專利名稱：具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置。
背景技術(shù)：
過去，在表面上形成有多個IC、LSI等器件的晶片，背面被研磨形成規(guī)定的厚度，借助劃片裝置等分割裝置而分割成單個的器件，用于便攜式電話、個人計算機等電子設(shè)備。
研磨晶片背面的研磨裝置大致具有吸引保持晶片的卡盤臺、支承2個以上的卡盤臺的轉(zhuǎn)臺、支承轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)臺座、以及安裝有對吸引保持在卡盤臺上的晶片進行研磨的研磨輪的研磨機構(gòu)(例如參見專利文獻1)，能夠高效率地研磨晶片。
并且，卡盤臺具有電機、向吸引區(qū)域傳遞吸力的吸引力傳遞部、以及向吸引區(qū)域供水的供水部，設(shè)置有包括連結(jié)在電機上的電線、連結(jié)在吸引力傳遞部的吸引軟管、以及連結(jié)在供水部的供水軟管的線纜，傳遞卡盤臺所需的功能。
專利文獻1(日本)特開2003-209080號公報(圖1)然而，過去的線纜由于收放在由多個箱連結(jié)成能夠彎曲的線纜支架內(nèi)并配置成圍繞轉(zhuǎn)臺座的外周，追隨轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而進行彎曲移動，所以存在在轉(zhuǎn)臺的外周必須有線纜支架能夠移動的余量，研磨裝置變得比較大的問題。并且，存在線纜比較容易變長、處理困難且不經(jīng)濟的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對上述情況而提出的，其目的是實現(xiàn)具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置的小型化。
為了解決上述問題，達到目的，涉及本發(fā)明的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，具有保持晶片的卡盤臺、支承2個以上該卡盤臺的轉(zhuǎn)臺、支承該轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)臺座、以及對保持在上述卡盤臺上的晶片實施加工的加工機構(gòu)，其特征在于，上述轉(zhuǎn)臺座具有可旋轉(zhuǎn)地支承上述轉(zhuǎn)臺的外周部的外周支承部、以及可旋轉(zhuǎn)地支承上述轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心的中心支承部，連結(jié)在上述卡盤臺的多條線纜被收放在上述外周支承部的內(nèi)側(cè)形成的線纜收放室內(nèi)。
并且，涉及本發(fā)明的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，其特征在于，在上述發(fā)明中，旋轉(zhuǎn)軸在上述轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心下垂；在上述轉(zhuǎn)臺座的上述中心支承部形成有插入上述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)軸插入口，連結(jié)在上述卡盤臺的上述線纜的延伸部捆扎成能夠彎曲并固定在上述旋轉(zhuǎn)軸上，隨著上述轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)，上述線纜卷繞在上述旋轉(zhuǎn)軸上。
并且，涉及本發(fā)明的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，其特征在于，具有穿通孔的旋轉(zhuǎn)軸在上述轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心下垂；在上述轉(zhuǎn)臺座的上述中心支承部形成有插入上述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)軸插入口，連結(jié)在上述卡盤臺的上述線纜通過上述穿通孔，上述線纜的延伸部盤繞在上述線纜收放室內(nèi)。
并且，涉及本發(fā)明的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，其特征在于，在上述發(fā)明中，上述加工機構(gòu)是安裝有對保持在上述卡盤臺上的晶片的表面進行研磨的研磨輪的研磨機構(gòu)。
并且，涉及本發(fā)明的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，其特征在于，在上述發(fā)明中，上述轉(zhuǎn)臺在從原點位置起的旋轉(zhuǎn)角度受限制的范圍內(nèi)進行往復旋轉(zhuǎn)。
并且，涉及本發(fā)明的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，其特征在于，在上述發(fā)明中，上述卡盤臺具有對晶片進行吸引保持的吸引區(qū)域、圍繞該吸引區(qū)域的框體、使該框體旋轉(zhuǎn)的電機、向上述吸引區(qū)域傳遞吸引力的吸引力傳遞部、以及向上述吸引區(qū)域供水的供水部，上述線纜包括與上述電機連結(jié)的電線、與上述吸引力傳遞部相連結(jié)的吸引軟管、以及與上述供水部相連結(jié)的供水軟管。
發(fā)明的效果涉及本發(fā)明的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，在轉(zhuǎn)臺座的外周支承部的內(nèi)側(cè)形成的線纜收放室內(nèi)收放連結(jié)在卡盤臺的多條線纜，所以產(chǎn)生如下效果不需要在轉(zhuǎn)臺座的外周具有盤繞線纜用的余量，能夠使加工裝置小型化，并且能夠使線纜較短并節(jié)約費用。
并且，涉及本發(fā)明的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，由于連結(jié)在卡盤臺的線纜的延伸部捆扎成能夠彎曲并固定在卡盤臺的旋轉(zhuǎn)軸上，隨著轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)，線纜卷繞在旋轉(zhuǎn)軸上，所以產(chǎn)生如下效果能夠防止隨著轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)而彎曲的線纜互相絞合而斷線，能夠提高線纜的可靠性，而且，彎曲的線纜部分被減輕重量，所以能夠減輕使轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)用的電機的負荷。
并且，涉及本發(fā)明的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，由于連結(jié)在卡盤臺的線纜通過旋轉(zhuǎn)軸的穿通孔，線纜的延伸部盤繞在線纜收放室內(nèi)，所以，線纜的延伸部固定即可，沒有隨轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)的彎曲動作，也不需要卷繞在旋轉(zhuǎn)軸上，能夠進一步縮短線纜的長度，能夠進一步減輕使轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)的電機的負荷。


圖1是表示本實施方式的加工裝置的外觀立體圖。
圖2是表示轉(zhuǎn)臺附近的結(jié)構(gòu)例的分解立體圖。
圖3是表示卡盤臺的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖4是卡盤臺的縱截側(cè)面圖。
圖5是表示線纜的收放狀態(tài)的模式圖。
圖6是表示線纜的延伸部部分的配置例的概要立體圖。
圖7-1是表示線纜的延伸部部分的動作的原點位置處的概要平面圖。
圖7-2是表示線纜的延伸部部分的動作的180度旋轉(zhuǎn)位置處的概要平面圖。
圖8是表示延伸部的捆扎方法的變形例的局部立體圖。
圖9是表示轉(zhuǎn)臺座的變形例的平面圖。
圖10是表示線纜的收放狀態(tài)的變形例的模式圖。
具體實施例方式
以下參照附圖，詳細說明作為實施本發(fā)明的最佳實施方式的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置。
在本實施方式中，作為具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置的一例表示了應用到具有轉(zhuǎn)臺的研磨裝置的例子。圖1是表示本實施方式的切削裝置的外觀立體圖。研磨裝置10具有收容晶片W的盒11、12、從盒11中運出晶片W或者把晶片W運入盒12的運出運入機構(gòu)13、進行晶片W的中心位置對準的位置對準機構(gòu)14、傳送晶片W的傳送裝置15、16、吸引保持晶片W的三個卡盤臺17～19、旋轉(zhuǎn)自如地分別支承這些卡盤臺17～19的轉(zhuǎn)臺20、對保持在各卡盤臺17～19上的晶片W實施研磨處理的研磨機構(gòu)30、40、對研磨后的卡盤臺17～19進行清洗的清洗機構(gòu)51、以及對研磨后的晶片W進行清洗的清洗機構(gòu)52。
在這種研磨裝置10中，收放在盒11內(nèi)的晶片W通過運出運入機構(gòu)13傳送到位置對準機構(gòu)14內(nèi)，在此進行中心位置對準之后，由傳送裝置15傳送、放置在卡盤臺17上?？ūP臺17～19做成各自可以旋轉(zhuǎn)并隨著轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)而在XY平面上移動的結(jié)構(gòu)。對吸引保持了晶片W的卡盤臺17來說，通過旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度，例如向逆時針方向旋轉(zhuǎn)120度，從而定位于研磨機構(gòu)30的正下方。
作為對保持在卡盤臺17～19的晶片W實施加工的加工機構(gòu)的一例而設(shè)置的研磨機構(gòu)30構(gòu)成為由支承部34支承，并隨著支承部34的上下移動而在Z軸方向上上下移動，該支承部34被沿Z軸方向設(shè)置在壁部31的一對導軌32導向并通過電機33的驅(qū)動來上下移動。該研磨機構(gòu)30具有使可旋轉(zhuǎn)地被支承的主軸35a旋轉(zhuǎn)的電機35、以及通過輪安裝座36安裝在主軸35a的前端并研磨晶片W的背面的研磨輪37。研磨輪37具有在其下面固定成圓環(huán)狀的粗研磨用的研磨磨石38。
因此，研磨機構(gòu)30隨著電機35的主軸35a的旋轉(zhuǎn)而向Z軸方向的下方研磨進給，旋轉(zhuǎn)的研磨輪37的研磨磨石38與晶片W的背面相接觸，從而保持在卡盤臺17上并定位于研磨機構(gòu)30的正下方的晶片W的背面被粗研磨。
接著，轉(zhuǎn)臺20向逆時針方向僅旋轉(zhuǎn)相同的角度，從而被粗研磨的晶片W定位于研磨機構(gòu)40的正下方。
作為對保持在卡盤臺17～19的晶片W實施加工的加工機構(gòu)的一例而設(shè)置的研磨機構(gòu)40構(gòu)成為由支承部43支承，隨著支承部43的上下移動而在Z軸方向上進行上下移動，上述支承部43被沿Z軸方向設(shè)置在壁部31的一對導軌41導向并通過電機42的驅(qū)動進行上下移動。該研磨機構(gòu)40具有使可旋轉(zhuǎn)地被支承的主軸44a旋轉(zhuǎn)的電機44、以及通過輪安裝座45安裝在主軸44a的前端并研磨晶片W的背面的研磨輪46。研磨輪46具有在其下面固定成圓環(huán)狀的精研磨用的研磨磨石47。也就是說，研磨機構(gòu)40與研磨機構(gòu)30的結(jié)構(gòu)只是研磨磨石的種類不同。
因此，研磨機構(gòu)40隨著電機44的主軸44a旋轉(zhuǎn)而向Z軸方向的下方進行研磨進給，旋轉(zhuǎn)的研磨輪46的研磨磨石47與晶片W的背面相接觸，從而由卡盤臺17保持并定位于研磨機構(gòu)40的正下方的晶片W的背面被精研磨。
對背面被精研磨的晶片W進行吸引保持的卡盤臺17通過轉(zhuǎn)臺20向順時針方向的反向旋轉(zhuǎn)而返回到圖1所示的初始位置。在該位置，背面被精研磨的晶片W由傳送裝置16傳送到清洗機構(gòu)52，在此，通過清洗去除研磨屑之后，由運出運入機構(gòu)13收容在盒12內(nèi)。并且，清洗機構(gòu)51對由傳送機構(gòu)16取出被精研磨的晶片W后成為空置狀態(tài)的卡盤臺17進行清洗。
對其他卡盤臺18、19上的晶片W的粗研磨、精研磨、對其他卡盤臺18、19的晶片W的運出運入等，也根據(jù)轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)位置按同樣方法來進行。
以下說明研磨裝置10中的轉(zhuǎn)臺20附近的結(jié)構(gòu)。圖2是表示轉(zhuǎn)臺附近的結(jié)構(gòu)例的分解立體圖。形成為圓盤狀的轉(zhuǎn)臺20具有旋轉(zhuǎn)軸21、3個穿通孔22～24、3個線纜插通孔25～27、多個支柱28和皮帶槽29。旋轉(zhuǎn)軸21通過在轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)中心Φ上所形成的中心孔20a(參見圖5)，從轉(zhuǎn)臺20向正下方向下垂。在上端形成的凸緣部21a通過螺釘21b被固定在轉(zhuǎn)臺20上，這樣與轉(zhuǎn)臺20形成一個整體。并且，旋轉(zhuǎn)軸21具有沿上下方向穿通的穿通孔21c，在下端側(cè)外周具有通過螺釘21d裝卸自如地固定的大直徑卷繞部21e(參見圖5)。
穿通孔22～24用于在圍繞旋轉(zhuǎn)中心Φ、以各120度等間隔分離的位置配置3個卡盤臺17～19，并且旋轉(zhuǎn)自如地支承這些卡盤臺17～19。線纜插通孔25～27相對于穿通孔22～24來說，形成在內(nèi)周側(cè)位置，用于插穿下述的線纜。支柱28用于在轉(zhuǎn)臺20上放置的下述轉(zhuǎn)臺罩和轉(zhuǎn)臺20之間確?？臻g，通過螺釘結(jié)構(gòu)被固定在轉(zhuǎn)臺20上。皮帶槽29形成在轉(zhuǎn)臺20的外周面的整個圓周上，安裝用于使轉(zhuǎn)臺20旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)皮帶29a。
并且，研磨裝置10在轉(zhuǎn)臺20的下部側(cè)具有轉(zhuǎn)臺座60，在轉(zhuǎn)臺20的上部側(cè)具有轉(zhuǎn)臺罩70。轉(zhuǎn)臺座60被固定配置在研磨裝置10的內(nèi)部的基板等上，具有外周支承部61和中心支承部62。外周支承部61通過被分割配置的多個空氣軸承63來能夠轉(zhuǎn)動地支承被放置的轉(zhuǎn)臺20的外周部20b(參見圖5)，形成為直徑與轉(zhuǎn)臺20相同的圓筒狀。中心支承部62在轉(zhuǎn)臺座60的頂部側(cè)所形成的凹部64內(nèi)的中央位置突出形成，能夠旋轉(zhuǎn)地支承轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)中心Φ，形成有插入轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)軸21的旋轉(zhuǎn)軸插入孔65(參見圖5)。在此，中心支承部62固定在上端，具有對軸承66a、66b進行支承的軸承支承體66c。軸承66a、66b與轉(zhuǎn)臺20的中心孔20a的內(nèi)周壁抵接，這樣旋轉(zhuǎn)自如地支承轉(zhuǎn)臺20。
并且，轉(zhuǎn)臺座60具有線纜收放室67和旋轉(zhuǎn)皮帶電機68。線纜收放室67是在外周支承部61的內(nèi)側(cè)形成的空間，在外周支承部61的一部分形成有使線纜收放室67與外部連通的開口部61a。旋轉(zhuǎn)皮帶電機68固定在外周支承部61的外周面的一部分，旋轉(zhuǎn)皮帶29a套在電機軸68a上，這樣使轉(zhuǎn)臺20向逆時針方向、順時針方向往復旋轉(zhuǎn)。在本實施方式中，轉(zhuǎn)臺20被設(shè)定成，自規(guī)定的原點位置的旋轉(zhuǎn)角度在被限定為規(guī)定角度、例如270度的范圍內(nèi)進行往復旋轉(zhuǎn)。
并且，轉(zhuǎn)臺罩70形成為比轉(zhuǎn)臺20大一圈，通過支柱28放置在轉(zhuǎn)臺20上，覆蓋其上表面。轉(zhuǎn)臺罩70具有在與3個穿通孔22～24分別相對應的位置形成為大一圈的穿通孔71～73、以及在穿通孔71～73的周緣朝向上方突出形成的防水用的環(huán)狀肋71a～73a。并且，轉(zhuǎn)臺罩70在外周緣具有朝向下方突出形成的防水用的環(huán)狀肋70a。環(huán)狀肋70a通過與在切削裝置10的轉(zhuǎn)臺20的周圍設(shè)置的排水罩53的開口54的周緣朝向上方突出形成的防水用的環(huán)狀肋54a的組合，發(fā)揮防水功能。
以下說明卡盤臺17～19的構(gòu)成。卡盤臺17～19的結(jié)構(gòu)相同，在此以卡盤臺17為例加以說明。圖3是表示本實施方式的卡盤臺17的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖4是卡盤臺17的縱截側(cè)面圖?？ūP臺17具有吸引區(qū)域18、框體82、電機83、編碼器84、吸引力傳遞部85和供水部86。吸引區(qū)域81由多孔性陶瓷材料等形成為圓盤狀，用于吸引保持晶片W?？蝮w82形成為圍繞吸引區(qū)域81，在吸引區(qū)域81的下部形成空間87，而且，具有形成朝向下方與空間87相連通的流路88的旋轉(zhuǎn)軸89。
這樣的框體82旋轉(zhuǎn)自如地安裝在穿通孔71、22內(nèi)，具有旋轉(zhuǎn)自如地與環(huán)狀肋71a相嵌合的環(huán)狀槽82a。電機83用于使旋轉(zhuǎn)自如地支承在轉(zhuǎn)臺20上的框體82旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)軸89的周圍固定設(shè)置在轉(zhuǎn)臺20的穿通孔22內(nèi)。在此情況下的框體82通過軸承90相對于電機83旋轉(zhuǎn)自如。編碼器84設(shè)置在電機83的下部，用于檢測旋轉(zhuǎn)軸89的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。在此，電力供給用的電線101a連結(jié)在電機83上；信號線用的電線101b連結(jié)在編碼器84上。
并且，吸引力傳遞部85用于通過流路88、空間87來傳遞用于在吸引區(qū)域81吸引保持晶片W的吸引力，通過在旋轉(zhuǎn)軸89的下端側(cè)設(shè)置的旋轉(zhuǎn)接頭9與流路88相連通。在該吸引力傳遞部85連接吸引軟管102，該軟管的另一端連接在真空罐等吸引源(無圖示)上。
并且，供水部86用于通過流路88、空間87來向吸引區(qū)域81供水，通過設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸89的下端側(cè)的旋轉(zhuǎn)接頭92與流路88相連通。在該供水部86連結(jié)供水軟管103，該軟管的另一端連接在水源(無圖示)上。這樣一來，當從卡盤臺17上取出完成研磨的晶片W時，通過向吸引區(qū)域81供水來使晶片W從吸引區(qū)域81的吸附面上浮起，容易使薄片狀的晶片W離開吸引區(qū)域81，而且，供水部86也可以供給水和壓縮空氣的混合流體。
在此，在本實施方式中，與卡盤臺17相連結(jié)，用于傳遞卡盤臺17所需的功能的線纜100的結(jié)構(gòu)包括與上述電機83相連結(jié)的電線101a、與編碼器84相連結(jié)的電線101b、與吸引力傳遞部85相連結(jié)的吸引軟管102、以及與供水部86相連結(jié)的供水軟管103。關(guān)于卡盤臺18、19也是一樣，作為切削裝置10具有與卡盤臺17～19相連結(jié)的多條線纜100。
以下說明線纜100的收放。圖5是表示線纜100的收放狀態(tài)的模式圖。在本實施方式中，與卡盤臺17～19相連結(jié)的多條線纜100被收放在轉(zhuǎn)臺座60的線纜收放室67內(nèi)。在此，與卡盤臺17～19相連結(jié)的線纜100，從線纜收放室67經(jīng)過開口部61a分別向電源、吸引源、水源等的供給源延伸，但是這樣的線纜100的延伸部100A確保能跟隨轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)的長度，被捆札成能夠彎曲，利用緊固工具200、螺栓201等固定在向線纜收放室67內(nèi)突出的旋轉(zhuǎn)軸21的卷繞部21e。并且，線纜100的延伸部100A在開口部61a附近，利用緊固工具203、螺栓204等固定在基板等上固定的固定板202上。這樣一來，隨著轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)，線纜100的延伸部100A被卷繞在旋轉(zhuǎn)軸21的卷繞部21e的周圍，通過反向旋轉(zhuǎn)進行解開動作。
在此，參照圖6和圖7，詳細說明線纜100的具體配置例和動作。圖6是表示線纜100的延伸部100A部分的配置例的概要立體圖，圖7-1和圖7-2是表示其動作的概要平面圖。線纜100將各有多條的電線101、吸引軟管102和供水軟管103，通過粘接在上下方向上進行重疊形成一體，分別作為電線組101G、吸引軟管組102G和供水軟管組103G，從而制成扁平線纜，在采用堅固零件200、203的固定部，在各個電線組101G、吸引軟管組102G和供水軟管組103G之間夾入襯墊205、206進行固定，這樣作為延伸部100A捆札成能夠彎曲。
在此，電線組101G例如由7條電線101a～101g構(gòu)成，最上邊的電線101a作為對電機83的供電用；電線101b作為對編碼器84的信號線用；最下邊的電線101g作為假電線使用，在隨著轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)的彎曲變動時，以便其他電線101a～101f不與基板相磨擦，電線101e、101f作為備用布線使用，以便能夠適應特殊的使用規(guī)格。
并且，在比采用緊固工具200的固定部靠內(nèi)部側(cè)的位置，如圖7-1和圖7-2所示，由電線組101G、吸引軟管組102G、供水軟管組103構(gòu)成的線纜100，被拉進旋轉(zhuǎn)軸21的卷繞部21e上固定的分支部210內(nèi)，從該分支部210，通過從與穿通孔21c相連通的開口部21f到旋轉(zhuǎn)軸21的穿通孔21c，從上端拉出去，再通過線纜插通孔25～27向各個卡盤臺17～19分支，連結(jié)在卡盤臺17～19上。在此，因為分支部210固定在旋轉(zhuǎn)軸21的卷繞部21e，所以，分支部210、旋轉(zhuǎn)軸21、卡盤臺17～19以及連接卡盤臺17～19和分支部210之間的線纜100，與轉(zhuǎn)臺20形成一體進行旋轉(zhuǎn)，即使轉(zhuǎn)臺20旋轉(zhuǎn)，也不會改變與各卡盤臺17～19的相對的位置關(guān)系，不會使通過了穿通孔21c的線纜100產(chǎn)生扭曲等。
在此，圖7-1表示轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)位置處于成為0度的原點位置的狀態(tài)。線纜100的延伸部100A處于未卷繞在旋轉(zhuǎn)軸21上的狀態(tài)。從這種狀態(tài)，若轉(zhuǎn)臺例如向逆時針方向旋轉(zhuǎn)180度，則如圖7-2所示地動作隨著轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)，線纜100的延伸部100A卷繞在旋轉(zhuǎn)軸21的卷繞部21e周圍。若轉(zhuǎn)臺20進一步向逆時針方向旋轉(zhuǎn)限定的270度，則如下動作隨著轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)，線纜100的延伸部100A卷繞在旋轉(zhuǎn)軸21的卷繞部21e周圍。在轉(zhuǎn)臺20向順時針方向反向旋轉(zhuǎn)的情況下，卷繞在旋轉(zhuǎn)軸21的卷繞部21e的線纜100的延伸部100A依次被解開。
若采用本實施方式的研磨裝置10，則轉(zhuǎn)臺座60具有能夠旋轉(zhuǎn)地支承轉(zhuǎn)臺20的外周部20b的外周支承部61、以及能夠旋轉(zhuǎn)地支承轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)中心的中心支承部62，與卡盤臺17～19相連結(jié)的多個線纜100被收放在外周支承部61的內(nèi)側(cè)形成的線纜收放室67中，所以，在轉(zhuǎn)臺座60的外周不需要具有應追隨轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)的線纜盤繞用的余量，能夠使研磨裝置10小型化。并且，能夠縮短應追隨轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)的線纜100的長度，比較經(jīng)濟。
并且，若采用本實施方式的研磨裝置10，則旋轉(zhuǎn)軸21在轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)中心φ下垂，在轉(zhuǎn)臺座60的中心支承部62形成用于插入旋轉(zhuǎn)軸21的旋轉(zhuǎn)軸插入孔65，與卡盤臺17～19連結(jié)的線纜100的延伸部100A被捆札成能夠彎曲，固定在旋轉(zhuǎn)軸21上，隨著轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)使線纜100卷繞在旋轉(zhuǎn)軸21上，所以，能夠防止隨著轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)而彎曲位移的線纜100之間相互絞合而斷線，能夠提高線纜可靠性，而且，由于彎曲的線纜部分被減輕重量，所以，能夠減輕使轉(zhuǎn)臺20旋轉(zhuǎn)用的旋轉(zhuǎn)皮帶電機68的負荷。
并且，若采用本實施方式的研磨裝置10，則在維護與各卡盤臺17～19相連接的線纜100等時，將線纜100從分支部210部分取下而使延伸部100A側(cè)保持原樣的狀態(tài)下，松開螺釘21d，從旋轉(zhuǎn)軸21上拆下卷繞部21e，這樣能夠把旋轉(zhuǎn)軸21和轉(zhuǎn)臺20一起向上方拔出，能夠提高操作性。
以下說明線纜100的延伸部100A的捆札方法的變形例。圖8是表示延伸部100A的捆札方法的變形例的局部立體圖。本變形例涉及延伸部100A，利用緊固工具200、203、螺栓201、204等，將夾在各個電線組101G、吸引軟管組102G、供水軟管組103G之間的能夠彎曲的分隔片材300的兩端進行固定。通過夾入滑動性良好的分隔片材300，能夠改善彎曲位移的延伸部100A中的電線組101G，吸引軟管組102G、供水軟管組103G的滑動性，防止互相磨擦。
再者，說明線纜100的分支配置的變形例。圖9是表示用于說明線纜100的分支配置的變形例的轉(zhuǎn)臺座60的結(jié)構(gòu)例的平面圖。本變形例是取代圖2等所示的結(jié)構(gòu)，為了使線纜100不通過旋轉(zhuǎn)軸21的穿通孔21c內(nèi)而朝向各個卡盤臺17～19配置而具備線纜插通孔69，該線纜插通孔69圍繞旋轉(zhuǎn)中心φ，作為圓弧狀長孔，使半徑位置不同形成為同心圓狀。線纜插通孔69與轉(zhuǎn)臺20能夠旋轉(zhuǎn)的角度相對應形成為約270度的角度大小的長度并分別錯開120度而形成。并且，設(shè)定成轉(zhuǎn)臺20位于原點位置時的穿通孔22～24的位置分別成為各個線纜插通孔69的一端附近。
若采用這種形狀的線纜插通孔69，則隨著轉(zhuǎn)臺20的旋轉(zhuǎn)形成一體來旋轉(zhuǎn)，即使在相對位置關(guān)系不變的卡盤臺17～19和分支部210之間存在位置固定的轉(zhuǎn)臺座60，連結(jié)在卡盤臺17～19和分支部210之間的各線纜100也可以在線纜插通孔69形成的空間無障礙地移動。這樣，不需要為了使線纜100穿過穿通孔21c、線纜插通孔25～27而迂回于轉(zhuǎn)臺20上，能夠以最短的路徑連結(jié)，所以，能夠以必要的最低限度縮短連結(jié)卡盤臺17～19和分支部210之間的線纜100的長度。
進一步，說明線纜的收放狀態(tài)的變形例。圖10是表示線纜100的收放狀態(tài)的變形例的模式圖。本變形例如下連結(jié)在卡盤臺17～19的線纜100朝向正下向穿過旋轉(zhuǎn)軸21的穿通孔21c，布線到基板211上所固定的分支部210，再者，前面的線纜100的延伸部100A從分支部210向線纜收放室67內(nèi)適當?shù)乇P繞。罩箱212例如設(shè)置在分支部210上，用于對從分支部210向穿通孔21c內(nèi)布線的線纜100的方向性進行導向。
若采用本變形例，則線纜100配置成穿過旋轉(zhuǎn)軸21的穿通孔21c內(nèi)，但是如果在旋轉(zhuǎn)軸21的上端和線纜插通孔25～27之間的線纜100具有余量，那么，即使線纜10扭曲，也能夠追隨轉(zhuǎn)臺20的間歇性往復旋轉(zhuǎn)。并且，線纜100的延伸部100A不需要追隨轉(zhuǎn)臺20的間歇性的往復旋轉(zhuǎn)，是固定的即可，所以沒有伴隨轉(zhuǎn)臺20的間歇性往復旋轉(zhuǎn)的彎曲動作，也不需要向旋轉(zhuǎn)軸21卷繞。這樣，線纜100的延伸部100A作為適當?shù)拈L度收放在線纜收放室67內(nèi)即可，能夠進一步縮短線纜100的長度，能夠進一步減輕使轉(zhuǎn)臺20旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)皮帶電機68的負荷。并且，由于減少了線纜100的可動部分，所以不擔心線纜絞合或斷線，能夠提高線纜可靠性。
本發(fā)明不僅限于上述實施方式，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)，能夠進行各種變形。例如本實施方式說明了作為加工裝置適用于研磨裝置10的例子，但不僅限于研磨裝置，也可以適用于具有轉(zhuǎn)臺、卡盤臺的切削裝置等。并且，與此相對應，作為加工裝置也不僅限于切削裝置30、40，例如在加工裝置是切削裝置的情況下，也可以是安裝有對保持在卡盤臺上的晶片的表面進行切削的切削刀片的切削機構(gòu)。
并且，關(guān)于線纜100的種類(布線、配管)、條數(shù)，也可以根據(jù)適用的加工裝置的種類和卡盤臺、加工機構(gòu)的功能來適當設(shè)定。例如，在加工機構(gòu)是切削機構(gòu)的情況下，線纜也可以不包括向卡盤臺供水用的供水軟管。
再者，在本實施方式的研磨裝置10中，作為具有3個卡盤臺17～19的例子進行了說明，但只要是2個以上就不僅限于3個均可適用。研磨機構(gòu)30、40也不僅限于2個，例如也可以是一個。
權(quán)利要求
1.一種具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，具有保持晶片的卡盤臺、支承2個以上該卡盤臺的轉(zhuǎn)臺、支承該轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)臺座、以及對保持在上述卡盤臺上的晶片實施加工的加工機構(gòu)，其特征在于，上述轉(zhuǎn)臺座具有可旋轉(zhuǎn)地支承上述轉(zhuǎn)臺的外周部的外周支承部、以及可旋轉(zhuǎn)地支承上述轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心的中心支承部，連結(jié)在上述卡盤臺的多條線纜收放在上述外周支承部的內(nèi)側(cè)形成的線纜收放室內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，其特征在于，旋轉(zhuǎn)軸在上述轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心下垂；在上述轉(zhuǎn)臺座的上述中心支承部形成有插入上述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)軸插入口，連結(jié)在上述卡盤臺的上述線纜的延伸部捆扎成能夠彎曲并固定在上述旋轉(zhuǎn)軸上，隨著上述轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)，上述線纜卷繞在上述旋轉(zhuǎn)軸上。
3.如權(quán)利要求1所述的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，其特征在于，具有穿通孔的旋轉(zhuǎn)軸在上述轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)中心下垂；在上述轉(zhuǎn)臺座的上述中心支承部形成有插入上述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)軸插入口，連結(jié)在上述卡盤臺的上述線纜通過上述穿通孔，上述線纜的延伸部盤繞在上述線纜收放室內(nèi)。
4.如權(quán)利要求1～3中的任一項所述的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，其特征在于，上述加工機構(gòu)是安裝有對保持在上述卡盤臺上的晶片的表面進行研磨的研磨輪的研磨機構(gòu)。
5.如權(quán)利要求1～4中的任一項所述的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，其特征在于，上述轉(zhuǎn)臺在從原點位置起的旋轉(zhuǎn)角度受限制的范圍內(nèi)進行往復旋轉(zhuǎn)。
6.如權(quán)利要求1～5中的任一項所述的具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置，其特征在于，上述卡盤臺具有對晶片進行吸引保持的吸引區(qū)域、圍繞該吸引區(qū)域的框體、使該框體旋轉(zhuǎn)的電機、向上述吸引區(qū)域傳遞吸引力的吸引力傳遞部、以及向上述吸引區(qū)域供水的供水部，上述線纜包括與上述電機連結(jié)的電線、與上述吸引力傳遞部相連結(jié)的吸引軟管、以及與上述供水部相連結(jié)的供水軟管。
全文摘要
本發(fā)明的目的是實現(xiàn)具有轉(zhuǎn)臺的加工裝置的小型化。該加工裝置的轉(zhuǎn)臺座(60)具有可旋轉(zhuǎn)地支承轉(zhuǎn)臺(20)的外周部(20b)的外周支承部(61)、以及可旋轉(zhuǎn)地支承轉(zhuǎn)臺(20)的旋轉(zhuǎn)中心的中心支承部(62)，連結(jié)在卡盤臺(18、19)的多個線纜(100)的延伸部(100A)被收放在外周支承部(61)的內(nèi)側(cè)形成的線纜收放室(67)內(nèi)。
文檔編號B24B41/06GK101028700SQ20071008446
公開日2007年9月5日 申請日期2007年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月3日
發(fā)明者桑名一孝, 木崎清貴 申請人:株式會社迪斯科