專利名稱：基板載臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種承載裝置，特別是一種基板載臺(tái)。
技術(shù)背景太陽能基板(Photovoltaic panels)的半導(dǎo)體裝置的制造過程中通常 需要利用到化學(xué)氣相沉積法。 一般而言，其作用為，通過加熱電子到具有 足夠與所供應(yīng)的處理氣體維持離子化碰撞的能量，此等加熱的電子將具有 足夠維持分離碰撞的能量，并于一預(yù)定條件下(例如:處理室壓力、氣體流 量等等)與特定的化學(xué)氣體分子碰撞，借以產(chǎn)生基板的沉積處理。上述的 制造過程中皆是以單片基板進(jìn)行反應(yīng)，首先于一密閉真空的空間中設(shè)置一 基板載臺(tái)，該基板載臺(tái)上設(shè)有一電極板，于該電極板上置一玻璃基板，再 將該電極板加熱，然后通入化學(xué)氣體分子，借以產(chǎn)生氣相沉積。由于上述的制造過程十分繁雜，而常用的太陽能基板載臺(tái)于一次制造 過程中卻只能承載制作一片基板，若是能有一次可進(jìn)行多片基板反應(yīng)的工 藝與機(jī)具，則可大幅節(jié)省制作過程中的時(shí)間與成本。如上所述，常用的太陽能基板載臺(tái)，確有其設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)上的缺陷，以待 改進(jìn)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的主要目的在于提供一種基板載臺(tái)，其可以同時(shí)置入多片基板 以減少成本及時(shí)間。為了達(dá)成前述目的，本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種基板載臺(tái)，包含有 一殼體以及至少一基板，該殼體設(shè)有一開口， 該殼體內(nèi)部設(shè)有一以上的電極板，該電極板的至少一側(cè)上方設(shè)有至少一限 位件，下方設(shè)有至少一滑動(dòng)件；至少一基板可通過該開口，而置于該限位 件與該滑動(dòng)件之間且貼合于一該電極板的一側(cè)。本發(fā)明基板載臺(tái)，通過上述結(jié)構(gòu)上的設(shè)計(jì)，可方便基板置于載臺(tái)中， 使動(dòng)作流程更為簡便，并可同時(shí)置入多片基板，不僅節(jié)省機(jī)具的空間，更 減少制作成本及時(shí)間的耗費(fèi)。


圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的立體示意圖； 圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的立體示意圖； 圖3是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的側(cè)視圖。主要組件符號(hào)說明基板載臺(tái)IO 殼體ll 電極板12 限位件13 滑動(dòng)件14 基板15開口 1具體實(shí)施方式
為了詳細(xì)說明本發(fā)明的構(gòu)造及特點(diǎn)所在，茲舉以下的一較佳實(shí)施例并 配合

如后，其中請參閱圖l、圖2，本發(fā)明一較佳實(shí)施例所提供的一種基板載臺(tái)10，主要由一殼體11以及至少一基板15所組成，其中該殼體ll，設(shè)有一開口 16，該殼體ll內(nèi)部設(shè)有一以上的電極板12， 該電極板12間是呈平行排列，且該電極板12可垂直或水平的置放于該殼 體11內(nèi)，該電極板12亦可斜向設(shè)置于該殼體11內(nèi)，而與該殼體ll間具有一預(yù)定夾角；該電極板12的一側(cè)上方設(shè)有至少一限位件13，而該電極 板12設(shè)有限位件13的該電極板12同側(cè)下方對應(yīng)設(shè)有至少一滑動(dòng)件14， 該電極板12亦可以為兩側(cè)上方皆設(shè)有限位件13，且兩側(cè)下方皆設(shè)有滑動(dòng) 件14。至少一基板15可通過該殼體11的該開口 16，且該基板15利用該限 位件13與該滑動(dòng)件14貼合于一該電極板12的一側(cè)；其中，該滑動(dòng)件14 可為一滑輪。再請參閱圖3，本發(fā)明一較佳實(shí)施例所提供的一種基板載臺(tái)10，其顯 示了基板載臺(tái)10于實(shí)施時(shí)的形態(tài)，該基板載臺(tái)10的殼體11內(nèi)是設(shè)有復(fù) 數(shù)的電極板12，其中兩電極板12是與該殼體11內(nèi)面緊貼，而此二電極板 12于其未貼合于殼體11的另一側(cè)上方設(shè)有限位件13，下方對應(yīng)設(shè)有至少 一滑動(dòng)件14，另外其于各電極板12皆于其兩側(cè)上方設(shè)有限位件13，兩側(cè) 下方設(shè)有滑動(dòng)件14，各基板15則通過該限位件13與該滑動(dòng)件14緊貼固 定于該電極板12側(cè)邊。由上可知，本發(fā)明所可達(dá)成的功效在于通過本發(fā)明的設(shè)計(jì)可以方便 基板置于載臺(tái)中，使動(dòng)作流程更為簡便，并可同時(shí)置入多片基板，不僅節(jié) 省機(jī)具的空間，更減少制作成本及時(shí)間的耗費(fèi)。因此，本發(fā)明可解決常用者在使用上與結(jié)構(gòu)上的困擾與不便。本發(fā)明的上述各構(gòu)件僅是用來說明，并非用以限制本申請的專利保護(hù) 范圍，其它的等效構(gòu)件替換，亦應(yīng)為本申請權(quán)利要求保護(hù)的范圍所涵蓋。
權(quán)利要求
1. 一種基板載臺(tái)，其特征在于，包含有一殼體，設(shè)有一開口，該殼體內(nèi)部設(shè)有一以上的電極板，該電極板的至少一側(cè)上方設(shè)有至少一限位件，下方設(shè)有至少一滑動(dòng)件；至少一基板可通過該開口，而置于該限位件與該滑動(dòng)件之間且貼合于一該電極板的一側(cè)。
2. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的基板載臺(tái)，其特征在于，該電極板兩側(cè)上方 皆設(shè)有至少一限位件，且兩側(cè)下方皆設(shè)有至少一滑動(dòng)件。
3. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的基板載臺(tái)，其特征在于，該電極板間呈平行 排列。
全文摘要
本發(fā)明一種基板載臺(tái)，包含有一殼體以及至少一基板，該殼體設(shè)有一開口，該殼體內(nèi)部設(shè)有一以上的電極板，該電極板的至少一側(cè)上方設(shè)有至少一限位件，下方設(shè)有至少一滑動(dòng)件；至少一基板可通過該開口，而置于該限位件與該滑動(dòng)件之間且貼合于一該電極板的一側(cè)。通過本發(fā)明的設(shè)計(jì)可以方便基板置于載臺(tái)中，使動(dòng)作流程更為簡便，并可同時(shí)置入多片基板，不僅節(jié)省機(jī)具的空間，更減少制作成本及時(shí)間的耗費(fèi)。
文檔編號(hào)C23C16/54GK101545102SQ200810086288
公開日2009年9月30日 申請日期2008年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月25日
發(fā)明者何建立, 葉公旭, 楊正安, 黃明鴻 申請人:東捷科技股份有限公司