專利名稱:真空鍍膜中圖案成型方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及真空鍍膜中的技術(shù),更具體地說,涉及將網(wǎng)印油墨用 于真空鍍膜系統(tǒng)中改進遮擋技術(shù)以成型圖案的方法。
背景技術(shù):
在薄膜制備技術(shù)中,很多情況下是在真空條件下進行的。如蒸發(fā) 鍍、濺射鍍、離子鍍以及低壓化學(xué)氣相沉積等。通常在特定的條件下, 產(chǎn)生大量帶電物質(zhì)和化學(xué)活性物質(zhì),其中所述物質(zhì)適合系統(tǒng)中正在進 行的特定處理(例如從襯底去除材料的刻蝕處理或向襯底增添材料的 沉積處理)。盡管大量帶電微粒(離子等等)和化學(xué)活性物質(zhì)的形成 對于進行等離子體處理系統(tǒng)對襯底表面的功能(例如材料刻蝕、材料 沉積等等)是必要的,但部分應(yīng)保護區(qū)域或元件表面暴露在物理和化 學(xué)活性的等離子體中,最終可能受到腐蝕導(dǎo)致其性能的降低或功能失 效等問題。在這樣的真空反應(yīng)系統(tǒng)中,擋板被用于保護襯底或元件, 使其承受的損害減至最小。
在真空鍍膜中出于設(shè)計的考量,經(jīng)常有部分精細(xì)的圖案加以保護 形成非鍍膜區(qū)或需要形成精密的鍍膜圖案(如圖l)。
目前,在業(yè)內(nèi)真空鍍膜的圖案成型都采用擋板遮擋的方式,如圖
2所示。首先設(shè)計制作如圖1玻璃非鍍膜區(qū)20所示圖案樣式的擋板 元件,例如由硅、石英、氧化鋁、碳、碳化硅或不銹鋼等材料制造的元件,然后設(shè)法將擋板元件固定在玻璃基板10上或耦合到其他制具 上,并擋住玻璃基板10上的相應(yīng)圖案位置,再進行真空鍍膜,最后 揭去擋板元件,即形成非鍍膜區(qū)。這樣在實際上操作中,往往需要設(shè) 計復(fù)雜的制具和擋板元件,使成本升高,且擋板元件的固定也不容易, 精細(xì)度達(dá)不到很高要求,造成操作不方便,非鍍膜區(qū)邊界不清晰。此 外,在擋板元件的安裝固定過程中也可能給玻璃基板10帶來的多余 污染物、雜質(zhì)等等的材料以及劃傷等,影響產(chǎn)品品質(zhì)。
有鑒于此,本發(fā)明人對現(xiàn)有真空鍍膜中圖案成型的遮擋技術(shù)進行 改進,皆在方便操作,降低成本,提高精細(xì)度,確保產(chǎn)品品質(zhì),本案 由此產(chǎn)生。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種真空鍍膜中圖案成型方法,以方便操 作,降低成本,提高精細(xì)度,確保產(chǎn)品品質(zhì)。
為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的解決方案是
第一步,制作用于印制所需要圖案的網(wǎng)版,并選擇網(wǎng)印后可固化 且固化后可剝離的油墨;
第二步,通過網(wǎng)印的方法將油墨網(wǎng)印到玻璃基板所需要的圖案
上;
第三步,油墨固化,使油墨覆蓋玻璃基板所需要的圖案上; 第四步,在油墨已經(jīng)固化的玻璃基板上進行真空鍍膜; 第五步,完成鍍膜后,把己經(jīng)固化的油墨剝掉,顯出所需要的圖 案部分。
其中,所述第一步所選擇的油墨包含下列重量百分比的成份乙烯樹脂衍生物55 65%、脂肪酸酯15 20%、乙烯環(huán)氧酯15 20%、 觸發(fā)劑1°/。 5%、消泡劑1% 3%、有機顏料O. 3% 1%。
所述第一步所選擇的油墨目測為中粘度粘稠狀;粘度25'C條件 下使用日本RION(理音)公司生產(chǎn)的粘度計VT-04F, 2號葉輪所測特 性值在40 100Pa. s (帕.秒);13(TC時60分鐘內(nèi)不揮發(fā)成份:100
所述第二步中在網(wǎng)版和玻璃基板上分別制作對應(yīng)的基準(zhǔn)點,并在 網(wǎng)印時通過光學(xué)比對網(wǎng)版與玻璃基板上的基準(zhǔn)點位置來固定網(wǎng)版。
所述第二步中網(wǎng)印的油墨膜厚應(yīng)設(shè)定在35 150um (微米)。
所述第三步中油墨通過加熱或紫外光照射方式固化。
所述第三步中油墨的固化方式網(wǎng)印后,放置于13(TC 150。C 條件下的熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐中IO分鐘,即可固化。
所述第五步油墨固化后,使用膠帶或鑷子從邊緣拉起已經(jīng)固化的 油墨,即可完整剝離。
采用上述方案后,本發(fā)明是將油墨通過網(wǎng)印轉(zhuǎn)移在玻璃基板上 后,利用油墨特性,通過物理或化學(xué)方式固化在基片上,然后再鍍膜, 鍍膜后再去除油墨。
本發(fā)明的有益效果由于采用網(wǎng)印方式形成油墨,可以很容易達(dá)
到很高的精細(xì)度,其主要偏差取決于網(wǎng)印精度。對于小于500mm的圖 形,如果在網(wǎng)版設(shè)計時加入網(wǎng)印中因網(wǎng)版拉伸導(dǎo)致的偏差補償,網(wǎng)印 圖形與設(shè)計圖形重合精度則可以很容易達(dá)到0. lmm以內(nèi)。而且由于油 墨網(wǎng)印完后,可固化在玻璃基板上,鍍膜后再剝掉油墨。本發(fā)明解決 了在真空鍍膜基片上不易安裝固定擋板的問題,既避免了安裝固定擋 板時對玻璃基板造劃傷和臟污等不良而影響鍍膜品質(zhì),同時本方法比 使用擋板所能達(dá)到的精度更高,操作性更強,成本大大降低,更具規(guī)?;?。
圖l是真空鍍膜圖案示意圖2是現(xiàn)有技術(shù)真空鍍膜中圖案成型時所采用擋板遮擋方式的 流程示意圖3是本發(fā)明真空鍍膜中圖案成型所采用網(wǎng)印油墨遮擋方式的 流程示意圖4是本發(fā)明網(wǎng)版結(jié)構(gòu)示意圖5是運用本發(fā)明成型的產(chǎn)品中真空鍍膜圖案。
具體實施例方式
如圖3所示,是本發(fā)明揭示的較佳實施例,具體步驟如下
第一步,先制作用于印制所需要圖案的網(wǎng)版3 (如圖4所示)。 具體制作網(wǎng)版3時,先要根據(jù)圖案精度要求選擇合適的絲網(wǎng)31、乳 劑32,并選擇網(wǎng)框33等材料,并制作適合印制圖5所示產(chǎn)品的網(wǎng)版 3,此網(wǎng)版3上具有開孔圖案34,為了便于網(wǎng)版3固定在玻璃基板上, 此網(wǎng)版3上還具有基準(zhǔn)點35。
在網(wǎng)版3制作完成后,還需選取合適的油墨。所選取的油墨必需 在網(wǎng)印后可固化且固化后可剝離。下面以常用防焊可剝離式油墨為 例,其主要成份的重量百分比如下
乙烯樹脂衍生物55 65%、脂肪酸酯15 20%、乙烯環(huán)氧酯15 20°/。、觸發(fā)劑(二氧化硅Si02) 1% 5%、消泡劑(六甲基氧二硅垸CfiH180Si2) 1% 3%、有機顏料(酞青藍(lán)BC3'凡6CuN8) 0. 3% 1%。
主要特性
外觀目測為中粘度粘稠狀;
粘度25匸條件下使用日本RION(理音)公司生產(chǎn)的粘度計 VT-04F, 2號葉輪所測特性值在40 100Pa . S; 不揮發(fā)成份:100% (130。Cx60分鐘); 保存條件25"C以下環(huán)境中。
第二步,通過網(wǎng)印的方法將油墨網(wǎng)印到如圖5所示玻璃基板1所 需要的圖案2上。當(dāng)對位置精度要求較高時,可如圖4所示在網(wǎng)版3 上制作基準(zhǔn)點35,在玻璃基板1上也制作基準(zhǔn)點11,網(wǎng)印時通過光 學(xué)比對網(wǎng)版3與玻璃基板1上的基準(zhǔn)點11位置來達(dá)到精度控制,再 固定網(wǎng)版3于玻璃基板1上。
第三步,油墨固化,主要通過油墨的物理化學(xué)特性實現(xiàn),如加熱 或紫外光照射方式等。可剝離式油墨的固化方式放置于13(TC 150 'C條件下的熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐中10分鐘,即可固化,使油墨覆蓋玻 璃基板1所需要的圖案2上。油墨的可剝離性因其膜厚度及圖形面積 大小設(shè)定的不同會有所差異,合理的膜厚度應(yīng)設(shè)定在35 150 u m。
第四步,在油墨已經(jīng)固化的玻璃基板l上進行真空鍍膜。由于油 墨已固化在玻璃基板l上,所以只要以一般的放置方法進行放置,再 進行鍍膜即可。
第五步,完成鍍膜后,把已經(jīng)固化的油墨剝掉,顯出所需要的圖 案2部分,如圖5所示。具體可使用膠帶或鑷子從邊緣拉起已經(jīng)固化 的油墨,即可完整剝離。
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權(quán)利要求
1、真空鍍膜中圖案成型方法,其特征在于第一步,制作用于印制所需要圖案的網(wǎng)版,并選擇網(wǎng)印后可固化且固化后可剝離的油墨;第二步,通過網(wǎng)印的方法將油墨網(wǎng)印到玻璃基板所需要的圖案上;第三步,油墨固化,使油墨覆蓋玻璃基板所需要的圖案上;第四步,在油墨已經(jīng)固化的玻璃基板上進行真空鍍膜;第五步,完成鍍膜后,把已經(jīng)固化的油墨剝掉,顯出所需要的圖案部分。
2、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法,其特征在于 所述第一步所選擇的油墨包含下列重量百分比的成份乙烯樹脂衍生 物55 65%、脂肪酸酯15 20%、乙烯環(huán)氧酯15 20%、觸發(fā)劑1% 5°/。、消泡劑1% 3%、有機顏料O. 3% 1%。
3、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法,其特征在于 所述第一步所選擇的油墨目測為中粘度粘稠狀;粘度25'C條件下使 用粘度計VT-04F, 2號葉輪所測特性值在40 100Pa.S; 13(TC時60 分鐘內(nèi)不揮發(fā)成份100%。
4、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法,其特征在于 所述第二步中在網(wǎng)版和玻璃基板上分別制作對應(yīng)的基準(zhǔn)點,并在網(wǎng)印 時通過光學(xué)比對網(wǎng)版與玻璃基板上的基準(zhǔn)點位置來固定網(wǎng)版。
5、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法,其特征在于 所述第二步中網(wǎng)印的油墨膜厚設(shè)定在35 150um。
6、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法,其特征在于所述第三步中油墨通過加熱或紫外光照射方式固化。
7、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法,其特征在于 所述第三步中油墨的固化方式網(wǎng)印后,放置于13(TC 15(TC條件 下的熱風(fēng)循環(huán)式千燥爐中io分鐘,即可固化。
8、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法,其特征在于: 所述第五步油墨固化后,使用膠帶或鑷子從邊緣拉起已經(jīng)固化的油 墨,即可完整剝離。
全文摘要
本發(fā)明公開一種真空鍍膜中圖案成型方法,先制作用于印制所需要圖案的網(wǎng)版,并選擇網(wǎng)印后可固化且固化后可剝離的油墨;再通過網(wǎng)印的方法將油墨網(wǎng)印到玻璃基板所需要的圖案上;接著,油墨固化,使油墨覆蓋玻璃基板所需要的圖案上;然后,在油墨已經(jīng)固化的玻璃基板上進行真空鍍膜;最后,完成鍍膜后,把已經(jīng)固化的油墨剝掉,顯出所需要的圖案部分。本發(fā)明可方便操作,降低成本,提高精細(xì)度,確保產(chǎn)品品質(zhì),更具規(guī)?;a(chǎn)。
文檔編號C23C14/04GK101445903SQ20081018745
公開日2009年6月3日 申請日期2008年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月15日
發(fā)明者林越展, 旭 章, 鄭開東 申請人:宸陽光電科技(廈門)有限公司