里邊的絕緣上支座的下部設(shè)有一道溝槽,在護隙環(huán)里邊的絕緣中支座的下部也設(shè)有一道溝槽。
陰極部份的特征在于先將聯(lián)接固定法蘭與陰極隔水套用螺紋聯(lián)接后,把陰極套管裝入陰極隔水套內(nèi),下面再裝陰極密封座,然后自下而上裝入陰極桿,再將陰極壓緊蓋板用螺栓與聯(lián)接固定法蘭聯(lián)接,把快速電纜接頭裝在陰極桿的下端,再從陰極桿上頭把絕緣部份、屏蔽部份依次套在陰極桿上;絕緣部份的高度調(diào)節(jié)環(huán)置于爐底板上面,陰極桿上段以螺紋聯(lián)接方式裝上陰極導電螺母,最后裝上陰極盤,陰極盤下面的凹槽與陰極導電螺母頂部的凸臺接觸。
該實用新型有如下優(yōu)點1.內(nèi)部的縱、橫向間隙不會被濺射導通,從而使云母支座的上、下之間不易導通,不必對絕緣支座表面定期清理。
2.上部縱向間隙由屏蔽內(nèi)套、云母保護環(huán)來實現(xiàn),橫向間隙由陰極導電螺母、屏蔽外套、屏蔽內(nèi)套來調(diào)整、實現(xiàn)。
3.解決了聯(lián)接螺釘因受熱膨脹而出現(xiàn)的導電不良現(xiàn)象,陰極盤和工件的自重使得陰極盤、陰極導電螺母之間導通良好,金屬底座、高度調(diào)節(jié)環(huán)之間的螺紋可對整個支座高度進行微調(diào);快速接頭可方便地使電纜與陰極桿聯(lián)接。
附圖為本實用新型結(jié)構(gòu)剖面示意圖。
圖中1是陰極盤,2是陰極導電螺母,3是屏蔽外套,4是屏蔽內(nèi)套,5是云母保護環(huán),6是絕緣上支座,7是護隙環(huán)1,8是絕緣中支座,9是護隙環(huán)2,10是絕緣下支座,11是金屬底座,12是高度調(diào)節(jié)環(huán),13是陰極內(nèi)套1,14是陰極內(nèi)套2,15是陰極隔水套,16是陰極套管,17是聯(lián)接固定法蘭,18是陰極密封座,19是陰極桿,20是陰極壓緊蓋板,21是快速電纜接頭,22是爐底板外壁,23是爐底板。
具體實施方式
本實用新型以下將結(jié)合實施例(附圖)作進一步描述如圖所示,先將聯(lián)接固定法蘭(17)與陰極隔水套(15)下部螺紋聯(lián)接,把陰極隔水套(15)與爐底盤外壁(22)、爐底盤(23)的中孔密封焊接固定在一起。將陰極套管(16)和陰極密封座(18)及相應密封圈套在陰極桿(19)之外,再將這部份從下往上插入陰極隔水套(15)之中,將陰極壓緊蓋板(20)用螺栓與聯(lián)接固定法蘭(17)聯(lián)接壓緊,再裝上電纜快速接頭(21)的底座部份。上部再按順序裝入陰極內(nèi)套2(14)、陰極內(nèi)套1(13)、金屬底座(11)和高度調(diào)節(jié)環(huán)(12)、絕緣下支座(10)、護隙環(huán)2(9)、絕緣中支座(8)、護隙環(huán)1(7)、絕緣上支座(6)、云母保護環(huán)(5)、屏蔽內(nèi)套(4)、屏蔽外套(3)、陰極導電螺母(2),并通過螺紋調(diào)節(jié)(3)和(4)的相對位置,改變橫向間隙的大小,最后裝上陰極盤(1),接下部的電纜快速接頭(21),再在輝光離子滲氮爐外殼上接上電纜,完成組裝。
權(quán)利要求1.一種輝光離子滲氮爐用陰極輸電裝置它包括陰極盤(1)、屏蔽部份、絕緣部份、陰極部份,其特征在于A屏蔽部份由陰極導電螺母(2)、屏蔽外套(3)、屏蔽內(nèi)套(4)、云母保護環(huán)(5)組成陰極導電螺母(2)裝在陰極盤(1)和屏蔽外套(3)之間,其中間螺紋孔與陰極桿(19)的上端螺紋聯(lián)接,屏蔽外套(3)與陰極導電螺母不接觸,留有間隙,屏蔽外套(3)的內(nèi)螺紋與屏蔽內(nèi)套(4)的外螺紋聯(lián)接,屏蔽內(nèi)套(4)和云母保護環(huán)(5)不接觸,留有縱向間隙,云母保護環(huán)(5)和絕緣支座(6)接觸,屏蔽內(nèi)套(4)上口與絕緣上支座(6)的上凸臺接觸;B絕緣部份由絕緣上支座(6)、護隙環(huán)1(7)、絕緣中支座(8)、護隙環(huán)2(9)、絕緣下支座(10)、金屬底座(11)、高度調(diào)節(jié)環(huán)(12)、陰極內(nèi)套1(13)、陰極內(nèi)套2(14)組成;絕緣上支座(6)、護隙環(huán)1(7)、絕緣中支座(8)、護隙環(huán)2(9)、絕緣下支座(10)、陰極內(nèi)套1(13)、陰極內(nèi)套2(14),都是熔鑄云母制成,陰極內(nèi)套1(13)、陰極內(nèi)套2(14)裝在高度調(diào)節(jié)環(huán)(12)和金屬底座(11)內(nèi);C陰極部份包括陰極隔水套(15)、陰極套管(16)、聯(lián)接法蘭(17)、陰極密封座18)、陰極桿(19)、陰極壓蓋板(20)、快速電纜接頭(21)、爐底板外壁(22)、爐底板(23)組成聚四氟乙烯材料制成陰極套管(16)和陰極密封座(18),環(huán)氧層壓玻璃布材料制成陰極壓緊蓋板(20),陰極密封座(18)上、下面設(shè)有密封圈,把它置于陰極隔水套(15)、陰極套管(16)及陰極桿(19)下段之間,爐底板外壁(22)和爐底板(23)的中孔與陰極隔水套(15)焊接固定在一起,爐底板(23)和爐底板外壁(22)之間通冷卻水。
2.根據(jù)權(quán)利要求所述輝光離子滲氮爐用陰極輸電裝置的絕緣部份,其特征在于屏蔽內(nèi)套(4)的上口與絕緣上支座(6)的上臺階相接觸,屏蔽外套(3)用螺紋聯(lián)接套在屏蔽內(nèi)套(4)外邊,在護隙環(huán)1(7)里邊的絕緣上支座(6)的下部設(shè)有一道溝槽,在護隙環(huán)2(9)里邊的絕緣中支座(8)的下部也設(shè)有一道溝槽,陰極導電螺母(2)下邊不與屏蔽外套(3)接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求書所述輝光離子滲氮爐用陰極輸電裝置的陰極部份其特征在于絕緣部份的高度調(diào)節(jié)環(huán)(12)置于爐底板(23)上面,陰極桿(19)上段以螺紋聯(lián)接裝上陰極導電螺母(2),最后裝上陰極盤(1),陰極盤(1)下邊的凹槽與陰極導電螺母(2)頂部的凸臺相接觸。
專利摘要一種輝光離子滲氮爐用陰極輸電裝置,它包括陰極盤、屏蔽部份、絕緣部份、陰極部份。屏蔽部份陰極導電螺母裝在陰極盤和屏蔽外套之間,屏蔽外套與屏蔽內(nèi)套螺紋聯(lián)接可調(diào),屏蔽內(nèi)套與云母保護環(huán)不連接,留有間隙。絕緣部份絕緣上、中支座下部各設(shè)有一道溝槽,陰極導電螺母與屏蔽外套之間留有間隙,絕緣上、中、下支座、兩個護隙環(huán)、陰極內(nèi)、外套管是熔鑄云母制成。陰極部份陰極套管、陰極密封座是聚四氟乙烯制成,陰極壓緊蓋板是環(huán)氧玻璃布制成。陰極密封座上、下面設(shè)有密封圈。
文檔編號C23C8/36GK2921037SQ20062003079
公開日2007年7月11日 申請日期2006年7月25日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月25日
發(fā)明者盧金生, 顧敏, 耿暉, 陳巖, 張潔, 聶熙 申請人:鄭州機械研究所