專利名稱：：噴砂用抗蝕材料的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及使用含有熱塑性彈性體的材料作為抗蝕掩模、通過噴砂工藝對基材實(shí)施表面加工的方法，特別是在脆性材料上施以高精細(xì)圖案的方法。
背景技術(shù)：
：作為對脆性材料、例如玻璃、硅片、陶瓷、PZT(鋯鈦酸鉛，leadzirconiumtitanate)水晶或藍(lán)寶石進(jìn)4亍表面力口工的#支術(shù)，已知噴^H去。而且，近年來，在由這種M^性材沖十形成的^皮加工基材上實(shí)施線寬1OOiim以下的高精細(xì)圖案的要求有所增加。專利文獻(xiàn)1和2中，為了成品率高地制造高精細(xì)圖案，作為噴砂用抗蝕材料公開了液狀的感光性抗蝕材料、由支撐體和感光性樹脂層和保護(hù)層3層構(gòu)成的感光抗蝕干膜。以下使用該感光抗蝕干膜說明在由脆性材料形成的被加工基材上表面加工高精細(xì)圖案的方法?？梢越?jīng)過以下的各工序，在被加工基材上表面加工高精細(xì)的圖案(I)層壓工序，其邊剝離感光抗蝕干膜的保護(hù)層，邊使用熱軋輥層壓器將層疊于支撐體的感光性樹脂層密合在被加工基材上；(II)曝光工序，其在支撐體上密合具有所需高精細(xì)圖案的光掩模的狀態(tài)下，或者在距離數(shù)十~數(shù)百p.m的狀態(tài)下，使用活性光線源實(shí)施曝光；(in)顯影工序，其剝離支撐體后使用堿顯影液溶解除去感光性樹脂層的未曝光部分，并在被加工基材上形成高精細(xì)抗蝕圖案；(IV)噴砂處理工序，其將噴砂材料從所形成的抗蝕圖案上向被加工基材噴涂，將該基材切削至目標(biāo)深度；(V)剝離工序，其使用堿剝離液將抗蝕圖案從被加工基材除去。對脆性材料表面加工時(shí)，作為噴砂用的研磨劑，使用0.2~0.5MPa左右的高壓空氣噴涂高硬度的微粉末、例如碳燒結(jié)剛玉、生碳燒結(jié)剛玉或氧化鋁。因此，上述噴砂用抗蝕材料要求加工中難以磨耗的性能、即耐噴砂性。專利文獻(xiàn)3記載了形成感光性樹脂的噴砂抗蝕劑圖像的方法，公開了含有結(jié)晶性1,2-聚丁二烯的固體狀感光性樹脂片材，但認(rèn)為并不適于利用高硬度研磨劑的高壓空氣的噴砂處理。這樣，由于以往的噴砂用抗蝕材料沒有充分的耐噴砂性，因此有在加工時(shí)磨損、作為抗蝕劑不耐用的情況。另外，為了不磨耗由該抗蝕材料形成的掩模材料，也有降低噴涂空氣壓力、或選擇磨耗能力低的研磨材料、或者減少研磨材料每單位時(shí)間的噴射量的情況。但是，此時(shí)會(huì)有加工非?；ㄙM(fèi)時(shí)間、無法實(shí)施所需高精細(xì)圖案的情況。另一方面，作為這種加工脆性材料的竟?fàn)幖夹g(shù)，還已知噴砂工藝以外的方法。例如有利用激光的加工方法、等離子體刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕、利用氟酸等藥液的刻蝕過程等。利用激光的加工方法中會(huì)有由激光照射導(dǎo)致的加工材料的溶解殘留或變質(zhì)。等離子體刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕的情況不僅必需高真空，而且有加工速度極慢的缺點(diǎn)。而且，裝置也昂貴，加工也受限于小型的基材。利用藥液的刻蝕過程具有完成寬度變得細(xì)于所需圖案寬度、即側(cè)面刻蝕的問題，并且不可避免地對形成高精細(xì)圖案造成不良影響。另外，由于使用藥液，會(huì)伴隨溫度管理或濃度管理等工序管理中的復(fù)雜操作。噴砂法由于是干燥環(huán)境且不需要高真空的各向異性刻蝕過程，因此克服了上述竟?fàn)幖庸ぜ夹g(shù)所具有的問題，可以說是最適合廉價(jià)地在脆性材料上實(shí)施高精細(xì)圖案的方法。但是，由于前述噴砂用抗蝕材料的耐噴砂性不充分，因此不能向表面加工難的材料或必需加工深度的材料展開，不能發(fā)揮以往相對于竟?fàn)幖庸さ膬?yōu)勢。即，期待在噴砂法中即便噴射可以克服其較大弱點(diǎn)的抗蝕材料、即利用高壓空氣噴射研磨劑時(shí)也可以確保與竟?fàn)幖庸ぜ夹g(shù)相匹敵的表面加工和加工深度的耐噴砂性優(yōu)異的抗蝕材料。專利文獻(xiàn)l:日本特開平08-305017號(hào)7>凈艮專利文獻(xiàn)2:日本特開平11-18863l號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本特開昭55-36812號(hào)乂>才艮
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明預(yù)解決的課題本發(fā)明的目的在于克服上述問題，提供在利用高壓空氣噴射高硬度研磨劑時(shí)也難以磨耗的抗蝕材料，并提供對以往的噴砂用抗蝕材料中難以表面加工的材料或必需加工深度的材料進(jìn)行噴砂處理的表面加工方法。用于解決課題的方法上述目的可以通過本發(fā)明的以下方案實(shí)現(xiàn)。(1)一種噴砂用抗蝕材料，其含有(a)熱塑性彈性體。(2)根據(jù)(1)所述的噴砂用抗蝕材料，其特征在于，進(jìn)一步含有(b)光聚合性不飽和單體和(c)光聚合引發(fā)劑。(3)根據(jù)(1)或(2)所述的噴砂用抗蝕材料，其特征在于，上述(a)熱塑性彈性體包含嵌段共聚物，該嵌段共聚物由以單鏈烯基芳香族化合物為主體的至少2個(gè)聚合物嵌段和以共軛二烯化合物為主體的至少1個(gè)聚合物嵌段形成。(4)根據(jù)(3)所述的噴砂用抗蝕材料，其特征在于，上述嵌段共聚物為支鏈狀嵌段共聚物。(5)—種溶液，其含有(1)或(2)所述的噴砂用抗蝕材料。(6)—種薄膜，其在支撐體上層疊了由(1)或(2)所述的噴砂用抗蝕材料形成的層。(7)—種表面加工方法，其特征在于，在^皮加工基材上通過(1)或(2)所述的噴砂用抗蝕材料形成抗蝕圖案后，進(jìn)行噴砂處理。(8)—種表面加工方法，其特征在于，在被加工基材上印刷(5)所述的溶液而形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴石少處理。(9)一種表面加工方法，其在被加工基材上直接描繪(5)所述的溶液而形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂、處理。(10)—種表面加工方法，其在被加工基材上涂布(5)所述的溶液，利用激光進(jìn)行加工以形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂處理。(11)一種表面加工方法，其將由權(quán)利要求(1)所述的噴砂用抗獨(dú)材料形成的層層疊在支撐體上形成的薄膜層疊5'j被加工基材上，以使由該噴砂用抗蝕材料形成的層接觸到被加工基材上，剝離支撐體，利用激光進(jìn)行加工以形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂處理。(12)—種表面加工方法，其在被加工基材上涂布含有(2)所述噴砂用抗蝕材料的溶液，進(jìn)行曝光、顯影，形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂處理。(13)—種表面加工方法，其將(2)所述的噴砂用抗蝕材料層疊在支撐體上而形成的薄膜層疊到被加工基材上，以使由該噴砂用抗蝕材料形成的層接觸到被加工基材上，進(jìn)行曝光，剝離支撐體，顯影以形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂處理。(14)一種表面加工方法，其將(2)所述的噴砂用抗蝕材料層疊在支撐體上而形成的薄膜層疊到被加工基材上，以使由該噴砂用抗蝕材料形成的層接觸到被加工基材上，剝離支撐體，進(jìn)行曝光、顯影以形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂處理。(15)—種含有熱塑性彈性體的材料作為對噴砂處理的抗蝕材料的用途。發(fā)明效果本發(fā)明的噴砂用抗蝕材料，具有即便在利用高壓空氣噴射高硬度研磨劑時(shí)也難以磨耗的效果。另外，根據(jù)使用本發(fā)明噴砂用材料的表面加工方法，具有如下效果可以提供對以往的噴砂用抗蝕材料中難以表面加工的材料或必需加工深度的材料進(jìn)行噴砂處理進(jìn)行表面加工的方法。特別是適用于脆性材料、例如玻璃、硅片、陶瓷、PZT、水晶或藍(lán)寶石形成的被加工基材時(shí)，發(fā)揮更顯著的效果。具體實(shí)施例方式以下具體地說明本發(fā)明。(a)熱塑性彈性體本發(fā)明必需成分的(a)熱塑性彈性體(以下也稱為TPE)是指"可在高溫下被塑化、與塑料同樣成型，在常溫下顯示橡膠彈性體(彈性體)的性質(zhì)的高分子材料，，(大柳康等著、工業(yè)調(diào)查會(huì)出版、《熱塑性彈性體的新展開》)。作為具體例子可以舉出Tufprene(注冊商標(biāo)、AasahiKaseiChemicalsCorporation公司制造)、Tuftec(注冊商標(biāo)、AasahiKaseiChemicalsCorporation公司制造)、KRATON(注冊商標(biāo)、SchellChemical)、乂《，"7°U》(商品名、日本聚氨酯(林)公司制造)、PANDEX(商品名、大日本油墨化學(xué)(抹)公司制造)、KRATON(SchellChemical)所代表的苯乙烯系TPE;住友TPE(住友化學(xué)工業(yè)(抹)制造)和、；，義卜7—(注冊商標(biāo)、三井化學(xué)(株)公司制造)所代表的烯烴系TPE;SUMIFLEX(注冊商標(biāo)、ADVANCEDPLASTICSCOMPOUNDSCOMPANY公司制造)、Shin-EtsuPVC(Shin-EtsuPolymerCo.,Ltd乂A司制造)、EZ-800(Shin-EtsuPolymerCo.,Ltd.)所代表的氯乙烯系TPE;A，7°k乂(曰本聚氨酯)、PANDEX(大日本油墨化學(xué))所代表的尿烷系TPE;ARNITF丄(注冊商標(biāo)、Omnexus)、、A7°L>(注冊商標(biāo)、東洋紡織(抹)公司制造)所代表的酯系TPE;PEBAX(注冊商標(biāo)、Arkema)、夕、、卩，'乂夕只(注冊商標(biāo)、大日本油墨化學(xué)工業(yè)(抹))所代表的酰胺系TPE等。這些熱塑性彈性體可以單獨(dú)使用，還可以混合2種以上使用。熱塑性彈性體中優(yōu)選苯乙烯系TPE。噴砂用抗蝕材料中所占的(a)熱塑性彈性體的含量從發(fā)揮耐噴砂性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選30質(zhì)量％以上100質(zhì)量％以下。不具有感光性時(shí)，更優(yōu)選為80質(zhì)量％以上100質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為90質(zhì)量％以上100質(zhì)量％以下。當(dāng)含有(a)熱塑性彈性體、(b)光聚合性不飽和單體和(c)光聚合引發(fā)劑，制成感光性噴砂用抗蝕材料時(shí)，(a)熱塑性彈性體的含量在噴^>、用抗蝕材料中優(yōu)選為30質(zhì)量％以上80質(zhì)量％以下的范圍。從發(fā)揮優(yōu)異的耐噴砂性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為30質(zhì)量％以上，從充分地發(fā)揮光固化性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為80質(zhì)量%以下。更優(yōu)選為40質(zhì)量％以上70質(zhì)量％以下。(a)熱塑性彈性體優(yōu)選為嵌段共聚物(以下有時(shí)也簡稱為嵌段共聚物)，該嵌段共聚物含有以單鏈烯基芳香族化合物為主體的至少2個(gè)聚合物嵌段和以共軛二烯化合物為主體的至少1個(gè)聚合物嵌段。這里"為主體"的用語是指各個(gè)嵌段可以由主要單體和微量單體構(gòu)成。微量單體可以與主要單體結(jié)構(gòu)上相近，也可以不同，且可以占據(jù)嵌段共聚物總重量的10質(zhì)量％以下的量。上述嵌段共聚物中，作為單鏈烯基芳香族化合物可以舉出例如苯乙烯、對曱基苯乙烯、叔丁基苯乙烯、a-曱基苯乙烯、l，l-二苯基乙烯等單體，其中優(yōu)選苯乙烯。這些單體可以單獨(dú)使用，還可以2種以上組合使用。單鏈烯基芳香族化合物的含量從發(fā)揮耐噴砂性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為嵌段共聚物中的10質(zhì)量％以上50質(zhì)量％以下、特別優(yōu)選為15質(zhì)量％以上40質(zhì)量％以下。上述嵌段共聚物中，作為共軛二烯化合物可以舉出例如1，3-丁二烯、異戊二烯、2，3-二甲基-l,3-丁二烯、3-丁基-1,3-辛二烯、苯基-1,3-丁二烯等單體。其中優(yōu)選l，3-丁二烯。這些單體可以單獨(dú)使用還可以2種以上組合使用。從發(fā)揮耐噴砂性的觀點(diǎn)出發(fā)，共軛二烯化合物的含量優(yōu)選為嵌段共聚物中的50質(zhì)量％以上90質(zhì)量％以下、特別優(yōu)選為60質(zhì)量％以上85質(zhì)量％以下。從發(fā)揮耐噴砂性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述嵌段共聚物的數(shù)均分子量(利用GPC(凝膠滲透色語法)的聚苯乙烯換算的數(shù)均分子量)優(yōu)選為100000以上、更優(yōu)選為200000以上，從較低地抑制制成溶液時(shí)的粘度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為700000以下、更優(yōu)選為500000以下。另外，從嵌段共聚物的耐噴砂性和熱穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述嵌段共聚物中的共軛二烯部分的乙烯基鍵量優(yōu)選o摩爾％以上30摩爾Q/。以下、更優(yōu)選為0摩爾％以上25摩爾％以下、進(jìn)一步優(yōu)選為0摩爾％以上20摩爾％以下。上述嵌段共聚物更優(yōu)選為支鏈狀嵌段共聚物(以下有時(shí)也簡稱為支鏈狀嵌段共聚物)，該支鏈狀嵌段共聚物由以單鏈烯基芳香族化合物為主體的至少2個(gè)聚合物嵌段和以共軛二烯化合物為主體的至少1個(gè)聚合物嵌段形成。優(yōu)選的支鏈狀嵌段共聚物是例如下述通式所示的嵌段共聚物。(1)(A-B)m畫X(2){(A-B)nA}m-X(3){(B-A)nB}m-X(式中，A表示以單鏈烯基芳香族化合物為主體的聚合物嵌段，B表示以共軛二烯化合物為主體的聚合物嵌段，n表示l以上的整數(shù)，m表示3以上5以下的整數(shù)，X表示3官能以上的偶聯(lián)劑殘基。)例如(2){(A-B)nA}m-X(n=2、m=3)時(shí)，A-B-A-B-A為從X向3個(gè)方向支出的嵌段共聚物。作為3官能以上的偶聯(lián)劑，可以選自例如環(huán)氧化大豆油等環(huán)氧化合物、三曱氧基硅烷、三乙氧基硅烷、四曱氧基硅烷、四乙氧基硅烷等烷氧基硅烷化合物，四氯化硅、四氯化錫、聚鹵代烴化合物、羧酸酯化合物等。從所得的熱塑性彈性體的耐熱性、所得的噴砂用抗蝕材料的吸濕性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選非卣化物，特別優(yōu)選為烷氧基硅烷化合物。另外，前述偶if關(guān)劑化合物可以單獨(dú)-使用，還可以以2種以上的混合物使用。從耐噴砂性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述支鏈狀嵌段共聚物的含量優(yōu)選在嵌段共聚物中盡量多地含有。具體地優(yōu)選為50質(zhì)量％以上100質(zhì)量％以下、更優(yōu)選為60質(zhì)量％以上100質(zhì)量％以下。上述嵌段共聚物可以通過如下方法以聚合物溶液的形式獲得，例如在惰性烴溶劑中，將有機(jī)鋰化合物作為聚合引發(fā)劑使苯乙烯聚合，接著，聚合丁二烯，進(jìn)而根據(jù)情況重復(fù)這些操作的方法，從而以聚合物溶液的形式獲得。另外，支鏈狀嵌段共聚物可以通過在惰性烴溶劑中，將有機(jī)鋰化合物作為聚合引發(fā)ii劑使苯乙烯聚合，接著，聚合丁二烯，添加規(guī)定量的多官能偶聯(lián)劑，從而以聚合物溶液的形式獲得。所得的前述溶液在聚合反應(yīng)結(jié)束后，添加水、醇、酸等使活性物種失活。當(dāng)需要干燥時(shí)，例如進(jìn)行汽提等分離聚合溶劑后，利用熱軋輥等進(jìn)行干燥。除了上述嵌段共聚物之外，在(a)熱塑性彈性體中還可以含有以單鏈烯基芳香族化合物為主體的l個(gè)聚合物嵌段和以共軛二烯化合物為主體的l個(gè)聚合物嵌段所構(gòu)成的嵌段共聚物?？梢愿鶕?jù)需要在嵌段共聚物中添加抗氧化劑?？寡趸瘎┑奶砑涌梢詾槿我夥椒?，該方法例如可以在前述嵌段共聚物的聚合結(jié)束后添加到溶液中，還可以在干燥后利用例如軋輥等進(jìn)行添加混煉。這種抗氧化劑例如可以舉出4，6-雙(正辛基硫代曱基)-O畫曱酚(IRGANOX1520L)、4,6-雙(正十二烷基硫代曱基)-0-曱酚、2，4-雙(苯基硫代曱基)-3-曱基-6-叔丁基苯酚、正十八烷基-3-(3，，5，-二叔丁基-4，-羥基苯基)丙酸酯、2，2，-亞甲基雙(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、四[亞曱基-3-(3，，5，-二叔丁基-4，-羥基苯基)丙酸酯]-曱烷、1，3,5-三曱基-2，4，6-三(3，5-二叔丁基-4-羥基芐基)苯、2,6-二叔丁基-4-曱基苯酚、2，6-二叔丁基-4-乙基苯酚、2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羥基-5-甲基芐基)-4-曱基苯基丙烯酸酯、2，4-二叔戊基-6-[1-(3，5-二叔戊基-2-羥基苯基)乙基]苯基丙烯酸酯、2-[1-(2-羥基-3,5-二叔戊基苯基)-乙基卜4，6-二叔戊基苯基丙烯酸酯、3,9-雙[2-[3-(3-叔丁基-4-羥基-5-曱基苯基)-丙酰氧基]-l，l-二曱基乙基]-2,4,8,10-四氧螺[5.5]十一烷等受阻酚系化合物，季戊四醇-四-(p-月桂基-硫代丙酸酯)、二月桂基-3，3，-硫代二丙酸酯、二肉豆蔻基-3,3，-硫代二丙酸酯、二硬脂基-3，3，-硫代二丙酸酯等硫系化合物，三(壬基苯基)磷酸酯、環(huán)新戊烷四基雙(十八烷基磷酸酯)、三(2，4-二叔丁基苯基)磷酸酯等磷系化合物等。這些化合物可以單獨(dú)使用還可以混合2種以上使用。添加抗氧化劑時(shí)的含量為嵌段共聚物中的O.l質(zhì)量％以上10質(zhì)量％以下。(b)光聚合性不飽和單體本發(fā)明的噴砂用抗蝕材料中還可以含有(b)光聚合性不飽和單體。(b)光聚合性不飽和單體只要是分子內(nèi)具有不飽和雙鍵、在使用溫度下為液狀或固體狀的化合物，則可以使用任何化合物。含有(b)光聚合性不飽和單體時(shí)的含量在噴砂用抗蝕材料中優(yōu)選為19質(zhì)量％以上69質(zhì)量％以下的范圍。從充分發(fā)揮光固化性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為19質(zhì)量％以上，從發(fā)揮優(yōu)異的耐噴砂性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為69質(zhì)量％以下。更優(yōu)選為29質(zhì)量％以上59質(zhì)量％以下。優(yōu)選的(b)光聚合性不飽和單體使用反應(yīng)性高、與各種化合物的相容性高的丙烯酸化合物、曱基丙烯酸化合物。具體例子可以舉出(曱基)丙烯酸烷基酯、(曱基)丙烯酸環(huán)烷酯、(曱基)丙烯酸卣代烷基酯、(曱基)丙烯酸烷氧基烷基酯、(曱基)丙烯酸羥基烷基酯、(曱基)丙烯酸氨基烷基酯、(曱基)丙烯酸四氫呋喃酯、(曱基)丙烯酸烯丙酯、(曱基)丙烯酸縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸千酯、(曱基)丙烯酸苯氧酯、(曱基)丙烯酸烷二醇酯、(曱基)丙烯酸聚亞氧烷基乙二醇酯、聚(曱基)丙烯酸烷基多元醇酯、(曱基)丙烯酸乙二醇酯、(曱基)丙烯酸四乙二醇酯、(曱基)丙烯酸己二醇酯、(曱基)丙烯酸壬二醇酯、(曱基)丙烯酸羥曱基丙烷、(甲基)丙烯酸甘油酯、(曱基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基四乙二醇酯、乙醇鹽雙酚A(曱基)丙烯酸酯、二(曱基)丙烯酸烷基酯、二(曱基)丙烯酸環(huán)烷酯、二(曱基)丙烯酸卣代烷基酯、二(曱基)丙烯酸烷氧基烷基酯、二(曱基)丙烯酸羥基烷基酯、二(曱基)丙烯酸氨基烷基酯、二(曱基)丙烯酸四氫呋喃酯、二(甲基)丙烯酸烯丙酯、二(曱基)丙烯酸縮水甘油酯、二(曱基)丙烯酸節(jié)酯、二(甲基)丙烯酸苯氧酯、二(甲基)丙烯酸烷二醇酯、二(曱基)丙烯酸二乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸四乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸己二醇酯、二(曱基)丙烯酸壬二醇酯、二(曱基)丙烯酸苯氧基乙酯、二(曱基)丙烯酸苯氧基四乙二醇酯、二(曱基)丙烯酸聚氧烷二醇酯、乙醇鹽雙酚A二(曱基)丙烯酸酯、二(曱基)丙烯酸三環(huán)癸二醇酯、三羥曱基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(曱基)丙烯酸甘油酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(曱基)丙烯酸酯、聚(曱基)丙烯酸烷基多元醇酯。這里，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。以下相同。另外，多元異氰酸酯化合物例如六亞曱基二異氰酸酯、曱苯二異氰酸酯與羥基丙烯酸酯化合物例如(曱基)丙烯酸2-羥基丙酯的二(曱基)丙烯酸尿烷化合物也可以用作光聚合性不飽和單體。馬來酸化改性聚丁二烯、丙烯酸酯改性聚丁二烯、馬來酰胺化合物也可以用作光聚合性不飽和單體。馬來酰胺化合物的具體例子有月桂基馬來酰胺、環(huán)己基馬來酰胺。(c)光聚合引發(fā)劑在本發(fā)明的噴砂用抗蝕材料中，當(dāng)含有(b)光聚合性不飽和單體時(shí)，還可以含有(c)光聚合引發(fā)劑。(c)光聚合引發(fā)劑是吸收光能產(chǎn)生自由基的化合物，可以使用公知的各種物質(zhì)。具體例子可以舉出噻噸酮、2，4-二曱基，塞噸酮、2，4-二乙基*噸酮、2-異丙基p塞噸酮、4-異丙基口塞p屯酮、2，4-二異丙基p塞噸酮、2-氟瘞噸酮、4-氟0塞噸酮、2-氯"塞噸酮、4-氯噻噸酮、l-氯-4-丙氧基噻噸酮、2，4-二氯噻噸酮、二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-l-苯基丙烷-l-酮、苯偶酰二曱基縮酮、苯偶酰二乙基縮酮、苯偶酰二丙基縮酮、苯偶酰二苯基縮酮、1-羥基環(huán)己基-苯基酮、2-曱基-2-嗎啉代(4-硫代曱基苯基)丙烷-l-酮、2-爺基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、二笨曱酮、4，4，-雙(二曱基氨基)二苯甲酮[米希勒酮]、4，4-雙(二乙基氨基)二苯曱酮、2,2-二曱氧基-2-苯基苯乙酮、a，(x-二曱氧基-a-嗎啉代-曱基硫代苯基苯乙酮、苯偶姻曱醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻異丁醚、苯偶姻苯醚、2,4,6-三甲基苯曱?；炕趸?、雙(2,6-二曱氧基笨曱酰基)—2,4,4-三甲基戊基氧化膦、雙(2,4,6-三曱基笨曱酰基)-苯基氧化膦、甲基苯曱?；鶗跛狨?、1,7-雙吖啶基庚烷、9-苯基吖啶、叔丁基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-(間氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物等雙咪唑化合物、苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸、1-苯基-1，2-丙二酮-2-0-苯偶姻肝、2，3-二氧-3-苯基丙酸乙酯-2-(0-苯偶姻羰基)-肟、對二曱基氨基苯曱酸、對二乙基氨基苯曱酸和對二異丙基氨基苯甲酸及它們與醇的酯化物、對羥基笨曱酸酯、3-巰基-1,2，4-三唑等三唑類或四唑類。這些物質(zhì)可以單獨(dú)〗吏用，還可以組合2種以上使用。含有(c)光聚合引發(fā)劑時(shí)的含量優(yōu)選為噴砂用抗蝕材料中的0.01質(zhì)量％以上10質(zhì)量％以下。從獲得充分敏感度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選0.01質(zhì)量％以上，為了充分地固化感光性樹脂層的下層部分，優(yōu)選為10質(zhì)量％以下、更優(yōu)選為0.1質(zhì)量％以上、8質(zhì)量%以下。另外，在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中除了前述必須成分之外，還可以組合使用直鏈上具有3個(gè)以上嵌段的苯乙烯丁二烯嵌段共聚物、苯乙烯異戊二烯嵌段共聚物。另外，可以根據(jù)需要添加各種輔助添加成分，例如增塑劑、熱阻聚劑、紫外線吸收劑、防光暈劑、光穩(wěn)定劑等。增塑劑可以舉出常溫下具有流動(dòng)性的液狀物，環(huán)烷油、石蠟油等烴油，液狀聚丁二烯、液狀聚異戊二烯、液狀聚丁二烯的改性物、液狀丙烯腈-丁二烯共聚物、液狀苯乙烯-丁二烯共聚物、數(shù)均分子量2000以下的聚苯乙烯、癸二酸酯、苯二曱酸酯等。液狀聚異戊二烯橡膠市售有LIR-305(KURARAYCO.,LTD制、商品名)，液體石蠟市售有HydrocarbonSmoilP350P(村松石油制、商品名)。還可以在這些組成上賦予光聚合性的反應(yīng)基團(tuán)。作為熱阻聚劑例如可以舉出對曱氧基笨酚、氫醌、連苯三酚、萘胺、叔丁基鄰苯二酚、氯化亞銅、2,6-二叔丁基-對曱酚、2，2，-亞曱基雙(4-乙基-6-叔丁基笨酚)、2,2，-亞曱基雙(4-曱基-6-叔丁基笨酚)。含有熱阻聚劑時(shí)的添加量為噴砂用抗蝕材料中的0.1質(zhì)量％以上10質(zhì)量％以下。本發(fā)明的噴砂用抗蝕材料可以添加能夠溶解噴砂用抗蝕材料的溶劑并制成溶液。作為溶劑只要是能夠溶解噴砂用抗蝕材料則并無特別限定。這種溶劑例如可以舉出氯仿、四氯乙烯等氯系有機(jī)溶劑，曱乙酮、曱苯、二曱苯、十氫化萘等烴系溶劑，丙醇、丁醇、戊醇等醇系有機(jī)溶劑，以及曱乙酮、丙酮、正曱基吡咯烷酮、二曱亞砜、二曱基甲酰胺、四氫呋喃等。這些溶劑可以單獨(dú)使用，還可以混合2種以上^吏用。溶劑的添加量優(yōu)選按照含有噴砂用抗蝕材料的溶液的粘度在25。C達(dá)到100~20000mPa'sec的方式將溶劑添力口到感光性杉個(gè)脂組合物中u另外，本發(fā)明的噴砂用抗蝕材料還可以在支撐體上層疊本發(fā)明噴砂用抗蝕材料所構(gòu)成的層，制成薄膜。這里所用的支撐體優(yōu)選為透射由曝光光源放射的光的透明支撐體。這種支撐體可以舉出聚對苯二曱酸乙二醇酯、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏氯乙烯薄膜、偏氯乙烯共聚薄膜、聚曱基丙烯酸曱酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜和纖維素衍生物薄膜等。這些薄膜還可以根據(jù)需要使用經(jīng)拉伸的薄膜。優(yōu)選霧值為5以下。薄膜的厚度薄者在圖像形成性和經(jīng)濟(jì)性方面有利，但由于需要維持強(qiáng)度等，因此優(yōu)選使用10~30|am。作為在支撐體上層疊本發(fā)明噴砂用抗蝕材料所構(gòu)成的層的方法可以通過各種方法進(jìn)行。例如，可以用上述適當(dāng)溶劑溶解噴砂用抗蝕材料，使用棒涂機(jī)或輥涂機(jī)進(jìn)行涂布、干燥，從而制作；或者可以不使用溶劑，利用捏合機(jī)或輥磨機(jī)混煉噴砂用抗蝕材料后，擠出成型，通過加壓等成形在支撐體上而制作。層疊時(shí)的由噴砂用抗蝕材料所構(gòu)成的層的膜厚優(yōu)選為0.1(im以上100jim以下。從發(fā)揮優(yōu)異的耐噴砂性的方面出發(fā)，優(yōu)選0.1(im以上，從發(fā)揮充分分辨率的方面出發(fā)優(yōu)選100nm以下。更優(yōu)選為liam以上50nm以下。進(jìn)一步優(yōu)選為5jim以下40pm以下。在支撐體上層疊有本發(fā)明噴砂用抗蝕材料的膜，還可以根據(jù)需要層疊保護(hù)膜。當(dāng)依次層疊支撐體、噴砂用抗蝕材料所構(gòu)成的層和保護(hù)層而制作薄膜時(shí)，該保護(hù)層的必要特性如下由噴砂用抗蝕材料形成的層與保護(hù)層的密合力充分小于支撐體與噴砂用抗蝕材料形成的層的密合力。密合力小時(shí)，保護(hù)層可以容易地剝離。這種薄膜例如可以使用聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚酯薄膜和日本特開昭59-202467號(hào)公報(bào)所公開的剝離性優(yōu)異的薄膜。保護(hù)層的膜厚優(yōu)選為10~lOO(im、更優(yōu)選為10~50jim。本發(fā)明的噴砂用抗蝕材料有具有粘合性的情況。此時(shí)，為了避免粘合性所導(dǎo)致的研磨劑的附著，還可以在支撐體與噴砂用抗蝕材料之間設(shè)置可溶于溶劑的、薄可撓性的保護(hù)層(例如參照日本特公平5-13305號(hào)公報(bào))。作為可溶于溶劑的、薄的可撓性的保護(hù)層，例如可以舉出聚酰胺、部分急化的聚醋酸乙烯酯、纖維素酯等。還可以將這些保護(hù)層用材料溶解于適當(dāng)?shù)娜軇┲卸苯油坎荚趪娚坝每刮g材料層的表面；或者還可以在支撐體上預(yù)先涂布該可撓性保護(hù)層用材料。接著，詳細(xì)說明本發(fā)明的表面加工方法。本發(fā)明的表面加工方法為通過噴砂用抗蝕材料在被加工基材上形成抗蝕圖案后進(jìn)行噴砂處理的方法。作為通過噴砂用抗蝕材料在被加工基材上形成抗蝕圖案的方法，可以舉出通過熱加壓形成噴砂用抗蝕材料，并將其粘貼在被加工基材上的方法；印刷含有噴砂用抗蝕材料的溶液的方法等。作為印刷方法，例如可以舉出絲網(wǎng)印刷、凸版印刷、平版印刷等。利用絲網(wǎng)印刷形成抗蝕圖案的方法是指使設(shè)有圖案孔的掩模板(絲網(wǎng)版)接觸于被加工基材，將含有噴砂用抗蝕材料的溶液供至掩模板上，振動(dòng)涂刷器，從而經(jīng)由圖案孔在被加工基材上印刷含有噴砂用抗蝕材料的溶液的方法。利用凸版印刷形成抗蝕圖案的方法是指使含有本發(fā)明噴砂用抗蝕材料的溶液附著于具有表面凹凸的版(凸版)的凸部，將其轉(zhuǎn)移至被加工基材上，從而在被加工基材上印刷含有噴砂用抗蝕材^f的;:容液的方法。利用平版印刷形成抗蝕圖案的方法是指使含有本發(fā)明噴砂用抗蝕材料的溶液容納于由親油性圖像部和親水性非圖像部構(gòu)成的印刷版(平版)的親油性圖像部，然后，將其轉(zhuǎn)移至被加工基材上，從而將含有噴砂用抗蝕材料的溶液印刷至被加工基材上的方法。在上述各印刷方法中，當(dāng)印刷于被加工基材上者為溶液時(shí)，優(yōu)選在進(jìn)行印刷后設(shè)置將該溶液所含的溶劑干燥的工序。在被加工基材上形成抗蝕圖案的以下方法為直接描繪含有噴砂用抗蝕材料的溶液的方法。直接描繪為印刷的一種，特別是從噴嘴噴出含有噴砂用抗蝕材料的溶液以制成抗蝕劑后，將必要部分涂布、形成于被加工基材上。這種方法可以舉出噴墨方式、利用分散方式的噴涂、利用繪圖儀等進(jìn)行描繪等。另外，將含有噴砂用抗蝕材料的溶液印刷或利用旋涂機(jī)等的涂布機(jī)涂布在被加工基材上后，或者使用層疊有噴砂用抗蝕材料所構(gòu)成的層的薄膜、層疊該抗蝕材料所構(gòu)成的層后，即便利用激光加工也可以形成抗蝕圖案。這種激光例如使用準(zhǔn)分子激光或UV-YAG激光。利用激光進(jìn)行加工是指利用激光燒飛作為抗蝕不需要的部分，從而殘留作為抗蝕必要的部分。然后，還可以利用激光加工噴砂用抗蝕材料，預(yù)先形成抗蝕圖案后，粘貼在被加工基材上，形成抗蝕圖案。當(dāng)通過使用含有(a)熱塑性彈性體、(b)光聚合性不飽和單體和(c)光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物，制成具有感光性的噴砂用抗蝕材料時(shí)，除了上述方法，即便通過下述方法，也可以在被加工基材上形成微細(xì)的抗蝕圖案。作為形成抗蝕圖案的方法有使用旋涂機(jī)、模涂機(jī)、輥涂機(jī)等將感光性樹脂組合物涂布在被加工基材上，進(jìn)行曝光、顯影，形成抗蝕圖案的方法；以及制作感光性樹脂層疊體，將其層壓在被加工基材上，進(jìn)行曝光、顯影，形成抗蝕圖案的方法。詳細(xì)地說明使用感光性樹脂層疊體的方法。首先制作由感光性樹脂和支撐該層的支撐體所構(gòu)成的感光性樹脂層疊體。此時(shí)，還可以根據(jù)需要在與感光性樹脂層的支撐體相反側(cè)的表面上具有保護(hù)層。這里所用的支撐體優(yōu)選透射從曝光光源放射的光的透明支撐體。這種支撐體可以舉出聚對苯二曱酸乙二醇酯、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏氯乙烯薄膜、偏氯乙烯共聚薄膜、聚曱基丙烯酸曱酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、笨乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜和纖維素衍生物薄膜等。這些薄膜還可以使用根據(jù)需要經(jīng)拉伸的薄膜。優(yōu)選霧值為5以下。薄膜的厚度薄者在圖像形成性和經(jīng)濟(jì)性方面有利，但由于需要維持強(qiáng)度等，因此優(yōu)選使用10~30pm。另外，感光性樹脂層疊體所用的保護(hù)層的重要特性為與感光性樹脂層的密合力充分小于支撐體，可以容易地剝離。例如，可以優(yōu)選使用聚乙烯薄膜和聚丙烯薄膜等作為保護(hù)層。另外，可以使用日本特開昭59-202457號(hào)公報(bào)所公開的剝離性優(yōu)異的薄膜。保護(hù)層的膜厚優(yōu)選為10~100jim、更優(yōu)選為10~50|im。依次層疊支撐體、感光性樹脂層和根據(jù)需要的保護(hù)層來制作本發(fā)明感光性樹脂層疊體的方法，可以采用以往已知的方法。例如，將感光性樹脂層所用的感光性樹脂組合物預(yù)先制成前述感光性樹脂組合物調(diào)和液，首先使用棒涂機(jī)或輥涂機(jī)涂布在支撐體上將其干燥，在支撐體上層疊由該感光性樹脂組合物所構(gòu)成的感光性樹脂層。接著，可根據(jù)需要，在該感光性樹脂層上層疊保護(hù)層，從而制作感光性樹脂層疊體。還可以經(jīng)過以下工序在#皮加工基材上加工樣吏細(xì)圖案層壓工序，其邊剝離該層疊薄膜的保護(hù)層，邊使用加熱輥層壓器將感光性樹脂層密合于被加工基材上的；曝光工序，其使具有所需微細(xì)圖案的光掩模密合于支撐體上，使用活性光線源實(shí)施曝光；顯影工序，其剝離支撐體后使用顯影液，溶解除去感光性樹脂層的未曝光部分，在被加工基材上形成微細(xì)的抗蝕圖案；噴砂處理工序，其從所形成的抗蝕圖案上噴涂研磨劑，將被加工基材切削至目標(biāo)深度；抗蝕除去工序?qū)埩粲诒患庸せ纳系目刮g圖案部分從被加工基材上除去。作為在前述曝光工序中使用的活性光線源，可以舉出高壓汞燈、超高壓汞燈、紫外線熒光燈、碳弧燈、氙燈等。為了提高所得抗蝕圖案的分辨率、密合性，還可以在曝光工序之后設(shè)置加有熱處理的曝光后烘焙工序。曝光后烘焙工序的溫度優(yōu)選為50100。C、時(shí)間優(yōu)選為l-60分鐘。另外，為了獲得更微細(xì)的抗蝕圖案，更優(yōu)選使用平行光光源。當(dāng)要極力減少廢物或雜質(zhì)的影響時(shí)，還有在使光掩模浮于支撐體上數(shù)十~數(shù)百pm的狀態(tài)下進(jìn)行曝光(接近式曝光)的情況。另外，在曝光工序中，還可以在剝離支撐體后進(jìn)行曝光。作為在前述顯影工序中所使用的顯影溶劑，可以舉出醋酸庚酯、醋酸3-甲氧基丁酯等酯類，石油餾分、曱苯、十氫化萘等烴類，四氯乙烯等氯系有機(jī)溶劑中混合有丙醇、丁醇、戊醇等醇類的溶劑。顯影工序的顯影液的溫度優(yōu)選為25~40°C、時(shí)間優(yōu)選為10~600秒鐘。為了提高所得抗蝕圖案的密合性，還可以在顯影工序后設(shè)置加有熱處理的顯影后烘焙工序。顯影后烘焙工序的溫度優(yōu)選為5020(TC、時(shí)間優(yōu)選為l-60分鐘。噴砂處理中使用具有吸氣式或直壓式的噴射裝置的噴砂機(jī)(空氣壓力優(yōu)選為0.15MPa以上、更優(yōu)選為0.20MPa以上、進(jìn)一步優(yōu)選為0.30MPa以上)，從能夠在更高壓的空氣下加工的方面出發(fā)，直壓式有利。作為研磨劑例如可以優(yōu)選使用SiC(商品名力一求，乂夕、、厶)、氧化鋁(商品名7，y夕、、厶)、氧化鋯、鋯英石、鐵、玻璃、不銹鋼、石榴石、陶瓷、硼碳化物。研磨劑粒徑優(yōu)選使用為0.1以上20卩i以下。更優(yōu)選為0.1以上10|1以下。噴妙、處理后，有除去噴砂用抗蝕材料的必要，此時(shí)可以通過溶劑溶解除去、或通過燒成而燒飛、或利用膠帶剝離的方法等。實(shí)施例以下示出熱塑性彈性體的分析方法、實(shí)施例和比較例的抗蝕圖案的形成方法和噴砂加工結(jié)果。1.熱塑性彈性體的分析方法(1)嵌段共聚物中的苯乙烯含量使用紫外線分光光度計(jì)(日立UV200),通過262nm的吸收強(qiáng)度計(jì)算出。(2)嵌段共聚物的數(shù)均分子量、以及以單鏈烯基芳香族化合物為主體的聚合物嵌段和支鏈狀嵌段共聚物的總嵌段共聚物中的含量通過GPC(裝置WatersCorporation公司制；色語柱組合3根PolymerLaboratoriesLtd.公司制的MINIMIX。溶劑使用四氫呋喃；測定條件為溫度35。C、流速0.4ml/分鐘、試樣濃度O.l重量％、注入量40nl。)的色語圖，由圖的面積比例求出以單鏈烯基芳香族化合物為主體的聚合物嵌段和支鏈狀嵌段共聚物的總嵌段共聚物中的含量。另外，數(shù)均分子量為由以下的標(biāo)準(zhǔn)聚笨乙烯(WatersCorporation公司制。1.54x106、4.1x105、1.10x105、3.5x104、8.5x103、1.8x103)標(biāo)準(zhǔn)曲線的換算值。2.實(shí)施例l、3、4的抗蝕圖案的形成方法(1)(a)熱塑性彈性體的制造方法-1將帶有套管和攪拌機(jī)的IOL不銹鋼制反應(yīng)器充分氮?dú)庵脫Q后，加入6500g環(huán)己烷、1.2g四氫^^喃、220g苯乙烯，在套管中通入溫水將內(nèi)容物設(shè)定在約55。C。之后，添加正丁基鋰環(huán)己烷溶液(純組分1.25g),開始笨乙烯的聚合。當(dāng)苯乙埽幾乎完全聚合起3分鐘后，添加780g丁二烯(1，3-丁二烯)繼續(xù)聚合，丁二烯幾乎完全聚合，在最高溫度達(dá)到約90。C起4分鐘后，添加0.92g四曱氧基硅烷作為偶聯(lián)劑，發(fā)生偶耳關(guān)反應(yīng)。從加入笨乙烯后不久至偶聯(lián)反應(yīng)完成，利用攪拌機(jī)連續(xù)地?cái)嚢梵w系內(nèi)。抽出所得的嵌段共聚物溶液，添加10g水，攪拌后添加3.0g正十八烷基-3-(3，，5，-二叔丁基-4，-羥基苯基)丙酸酯、1.5g4，6-雙(正辛基硫代甲基)-O-曱酚(IRGANOX1520L),將所得該溶液汽提，從而將溶劑除去并獲得含水粗品。接著，通過熱軋輥將所得含水粗品脫水干燥，獲得熱塑性彈性體(a-l)。分析所得的熱塑性彈性體(a-l)的結(jié)果如下苯乙烯(單鏈烯基芳香族化合物)在總嵌段共聚物的含量為22質(zhì)量％。另物。支鏈狀嵌段共聚物在總嵌段共聚物中的含量為82質(zhì)量％。支鏈狀嵌段共聚物的數(shù)均分子量為270000。(2)(a)熱塑性彈性體的制造方法-2將帶有套管和攪拌機(jī)的IOL不銹鋼制反應(yīng)器充分氮?dú)庵脫Q后，加入6500g環(huán)己烷、1.2g四氫呋喃、220g笨乙烯，在套管中通入溫水將內(nèi)容物設(shè)定在約55。C。之后，添加正丁基鋰環(huán)己烷溶液(純組分1.25g),開始苯乙烯的聚合。當(dāng)苯乙烯幾乎完全聚合3分鐘后，添加780g丁二烯(1,3-丁二烯)繼續(xù)聚合，丁二烯幾乎完全聚合。加入苯乙烯后不久，其間，用攪拌機(jī)連續(xù)地?cái)嚢梵w系內(nèi)。抽出所得的嵌段共聚物溶液，添加10g水，攪拌后添加3.0g正十八烷基-3-(3，，5，-二叔丁基-4，-羥基苯基)丙酸酯、1.5g4，6-雙(正辛基硫代曱基)-O-甲酚URGANOX1520L)，將所得該溶液汽提，從而將溶劑除去獲得含水粗品。接著，通過熱軋輥將所得含水粗品脫水干燥，獲得熱塑性彈性體(a-2)。分析所得的熱塑性彈性體(a-2)的結(jié)果如下苯乙烯(本發(fā)明中說的單鏈烯基芳香族化合物)在總嵌段共聚物中的含量為22質(zhì)量％。所得的熱塑性彈性體的嵌段共聚物中不含支鏈狀嵌段共聚物。(3)含有熱塑性彈性體的溶液的制作方法相對于100質(zhì)量份所得的(a-l)(a-2)的熱塑性彈性體添加300質(zhì)量份曱苯后，進(jìn)行攪拌，制作25質(zhì)量％的溶液。另一方面，相對于ioo質(zhì)量份作為聚酯系彈性體的、^yU乂(注冊商標(biāo))S型(東洋紡株式會(huì)社制、以下稱為s-l)同樣添加300質(zhì)量份曱苯后，攪拌，制作25質(zhì)量％的溶液。(4)抗蝕圖案的形成方法將含有所得的熱塑性彈性體(a-l)(a-2)(s-l)的溶液絲網(wǎng)印刷在5英寸尺寸的硅片上，制作厚20微米、寬100微米、長10mm的夾縫形狀的抗蝕圖案。將使用含有熱塑性彈性體(a-l)的溶液形成抗蝕圖案的硅片作為實(shí)施例1、使用含有熱塑性彈性體(a-2)的溶液形成抗蝕圖案的硅片作為實(shí)施例3、使用含有熱塑性彈性體(s-l)的溶液形成有抗蝕圖案的石圭片作為實(shí)施例4。3.實(shí)施例2的抗蝕圖案的形成方法。將實(shí)施例l所得的含有熱塑性彈性體(a-l)的溶液旋涂于5英寸尺寸的硅片上，全面形成厚20pm熱塑性彈性體所構(gòu)成的層。之后，在下述條件下用UV-YAG激光對熱塑性彈性體所構(gòu)成的層實(shí)施加工，制作寬100pm、長10mm的夾縫形狀的抗蝕圖案。此時(shí)，僅加工熱塑性彈性體所構(gòu)成的層，硅片未經(jīng)激光加工?！碪V-YAG激光加工條件〉'UV-YAG5敫光力口工裝置(TakanoCo.,Ltd.制)*激光UV-YAG4次高頻率(266nm)*激光豐命出17.5mW.激光斑點(diǎn)直徑25|im.力口工速度10mm/秒4.實(shí)施例5的抗蝕圖案的形成方法(1)感光性樹脂層疊體的制作相對于100質(zhì)量份混合有下述7種材料的感光性樹脂組合物，添加300質(zhì)量份曱苯，制作溶液后，采用厚19pm的聚對苯二曱酸乙二醇酯薄膜作為支撐體，使用棒涂機(jī)均勻地涂布所得溶液，在9(TC的干燥機(jī)中干燥2分鐘，形成厚20nm的感光性樹脂層。進(jìn)而，在感光性樹脂層上粘貼厚30jim的聚乙烯薄膜作為保護(hù)層，獲得感光性樹脂層疊體。熱塑性彈性體(a-l):55質(zhì)量份液體橡膠LIR-305(KURARAYCO.，LTD制、商品名)25質(zhì)量份HydrocarbonSmoilP350P(村松石油制、商品名)10質(zhì)量份1,9-壬二醇二丙烯酸酯1，9-壬二醇二曱基丙烯酸酯2,2-二曱氧基-2-苯基苯乙酮2,6-二叔丁基對甲酚(2)抗蝕圖案的形成方法一邊剝離所得感光性樹脂層疊體的聚乙烯薄膜，一邊利用3.0重量部5.0重量部1.5質(zhì)量份0.5質(zhì)量份熱輥層壓機(jī)(ASAHIKASEIENGINEERINGCORPORATION制的"AL70")在105。C下、帶有支撐體的狀態(tài)下，在5英寸尺寸的硅片上層壓感光性樹脂層。空氣壓力為0.35MPa，層壓速度為1.Om/min。接著，隔著支撐體通過光掩模用超高壓汞燈(ORCMANUFACTURINGCO.,LTD.制HMW-801)以300mJ7cm^f感光性樹脂層進(jìn)行曝光。然后在剝離支撐體后，噴霧25°C的醋酸3-甲氧基丁酯1分鐘，將感光性樹脂層的未曝光部分溶解除去，之后在6(TC下干燥2小時(shí)，制作厚20^m、寬100)im、長10mm的夾縫形狀的抗蝕圖案。5.比較例l的抗蝕圖案的形成方法(1)尿烷預(yù)聚物A的制造方法將200質(zhì)量份聚(1,4-丁二醇己二酸酯)二醇(羥基值112.2)和作為催化劑的0.01質(zhì)量份二丁基錫二月桂酯裝入到反應(yīng)容器中，充分混合。在其中添加51.4質(zhì)量份異佛爾酮二異氰酸酯，充分?jǐn)嚢瑁瑢⑼獠繙囟葟?(TC升溫至8(TC,直接反應(yīng)約5小時(shí)后，添加8質(zhì)量份丙烯酸2-羥基乙酯(分子量116),充分?jǐn)嚢?。反?yīng)約2小時(shí)后，停止反應(yīng)，獲得尿烷預(yù)聚物A。尿烷預(yù)聚物A的數(shù)據(jù)分子量為15000。(2)感光性抗蝕干膜的制作混合下述P-1至U-1所示的IO種材料，制作感光性樹脂組合物的溶液F-1后，使用棒涂機(jī)將所得溶液均勻地涂布在厚度19微米的聚對苯二曱酸乙二醇酯薄膜上，在90°C的千燥機(jī)中干燥2分鐘，形成厚20微米的感光性樹脂層。進(jìn)而，在該感光性樹脂層上粘貼厚30(im的聚乙烯薄膜，獲得感光性抗蝕干膜。P-l:具有曱基丙烯酸/甲基丙烯酸曱S旨/丙烯酸正丁酯(重量比25/65/10)的組成、重均分子量為80000的共聚物固體成分為35質(zhì)量％的甲乙酮溶液114.3質(zhì)量4分M-l:三乙氧基三羥曱基丙烷三丙烯酸酯7.5質(zhì)量份M-2:六亞曱基二異氰酸酯與三丙二醇單曱基丙烯酸酯的尿烷化物7.5質(zhì)量份1-1:苯偶酰二曱基縮酮l質(zhì)量份1-2:二苯曱酮l質(zhì)量份I隱3:2-(鄰氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物2質(zhì)量份1-4:4,4，-(二乙基氨基)二苯曱酮0.2質(zhì)量份D-l:隱色結(jié)晶紫0.75質(zhì)量份D隱2:孔雀石綠0.05質(zhì)量份U-l:尿烷預(yù)聚物A:40質(zhì)量份(3)抗蝕圖案的形成方法一邊剝離所得感光性樹脂層疊體的聚乙烯薄膜，一邊利用加熱輥層壓才幾(ASAHIKASEIENGINEERINGCORPORATION制"AL-70")、在105。C下層壓在5英寸尺寸的硅片上?？諝鈮毫?.35MPa、層壓速度為1.0m/min。接著，隔著支撐體通過光掩模用超高壓汞燈(ORCMANUFACTURINGCO.,LTD.制HMW-801)以200mJ/cm^f感光性樹脂層進(jìn)行曝光。然后在剝離支撐體后，規(guī)定時(shí)間噴霧30°(3的0.4質(zhì)量％碳酸鈉水溶液，將感光性樹脂層的未曝光部分溶解除去，結(jié)果制作厚2(Vm、寬100iim、長1Omm的夾縫形狀的抗蝕圖案。6.比較例2的抗蝕圖案的形成方法(1)溶液的制作方法相對于99質(zhì)量份聚酯丙烯酸酯M-8100(東亞合成抹式會(huì)社)添加1質(zhì)量份過氧化苯曱酰和300質(zhì)量份甲乙酮后，進(jìn)行攪拌，制作25質(zhì)量％的溶液。從而獲得熱固化性彈性體的溶液。(2)抗蝕圖案的形成方法將所得溶液絲網(wǎng)印刷在5英寸尺寸硅片上，制作厚20微米、寬100微米、長10mm的夾縫形狀的抗蝕圖案。形成圖案后，加熱至20(TC，完全地將聚酯丙烯酸酯熱固化。7.進(jìn)行噴砂處理的表面加工結(jié)果將表面加工結(jié)果示于表l。實(shí)施例1~5中，對硅片加工成晶片表面部分的開口為105孩￡米、長10mm、至所加工的底面部分的深度為40~150jum的溝狀。另一方面，比較例l的抗蝕圖案在連續(xù)實(shí)施加工次數(shù)為2次的加工的階段中，抗蝕圖案磨耗，無法在晶片上形成溝狀圖案。即，本發(fā)明的噴砂用抗蝕材料顯示出與以往的抗蝕材料相比，具有顯著的耐噴砂性。<噴妙、處理?xiàng)l件>-加工裝置:ELP-1TR(ElfotecLtd.制)-研磨劑GC(GreenCarborundum)#2000(不二制作所公司制造)-研磨劑噴射量20rpm-噴嘴種類圓(J)5-噴嘴-基板間距離70mm-研磨劑送壓空氣壓力0.215MPa-管內(nèi)壓0.195MPa-傳送帶速度20mm/min.-噴嘴速度5m/min.<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>產(chǎn)業(yè)實(shí)用性本發(fā)明涉及新型的噴砂用抗蝕材料，即便在利用高壓空氣噴射研磨劑時(shí)也難以磨耗，適于脆性材料例如玻璃、硅片、陶瓷、PZT、水晶或藍(lán)寶石這樣的被加工基材的加工。權(quán)利要求1.一種噴砂用抗蝕材料，其含有(a)熱塑性彈性體。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的噴砂用抗蝕材料，其特征在于，進(jìn)一步含有(b)光聚合性不飽和單體和(c)光聚合引發(fā)劑。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴砂用抗蝕材料，其特征在于，上述(a)熱塑性彈性體包含嵌段共聚物，該嵌段共聚物由以單鏈烯基芳香族化合物為主體的至少2個(gè)聚合物嵌段和以共軛二烯化合物為主體的至少1個(gè)聚合物嵌段形成。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴砂用抗蝕材料，其特征在于，上述嵌段共聚物為支鏈狀嵌段共聚物。5.—種溶液，其含有權(quán)利要求1或2所述的噴砂用抗蝕材料。6.—種薄膜，其在支撐體上層疊了由權(quán)利要求1或2所述的噴砂用抗蝕材料形成的層。7.—種表面加工方法，其特征在于，通過權(quán)利要求1或2所述的噴砂用抗蝕材料在被加工基材上形成抗蝕圖案后，進(jìn)行噴砂處理。8.—種表面加工方法，其特征在于，在^^皮加工基材上印刷權(quán)利要求5所述的溶液而形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂處理。9.一種表面加工方法，其在被加工基材上直接描繪權(quán)利要求5所述的溶液而形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴石少處理。10.—種表面加工方法，其在被加工基材上涂布權(quán)利要求5所述的溶液，利用激光進(jìn)行加工以形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂處理。11.一種表面加工方法，其將由權(quán)利要求l所述的噴砂用抗蝕材料形成的層層疊在支撐體上而形成的薄膜層疊到被加工基材上，以使由該噴砂用抗蝕材料形成的層接觸到被加工基材上，剝離支撐體，利用激光進(jìn)行加工以形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂處理。12.—種表面加工方法，其在被加工基材上涂布含有權(quán)利要求2所述噴砂用抗蝕材料的溶液，進(jìn)行曝光、顯影，形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴石少處理。13.—種表面加工方法，其將權(quán)利要求2所述的噴砂用抗蝕材料層疊在支撐體上而形成的薄膜層疊到被加工基材上，以使由該噴砂用抗蝕材料形成的層接觸到被加工基材上，進(jìn)行曝光，剝離支撐體，顯影以形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂處理。14.一種表面加工方法，其將權(quán)利要求2所述的噴砂用抗蝕材料層疊在支撐體上而形成的薄膜層疊到被加工基材上，以使由該噴砂用抗蝕材料形成的層接觸到被加工基材上，剝離支撐體，進(jìn)行曝光、顯影以形成抗蝕圖案，進(jìn)行噴砂處理。15.—種含有熱塑性彈性體的材料作為對噴砂處理的抗蝕材料的用途。全文摘要本發(fā)明的目的在于提供在利用高壓空氣噴射高硬度研磨劑的噴射時(shí)也難以磨耗的抗蝕材料，并提供對以往的噴砂用抗蝕材料中難以表面加工的材料或必需加工深度的材料進(jìn)行噴砂處理的表面加工方法。因此，使用含有(a)熱塑性彈性體的噴砂用抗蝕材料。另外，還可以使用含有(b)光聚合性不飽和單體和(c)光聚合引發(fā)劑制成感光性的噴砂抗蝕材料。噴砂材料可以是溶液狀態(tài)，還可以是層疊在支撐體上制成層疊薄膜。文檔編號(hào)B24C1/00GK101378880SQ20078000488公開日2009年3月4日申請日期2007年2月1日優(yōu)先權(quán)日2006年2月9日發(fā)明者井上直人,富田宏朗,有久慎司申請人:旭化成電子材料元件株式會(huì)社