專利名稱：精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及拋光機(jī)領(lǐng)域，尤其是一種雙面拋光機(jī)的上拋光盤 傳動機(jī)構(gòu)。(二) 背景技術(shù)原傳統(tǒng)研拋機(jī)采用單電機(jī)帶動，參見圖1，通過齒輪傳動系統(tǒng)實(shí) 現(xiàn)上下拋光盤、內(nèi)齒圈、外齒圈的轉(zhuǎn)動，上下拋光盤與行星輪只有兩 種速度比，限制了雙面拋光加工運(yùn)動軌跡的變化，缺乏對速度的精確 控制。對于上拋光盤的傳動結(jié)構(gòu)，采用氣缸加壓，加載到上拋光盤的壓 力可以為輕壓或重壓，壓力不可調(diào)節(jié)；由于不能精確地控制上拋光盤 對工件的壓力，工件的拋光精度較低。(三) 實(shí)用新型內(nèi)容為了克服已有拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)不能調(diào)節(jié)工作壓力、拋 光精度低的不足,本實(shí)用新型提供一種能夠精確控制上拋光盤對工件 的壓力，有效提升拋光精度的精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)，包括機(jī)架、安裝在機(jī) 架上的驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置帶有活塞桿，所述的活塞桿與上拋光 盤連接，所述的驅(qū)動裝置連接用于調(diào)節(jié)加載壓力大小的壓力調(diào)節(jié)閥， 在所述的活塞桿與上拋光盤的連接處安裝壓力傳感器；所述的上拋光 盤傳動機(jī)構(gòu)還包括用于接收壓力傳感器的信號，并將壓力傳感器的壓
力值與預(yù)設(shè)的工作壓力比較，選擇性地向壓力調(diào)節(jié)閥發(fā)出增大或減小 壓力指令的上拋光盤壓力控制器，所述的壓力調(diào)節(jié)閥、壓力傳感器連 接上拋光盤壓力控制器。作為優(yōu)選的一種方案所述的驅(qū)動裝置為氣缸，所述氣缸包括上 室、下室以及活塞，活塞連接活塞桿，所述上室與上氣管連通，所述 下室與下氣管連通，所述的上氣管、下氣管分別與大氣連通、同時與 壓力調(diào)節(jié)閥連通。作為優(yōu)選的再一種方案上拋光盤與氣缸活塞桿浮動連接。進(jìn)一步，所述的氣缸活塞桿通過浮動接頭與上拋光盤連接，所述 浮動接頭為球弧面的球軸承。更進(jìn)一步，所述的氣缸活塞桿與連接桿連接，所述的連接桿與壓 力傳感器連接，所述壓力傳感器連接轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸連接在球弧 面的球軸承，所述球軸承與上拋光盤支架連接。本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思為拋光機(jī)在非接觸拋光時，要將上拋光 盤相對工件(在下拋光盤上)浮起數(shù)微米；而在接觸拋光時要對上拋 光盤加載，最大載荷要達(dá)一百多公斤力；停止拋光時，則又要將上拋 光盤抬起一定高度。為實(shí)現(xiàn)該功能，上拋光盤采用氣缸利用高壓空氣的壓力來實(shí)現(xiàn)加 壓。高壓空氣由上氣管進(jìn)入氣缸的上室，推動活塞桿向下移動，上拋 光盤浮動連接在氣缸活塞桿上，從而實(shí)現(xiàn)加工過程中所需壓力。高壓 空氣由下氣管進(jìn)入氣缸的下室，同時上氣管接通大氣，從而推動活塞 帶動連接桿及拋光盤向上移動，即可卸下或檢査工件。氣缸的工作壓 力調(diào)節(jié)通過調(diào)節(jié)氣壓系統(tǒng)中的壓力調(diào)節(jié)閥來實(shí)現(xiàn)，為精確控制上拋光
盤對工件的壓力，氣缸與拋光盤連接處裝一個壓力傳感器，以形成一個閉環(huán)控制，從而實(shí)現(xiàn)對氣缸的精確控制。為保證拋光時的壓力調(diào)整要求，采用靜壓活塞。本實(shí)用新型的有益效果主要表現(xiàn)在1、能夠精確控制上拋光盤對工件的壓力，有效提升拋光精度；2、浮動接頭不要求負(fù)載與氣缸軸心 一致，采用球軸承，能夠保證氣缸活塞桿與上拋光盤相互貼合。(四)
圖1是傳統(tǒng)的雙面研磨拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是本實(shí)用新型的雙面拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3是拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。 圖4是工控機(jī)的控制原理圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。參照圖2、圖3、圖4， 一種精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)， 包括機(jī)架1、安裝在機(jī)架上的驅(qū)動裝置27，所述驅(qū)動裝置27帶有活塞 桿28，所述的活塞桿28與上拋光盤22連接，所述的驅(qū)動裝置27連 接用于調(diào)節(jié)加載壓力大小的壓力調(diào)節(jié)閥29，在所述的活塞桿28與上 拋光盤22的連接處安裝壓力傳感器30;所述的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)還 包括用于接收壓力傳感器的信號，并將壓力傳感器的壓力值與預(yù)設(shè)的 工作壓力比較，選擇性地向壓力調(diào)節(jié)閥發(fā)出增大或減小壓力指令的上 拋光盤壓力控制器31，所述的壓力調(diào)節(jié)閥29、壓力傳感器30連接上 拋光盤壓力控制器31。所述的驅(qū)動裝置27為氣缸，所述氣缸包括上室、下室以及活塞，
活塞連接活塞桿，所述上室與上氣管連通，所述下室與下氣管連通， 所述的上氣管、下氣管分別與大氣連通、同時與壓力調(diào)節(jié)閥連通。上拋光盤22與氣缸活塞桿28浮動連接。所述的氣缸活塞桿28 通過浮動接頭32與上拋光盤22連接，所述浮動接頭32為球弧面的球 軸承。所述的氣缸活塞桿28與連接桿33連接，所述的連接桿33與壓 力傳感器30連接，所述壓力傳感器30連接轉(zhuǎn)動軸34，所述轉(zhuǎn)動軸34連接在球弧面的球軸承，所述球軸承與上拋光盤支架35連接。本實(shí)施例的拋光機(jī)的工作方式有非接觸拋光時，要將上拋光盤 22相對工件(在下拋光盤上)浮起數(shù)微米；而在接觸拋光時要對上拋 光盤加載，最大載荷要達(dá)一百多公斤力；停止拋光時，則又要將上拋 光盤抬起一定高度。為了實(shí)現(xiàn)上述功能，本實(shí)施例的上拋光盤采用氣缸27利用高壓空 氣的壓力來實(shí)現(xiàn)加壓。高壓空氣由上氣管進(jìn)入氣缸的上室，推動活塞 桿28向下移動，上拋光盤浮動連接在氣缸活塞桿上，從而實(shí)現(xiàn)加工過 程中所需壓力。高壓空氣由下氣管進(jìn)入氣缸的下室，同時上氣管接通 大氣，從而推動活塞帶動連接桿及拋光盤向上移動，即可卸下或檢査 工件。氣缸的工作壓力調(diào)節(jié)通過調(diào)節(jié)氣壓系統(tǒng)中的壓力調(diào)節(jié)閥29來實(shí) 現(xiàn)，為精確控制上拋光盤對工件的壓力，氣缸與拋光盤連接處裝--個 壓力傳感器30，以形成一個閉環(huán)控制，從而實(shí)現(xiàn)對氣缸的精確控制。 為保證拋光時的壓力調(diào)整要求，采用靜壓活塞。軸向精度由氣缸下端面的精度來保證，調(diào)試以后使上拋光盤達(dá)到 很高的徑向定位精度和軸向定位精度。另外考慮上下拋光盤的貼合，提高工件的加工精度，采用浮動連 接使氣缸與上拋光盤相連。當(dāng)負(fù)載連接于氣缸活塞桿端部時，使用浮 動連接可吸收活塞桿和負(fù)載的偏心或不平行對活塞桿產(chǎn)生的偏心負(fù)載 和橫向負(fù)載。同時考慮上拋光盤工作時不僅要加載荷而且需要高速轉(zhuǎn) 動，所以與一般的浮動接頭結(jié)構(gòu)不一樣。浮動接頭采用球弧面的球軸承連接，故允許上拋光盤在x、 y、 z三個方向的搖動，允許搖動角在士5。 以內(nèi)，下拋光盤軸心線在接頭軸線的垂直方向可作微量偏心滑移，同 時由于浮動接頭不要求負(fù)載與氣缸軸心一致。
權(quán)利要求1、一種精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)，包括機(jī)架、安裝在機(jī)架上的驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置帶有活塞桿，所述的活塞桿與上拋光盤連接，其特征在于所述的驅(qū)動裝置連接用于調(diào)節(jié)加載壓力大小的壓力調(diào)節(jié)閥，在所述的活塞桿與上拋光盤的連接處安裝壓力傳感器；所述的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)還包括用于接收壓力傳感器的信號，并將壓力傳感器的壓力值與預(yù)設(shè)的工作壓力比較，選擇性地向壓力調(diào)節(jié)閥發(fā)出增大或減小壓力指令的上拋光盤壓力控制器，所述的壓力調(diào)節(jié)閥、壓力傳感器連接上拋光盤壓力控制器。
2、 如權(quán)利要求1所述的精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)，其特征 在于所述的驅(qū)動裝置為氣缸，所述氣缸包括上室、下室以及活塞， 活塞連接活塞桿，所述上室與上氣管連通，所述下室與下氣管連通， 所述的上氣管、下氣管分別與大氣連通、同時與壓力調(diào)節(jié)閥連通。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)，其 特征在于上拋光盤與氣缸活塞桿浮動連接。
4、 如權(quán)利要求3所述的精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)，其特征 在于所述的氣缸活塞桿通過浮動接頭與上拋光盤連接，所述浮動接 頭為球弧面的球軸承。
5、 如權(quán)利要求4所述的精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)，其特征 在于所述的氣缸活塞桿與連接桿連接，所述的連接桿與壓力傳感器 連接，所述壓力傳感器連接轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸連接在球弧面的球軸 承，所述球軸承與上拋光盤支架連接。
專利摘要一種精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)，包括機(jī)架、安裝在機(jī)架上的驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置帶有活塞桿，所述的活塞桿與上拋光盤連接，所述的驅(qū)動裝置連接用于調(diào)節(jié)加載壓力大小的壓力調(diào)節(jié)閥，在所述的活塞桿與上拋光盤的連接處安裝壓力傳感器；所述的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)還包括用于接收壓力傳感器的信號，并將壓力傳感器的壓力值與預(yù)設(shè)的工作壓力比較，選擇性地向壓力調(diào)節(jié)閥發(fā)出增大或減小壓力指令的上拋光盤壓力控制器，所述的壓力調(diào)節(jié)閥、壓力傳感器連接上拋光盤壓力控制器。本實(shí)用新型提供一種能夠精確控制上拋光盤對工件的壓力，有效提升拋光精度的精密雙面拋光機(jī)的上拋光盤傳動機(jī)構(gòu)。
文檔編號B24B29/00GK201040354SQ20072010895
公開日2008年3月26日 申請日期2007年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月9日
發(fā)明者偉 李, 胡曉冬 申請人:浙江工業(yè)大學(xué)