專利名稱：利用微波等離子體在熱塑容器上沉積內(nèi)阻擋涂層的裝置的制作方法
利用微波等離子體在熱塑容器上沉積內(nèi)阻擋涂層的裝置技術(shù)領(lǐng)域一般地，本發(fā)明涉及生產(chǎn)熱塑容器領(lǐng)域，尤其是由PET制成的容器，所 述容器壁的內(nèi)層具有一阻擋涂層，例如碳，硅或其它材料，該內(nèi)層能夠阻止或 者延遲通過壁的分子或離子交換。更具體而言，本發(fā)明涉及裝置的改進，所述裝置利用微波等離子體在熱 塑材料制成的容器內(nèi)表面上沉積一形成阻擋的涂層，所述熱塑材料例如PET， 這一裝置包括多個用于單獨處理容器的臺(station),每個處理臺都有一個處 理腔室和一個形成外殼(cover)的上層單元，所述外殼包括一個真空泵室， 所述裝置的功能組件與該真空泵室相通，當裝置運行時，所述功能組件至少部 分tt^易于被組成所述涂層的粉狀材料所覆蓋。
背景技術(shù)：
特別地，在文獻FR 2 776 540中，本申請人對用于所涉及類型的裝置的 處理臺結(jié)構(gòu)的實例和裝置操作過程進行了描述和說明。當處理該容器時，在處理腔室內(nèi)部發(fā)出一微波場和該微波場通過一個套 管朝泵室展開。在套管內(nèi)部和泵室內(nèi)部傳播的微波造成阻擋材料(碳，硅或者 其它材料)顆粒在其上沉積，其污染套管和泵室的內(nèi)壁，或者甚至由于非吸附 顆茅立的夾帶而到達電泵回路的內(nèi)壁。結(jié)果是裝置至少部分被粉狀阻擋材料所覆蓋，使得一些功能組件被污染。 例如，其可以發(fā)生在用于控制腔室內(nèi)和容器內(nèi)真空水平的壓力感應器上，該感 應器的運行被干擾，或者當其感應表面被一種粉狀材料沉積物導致不透明時， 甚至造成感應器失效。然而，這一夾帶粉狀材料的主要缺點在于一部分粉狀材料被沉積在一些 特別靈敏的元件上，例如固定到一些組件的襯墊(seal)上，尤其是流體控制 電磁閥的襯墊(在腔室內(nèi)以及待處理容器內(nèi)選擇性地控制真空狀態(tài)的建立和氣 壓的重建)，其與處理臺的操作相關(guān)并且位于真空泵室的過濾器件的下游。粉
狀材料在這些襯墊上的沉積使其彈性及其壓碎變形的能力降低并導致這些襯 墊所具有的密封性能的降低，其直接后果是降低能夠在腔室中產(chǎn)生的真空水平 和因此破壞用于產(chǎn)生等離子體的條件，這導致阻擋材料涂層在容器上的沉積性 能更差。在此，裝置運行存在一個根本缺陷，和為了彌補這一缺陷，證明必須 定期清潔襯墊并且比通常所要求更為頻繁地更換它們。目前，在現(xiàn)有的裝置中，根據(jù)可用的空間，電磁閥被獨立地固定到不同位置。因此，對電磁閥襯墊進行維護需要定期將裝置的所有電磁閥都卸下然后重裝，典型地，以每個處理臺有3個電磁閥的比率，(即一個電磁閥用于使容 器的內(nèi)體積處于真空狀態(tài)，一個電磁閥用于使容器外的腔室體積處于真空狀態(tài) 和一個電磁閥用于重建氣壓，其為容器內(nèi)體積和容器外腔室的體積所通用的)。 在目前裝有大約20個處理臺的設備中，這代表大約60個電磁閥。這需要相當 大量的工作，其需要長時間地雇用有資格的勞動力，并且當然，其意味著所述 裝置必須在這一維護操作的整個持續(xù)期內(nèi)保持固定。這存在一個限制，即隨著 當今趨勢總是尋求提高生產(chǎn)速度，操作者將承擔越來越多的困難，這首先意味 著將裝置固定限制到最低限度，尤其是為了維護進行裝置固定。另外，尤其是由于不可能將阻擋材料層的沉積過程的持續(xù)時間降到低于 一定閾值，尋求更快的生產(chǎn)速度導致在每個裝置內(nèi)處理臺數(shù)量的增加。因此， 例如，當前本申請人設想制造能力更強的裝置，其包括多個處理臺，所述處理 臺增加至大約48個，這代表著僅用于電磁閥就有192個襯墊需要被定期維護。 根據(jù)目前實踐，將不再出現(xiàn)為了維護襯墊所需的非常長時間的固定裝置的現(xiàn) 象。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種解決方案，其旨在滿足、至少極大程度地滿 足實際需求，并不企圖處理在裝置運行時的粉狀產(chǎn)物的沉積和夾帶問題，本發(fā) 明的目的在于提供一種用于所述裝置的改進結(jié)構(gòu)的裝配，其使得可以簡化并加 快裝置的修復過程，以及顯著降低裝置被固定的時間。為此目的，在一種如前所述的裝置中，本發(fā)明提供下述的裝配 所述功能組件包括電磁閥，其用于選擇性地控制腔室內(nèi)和待處理容器內(nèi)
真空狀態(tài)和氣壓的建立，并且功能組件被集中到一個可被附著到所述外殼上的 可分離單元中，和功能組件在所述可分離單元的耦合面所帶有的各個套內(nèi)被保 護；所述外殼整合了功能通道(connection),所述功能通道是所述功能組件各 自運行所需的，和開在所述外殼的耦合面上，所述可分離單元和外殼的耦合面 以互補方式相配，和當利用其各自的耦合面相互配合，將所述可分離單元固定到所述外殼上 時，所述通道和所述保護各自功能組件的套被分別連接。由于根據(jù)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，所有感應功能組件都被集中到可分離單元中， 利用附件的簡單快速工具，其可以容易地和快速地被互換。然后，足以用一個 狀況良好的可分離單元替換一個有缺陷的或者預先考慮會有缺陷的可分離單 元，以便可以再次操作并且啟動該裝置。然后在稍遠的地方對被拆卸單元的一 個或者多個污染的組件進行清潔，并且為此目的，在一個具有改進性能的車間 中進行清洗。就集中了多個處理臺的裝置而言，保持一整套備用的可分離單元 即足矣，以便能夠?qū)λ刑幚砼_進行更新。相比于對以前設計的裝置進行修復 所需的時間，這種為全面維護操作而使裝置保持固定的時間顯著降低。本發(fā)明的裝配尤其易于在下述情況下實現(xiàn)，其中處理臺是偶數(shù)，每組處理臺包括兩個相鄰臺，和在一組臺中所述兩個相鄰臺的所述功能組件被聚集到所述公用可分離單 元中，該可分離單元可以被附著到各自兩個臺的外殼的耦合面上。 在一種如前所述的裝置中，本發(fā)明提供下述的裝配處理臺是偶數(shù)，每組處理臺包括兩個相鄰臺；在每組處理臺中所述兩個相鄰臺的所述功能組件被聚集到一個公用可分 離單元中，該可分離單元可以被附著到各自兩個臺的外殼的耦合面上和在所述 可分離單元的耦合面所帶有的各個套內(nèi)被保護 ，所述外殼整合了功能通道，所述通道是所述功能組件各自運行所需的并 且形成于所述外殼的耦合面上，所述可分離單元和外殼的耦合面以互補方式相 配，和 當利用各自的耦合面相互配合，將所述可分離單元固定到所述外殼上時， 所述通道和所述保護各自功能組件的套分別被連接。本發(fā)明的這些裝配在應用于下述情況下尤其有用，其中上述提及的功能 組件是電磁閥，該電磁閥用于選擇性地控制在腔室內(nèi)和待處理的容器中建立真 空狀態(tài)和重建氣壓，由于裝置的性能和阻擋涂層沉積的特性都尤其依賴于在容 器和腔室內(nèi)用于形成等離子體所維持的真空水平，這一真空水平自身首先地(to the first degree)依賴于控制操作循環(huán)的電磁閥的襯墊所提供的密封 特性。然而，應該理解其它功能組件例如真空感應器或流量計也可以被整合到 可分離單元中。在具體實施方式
中的一個具體實例中，可以使控制容器內(nèi)真空狀態(tài)的電 磁閥的套被定位到在耦合面上凸出的可分離單元部分，并且外殼的耦合面具有 凹槽，其具有能夠容納所述凸出部分的互補形狀，此種設計使得可以簡化與所 述電磁閥相關(guān)的入口和出口的定位。也可以使所述可分離單元的耦合面相對于 裝配面凸出，所述裝配面支撐和外殼的連接的機械裝置，該設計還使得外殼具 有能夠容納所述凸出耦合面的凹槽，當可分離單元被固定到各自外殼上時，其 有助于可分離單元的導向和有助于在可分離單元和外殼的配合面(cooperating face)間襯墊的安裝。根據(jù)本發(fā)明的裝配在該裝置的一種特別的結(jié)構(gòu)情況下可以得到一種非常 有價值的應用，所述的裝置由按組分配的處理臺所組成，其包括多個相鄰臺， 具有一個公用可分離單元，該單元使得在一組處理臺中所述多個相鄰臺的功能 組件集中到一起，和所述可分離單元能夠被附著到各自處理臺的所述上層單元 的所述耦合面上。在本發(fā)明中，將一組處理臺中相鄰臺的腔室聚集到一起和并 列連接，而且各自的外殼也并列連接是尤其有益地。這樣的裝配使得放置處理 臺所占據(jù)的空間減少和在給定的空間內(nèi)可以放置處理臺的數(shù)量增加。然后可以 通過使一組臺中的處理臺具有公用的一個外殼，和所述可分離單元被附著到該 公用外殼的耦合面上來進一步簡化該裝置。由于在單一的操作中同時處理多個 處理臺，這樣的裝配使得可以大量增加了用于外殼拆卸和重裝的時間，并且以 此種方式，可以顯著降低用于固定裝置的時間。在本申請人制造的裝置中，每個工作臺都功能性地連接有下述組件 - 一個電磁閥，其用于控制在待處理容器外的腔室內(nèi)體積中建立真空狀態(tài)， - 一個電磁閥，其用于控制在待處理容器的內(nèi)體積中建立真空狀態(tài)，- 一個電磁閥，其用于控制在待處理容器外的腔室內(nèi)體積中重建氣壓，和- 一個電磁閥，其用于控制在待處理容器的內(nèi)體積中重建氣壓。根據(jù)本發(fā)明所述的裝配，其使得裝置以一定方式被構(gòu)造，即可以在每個 處理臺中包括一個用于控制在待處理的容器內(nèi)體積中建立真空狀態(tài)的電磁銜 和一個用于控制在待處理容器的內(nèi)體積中重建氣壓的電磁閥，和其包括一個用 于控制在待處理容器外的腔室內(nèi)體積中建立真空狀態(tài)的單獨電磁閥和一個用 于控制在容器外的腔室內(nèi)體積中重建氣壓的單獨電磁閥，所述電磁闊被一組處 理臺中的所有處理臺所公用。其結(jié)果是明顯簡化了處理臺的結(jié)構(gòu)和明顯節(jié)省了 裝置。根據(jù)本發(fā)明的裝配可以應用于不同設計的裝置中。它們尤其是可以有益 地應用于下述裝置，其中對于每個處理臺，其外殼被整體固定到各自的腔室上， 而且腔室的底部可以被軸向移動以便允許通過腔室底部引入和移除容器，該容 器頸部朝上。根據(jù)本發(fā)明的裝配尤其適合于裝配了多個處理臺的高通量的高效裝置， 例如處理臺是旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤式和包括一個旋轉(zhuǎn)架，其支撐所述多個圍繞圓周分布的 處理臺，其中可分離單元被分別固定到可向外徑向轉(zhuǎn)動的處理臺外殼的側(cè)面 上。以此種方式提供了從裝置外進入可分離單元的簡易通路。


通過閱讀下述一些優(yōu)選的具體實施方式
的具體說明可以更好地理解本發(fā) 明，該具體實施方式
只是以純說明性的實例方式給出的。在這一說明中，參照 附圖，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的具有一個可分離單元的處理臺的部分透視圖； 圖2顯示圖1的可分離單元中一個電磁閥結(jié)構(gòu)的放大比例的截面示意圖； 圖3顯示圖1的可分離單元中另一個不同的電磁閥結(jié)構(gòu)的放大比例的截 面示意圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選的具體實施方式
，用于處理容器的裝置部 分的局部分解透視圖，其中處理臺的結(jié)構(gòu)是兩兩分組；圖5是類似于圖4的局部分解透視圖，其中可分離單元與兩個處理臺分
開；和圖6是可分離單元的透視圖，其中可以看見可分離單元的耦合面。
具體實施方式
本發(fā)明的目的是改進利用微波等離子體在例如PET的熱塑容器內(nèi)表面上 沉積形成阻擋的涂層的裝置，所述裝置包括多個用于處理容器的臺。在圖1中，顯示了用1來整體地表示的一個單獨的處理臺，并以外部透 視簡圖顯示了僅用于理解本發(fā)明所改進的一部分?；旧?，每個處理臺l特別包括一個處理室2，其適于容納至少一個待處理容器并且被裝備以便可以在其處，尤其在其內(nèi)表面上進行沉積處理，所述處理是利用來自注射到腔室中的前 驅(qū)氣體的微波等離子體來沉積阻擋材料(例如碳)的涂層，和一個外殼3，其位于腔室2上方并包括一個真空泵室(圖1中未顯示)， 其中與容器連接的防漏裝置包括一個套管4，該套管通常是與容器頸部共軸的 管狀，和為了更容易理解，在圖1中顯示了與其在外殼3上的套5分離的套管 4。外殼3也支撐了一個共軸通過(通道6)所述套管4的管狀注射器(未顯 示)，并且該注射器能夠?qū)⒎磻鹤⑸涞饺萜髦校鳛橛糜谔幚硭鋈萜鞯姆?應原料(processproceed),以便在容器內(nèi)表面上形成阻擋材料層。在文獻FR 2 872 148中可以找到本申請人對以此種方式設置的處理臺的 更具體說明。所述裝置的功能組件(圖l中未顯示)與真空泵室相通，當裝置運行時， 功能組件至少部分地易于被組成所述涂層的粉狀材料所覆蓋。 根據(jù)本發(fā)明，規(guī)定優(yōu)選利用附件的快速工具，將功能組件(圖1中未顯示)集中到可分離 單元7中，和該功能組件在所述可分離單元7的耦合面8的各個套內(nèi)被保護， 該可分離單元可以附著到外殼3上；外殼3整合了功能通道，所述通道是所述功能組件各自運行所需的且形 成于所述外殼3的耦合面9上，可分離單元7和外殼3各自的所述耦合面8， 9以互補方式相配；和當使用所述各自的耦合面8， 9互相配合將所述可分離 單元7固定到所述外殼3上時，所述通道和所述保護各自功能組件的套被分別連接。在圖1中，顯示可分離單元7被固定到外殼3上。根據(jù)本發(fā)明提出的結(jié)構(gòu)，功能組件是其功能容易被粉狀阻擋材料的存在 所干擾或者甚至被破壞的組件。尤其要考慮所使用的壓力感應器和流量計以便 控制處理臺的運行，但是還特別要考慮用于控制由外部真空泵在腔室內(nèi)建立真空狀態(tài)和用于使腔室與大氣相接觸的電磁閥，當在止回閥(clack valve)的襯 墊上出現(xiàn)粉狀材料時，電磁閥對所述止回閥的襯墊的密封性產(chǎn)生負作用。更準確地涉及組成電磁閥的功能組件，現(xiàn)描述了兩個用于裝配可分離單 元7的具體實施例，分別對應于圖2和圖3。首先參考圖2的實施例，可分離單元7包括一主體18，在主體中帶有一 套，其整體地用10表示，該主體保護電磁閥的所有組件，該電磁閥整體地用 11表示。電磁閥11包括具有至少一個襯墊13的止回閥12,且其能夠與圍繞管口 15的側(cè)翼面(facing shoulder) 14相配，該管口在主體18的正面形成，組成 所述可分離單元7的耦合面8?？煞蛛x單元7的耦合面8被定形以便與外殼3 相對的耦合面9相配，通過外殼3產(chǎn)生的通道16在該外殼3上形成，其基本 上與可分離單元7的管口 15共軸排列。襯墊17在兩個耦合面8， 9之間和其 尤其可以圍繞管口 15被固定到可分離單元7的耦合面上。在套10中，例如在其側(cè)壁上，有一條鉆到可分離單元7的主體18中的 通道(duct)19，和在其另一末端，形成于可分離單元7的耦合面8上，面向外 殼3中的通道20且形成于耦合面9上，例如， 一個由可分離單元7所支撐的 襯墊21被插入到兩個耦合面8， 9中間。電磁閥的止回閥12可以被氣壓缸驅(qū)動。為此目的，通過一根桿22，止回 閥12被固定到在腔室24中可動活塞的頭23上，該腔室24在附著到可分離單 元7的主體18上的電磁閥的主體25中產(chǎn)生。用于引入氣動控制流體(加壓空 氣，典型地在7M()Spa下)的通道(duct) 26在腔室24中打開以便控制活塞 頭23的運動和因此控制止回閥12的運動。 一根在套10中延伸的導套27 —方 面用于引導桿22和另一方面作為在復位彈簧28 —端的支撐，該彈簧共軸圍繞 桿22和其另一端支撐在活塞頭23下以便止回閥12、桿22和活塞頭23形成 的可動系統(tǒng)回到支撐位置(對應于實例所述的止回閥12的打開位置)。最后，
一個密封裝置，例如波紋管(bellows) 29以密封的方式被插入到止回閥12和 電磁閥主體25之間。為了簡化維護和使得電磁閥在需要的時候被迅速地替換，有益地，電磁 閥11可以是筒形，其可以被插入到可分離單元7的主體18的套中(未以具體 方式顯示)。在關(guān)于圖2已經(jīng)說明的裝配中，分別屬于可分離單元7和外殼3的耦合 面8和9基本上是平的，至少在其被電磁閥插入所直接涉及的各自區(qū)域內(nèi)。在圖3中描述了裝配的另一實例，其中顯示出相同的組件。在另一方面， 以和上述不同的方式，電磁閥的止回閥12在一個相對于耦合面8凸出的部分 30中被保護，并且就其而言，外殼3具有一個凹槽32，其能夠容納可分離單 元7的所述凸出部分30。然后，襯墊17被插入到凸出部分30的正面31.8和 凹槽32的底部31.9之間。然而，此種保留了與前一結(jié)構(gòu)相當功能的結(jié)構(gòu)，在 一些情況下提供了簡化裝置的優(yōu)點，尤其是對于在待處理容器內(nèi)部建立真空狀 態(tài)所需的連通。通過將套管4安裝在外殼3中帶有的套5中建立該連通。在這種設計中提出的結(jié)構(gòu)使得可以對保護電磁閥的止回閥的套10進行移 動至以接近對著套管4的套5。以此種方式，前述提及的通道19可以直接在 這一套5中形成。在圖3所示的有用的具體實施方式
的實例中，套5只是部分 被限定(5a)在外殼3中和部分被限定(5b)在凸出部分30中和通道19直接 形成于所述部分5b中。在這一結(jié)構(gòu)中，通道16與真空源相連接，而通道19 通過套管4與待處理容器的內(nèi)體積相通。以此種方式，對于每個處理臺，可分離單元7具有一個根據(jù)圖3所示的 結(jié)構(gòu)而安裝的電磁閥，該電磁閥用于在待處理容器的內(nèi)體積中建立真空狀態(tài)， 和可分離單元7還具有其它3個根據(jù)圖2的結(jié)構(gòu)所安裝的電磁閥(在容器外腔 室中建立真空狀態(tài)，在容器內(nèi)體積中重建氣壓，在容器外的腔室中重建氣壓)。根據(jù)本發(fā)明提供的裝配，當電磁閥襯墊中至少一個襯墊需要被清理和替 換吋，有關(guān)的可分離單元7立即被移去和用備用保存的具有良好功能狀態(tài)的可 分離單元7替換，這使得可以將裝置固定非常短的時間。然后在車間里最適條 件下脫離機器進行拆下單元的維護和然后將被修復的單元備用保存。類似地，對于系統(tǒng)的預防維護，裝置的所有可分離單元7可以被卸下和 被備用保存的先前修復的單元所替換，而且固定裝置的時間降到最低，而另一方面，需要提供兩套完整的可分離單元。如前所強調(diào)，根據(jù)本發(fā)明的裝配在具有大量處理臺的裝置中甚至更有用。 在此，通過處理臺1被分配成包括多個相鄰臺的組， 一個公用的可分離單元7 將所述一組處理臺中多個相鄰臺1的功能組件集中起來，和所述公用可分離單元7可以被附著到各自臺的外殼3的耦合面9上，可以設想在減少出于維護目 的而固定裝置時間方面的進一歩的改進。然后，尤其是在一個處理臺組合中相鄰處理臺1的腔室2被集中并且并 列連接，而且其各自的外殼3也并列連接。在這種情況下，通過使在一個處理 臺組合中的處理臺1的各自外殼以公用一個共同單獨外殼3的形式連接在一 起，可以進一步改進在同一處理臺組合中的處理臺1的整合。圖4-6說明了前述提及的在裝有偶數(shù)個處理臺情況下的裝配，該裝置。然 后處理臺1被排成兩組，其用33表示，處理臺的每個組33包括兩個相鄰的處 理臺1。正如圖4中清晰可見，其是與圖1所示相似的單獨處理臺透視圖，兩個 腔室2連接到一起并在其頂上具有一個公用外殼3，其使得兩個處理臺各自運 行所需的裝備集中起來。類似地，在圖1中，顯示了與其各自的套5分離的兩 個套管4。公用可分離單元7使得在臺的組合33中的兩個相鄰處理臺的功能 組件集中起來和優(yōu)選地，使用附件的快速工具可以將所述公用的可分離單元7 附著到公用外殼3的耦合面9上。圖5代表了圖4處理臺的組合33，其中可分離單元7被從外殼3上卸下 并分離，而在圖6中顯示了可分離單元7的透視圖，其中所述可分離單元轉(zhuǎn)動 到可以看見其耦合面8的位置。尤其是，這兩副附圖5和6使得可以確認兩個電磁閥裝配，所述電磁閥 用于在由兩個處理臺1所處理的兩個容器的內(nèi)體積中建立真空狀態(tài)，尤其是通 過可分離單元7的凸出部分30和外殼3的具有互補形狀的凹槽32，外殼3部 分地允許一個套管4的套5呈現(xiàn)出來(其位于右側(cè))。在圖6中，清晰地顯示了每個管口都單獨密封的襯墊17。需要注意的是， 通過一個圍繞在公用單元7的耦合面8上的所有管口的襯墊34獲得全面補償 氣密性。由于電磁閥集中在一個公用可分離單元7中，可以設想其中一些可以為
兩個處理臺提供公用的功能。以此目的，使用一個電磁閥控制待處理容器的內(nèi) 體積中建立真空狀態(tài)和一個電磁閥用于控制在每個處理臺的待處理容器的內(nèi) 體積中重建氣壓，而可以提供一個單獨的電磁閥用于控制待處理容器外的腔室 內(nèi)體積中建立真空狀態(tài)和一個單獨的電磁閥用于控制在與所有處理臺公用的 待處理容器外的腔室內(nèi)體積中重建氣壓。由于這種電磁閥數(shù)量的減少，所使用 裝置的成本降低以及對裝置進行留存維護和同時維護的成本也降低了，公用可 分離單元7的體積基本上減小，其使得可以減小裝置的總體尺寸和重量，從而 導致其較小的慣性。在具體實施方式
的一個具體實例中，可分離單元7的耦合面8制成階梯 式的方式是很有用的，以便當其被固定到各自外殼3上時促進可分離單元7 的導向，和促進襯墊插入到可分離單元和外殼的配合面之間。為此，使耦合面 部分8a相對于裝配面8b凸出，該耦合面和電磁閥套的管口 15集中在一起， 裝配面8b支撐和外殼3機械連接的裝置35 (圖6可見)。在一個補充方式中， 例如使用銷釘，外殼3的耦合面9具有一個凹槽9a，其可以容納從耦合面8 上凸出的所述部分8a和其被裝配面9b所圍繞，該面可以與可分離單元7的裝 配面8b相配。然后如圖6所示將前述提及的襯墊34放到裝配面8b上。圖6還顯示了保護真空感應器36的兩個套，其在前述的兩個保護電磁閥 的各自凸出部分30的正面形成以建立兩個處理臺各自所要的真空狀態(tài)。類似地，圖5和6顯示了兩個處理臺公用的流量計37，其用于測量注射 到兩個待處理容器中的前驅(qū)氣體(例如乙炔)的流量。流量計37固定到可分 離單元7的外表面上并與用于提供前驅(qū)氣體的通道38相連，流量計通過可分 離單元7的面8b上的通道39，和一個鉆入外殼3中的通路40與位于套管4 上部并與套管共軸的兩個注射器(未顯示)相通。需要強調(diào)的是，可有益地通過自動接通的方式驅(qū)動(電動或氣動)可分 離單元7，特別是通過如在圖5所示的可分離單元7的通道40和外殼3的固 定通道41的組合的電動一氣動的接通方式(在圖6中未示出通道40)。根據(jù)本發(fā)明的裝配可以用于使用不同設計的裝置，并且盡管不排除其它 方式，其尤其以一個優(yōu)選的方式，其中對于每個處理臺l，外殼3被整體固定 到各自的腔室2上和腔室2的底部可以軸向移動以允許通過腔室2的底部引入 和移除容器，該容器頸部朝上。
另外，根據(jù)本發(fā)明的裝配尤其全部適用于高通量的高效裝置，所述裝置 裝配有大量的處理臺，例如處理臺是旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤式和包括一個旋轉(zhuǎn)架，其支撐所 述多個圍繞圓周分布的處理臺1，其中可分離單元7被分別固定到可徑向向外 轉(zhuǎn)動的處理臺外殼的側(cè)面上。以此種方式，可以獲得從裝置外面到可分離單元 的簡單、直接的通道而不需要其被倒置或卸下其它組件，另外，這使得可以減 少用于調(diào)換可分離單元7的操作時間。
權(quán)利要求
1、一種利用微波等離子體在熱塑容器內(nèi)表面上沉積阻擋涂層的裝置，其包括多個用于處理容器的臺(1)，每個處理臺具有一個處理腔室(2)和一個外殼(3)，所述外殼包括一個真空泵室，其與所述裝置的功能組件(11，36，37)相通，當裝置運行時，所述功能組件至少部分地易于被組成所述涂層的粉狀材料所覆蓋，其特征在于所述功能組件(11，36，37)包括電磁閥(11)，其用于選擇性地控制在腔室(2)內(nèi)和待處理容器內(nèi)建立真空狀態(tài)和氣壓，并且所述功能組件被集中到附著到所述外殼(3)上的可分離單元(7)中，和在所述可分離單元(7)的耦合面(8)所帶有的各個套(10)中所述功能組件被保護；所述外殼(3)整合了功能通道(16，20)，所述功能通道是所述功能組件(11，36，37)各自運行所需的、并開在所述外殼(3)的耦合面(9)上，所述可分離單元(7)和外殼(3)的耦合面(8，9)以互補方式相配；和當利用其各自的耦合面(8，9)相互配合，將所述可分離單元(7)固定到所述外殼(3)上時，所述通道(16，20)和所述保護各自功能組件(11，36，37)的所述套(10)分別被連接。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于 處理臺(1)是偶數(shù)，每組(33)處理臺包括兩個相鄰臺(1)，和在一組(33)處理臺中，所述兩個相鄰臺(1)的所述功能組件(11， 36， 37)被集中到所述公用的可分離單元(7)上，該可分離單元可以被附著到各 自兩個臺(1)的外殼(3)的耦合面(9)上。
3、 一種利用微波等離子體在熱塑容器內(nèi)表面上沉積阻擋涂層的裝置，其 包括多個用于容器處理的臺(1)，每個處理臺具有一個處理腔室(2)和一個 外殼(3)，所述外殼包括一個真空泵室，其與所述裝置的功能組件(11， 36， 37)相通，當裝置運行時，所述功能組件至少部分地易于被組成所述涂層的粉 狀禾才料覆蓋，其特征在于處理臺(1)是偶數(shù)；每組(33)處理臺包括兩個相鄰臺(1);在一組(33)處理臺中，所述兩個相鄰臺(1)的所述功能組件(11， 36， 37)被集中到公用的可分離單元(7)上，該可分離單元可以被附著到各自兩 個臺(1)的外殼(3)的耦合面(9)上，和所述功能組件在所述可分離單元 (7)的耦合面(8)所帶有的各個套(10)內(nèi)被保護；所述外殼(3)整合了功能通道(16， 20),所述功能通道是所述功能組 件(11， 36， 37)各自運行所需的、并開在所述外殼(3)的耦合面(9)上， 所述可分離單元(7)和外殼(3)的耦合面(8， 9)以互補方式相配；和當利用其各自的耦合面(8， 9)相互配合，將所述可分離單元(7)固定 到所述外殼(3)上時，所述通道(16， 20)和所述保護各自功能組件(11， 36， 37)的所述套(10)分別被連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述功能組^^包括電磁閥 (11)，其用于選擇性地控制腔室(2)內(nèi)和待處理容器內(nèi)真空狀態(tài)和氣壓的建.、廠
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的裝置，其特征在于，所述功能組件包括至 少一個真空感應器(36)。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的裝置，其特征在于，所述功能組件包括至 少一個流量計(37)。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的裝置，其特征在于，控制容器內(nèi)真空狀態(tài) 的電磁閥的套(10)被定位到可分離單元(7)在耦合面(8)上的凸出部分(30) 上，并且外殼(3)的耦合面(9)具有凹槽(32)，其具有能夠容納所述凸出 部分(30)的互補形狀。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的裝置，其特征在于，所述可分離單元(7) 的所述耦合面(8a)相對于裝配面(8b)凸出，并且外殼(3)上具有能夠容 納所述凸出耦合面(8a)的凹槽(9a)，所述裝配面(8b)支撐和外殼(3) 連接(35)的機械裝置。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的裝置，其特征在于，所述處理臺(1)被分 配成包括多個相鄰臺的組(33)， 一個公用的可分離單元(7)將在一組(33) 處理臺中所述多個相鄰臺(1)的功能組件(11， 36， 37)集中在一起，所述 的可分離單元(7)可以被附著到各自的臺(1)的外殼(3)的耦合面(9)上。
10、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，在一組(33)處理臺中相 鄰處理臺(1)的腔室(2)被集中并且并列連接，和其各自的外殼(3)也并 列連接。
11、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，在一組(33)處理臺中相 鄰處理臺(1)的腔室(2)被集中并且并列連接，和其各自的外殼(3)也并 列連接， 一組(33)處理臺中的處理臺(1)具有公用的一個外殼(3)，和所 述可分離單元(7)可以被附著到公用的外殼(3)的耦合面(9)上。
12、 根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的裝置，其中每個工作臺(1)功能性地連 接有下述組件一個電磁閥，其用于控制在待處理容器外的腔室(2)內(nèi)體積中建立真空 狀態(tài)，一個電磁閥，其用于控制在待處理容器的內(nèi)體積中建立真空狀態(tài)， 一個電磁閥，其用于控制在待處理容器外的腔室(2)內(nèi)體積中重建氣壓，和一個電磁閥，其用于控制在待處理容器的內(nèi)體積中重建氣壓，其牛寺征在于處理臺(1)被分配成包括多個相鄰臺的組(33)，一個公用的可分離單元(7)將一組(33)處理臺中所述多個相鄰臺(1)的功 能組件(11， 36， 37)集中在一起，所述可分離單元(7)可以被附著到各自的臺(1)的外殼(3)的耦合面(9) 上，和對于每個處理臺(O，其包括一個用于控制在待處理的容器內(nèi)體積中建立真空 狀態(tài)的電磁閥和一個用于控制在待處理容器的內(nèi)體積中重建氣壓的電磁閥；和 其包括一個單個的用于控制在待處理容器外的腔室(2)內(nèi)體積中建立真空狀 態(tài)的單獨電磁閥和一個單個的用于控制在待處理容器外的腔室(2)內(nèi)體積中 重建氣壓的單獨電磁閥，所述電磁閥被該組(33)處理臺中的所有處理臺(1) 所公用。
13、 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的裝置，其特征在于，對于每個處理臺(l): 外殼(3)被整體固定到各自腔室(2)上，和腔室(2)的底部可以被軸向移動以便允許通過腔室(2)底部引入和移除容器， 該容器頸部朝上。
14、根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的裝置，其特征在于，其是旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤式并包 括一個旋轉(zhuǎn)架，該旋轉(zhuǎn)架支撐所述多個圍繞圓周分布的處理臺(1)，和其中可 分離單元(7)被分別固定到徑向向外轉(zhuǎn)動的處理臺外殼(3)的側(cè)面上。
全文摘要
一種利用微波等離子體在熱塑容器上沉積阻擋涂層的裝置，其包括處理臺(1)，每個處理臺具有一個腔室(2)和一個外殼(3)，所述外殼包括一個真空泵室，其與在一個可分離單元(7)中集中的且被所述的可分離單元的一個耦合面(8)帶有的各個套所保護功能組件相連接，所述可分離單元可以被附著到外殼上。所述外殼整合了功能通道(16)，所述功能通道是功能組件所需的和形成于該外殼的一個耦合面(9)上，這些耦合面以互補方式相配；和當使用其各自耦合面相互配合，將所述可分離單元固定到外殼上時，這些通道和這些套被分別連接。
文檔編號C23C16/511GK101161858SQ20071016364
公開日2008年4月16日 申請日期2007年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月13日
發(fā)明者伊維斯·厄本·杜克拉斯 申請人:西得樂公司