專利名稱：基板載臺的傳送裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種承載裝置，特別是指一種基板載臺的傳送裝置。
背景技術：
太陽能基板(Photovoltaic panels)的半導體裝置的制程中通常需要利用 到化學氣相沉積法。 一般而言，其作用機作為，通過加熱電子到具有足 夠與所供應的處理氣體維持離子化碰撞的能量，此等加熱的電子將具有 足夠維持分離碰撞的能量，并于一預定條件下(例如:處理室壓力、氣體流 量等等)的與特定的化學氣體分子碰撞，以產(chǎn)生基板的沉積處理。其制程 是首先于一真空密閉空間中設置一基板載臺，該基板載臺上設有一電極 板，于該電極板上置一玻璃基板，再將該電極板加熱，然后通入欲沉積 的化學氣體分子，以產(chǎn)生氣相沉積，再通過一基板載臺傳送裝置將該基 板載臺輸送至另--真空密閉空間以進行第二次的氣相沉積，其后皆同。
而上述的基板載臺是只承載單一基板，因而相對的基板載臺傳送裝 置并無針對多片式的基板載臺設計，所以若是要傳送多片式的基板載臺， 現(xiàn)有的基板載臺的傳送裝置，確有其設計結構上的不足，以待改進。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種基板載臺的傳送裝置，其可以方便 基板載臺的傳送。
緣是，為了達成前述目的，依據(jù)本發(fā)明所提供的一種基板載臺的傳送裝置，包含有 一基座、 一傳送部以及一動力裝置；該基座用來承載 該基板載臺；該傳送部，設于該基座上，使該基板載臺相對于該基座執(zhí) 行線性移動，該傳送部上設有一限位件，該限位件穩(wěn)固該基板載臺；該 動力裝置，是結合于該傳送部，可使該傳送部運轉(zhuǎn)。
通過此，本發(fā)明透過上述結構上的設計，可方便基板載臺的傳送， 且可使基板載臺于傳送時不會因脫軌或其它因素而導致位置偏差。


圖l是本發(fā)明一較佳實施例的立體示意圖，以及; 圖2是本發(fā)明一較佳實施例的使用狀態(tài)圖。
主要組件符號說明
基板載臺的傳送裝置10 動力裝置13 滾輪軸16 基板載臺19
基座ll 傳送部12 限位件14滾輪組15
卡合部17基板18 殼體2具體實施例方式
為了詳細說明本發(fā)明的構造及特點所在，茲舉以下的一較佳實施例 并配合圖式說明如后，其中
請參閱圖1至圖2，本發(fā)明--較佳實施例所提供的一種基板載臺的傳 送裝置10，其是用以傳送可承載多組基板18的基板載臺19，其中該基 板載臺的傳送機構IO主要由 一基座11、 一傳送部12以及一動力裝置 13所組成，其中該傳送部12，是設于該基座11上，使該基板載臺19 可相對于該基座11執(zhí)行線性移動，該傳送部12上設有一限位件14，該 限位件14可使該基板載臺19穩(wěn)固的執(zhí)行線性移動，且于傳送部12上的 位置不致有所偏差；該動力裝置13，是結合于該傳送部12，使該傳送部12運轉(zhuǎn)并可線性移動該基板載臺19，該動力裝置13可為一驅(qū)動馬達，
用以驅(qū)動該傳送部12。其中該傳送部12包含有多個滾輪組15及多個 滾輪軸16，所述滾輪組15通過多個相對應的滾輪軸16設于該基座11， 且所述滾輪軸16是呈平行排列，該限位件14是設于該滾輪軸16上。
再請參閱圖2，本發(fā)明一較佳實施例所提供的一種基板載臺的傳送裝 置10的實施示意圖，其中該基板載臺的傳送裝置10是固設于一殼體21 中，該基板載臺19可通過該基板載臺的傳送裝置10輸送至該殼體21內(nèi)， 其中該基板載臺19底面設有一卡合部17，該卡合部17是可相對于卡合 于該限位件14，使該基板載臺19穩(wěn)固的進入該殼體21內(nèi)，而不致有脫 軌或位置偏差的情況，該動力裝置13是可使該傳送部12運作，使該基 板載臺19接觸至該傳送部12后，即可依造制程及預先設定好的程序于 該傳送部12上前進。
由上可知，本發(fā)明所可達成的功效在于通過本發(fā)明的設計可以方 便基板載臺的傳送，并可使基板載臺于傳送時不會因脫軌或其它因素而 導致位置偏差，且可以使基板載臺依造制程及預先設定好的程序傳送。
因此，本發(fā)明可解決現(xiàn)有技術在使用上與結構上的困擾與不便，依 法提出專利申請。
本發(fā)明的上述各構件僅是用來說明，并非用以限制本案的申請專利 范圍，其它的等效構件替換，亦應為本案的范圍所涵蓋。
權利要求
1. 一種基板載臺的傳送機構，其是用以傳送可承載多組基板的基板載臺，其特征在于，該基板載臺的傳送機構包含有一基座，用以承載該基板載臺；一傳送部，設于該基座上，使該基板載臺相對于該基座執(zhí)行線性移動，該傳送部上設有一限位件，該限位件穩(wěn)固該基板載臺；一動力裝置，結合于該傳送部，該動力裝置使該傳送部線性移動該基板載臺。
2. 依據(jù)權利要求1所述的基板載臺的傳送裝置，其特征在于該傳送 部包含有多個滾輪組及多個滾輪軸，所述滾輪組通過多個相對應的滾輪 軸設于該基座，且所述滾輪軸呈平行排列，該限位件設于該滾輪軸上。
3. 依據(jù)權利要求l所述的基板載臺的傳送裝置，其特征在于該動力 裝置為一驅(qū)動馬達。
全文摘要
本發(fā)明一種基板載臺的傳送裝置，其是用以傳送可承載多組基板的基板載臺，其中該基板載臺的傳送裝置包含有一基座、一傳送部以及一動力裝置；該基座可用來承載該基板載臺；該傳送部，設于該基座上，使該基板載臺相對于該基座執(zhí)行線性移動，該傳送部上設有一限位件，該限位件可穩(wěn)固該基板載臺；該動力裝置，結合于該傳送部，可使該傳送部運轉(zhuǎn)。通過本發(fā)明的設計可以方便傳送該基板載臺。
文檔編號C23C16/00GK101545100SQ20081008627
公開日2009年9月30日 申請日期2008年3月24日 優(yōu)先權日2008年3月24日
發(fā)明者何建立, 葉公旭, 楊正安, 黃明鴻 申請人:東捷科技股份有限公司