專利名稱：：兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘慕?jīng)陽極氧化處理鋁合金的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及鋁合金，特別是涉及CVD裝置、PVD裝置、離子注入裝置、濺射裝置、干式蝕刻裝置等的半導(dǎo)體和液晶制造裝置的真空腔的構(gòu)件和設(shè)于其內(nèi)部的構(gòu)件所使用的經(jīng)陽極氧化處理鋁合金。
背景技術(shù)：
：在CVD裝置、PVD裝置、離子注入裝置、濺射裝置、干式蝕刻裝置等的半導(dǎo)體和液晶制造裝置的真空腔的內(nèi)部，由于含有卣素的腐蝕性氣體作為反應(yīng)氣體、蝕刻氣體、清洗氣體被導(dǎo)入，因此要求其對(duì)于腐蝕性氣體有耐腐蝕性(以下稱為耐氣體腐蝕性)。另外，在上述真空腔之中，因?yàn)槎嗍果u系的等離子體發(fā)生，所以也重視對(duì)于等離子體的耐性(以下稱為耐等離子體性)(參照特開2003-34894號(hào)公報(bào)，特開2004-225113號(hào)公報(bào)等)。另外近年來，作為這種真空腔的構(gòu)件輕量而且熱傳導(dǎo)性優(yōu)異，因此采用鋁和鋁合金。然而，鋁和鋁合金不具有充分的耐氣體腐蝕性及耐等離子體性，因此紛紛提出有用于使這些特性提高的表面改質(zhì)技術(shù)?？墒?，對(duì)于這些特性來說仍不充分，因此期望進(jìn)一步提高。為了提高上述耐等離子體性，有效的是使鋁和鋁合金的表面形成高硬度的陽極氧化皮膜。究其原因是因?yàn)?，該高硬度的陽極氧化皮膜對(duì)于等離子體的物理性的能量帶來的構(gòu)件的磨耗具有耐性，因此能夠提高耐等離子體性(參照特開2004-225113號(hào)公報(bào)等)。然而，僅僅在鋁和鋁合金的表面形成高硬義的陽極氧化皮膜，即使耐等離子體能夠提高，但在高硬度的陽極氧化皮膜上仍容易發(fā)生裂紋。另外，一旦裂紋發(fā)生而貫通陽極氧化皮膜時(shí)，腐蝕性氣體便會(huì)通過該貫通的裂紋(以下稱為貫通裂紋)侵入，從而發(fā)生作為基材的鋁和鋁合金腐蝕這樣的問題。因此，就期望不僅具有高硬度，而且也具有耐久性(耐裂紋性和耐氣體腐蝕性)的陽極氧化皮膜。另外，從抑制Fe對(duì)于半導(dǎo)體晶片和液晶用玻璃基板等的被處理物的污染的觀點(diǎn)出發(fā)，若減少鋁合金中的Fe的含量，則確實(shí)能夠形成Fe的含量少的陽極氧化皮膜。但是，這樣的陽極氧化皮膜會(huì)進(jìn)一步變硬，耐裂紋性和耐氣體腐蝕性更加劣化。因此，在這一領(lǐng)域中，既要確保低污染性，又期望更強(qiáng)的耐久性(耐裂紋性和耐氣體腐蝕性)的提高。專利文獻(xiàn)1特開2003-34894號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開2004-225113號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明鑒于這一情況而做，其目的在于，提供一種即使高硬度，仍兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘慕?jīng)陽極氧化處理鋁合金。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的權(quán)利要求l所述的發(fā)明，是一種具有如下鋁合金和在該鋁合金的表面所形成的陽極氧化皮膜的陽極氧化處理鋁合金，作為合金成分，該鋁合金含有Mg:0.12.0%("質(zhì)量％"的意思，下同。)、Si:0.12.0%、Mn:0.12.0%，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別規(guī)定在0.03%以下，余量由Al和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，其中，在所述陽極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上。據(jù)此，即使是高硬度，也能夠?qū)崿F(xiàn)耐久性和低污染性兼?zhèn)涞年枠O氧化處理鋁合金。權(quán)利要求2所述的發(fā)明，是在權(quán)利要求1所述的發(fā)明中具有如下特征，所述硬度最小的部位的維氏硬度為365以上。據(jù)此，耐等離子體性提高。如上，本發(fā)明是一種具有如下鋁合金和在該鋁合金的表面所形成的陽極氧化皮膜的陽極氧化處理鋁合金，作為合金成分，該鋁合金含有Mg:0.12.0%("質(zhì)量％"的意思，下同。)、Sh0.12.0%、Mn:0.12.0%，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別規(guī)定在0.03%以下，余量由Al和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，因?yàn)樵谒鲫枠O氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上，所以能夠提供即使為高硬度，仍兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘年枠O氧化處理鋁合金。具體實(shí)施例方式以下，就本發(fā)明邊例示實(shí)施方式邊進(jìn)行詳細(xì)地說明。(本發(fā)明的耐久性和低污染性兼?zhèn)涞慕?jīng)陽極氧化處理鋁合金的構(gòu)成)本發(fā)明的耐久性和低污染性兼?zhèn)涞年枠O氧化處理鋁合金，是具有如下鋁合金和在該鋁合金的表面所形成的陽極氧化皮膜的陽極氧化處理鋁合金，作為合金成分，該鋁合金含有Mg:0.12.0%("質(zhì)量％"的意思，下同。)、Si:0.12.0%、Mn:0.12.0%，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別規(guī)定在0.03%以下，余量由Al和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，其中，在所述陽極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上。據(jù)此，能夠提供即使為高硬度，仍兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘年枠O氧化處理鋁合金。以下，對(duì)于達(dá)到上述構(gòu)成的理由進(jìn)行詳述。本發(fā)明者們首先抑制鋁合金中的Fe、Cr、Cu的含量，使之不會(huì)污染半導(dǎo)體等的被處理物。特別是一邊積極地活用通過抑制Fe的含量使產(chǎn)生的陽極氧化皮膜變硬，從而能夠確保耐等離子體性這一特性，一邊銳意地研究萬一陽極氧化皮膜上發(fā)生裂紋，如何能夠不僅該裂紋伸展到鋁合金本身。其結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過籌劃陽極氧化皮膜的形成條件，使陽極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上，能夠使裂紋不會(huì)伸展到鋁合金本身。據(jù)此，氣體向鋁合金本身的侵入也得到抑制，使綜合性的耐久性得以確保。說到原因，成為這樣的結(jié)構(gòu)而能夠解決上述課題的詳細(xì)的機(jī)理尚不明確。但是，作為機(jī)理之一，認(rèn)為是由于裂紋的伸展被硬度小的部位吸收或者抑制，結(jié)果是裂紋不會(huì)伸展至鋁合金本身。以下詳述本發(fā)明。(鋁合金中的成分)存在于鋁合金中的Mg、Si和Mn，組合成Mg2Si、還有Al-Mn-Si化合物、或者A1-Mn化合物，雖然詳細(xì)地機(jī)理不明，但是推測(cè)會(huì)使陽極氧化皮膜強(qiáng)化。Mg:0.12.0%Mg是形成Mg2Si化合物所需要的元素，低于0.1%時(shí)，幾乎不會(huì)形成Mg2Si化合物，因此得不到陽極氧化皮膜期望的耐久性提高效果。另一方面，當(dāng)超過2.0%時(shí)，Mg2Si化合物粗大化，反而阻礙正常的陽極氧化皮膜的形成。因此，Mg的含量的下限為0.P/。，其上限為2.0%。優(yōu)選為0.8%。Sh0.12.0%Si與Mg都是形成Mg2Si化合物所需要的元素，低于0.1%時(shí)，幾乎不會(huì)形成Mg2Si化合物，因此得不到陽極氧化皮膜期望的耐久性提高效果。另一方面，當(dāng)超過2.0%時(shí)，Mg2Si化合物粗大化，反而阻礙正常的陽極氧化皮膜的形成。因此，Si的含量的下限為0.1%，其上限為2.0%。優(yōu)選為1.2%。Mn:0.12.0%Mn是形成Al-Mn-Si化合物或者Al-Mn化合物所需要的元素，低于0.1%時(shí)，幾乎不會(huì)形成這些化合物，因此得不到陽極氧化皮膜期望的耐久性提高效果。另一方面，當(dāng)超過2.0%時(shí)，上述化合物粗大化，反而阻礙正常的陽極氧化皮膜的形成。因此，Mn的含量的下限為0.1%，其上限為2.0%。優(yōu)選為1.6%。Fe、Cr禾卩Cu:分別在0.03%以下陽極氧化處理中所使用的電，被用于鋁的離子化和基于水的電解的氧發(fā)生，因此，若用于氧發(fā)生的電的比例變大，則用于鋁合金的離子化的電的比例變小，鋁合金氧化物的形成的效率降低而減緩成膜速度。若Fe、Cr、Cu存在于鋁合金中，則這些元素成為氧發(fā)生的起點(diǎn)，導(dǎo)致用于氧發(fā)生的電的比例變大，成膜速度變慢。另外。若Fe、Cr、Cu的含量分別超過0.03%，則從母材和陽極氧化皮膜向氣體中排放，從而污染半導(dǎo)體等的被處理物。因此，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別在0.03。/。以下，優(yōu)選分別規(guī)定在0.01%以下。余量Al和不可避免的雜質(zhì)余量實(shí)質(zhì)上只有A1，但是也允許Fe、Cr、Cu以外的Ni、Zn、B、Ca、Na、K等的雜質(zhì)元素的不可避免地少量含有。但是，為了實(shí)現(xiàn)更低污染化，優(yōu)選將Fe、Cr、Cu以外的雜質(zhì)元素(不可避免的雜質(zhì))的總和規(guī)定在0.1%以下。另外，若鋁合金的晶粒大，則在陽極氧化皮膜上顯現(xiàn)結(jié)晶紋樣，色調(diào)變得不均一，因此為了對(duì)其加以防止，也可以含有Ti。還有，若Ti的含量過少，則得不到晶粒的控制效果，若含量過多，則反而成為污染的原因，因此使Ti含有時(shí)，優(yōu)選其下限為0.01%，更優(yōu)選為0.015%，優(yōu)選其上限為0.03%，更優(yōu)選為0.025%。(鋁合金的制造方法)接下來，對(duì)于鋁合金的制造方法進(jìn)行說明。首先，適宜選擇例如連續(xù)鑄造法、半連續(xù)鑄造法(DC鑄造法)等通常的熔解鑄造法，制造調(diào)整到上述成分范圍內(nèi)的鋁合金鑄錠。其次，對(duì)該鋁合金鑄錠實(shí)施均質(zhì)化熱處理(也稱"均熱處理")。該均質(zhì)化溫度(也稱"均質(zhì)化處理溫度"或"均熱處理溫度")為，以50(TC以上的溫度進(jìn)行均熱處理，從而得到耐久性優(yōu)異的陽極氧化皮膜。但是，若以超過600'C的溫度實(shí)施均質(zhì)化處理，則燒損(burning)等發(fā)生，有招致表面性狀等出問題的情況。因此，均質(zhì)化處理溫度推薦為50(TC以上(更優(yōu)選超過550'C)、600。C以下的范圍。關(guān)于這樣的均熱處理溫度如何關(guān)乎高耐久性的陽極氧化皮膜的形成雖然尚未判明，但如上述，認(rèn)為是與Al-Mn-Si化合物或者Al-Mn化合物的形成有關(guān)。然后，將實(shí)施了均質(zhì)化處理的鋁合金鑄錠進(jìn)行軋制、鍛造、擠出等適宜的塑性加工，對(duì)由此得到的鋁合金進(jìn)行固溶處理、淬火、人工時(shí)效處理(以下僅稱為"時(shí)效處理"。)后，機(jī)械加工成適宜的形狀，從而制作鋁合金的基材?；蛘?，也可以將上述鋁合金成形加工成規(guī)定的形狀后，再實(shí)施固溶處理、淬火、時(shí)效處理，由此制作鋁合金的基材。作為固溶處理、淬火、時(shí)效處理，例如能夠進(jìn)行作為通常的T6處理的固溶處理51555(TC、水淬火、時(shí)效處理170。CX8h，155165。CX18h。(關(guān)于陽極氧化皮膜)其次，對(duì)于上述鋁合金基板的表面所形成的陽極氧化皮膜進(jìn)行說明。作為陽極氧化皮形成方法，其進(jìn)行只要適宜選擇進(jìn)行電解的條件，即電解溶液的組成、濃度、電解條件(電壓、電流密度、電流-電壓波形、溫度)等的條件即可。關(guān)于陽極氧化處理液，需要以含有C、S、N、P、B之中的l種以上的元素的溶液進(jìn)行電解，例如，使用含有草酸、蟻酸、氨基磺酸、磷酸、亞磷酸、硼酸、硝酸或其化合物、酞酸或其化合物這中的l種以上的水溶液進(jìn)行是有效的。陽極氧化皮膜的膜厚沒有特別限制，但以0.1200pm左右為宜，優(yōu)選為0.570^m左右，更優(yōu)選為150pm左右。如前述，因?yàn)樵陉枠O氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，該硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上，所以即使該皮膜為高硬度，仍可抑制裂紋的傳播，耐裂紋性優(yōu)異。如此，因?yàn)槟土鸭y性被抑制，所以作為結(jié)果，氣體向鋁合金本身的侵入也被抑制，耐久性得到綜合性地確保。相對(duì)于此，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)低于5時(shí)，實(shí)質(zhì)上在陽極氧化皮膜的厚度方向上，會(huì)顯示出與硬度均一(同樣)的情況相同的舉動(dòng)，裂紋的傳播難以得到抑制，耐裂紋性劣。因此，耐氣體腐蝕性也差。在本發(fā)明中，在陽極氧化皮膜的厚度方向上硬度不同的部位的數(shù)量需要有2個(gè)以上，但如果是2個(gè)以上，則此部位的數(shù)量沒有特別限定。另外，在陽極氧化皮膜的厚度方向上，硬度可以斷續(xù)地變化，或者也可以連續(xù)地(傾斜地)變化。另外，從抑制在陽極氧化皮膜上發(fā)生的裂紋的傳播這一觀點(diǎn)出發(fā)，考慮硬度最小的部位的維氏硬度以盡可能小的方面為宜，但是，若把對(duì)于等離子體的物理能量造成的磨耗的耐性也考慮在內(nèi)，則優(yōu)選以維氏硬度計(jì)為365以上。施加有這種陽極氧化皮膜的鋁合金(以下稱為陽極氧化處理鋁合金)適合在高溫的腐蝕氣氛下使用的各種用途。特別是適合作為在高溫環(huán)境下被曝露于腐蝕氣體和等離子體中，要求其一方對(duì)被處理物低污染化的半導(dǎo)體制造設(shè)備等所附加設(shè)置的等離子體處理裝置所使用的真空腔和設(shè)于其內(nèi)部的電極等的構(gòu)件。為了在陽極氧化皮膜的厚度方向上使陽極氧化皮膜的硬度變化，采用在陽極氧化處理的途中斷續(xù)或連續(xù)地使陽極氧化處理液的溫度變化的方法，和在途中中斷陽極氧化處理，一下子從陽極氧化處理液中取出被處理物，在其他的液組成和/或溫度不阇的陽極氧化處理液中恢復(fù)陽極氧化處理的方法等即可，根據(jù)這些方法，能夠使陽極氧化皮膜的厚度方向的硬度變化。另外，陽極氧化處理液的溫度低的一方，陽極氧化處理中的陽極氧化皮膜的化學(xué)溶解受到抑制而變硬。另外如前述，考慮到對(duì)半導(dǎo)體等的被處理的污染，例如若將鋁合金中的Fe的含量抑制在0.03%以下，則陽極氧化皮膜中的Fe的含量被抑制在500ppm以下，此外，若將將鋁合金中的Fe的含量抑制在0.01。/。以下，則陽極氧化皮膜中的Fe的含量被抑制在150ppm以下。如以上說明，上述陽極氧化處理鋁合金即使為高硬度，也能夠滿足耐久性(耐裂紋性和耐氣體腐蝕性)和低污染性。實(shí)施例以下，基于實(shí)施例詳細(xì)闡述本發(fā)明。但是，下述實(shí)施例并不限制本發(fā)明，在不脫離前、后述的宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行變更實(shí)施的均包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍中。首先，熔煉具有下述表1所述的{實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)，比較例(試料No.3、614)的}成分組成的鋁合金鑄錠(尺寸寬220mmX長250mmX厚100mm，冷卻速度1510°C/s)，切斷該鑄錠并進(jìn)行端面銑削(尺寸寬220mmX長150mmX厚60mm)后，實(shí)施均熱處理(540°CX4h)。均熱處理后，通過熱軋將60mm厚的原材軋制成6mm厚的板材，進(jìn)行固溶處理(51052(TCX30min)后，進(jìn)行水淬火并實(shí)施時(shí)效處理(160180。CX8h)，得到供試合金板。從該合金板上切割25mmX35mm(軋制方向)厚X3mm的試驗(yàn)片，對(duì)其表面進(jìn)行端面銑削加工而成為Ral.6的表面粗糙度。<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>其次，將上述各試驗(yàn)片在60°C_10%NaOH水溶液中浸漬2分鐘后水洗，再在30。C-20。/。HNO3水溶液中浸漬2分鐘后，通過水洗的處理凈化表面，之后按第1層(鋁合金基材側(cè))、第2層(第1層之上又形成的層)的順序?qū)嵤╆枠O氧化處理。作為陽極處理的條件，如上述表l所述，第l層和第2層均是處理液為25g/L(在此"L"是升的意思)草酸，將電解電壓固定為60V，使形成的陽極氧化皮膜的厚度為15Mm。作為第1層和第2層的陽極氧化處理的條件，不同的是上述處理液的溫度，第l層在形成時(shí)的溫度的一方比第2層在形成時(shí)的溫度高。對(duì)于如上這樣制作的陽極氧化處理鋁合金試料片(以下僅稱為試料片)，進(jìn)行陽極氧化皮膜中的Fe、Cr、Cu的含量的測(cè)定，陽極氧化皮膜的硬度的測(cè)定，陽極氧化皮膜的耐久性的試驗(yàn)。(陽極氧化皮膜中的Fe、Cr、Cu的含量的測(cè)定)為了評(píng)價(jià)試料片的耐污染性，在不露出鋁合金基板的程度下使陽極氧化皮膜溶解于7%鹽酸100mL(在此"mL"是毫升的意思。)中，根據(jù)溶解前后的鹽酸的重量變化計(jì)算陽極氧化皮膜的溶解量W(g)。其次，對(duì)該鹽酸溶液進(jìn)行ICP分析，求得鹽酸中的Fe、Cr、Cu的各濃度，計(jì)算溶解于100mL鹽酸中的Fe、Cr、Cu的各重量WFe、WCr、WCu(g)，根據(jù)WFe/W、Wc/W、WCu/W，求得陽極氧化皮膜中的Fe、Cr、Cu各濃度。然后，以陽極氧化皮膜中的Fe、Cr、Cu的濃度，根據(jù)下述的基準(zhǔn)評(píng)價(jià)耐污染性(評(píng)價(jià)結(jié)果顯示在上述表l中)。耐污染性評(píng)價(jià)基準(zhǔn)全部的元素都在300ppm以下，〇至少1種元素超過300ppm在500ppm以下，其他元素在300ppm以下，X:至少1種元素超過500ppm耐污染性評(píng)價(jià)結(jié)果如上述表l所示，比較例(試料No.1214)，雖然陽極氧化皮膜中的任意一種元素的含量超過500ppm,但是實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)和比較例(試料No.3、611)是全部元素都在500ppm以下的良好的結(jié)果。另外，實(shí)施例(試料No.l、2)和比較例(試料No.3、611)如上述表l所示，是陽極氧化皮膜中的全部的元素的含量為300ppm以下的極好的結(jié)果。(陽極氧化皮膜的硬度的測(cè)定)沿截面方向(使陽極氧化皮膜截面和鋁合金基材截面成為研磨面)將試料片埋入樹脂，進(jìn)行研磨后，對(duì)于陽極氧化皮膜截面按JISZ2244(1998)的方法測(cè)定硬度。測(cè)定結(jié)果如上述表1所示，實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)和比較例(試料No.3、614)均是第2層的陽極氧化皮膜的硬度的一方比第1層的陽極氧化皮膜的硬度硬。這是由于，第2層的陽極氧化皮膜在形成時(shí)的處理液的溫度比第1層的陽極氧化皮膜的成形時(shí)的處理液的溫度低。另外，實(shí)施例(試料No.2)的第2層和第l層的陽極氧化皮膜的硬度之差，以維氏硬度計(jì)為5。這是基于第2層的陽極氧化皮膜在形成時(shí)的溫度為5'C，第1層的陽極氧化皮膜在形成時(shí)的處理液的溫度為8'C。另外，實(shí)施例(試料No.3)的第2層和第1層的陽極氧化皮膜的硬度之差，以維氏硬度計(jì)為4。這是基于第2層的陽極氧化皮膜在形成時(shí)的溫度為5°C，第1層的陽極氧化皮膜在形成時(shí)的處理液的溫度為7'C。這些以外的實(shí)施例(試料No.l、4、5)和比較例(試料No.614)的第2層和第1層的陽極氧化皮膜的硬度之差，以維氏硬度計(jì)為10。這是基于第2層的陽極氧化皮膜在形成時(shí)的溫度為5。C，第1層的陽極氧化皮膜在形成時(shí)的處理液的溫度為IO'C。如此，通過控制陽極氧化皮膜在形成時(shí)的處理液的溫度，可以任意設(shè)定陽極氧化皮膜的硬度。另外，上述陽極氧化皮膜的硬度如上述表1所示，除去比較例(試料No.12)，以維氏硬度計(jì)均為365以上，因此除比較例(試料No.12)以外，均可以確保耐等離子體性。(陽極氧化皮膜的耐久性的試驗(yàn))耐久性的試驗(yàn)，由下述這種耐裂紋性試驗(yàn)和耐氣體腐蝕性試驗(yàn)的2個(gè)階段構(gòu)成。首先，最初將試料片設(shè)置在試驗(yàn)容器內(nèi)(氣氛為大氣中)，加熱至45(TC并保持1小時(shí)，其后從試驗(yàn)容器中取出試料片，浸漬在27T:的水中急冷(耐裂紋性試驗(yàn))。在此試驗(yàn)之后，將試料片靜置在5%C12-Ar氣體氣氛下(400°C)4小時(shí)(以此為1個(gè)周期)后，再追加個(gè)周期，實(shí)施合計(jì)2個(gè)周期(耐氣體腐蝕性試驗(yàn))。之后，取出試料片，計(jì)算試料片表面的腐蝕發(fā)生面積率(腐蝕面積/試料片面積X100)，根據(jù)下述的基準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)(評(píng)價(jià)結(jié)果顯示在上述表1中)。耐久性評(píng)價(jià)基準(zhǔn)腐蝕發(fā)生面積率0%，〇腐蝕發(fā)生面積率超過9%、在3%以下，X:腐蝕發(fā)生面積率超過3%耐久性評(píng)價(jià)結(jié)果如上述表l所示，雖然比較例(試料No.3、611)不合格，但是實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)和比較例(試料No.1214)為良好的結(jié)果。另外，實(shí)施例(試料No.l)和比較例(試料No.1214)如上述表1所示，是極其良好的結(jié)果。如上，若綜合判斷陽極氧化皮膜中的Fe、Cr、Cu的含量的測(cè)定結(jié)果，陽極氧化皮膜的硬度的測(cè)定結(jié)果和陽極氧化皮膜的耐久性的試驗(yàn)結(jié)果，則能夠滿足全部基準(zhǔn)的只有實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)。滿足全部基準(zhǔn)的實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)即使為高硬度，仍兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘?。?quán)利要求1.一種兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘慕?jīng)陽極氧化處理鋁合金，其特征在于，是具有如下構(gòu)成的鋁合金和在該鋁合金的表面形成的陽極氧化皮膜的陽極氧化處理鋁合金，該鋁合金作為合金成分以質(zhì)量％計(jì)含有Mg0.1～2.0％、Si0.1～2.0％、Mn0.1～2.0％，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別限定在0.03％以下，余量由A1和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，其中，在所述陽極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的經(jīng)陽極氧化處理鋁合金，其特征在于，所述硬度最小的部位的維氏硬度為365以上。全文摘要本發(fā)明的目的在于，提供一種即使在高硬度下，仍兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘年枠O氧化處理鋁合金。一種具有如下鋁合金和在該鋁合金的表面所形成的陽極氧化皮膜的陽極氧化處理鋁合金，作為合金成分，該鋁合金含有Mg0.1～2.0％(“質(zhì)量％”的意思，下同。)、Si0.1～2.0％、Mn0.1～2.0％，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別規(guī)定在0.03％以下，余量由Al和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，在所述陽極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，使硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上。文檔編號(hào)C22C21/00GK101372731SQ200810135759公開日2009年2月25日申請(qǐng)日期2008年7月11日優(yōu)先權(quán)日2007年8月22日發(fā)明者久本淳,和田浩司申請(qǐng)人:株式會(huì)社神戶制鋼所