專利名稱：真空處理用腔室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空處理用腔室。特別是涉及具有多片壁構(gòu)件，該壁構(gòu)件的一部分形 成接合面，該接合面之間相互接合，構(gòu)成腔室主體的真空處理用腔室。
背景技術(shù)：
成膜裝置為了防止在成膜操作時(shí)異物混入成膜面，或?yàn)榱讼駷R射方式那樣生成成 膜材料，其具備隔離室、所謂真空處理用腔室。而且真空處理用腔室在多片壁構(gòu)件接 合構(gòu)成的腔室主體中安裝真空泵、隔離閥、發(fā)熱體、靶、磁體、濺射電極等器具。而 且在進(jìn)行成膜工作時(shí)，在真空處理用腔室內(nèi)配設(shè)基體，通過開動(dòng)真空處理用腔室中安 裝的器具，在基體表面上形成薄膜。
在這樣的成膜工作中，由于真空處理用腔室中安裝的濺射電極等一部分器具的發(fā) 熱和真空處理用腔室內(nèi)發(fā)生的等離子體等對(duì)腔室主體進(jìn)行加熱，因此在腔室主體上通 常形成冷卻結(jié)構(gòu)(參照專利文獻(xiàn)1-3)。
專利文獻(xiàn)l:特開2002 - 164593號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:特開2002 - 151763號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3:特開2004 - 172264號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但是，像專利文獻(xiàn)1那樣在腔室主體的壁構(gòu)件上配設(shè)冷卻配管、像專利文獻(xiàn)2、 3 那樣在壁構(gòu)件內(nèi)內(nèi)裝冷卻流路，有必要確保配設(shè)等用的有足夠的壁構(gòu)件表面或內(nèi)部空 間。但是在腔室主體中安裝的器具不少，因此在壁構(gòu)件的表面產(chǎn)生形成器具類構(gòu)件的 安裝部相鄰構(gòu)成的狹窄表面的狹部。在這樣的狹部，要確保對(duì)于上述流路的配設(shè)等有 足夠?qū)挼谋砻媸抢щy的。而且也有在腔室主體的角部和在腔室主體的開口周圍形成的 法蘭部那樣的形成屈曲的表面的屈曲部，使流路配管的配設(shè)和壁構(gòu)件內(nèi)的流路設(shè)計(jì)變 得復(fù)雜的問題。也就是說，腔室主體的冷卻用流路的配設(shè)結(jié)構(gòu)存在改善的余地。
本發(fā)明是為解決上述問題而作出的，其目的在于，提供能夠簡(jiǎn)化腔室主體的冷卻 用流路的配設(shè)結(jié)構(gòu)的真空處理用腔室。
為了解決上述存在問題，第1本發(fā)明的真空處理用腔室，具有多片壁構(gòu)件，該壁 構(gòu)件的表面的一部分形成接合面，該接合面之間氣密接合形成接合部，將所述多片壁 構(gòu)件加以接合，構(gòu)成腔室主體的真空處理用腔室，至少一部分所述接合部，是在所述 接合面內(nèi)形成沿該接合面延伸的間隙，而且該接合面的周圍利用焊接氣密接合形成的
間隙內(nèi)藏型接合部。形成這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠利用間隙內(nèi)藏型接合部形成冷卻用流路， 因此能夠簡(jiǎn)化形成狹窄表面的狹部或形成屈曲的表面的屈曲部的冷卻用流路的配設(shè)結(jié) 構(gòu)。在這里，所謂真空處理用腔室是指用于防止在進(jìn)行成膜工作時(shí)異物混入成膜面上 或用于像濺射方式那樣使成膜材料發(fā)生用的隔離室，指例如多腔室方式的成膜裝置的 成膜腔室、加熱用的腔室、等離子體清洗用的腔室或負(fù)載鎖定室等。所謂壁構(gòu)件不僅 包含頂板、側(cè)板、底板等那樣的腔室主體的基本構(gòu)件，也包含這些基本構(gòu)件上配設(shè)的 法蘭等構(gòu)件。
從更可靠地得到本發(fā)明的效果考慮，第2本發(fā)明的真空處理用腔室，所述間隙內(nèi) 藏型接合部也可以是構(gòu)成所述腔室主體的屈曲部或狹部的接合部。在這里，所謂屈曲 部是腔室主體的角部和腔室主體的開口周圍形成的法蘭部那樣形成屈曲的表面的部 分。所謂狹部是指鄰接構(gòu)成器具安裝部，形成狹窄表面的部分。
從更可靠地得到本發(fā)明的效果考慮，第3本發(fā)明的真空處理用腔室也可以是，所 述間隙內(nèi)藏型接合部是形成槽的平面狀接合面接合構(gòu)成的。
第4本發(fā)明的真空處理用腔室也可以是，所述間隙內(nèi)藏型接合部是屈曲的接合面 之間相互配合，在該接合面的屈曲部形成間隙的。采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)，在接合面內(nèi)的 屈曲部接合面之間相互配合，因此壁構(gòu)件的接合工作容易進(jìn)行。
如上所述，本發(fā)明的真空處理用腔室有能夠簡(jiǎn)化冷卻用流路的配設(shè)結(jié)構(gòu)的效果。


圖1是概略表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的真空處理用腔室的立體圖。
圖2是表示圖i的n - n線的側(cè)板3和側(cè)板4的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。
圖3是表示圖1的m面上的側(cè)板2和側(cè)板4的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。
圖4是表示圖1的IV面上的頂板1與法蘭5的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。
圖5是表示圖1的V面上的頂板1與法蘭5的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。
圖6是表示圖1的VI面上的側(cè)板3與法蘭8的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。
圖7是表示圖1的VII面上的側(cè)板3與法蘭8的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。
圖8是表示圖1的VII1面上的側(cè)板3與法蘭8的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。
圖9是表示圖1的II - n線的側(cè)板3和側(cè)板4的間隙內(nèi)藏型接合部的變形例的剖 面圖。
符號(hào)說明
1 頂板
1G 上表面
1P 高位面
1Q 階梯面
2 側(cè)板
2D 槽部
2F 端面
3 側(cè)板
3D 槽部
3F 端面
3G 開口邊緣部
3K 開口面
3P 第1端面
3Q 第1階梯面
3R 第2端面
3S 第2階梯面
3T 第3端面
3U 斜面
4 側(cè)板
4D 槽部
4F 端面
4G 側(cè)緣部
4P 第1端面
4Q 第1階梯面
4R 第2端面
4S 第2階梯面
4T 第3端面
5、6， 7、 8、 9
5H、 6H、 7H、 8H、 9H 孔部
5J、 8J 底面
5P、 8P 高位底面
5Q、 8Q 階梯面
10 焊接部
11 底板
12、 13 側(cè)板
15 螺桿孔
20、 21、 22、 23 貫通孔
30、 31、 32、 33 通路
100 腔室
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖對(duì)實(shí)施本發(fā)明用的最佳形態(tài)進(jìn)行說明。
實(shí)施形態(tài)
圖1是概略表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的真空處理用腔室的腔室主體的立體圖。在這 里，真空處理用腔室是成膜腔室。
如圖1所示，本實(shí)施形態(tài)的成膜腔室的腔室主體(以下簡(jiǎn)稱腔室)100由作為壁構(gòu) 件的頂板l、側(cè)板2、側(cè)板3、 4、 12、 13以及底板11接合構(gòu)成長(zhǎng)方體形狀。這些接合 釆用焊接方法進(jìn)行。也就是說，在接合面的周圍形成焊接部IO構(gòu)成接合部。
又，頂板1上形成進(jìn)出用的孔部5H,在孔部5H周圍利用焊接部IO氣密接合法蘭 5。法蘭5上形成多個(gè)螺桿孔15。而且形成在進(jìn)行成膜作業(yè)時(shí)，在法蘭5上氣密安裝閉 鎖板(未圖示)，在對(duì)成膜裝置進(jìn)行維修保養(yǎng)檢查時(shí)或清洗時(shí)，取下閉鎖板，操作人 員就可以從孔部5H進(jìn)入腔室內(nèi)的結(jié)構(gòu)。
同樣，在側(cè)板2上形成作為成膜對(duì)象的基體進(jìn)出用的孔部6H和作為成膜加工的原 材料源的靶進(jìn)出用的孔部7H,這些孔部6H、 7H的周圍分別利用焊接部IO氣密接合法 蘭6、 7。這些法蘭6、 7上形成多個(gè)螺桿孔15。而且形成基體從孔部6H進(jìn)出腔室進(jìn)行 成膜作業(yè)時(shí)，在法蘭6上安裝密閉型門閥、氣密安裝接合板或基體支持構(gòu)件，形成能 夠在腔室100內(nèi)對(duì)基體利用濺射等方法進(jìn)行成膜加工的結(jié)構(gòu)(未圖示)。而且形成耙 從孔部7H進(jìn)出腔室100內(nèi)進(jìn)行成膜作業(yè)時(shí)，在法蘭7上氣密安裝接合板或靶支持構(gòu)件， 形成能夠在腔室100內(nèi)對(duì)基體利用濺射等方法進(jìn)行成膜加工的結(jié)構(gòu)(未圖示)。
同樣，在側(cè)板3、 4上分別形成作為濺射電極安裝用的孔部8H、 9H,這些孔部8H、 9H的周圍分別利用焊接部10氣密接合法蘭8、 9。這些法蘭8、 9上形成多個(gè)螺桿孔15。 而且孔部8H、 9H上分別氣密安裝濺射電極，形成能夠在腔室內(nèi)對(duì)基體利用濺射等方法 進(jìn)行成膜加工的結(jié)構(gòu)(未圖示)。而且由于安裝多個(gè)濺射電極，能夠使成膜材料從不 同的方向到達(dá)基體表面，因此容易使基體表面上的膜厚均勻化，而且容易對(duì)復(fù)雜形狀 的基體進(jìn)行成膜加工。從而，也可以根據(jù)基體的形狀、多層成膜等成膜加工的條件， 在來圖示的側(cè)面12、 13上也同樣安裝濺射電極。
又在側(cè)板12上形成排氣口 (未圖示)。排氣口上安裝閥門。而且在閥門上安裝真 空泵等排氣裝置。借助于此，在進(jìn)行成膜作業(yè)時(shí)能夠使腔室內(nèi)減壓。
如上所述，腔室100具有多片壁構(gòu)件，即頂板l、側(cè)板2、 3、 4、 12、 13、底板ll, 以及法蘭5、 6、 7、 8、 9,這些壁構(gòu)件的一部分形成接合面，該接合面之間借助于焊接 部10氣密接合。
在這里，對(duì)作為本發(fā)明的特征的間隙內(nèi)藏型接合部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。 圖2是表示圖1的II - II線的側(cè)板3和側(cè)板4的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。如 圖所示，側(cè)板3和側(cè)板4借助于側(cè)板3的端面3F與側(cè)板4的端面4F的對(duì)接焊接接合， 形成腔室100的一個(gè)側(cè)面。焊接部IO在形成坡口的端面3F、 4F的兩緣部連續(xù)堆積形
成焊接泡(bead)。借助于此，將間隙內(nèi)藏型接合部的兩緣部氣密接合。
而且作為接合面的端面3F、 4F的離開兩緣部的面內(nèi)，分別形成端面3F、 4F在延 伸方向上延伸的槽部3D、 4D。借助于此，間隙內(nèi)藏型接合部利用槽部3D、 4D形成接 合面延伸的間隙，間隙構(gòu)成通路31 。
還如圖l所示，在惻板3和側(cè)板4的間隙內(nèi)藏型接合部的上方的頂板1上，形成 與通路31的端部連接的貫通孔21。而且在底板11上也形成與通路31的端部連接的貫 通孔21(未圖示)。也就是說，通路31利用一對(duì)貫通孔21、 21與外部連通。
從而，在一對(duì)貫通孔21、 21上連接冷卻水配管時(shí)，能夠使冷卻水通過通路31流 動(dòng)，因此能夠使法蘭8、 9之間冷卻。也就是說，本發(fā)明的腔室100能夠利用間隙內(nèi)藏 型接合部形成冷卻用流路，因此能夠簡(jiǎn)化冷卻用流路的配設(shè)結(jié)構(gòu)。特別是在器具類構(gòu) 件的安裝部相鄰構(gòu)成地形成狹窄表面的狹部，能夠簡(jiǎn)化冷卻用流路的配設(shè)結(jié)構(gòu)。
接著，圖3是表示圖1的III面上的側(cè)板2和側(cè)板4的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。
如圖所示，側(cè)板2和側(cè)板4構(gòu)成腔室100的相鄰的側(cè)面，它們的接合部形成腔室 100的角部之一。而且側(cè)板2的端面2F與側(cè)板4的腔室內(nèi)面?zhèn)鹊谋诿娴膫?cè)緣部4G借 助于焊接部IO氣密接合。焊接部IO分別在形成坡口的端面2F的兩側(cè)，在與側(cè)緣部4G 之間連續(xù)堆積形成焊接泡。借助于此，將腔室100的角部的間隙內(nèi)藏型接合部的兩緣 部氣密接合。
又，作為接合面的端面2F內(nèi)，形成在端面2F的延伸方向上延伸的槽部2D。借助 于此，在間隙內(nèi)藏型接合部，利用槽部2D和側(cè)緣部4G形成沿接合面延伸的間隙，間 隙抅成通路30。
而且如圖l所示，在側(cè)板2和側(cè)板4的間隙內(nèi)藏型接合部的上方的頂板1上，形 成與通路30的端部連接的貫通孔20。還有，在底板11上也形成與通路30的端部連接 的貫通孔20。這樣，通路30借助于一對(duì)貫通孔20、 20與外部連通。
因此，在一對(duì)貫通孔20、 20上連接冷卻水配管時(shí)，能夠使冷卻水通過通路30流 動(dòng)，因此能夠冷卻法蘭9與法蘭6以及法蘭7之間的屈曲部。也就是說，本發(fā)明的腔 室100能夠利用間隙內(nèi)藏型接合部形成冷卻用流路，因此能夠簡(jiǎn)化冷卻用流路的配設(shè) 結(jié)構(gòu)。特別是能夠簡(jiǎn)化腔室100的角部那樣的形成屈曲表面的屈曲部的冷卻用流路的 配設(shè)結(jié)構(gòu)。
而且側(cè)板4上不需要進(jìn)行槽部的加工，因此能夠抑制腔室IOO的制造成本。
接著，圖4是表示圖1的IV面上的頂板1與法蘭5的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。
圖5是表示圖1的V面上的頂板1與法蘭5的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。
如這些圖所示，頂板1和法蘭5,其頂板1的上表面1G與法蘭5的底面5J利用焊
接部IO氣密接合。
具體地說，在上表面1G的孔部5H的緣部形成高位面1P,在高位面1P與上表面 1G之間形成階梯面1Q。底面5J的孔部5H側(cè)、即法蘭5的內(nèi)周側(cè)被切去，形成高位底面5P,高位底面5P與底面5J之間形成階梯面5Q。
在這里，頂板1的高位面1P與上表面1G之間的階梯間距離以及法蘭5的高位底 面5P與底面5J之間的階梯間距離形成為相同的階梯間距離。而且頂板1的高位面1P 的孔部5H的徑向?qū)挾刃纬傻帽确ㄌm5的高位底面5P的孔部5H的徑向?qū)挾刃?。借助?此，在法蘭5與頂板1接合時(shí)頂板1的高位面1P與法蘭5的高位底面5P接合，同時(shí) 頂板l的上表面1G與法蘭5的底面5J接合。而且形成在階梯面1Q、階梯面5Q、上 表面1G、與高位底面5P上描畫的環(huán)狀間隙。然后，焊接部IO形成在分別形成坡口的 高位面1P的孔部5H的緣部與高位底面5P的孔部5H的緣部之間連續(xù)堆積形成焊接泡。 又如圖1、 4、 5所示，在法蘭5的外周側(cè)，焊接部IO也在底面5J的外緣部與壁面1G 上連續(xù)堆積形成焊接泡。借助于此，法蘭5與頂板1的環(huán)狀接合部的內(nèi)周側(cè)以及外周 側(cè)上分別形成環(huán)狀焊接部10,法蘭5與頂板1的環(huán)狀接合面的周圍氣密接合。而且形 成沿著接合面環(huán)狀延伸的間隙，間隙構(gòu)成通路32。
又如圖5和圖l所示，在法蘭5的外周面上， 一對(duì)連接于通路32的貫通孔22、 22 形成于隔著孔部5H相對(duì)的位置上。借助于此，通路32通過一對(duì)貫通孔22、 22與外部 連通。
因此，在一對(duì)貫通孔22、 22上連接冷卻水配管時(shí)，能夠使冷卻水通過通路32流 動(dòng)。而且， 一貫通孔22與另一貫通孔22之間形成兩條流路，而且各流路的阻力大致 相同，因此流入一個(gè)貫通孔22的冷卻水能夠分為兩路通過通路32流動(dòng)。也就是說， 本發(fā)明的腔室100能夠利用間隙內(nèi)藏型接合部確保冷卻用流路，因此能夠簡(jiǎn)化冷卻用 流路的配設(shè)結(jié)構(gòu)。特別是能夠簡(jiǎn)化構(gòu)成法蘭5形成屈曲的表面的屈曲部的冷卻用流路 的配設(shè)結(jié)構(gòu)。
接著，圖6是表示圖1的VI面上的側(cè)板3與法蘭8的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。 圖7是表示圖1的VII面上的側(cè)板3與法蘭8的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。圖8是表 示圖1的V1II面上的側(cè)板3與法蘭8的間隙內(nèi)藏型接合部的剖面圖。還有，法蘭6及側(cè) 板2、法蘭7及側(cè)板2、法蘭9及側(cè)板4也具有相同的結(jié)構(gòu)(其說明省略)。
如這些圖所示，側(cè)板3和法蘭8，利用焊接部10將形成側(cè)板3的孔部8H的開口面 3K與法蘭8的底面8J氣密接合。
具體地說，如圖6、 7所示，底面8J在整個(gè)一周切除外周側(cè)，嵌合在形成孔部8H 的開口面3K上。也就是說，在底面8J的外周側(cè)的緣部形成高位底面8P,高位底面8P 與底面8J之間形成階梯面8Q。借助于此，階梯面8Q嵌合于開口面3K上。而且在開 口面3K的外表面?zhèn)刃纬傻菇切螤睿纬尚泵?U。斜面3U形成在嵌入法蘭8的側(cè)板3 的孔部8H時(shí)接合于高位底面8P和階梯面8Q上形成。借助于此，形成在高位底面8P、 階梯面8Q、斜面3U上描畫的環(huán)狀間隙。
而且，焊接部IO如圖I、 6、 7、 8所示，在腔室100內(nèi)側(cè)以及外側(cè)的側(cè)板3與法 蘭8的接合面的緣部、即開口面3K與階梯面8Q的接合面的緣部以及側(cè)板3的腔室內(nèi)
表面?zhèn)鹊谋诿娴拈_口緣部3G與高位底面8P的接合面的緣部，分別連續(xù)堆積形成焊接 泡。借助于此，在法蘭8與側(cè)板3的環(huán)狀接合面的內(nèi)周側(cè)以及外周側(cè)分別形成環(huán)狀焊 接部10,法蘭8與側(cè)板3的環(huán)狀接合面的周圍氣密接合。而且形成沿著接合面環(huán)狀延 伸的間隙，間隙構(gòu)成通路33。
又如圖1、 7所示，在法蘭8的外周面上相鄰形成與通路33連接的一對(duì)貫通孔23、 23。這樣，通路33利用一對(duì)貫通孔23、 23與外部連通。
在這里，如圖8所示，在法蘭8與側(cè)板3的接合部中相鄰的一對(duì)貫通孔23、 23的 鄰接部，對(duì)開口面3K未實(shí)施倒角加工。也就是說，在相鄰的一對(duì)貫通孔23、 23的鄰 接部未形成通路33。這樣，在從一個(gè)貫通孔23提供冷卻水時(shí)，冷卻水圍繞側(cè)板3的孔 部8H通過通路33流動(dòng)，從另一貫通孔23排出。也就是說，本發(fā)明的腔室100能夠利 用間隙內(nèi)藏型接合部確保冷卻用流路，因此能夠簡(jiǎn)化冷卻用流路的配設(shè)結(jié)構(gòu)。特別是 能夠簡(jiǎn)化構(gòu)成法蘭8，而且法蘭9鄰接的孔部8H周圍那樣的，屈曲部還有狹部的冷卻 用流路的配設(shè)結(jié)構(gòu)。
變形例
這里，對(duì)側(cè)板3和側(cè)板4的間隙內(nèi)藏型接合部的變形例進(jìn)行說明。
圖9是表示圖1的II - II線的側(cè)板3和側(cè)板4的間隙內(nèi)藏型接合部的變形例的剖 面圖。
如圖所示，側(cè)板3、 4的接合面被加工為屈曲形狀，屈曲的接合面之間相互配合， 在接合面的屈曲部，形成在第1端面3P、 4P的延伸方向、即在圖9中的對(duì)畫面大致垂 直的方向上延伸的通路狀的間隙。即在側(cè)板3的接合面上形成第1端面3P、第2端面 3R、第3端面3T具有階梯差，第1端面3P與第2端面3R的階梯差之間形成第1階梯 面3Q,第2端面3R與第3端面3T的階梯差之間形成第2階梯面3S。側(cè)板4的接合 面也一樣，第1端面4P、第2端面4R與第3端面4T具有階梯差，第1端面4P與第2 端面4R的階梯差之間形成第1階梯面4Q,第2端面4R與第3端面4T的階梯差之間 形成第2階梯面4S。在這里，側(cè)板3的第1端面3P與第3端面3T的階梯間距和側(cè)板 4的第1端面4P與第3端面4T的階梯間距形成為相同的階梯間距。而且側(cè)板3的第2 端面3R的板厚方向上的寬度與側(cè)板4的第2端面4R的板厚方向上的寬度形成為相同 的寬度。這樣，在側(cè)板3、 4接合時(shí)，側(cè)板3的第1端面3P與側(cè)板4的第3端面4T接 合，同時(shí)側(cè)板3的第3端面3T與側(cè)板4的第1端面4P接合。而且側(cè)板3的第1階梯 面3Q與側(cè)板4的第2階梯面4S配合，同時(shí)側(cè)板3的第2階梯面3S與側(cè)板4的第1階 梯面4Q配合。而且形成由第2端面3S、 4S以及第1階梯面3Q、 4Q劃出的通路狀的 間隙。
而且，間隙內(nèi)藏型接合部的兩緣部、也就是側(cè)板3的第1端面3P與側(cè)板4的第3 端面4T的兩緣部以及側(cè)板3的第3端面3T與側(cè)板4的第1端面4P的兩緣部利用焊接 部10氣密接合，形成沿著接合面延伸的間隙，間隙構(gòu)成通路31。這樣使接合面形成屈
曲的形狀時(shí)，在接合面內(nèi)的屈曲部，接合面之間相互配合，因此側(cè)板3和側(cè)板4的接 合工作容易進(jìn)行。
以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行了詳細(xì)說明，但是本實(shí)施形態(tài)只是為了對(duì)本行業(yè)的 普通技術(shù)人員示教執(zhí)行本發(fā)明的最佳形態(tài)而提出的，因此上述說明只應(yīng)該解釋為例示。 因此，本發(fā)明不限于上述實(shí)施形態(tài)，在不超出本發(fā)明的精神的條件下，對(duì)于本行業(yè)的 普通技術(shù)人員來說，本發(fā)明的許多改良和其他實(shí)施形態(tài)是清楚的。
例如在構(gòu)成于側(cè)板3和側(cè)板4之間的間隙內(nèi)藏型接合部，可以形成省略頂板1以 及底板11的貫通孔21的結(jié)構(gòu)。也就是說，頂板1與底板11接合于側(cè)板3、 4的壁面 的側(cè)緣部，在側(cè)板3和側(cè)板4之間構(gòu)成的間隙內(nèi)藏型接合部的間隙形成向上方和下方 貫通的結(jié)構(gòu)，因此可以不要頂板1與底板11的貫通孔21。
而且，在上述實(shí)施形態(tài)中，以成膜腔室為對(duì)象，但是本發(fā)明可以廣泛使用為在進(jìn) 行成膜工作時(shí)防止異物混入成膜面，或像濺射方式那樣使成膜材料發(fā)生的隔離室、即 真空處理用腔室。例如對(duì)于多腔室方式的成膜裝置的成膜腔室、加熱用的腔室、等離 子體清洗用的腔室或負(fù)載鎖定室等各種腔室，都可以實(shí)施本發(fā)明。
工業(yè)應(yīng)用性
本發(fā)明的真空處理用腔室能夠簡(jiǎn)化冷卻用流路的配設(shè)結(jié)構(gòu)，在這一點(diǎn)上是有用的。
權(quán)利要求
1.一種真空處理用腔室，是具有多片壁構(gòu)件，該壁構(gòu)件的表面的一部分形成接合面，該接合面之間氣密接合形成的接合部將所述多片壁構(gòu)件加以接合，構(gòu)成腔室主體的真空處理用腔室，其特征在于，至少一部分所述接合部，是在所述接合面內(nèi)形成沿該接合面延伸的間隙，而且該接合面的周圍利用焊接氣密接合形成間隙內(nèi)藏型接合部。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的真空處理用腔室，其特征在于，所述間隙內(nèi)藏型接合部 是構(gòu)成所述腔室主體的屈曲部或狹部的接合部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l或2所述的真空處理用腔室，其特征在于，所述間隙內(nèi)藏型接合部是形成槽的平面狀接合面接合構(gòu)成的。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空處理用腔室，其特征在于，所述間隙內(nèi)藏型接 合部是屈曲的接合面之間相互配合，在該接合面的屈曲部形成間隙的。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠簡(jiǎn)化冷卻用流路的配設(shè)結(jié)構(gòu)的真空處理用腔室。本發(fā)明的真空處理用腔室，具有多片壁構(gòu)件(1、2、3、4、11、12、13)，該壁構(gòu)件(1、2、3、4、11、12、13)的表面的一部分形成接合面，該接合面之間氣密接合形成的接合部，將所述多片壁構(gòu)件(1、2、3、4、11、12、13)加以接合，構(gòu)成腔室主體(100)的真空處理用腔室，至少一部分接合部(10)，是在接合面內(nèi)形成沿該接合面延伸的間隙(30、31)，而且該接合面的周圍利用焊接氣密接合形成間隙內(nèi)藏型接合部(10)。
文檔編號(hào)C23C14/56GK101203625SQ20068001625
公開日2008年6月18日 申請(qǐng)日期2006年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月30日
發(fā)明者宮崎修, 巖崎安邦, 福田祥慎 申請(qǐng)人:新明和工業(yè)株式會(huì)社