專利名稱：研磨裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及半導體領域的制造設備，具體地說，涉及一種研磨裝置。
技術(shù)背景一般研磨裝置包括研磨頭、供氣體流動的孔軸以及控制氣體流向、大小的 控制器。研磨頭內(nèi)的橡膠壓膜將晶圓壓在位于旋轉(zhuǎn)臺上的研磨墊上。在晶圓的 研磨過程中，常常會發(fā)生研磨頭破損的現(xiàn)象，即壓膜與晶圓發(fā)生嚴重碰撞，就 會產(chǎn)生大量碎片。產(chǎn)生的碎片在孔軸真空環(huán)路的壓力作用下，進入孔軸，進而 被吸入控制器內(nèi)。當控制器吸入一定量的碎片后，就會無法正常工作，導致研 磨裝置發(fā)生當機警報。為了減少上述情況的出現(xiàn)， 一般孔軸進行定期清洗，但 是因為條件的限制，無法徹底洗干凈。如果清洗孔軸后，研磨裝置仍然發(fā)出警 報，則需要更換控制器，常常一周就需要更換一次，這樣不僅增加了工作人員 的工作負荷，降低工作效率，而且增加了生產(chǎn)成本。有鑒于此，需要提供一種新的研磨裝置。實用新型內(nèi)容本實用新型解決的技術(shù)問題是提供一種保護控制器的研磨裝置。 為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種研磨裝置，其包括研磨頭、 控制器以及連接研磨頭和控制器的孔軸，孔軸具有氣體流通管道，控制器控制 孔軸內(nèi)氣體在氣體流通管道內(nèi)的流動狀況，該研磨裝置在孔軸上安裝有過濾器， 其可將研磨頭產(chǎn)生的碎片過濾掉。其中該過濾器可拆卸地安裝在孔軸上。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型研磨裝置通過在孔軸上設置過濾器將產(chǎn)生的碎片過濾掉，有效保護控制器不受損壞；過濾器比控制器容易拆卸，降低了成 本和工作負擔。


圖l本發(fā)明研磨裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
通過
以下結(jié)合附圖對本實用新型一實施例進行描述，可以進一步理解本實 用新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點。請參閱圖1,本實施例研磨裝置1包括研磨頭10、供氣體流動的孔軸12以 及控制氣體流向、大小的控制器13。研磨頭10呈倒置的桶狀，內(nèi)部固定有支架 11。支架上具有橡膠壓膜110，該壓膜110中間部分呈拱形，兩端壓在待研磨晶 圓2的上面。晶圓2的待研磨表面與研磨墊3接觸，該研磨墊3放置在旋轉(zhuǎn)臺4 上。該研磨裝置1在孔軸12上安裝有過濾器14,其可隨時拆卸。在研磨過程中， 如果晶圓或者壓膜發(fā)生破損，產(chǎn)生的碎片受到孔軸12真空環(huán)路的吸力，沿圖中 箭頭朝向控制器13移動，在移動過程中被過濾器14過濾掉，避免進入控制器 13,提高了控制器13的使用壽命。過濾器14結(jié)構(gòu)簡單，成本相對控制器13低， 因此更換過濾器14相較現(xiàn)有技術(shù)的更換控制器13,有效減低成本。而且更換過 濾器14比較方便，降低了工作人員的工作負荷，提高了工作效率。
權(quán)利要求1.一種研磨裝置，其包括研磨頭、控制器以及連接研磨頭和控制器的孔軸，孔軸具有氣體流通管道，控制器控制孔軸內(nèi)的氣體在氣體流通管道內(nèi)的流動狀況，其特征在于該研磨裝置在孔軸上安裝有過濾器。
2. 如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于該過濾器可拆卸地安笨在孔軸 上。
專利摘要本實用新型公開了一種研磨裝置，涉及半導體領域的制造設備。該研磨裝置包括研磨頭、控制器以及連接研磨頭和控制器的孔軸，孔軸具有氣體流通管道，控制器控制孔軸內(nèi)的氣體在氣體流通管道內(nèi)的流動狀況，該研磨裝置在孔軸上安裝有過濾器，其可將研磨頭產(chǎn)生的碎片過濾掉。而且該過濾器可拆卸地安裝在孔軸上。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型研磨裝置通過在孔軸上設置過濾器將產(chǎn)生的碎片過濾掉，有效保護控制器不受損壞，過濾器比控制器成本低，更換過濾器比更換控制器，可有效降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號B24B37/04GK201115930SQ20072007381
公開日2008年9月17日 申請日期2007年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月20日
發(fā)明者周海鋒, 王大幫, 蔡宗成, 高喜峰 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司