專利名稱：基板載具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種基板載具，特別是涉及一種可供數(shù)片 架設(shè)，并將基板 一起送入加工機(jī)內(nèi)進(jìn)行加工的基板載具。
背景技術(shù)：
以往連續(xù)式真空、 1度設(shè)備為了達(dá)到連續(xù)加工的目的，通常是禾,一種如圖l、 2 的基板載具1來載運(yùn) 10。 ±^ 載具1包括一片矩形的承載板11，以及數(shù)個(gè) 數(shù)量和載運(yùn)鎌10相同的定位單元12。該承載板11具有一個(gè)朝向觀楚度設(shè)備的第一 面lll、 一個(gè)和第一面111間隔的第二面112，以及數(shù)個(gè)貫穿第一及第二面lll、 112 且各別界定出一個(gè)穿孔113的孔界定面114，旨 L界定面114都具有一環(huán)往中央突 出并鄰近第二面112的M突環(huán)115，而戶脫定位單元12都包括數(shù)片貼靠在承載板 11的第一面lll的定位片121，以及數(shù)支將定位片121安裝在承載板ll上的螺絲122， 上述定位片121具有一個(gè)往穿孔113突出的定位部123。
組裝時(shí)先將鎌10擺放絲繊11的穿孔113處，擺放后該 10的一個(gè)背 面會(huì)貼靠在,M突環(huán)115的前方，而該基扳10的一加工面是和承載板11的第一面 111平齊，然后以螺絲122將定位片121安^^載板11上，安裝后臓定位片121 的定位部123會(huì)往基板10突出，并因此將基板10架設(shè)在該承載板11上。
以往 載具1以螺絲122 板10以可拆解的方式安g載板11上的設(shè)計(jì)， 雖然具有架設(shè)基板10的功能，但在使用時(shí)卻具有下述缺失
一、 以往 載具1在組皿取下基板10的作iL匕必需多次的螺轉(zhuǎn)螺絲122， 故在組裝及拆解繊10的操作上很麻煩。
二、 以往繊載具1是以定位單元12將鎌10安驗(yàn)承載板11上，在安裝后 戶皿定位片121會(huì)一起隨著基板10送入 ^室進(jìn)行、 加工，在接受Mf度加工時(shí)， 雖然職度的區(qū)域是以繊10為主，但由于定位片121需要壓抵定位鎌10并且很 離鎌IO，因此，在 時(shí) 材料難免會(huì)附著在定位片121及螺絲122上，這 些附著有MI度材料的定位片121由于需要重復(fù)再使用，且在使用時(shí)各定位片121會(huì) 直接壓靠在基板10的加工面上，因此，當(dāng)定位片121上的濺鍍材料沾黏在下一片基
板10的加工面上時(shí)，^g成基板10潔凈度的下降，這樣對于 10的濺鍍品質(zhì)多
少會(huì)有影響。
三、以往繊載具1的唯一功能Ji^載繊10，也就是^^載具1缺乏辨識性， 因此，當(dāng)鎌10需要經(jīng)過多次加工時(shí)，操作人員往往無法由S^載具1外觀辨識出 架設(shè)其上的基板10的加工狀況，造皿驗(yàn)及辨別上的不方便。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的是在,一種組卸皿方便、快速，并可防止載運(yùn)的基 板受到污染的 載具。
本實(shí)用新型的次要目的是在,一種具有辨識功能的 載具。
本實(shí)用新型的皿載具，用來承載至少一片基板，包括 一片承載板，以及一
個(gè)第一夾持單元，該承載板包括一第一面、 一第二面，以及一個(gè)貫穿第一及第二面 并界定出一第一穿孔的孔界定面。
本實(shí)用新型的特征在于該第一夾持單元包括一個(gè)安裝在第一穿 L上緣處并用 來夾持基板頂緣的彈扣件，以及一個(gè)安裝在第一穿孔下緣處并用來承載鎌的承載 件，而該鎌載具還包括一個(gè)安裝在承載板上并用 蓋所述第一夾持單元的擋板單元。
而本實(shí)用新型的次要特征在于該承載板還包括數(shù)個(gè)貫穿第一面及第二面的辨 識孔，又該皿載具還包括數(shù)個(gè)可取下地安裝在所述辨識 L上的辨識件。 本實(shí)用新型的有益功效在于借彈扣件及承載件來架設(shè)基板，可以達(dá)到組M取下 基板簡單的功效，而借擋板單元的設(shè)計(jì)，可以避免夾持單元受到,材料污染后再 度污染下一片載運(yùn)的基板，本實(shí)用新型的辨識孔及辨識件的設(shè)計(jì)，可以使基板的加 工情況及檢驗(yàn)更容易掌握。

圖1是一種以往皿載具的正視參考圖2是沿圖1中2-2線所取的一組合剖視圖3是本實(shí)用新型繊載具的一較佳實(shí)施例的立體分解參考圖4是該較佳實(shí)施例的一局部組合剖視圖5是該較佳實(shí)施例的一局部立體放大圖，主要顯示該 載具的一彈扣件 圖6是，佳實(shí)施例的另一局部立體放大圖，主要顯示該,載具的一承載件;
及
圖7是該較佳實(shí)施例的又一局部立體放大圖，主要顯示該 載具的一辨識單元。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明
參閱圖3、 4、 5，本實(shí)用新型基板載具的一較佳實(shí)施例是可供數(shù)片基板2以可拆 卸的方式安裝，圖3中顯示的基板2數(shù)量為6個(gè)，而該 載具包括 一片矩形的 承載板3，上述承載板3包括-一個(gè)第一面31、 一個(gè)和第一面31間隔的第二面32、三 個(gè)左右間隔并貫穿第一及第二面31、 32且各別界定出一個(gè)第一穿孔33的孔界定面 34、三個(gè)左右間隔并貫穿第一及第二面31、 32且各別界定出一個(gè)第二穿孔35的孔 界定面，以及數(shù)個(gè)貫通第一及第二面31、 32并位在板體右下角的辨識孔36，其中第 二穿孔35都位在第一穿孔33的正下方。
又本實(shí)施例的第一面31具有3個(gè)分別位在第一穿孔33中^i:方的第一凹部 311、六個(gè)位在第一穿孔33下方的第二凹部312、三個(gè)位在第二穿孔35上緣處的第 三凹部313、六個(gè)位在第二穿孔35下方的第四凹部314，以及數(shù)個(gè)分別位在第一及 第二穿孔33、 35左右兩側(cè)的手伸凹緣315 ，所述凹部311~314都鄰近第一或第二穿 孑L33、 35。
本實(shí)施例的 載具還包括三個(gè)對應(yīng)第一穿孔33的第一夾持單元4、三個(gè)對應(yīng) 第二穿孔35的第二夾持單元4，、 一個(gè)可拆解地安^ 載板3的第一面31上并用 彩逸閉夾持單元4、 4'的擋板單元5，以及一個(gè)辨識單元6。
本實(shí)施例的每個(gè)第一夾持單元4都包括 一個(gè)彈扣件41、 一支將彈扣件41以可 拆解方式安驗(yàn)第一凹部3U內(nèi)的第一螺絲42、兩個(gè)承載件43，以及數(shù)支分別將承 載件43以可拆解方式安裝在第二凹部312內(nèi)的第二螺絲44。該彈扣件41具有一片 貼靠在第一凹部311內(nèi)并供第一螺絲42穿過的固定部411、 一片由固定部411底緣 往前延伸的固連部412、 一片由固連部412的一端往下傾斜的彈連部413，以及一個(gè) 由彈連部413末端往第一穿孔33延伸的彈夾部414，所述彈夾部414具有兩片前后 間隔的彈片415，以及一個(gè)介于彈片415間且開口朝下的夾槽416。
參閱圖3、 4、 6，本實(shí)施例的承載件43具有一片貼靠在第二凹部312內(nèi)并供第 二纟累絲44穿過的固定部431，以及一個(gè)由固定部431頂緣往第一穿孔33方向突出的承載部432，上述承載部432具有一個(gè)開口朝上的承載槽434。本實(shí)施例的第二夾J寺 單元4'是組裝在承載板3的第三及第四凹部313、 314內(nèi)，但其構(gòu)造和第一夾持單元 4木目同，不再贅述。
本實(shí)施例的擋板單元5包括三片遮蓋承載板3的第一凹部311的第一擋板51、 三片遮蓋承載板3的第二及第三凹部312、 313的第二擋板52、三片遮蓋承載板3 的第四凹部314的第三擋板53，以及數(shù)支將擋板51、 52、 53以可拆解方式安裝在承 載板3的第一面31上的第三螺絲54。所述第一擋板51位在第一穿孔33的上方，第 二擋板52是位在第一及第二穿孔33、 35間。上述第三擋板53是位在第二穿孔35 的下緣。
參閱圖3、 7，本實(shí)施例的辨識單元6是包括數(shù)個(gè)可取下地插設(shè)在承載板3的辨 識孑L36處的辨識件61，借由辨識件61插設(shè)在不同辨識孔36內(nèi)，可以達(dá)到區(qū)別Sfe 載具的目的。也就是說，本實(shí)施例的基板載具可以和一臺(tái)辨識機(jī)配合，利用光線是 否可以穿透辨識孔36以及穿過辨識孔36的位置的不同，皿到辨識基板2編號的 目的。
參閱圖3、 4、 6，本實(shí)施例的鎌載絲!頓時(shí)，先在第一及第三凹部311、 313 處^>別安裝一個(gè)彈扣件41，在各個(gè)第二及第四凹部312、 314處分別組裝一個(gè)承載件 43，組裝后各個(gè)彈扣件41的夾槽415會(huì)朝下，而承載件43的承載槽434會(huì)朝上， 并且和夾槽415上下對應(yīng)。然后利用第三螺絲54將各片擋板51、 52、 53安裝在凹 部311~314的前方，就完成組合。而該等辨識4牛61是依預(yù)備加工基阪2的加工情況 選擇地插設(shè)在預(yù)定的辨識孔36上。當(dāng)繊2要組裝在離載具上時(shí)，先將鎌2由 下往上地先夾套在彈扣件41的夾槽416后，再利用 2將彈扣件41 ^±推，并 使基板2的底緣靠放在承載件43的承載槽434內(nèi)，就完成基板2的組裝作業(yè)。
當(dāng)本實(shí)施例的 載具承 [片基板2并往M^移送，以接受 加工時(shí)， 、a^虔材料是纟操載板3的第一面31濺射，并附著在 2前方的加工面上，加工后 操i乍人員的手指可由位在第一及第二穿孔33、 35兩側(cè)的手伸凹緣315伸到基板2的 背面，就可以方便地將基板2取下。
由以上說明可知，本實(shí)用新型該基板載具的設(shè)計(jì)確實(shí)具有以下功效
一、本實(shí)用新型的 載具在〗吏用時(shí)，由于是以彈扣件41 ^載件43來夾持 基板2，故在安裝及取下基板2的操作上較以往基板載具簡單、快速。
二本實(shí)施例的 載具在載運(yùn)基板2進(jìn)入iM室后，雖然位在基板2周緣的 元件者阿能沾到^l度材料，但會(huì)沾到 材料的元件是遮擋在各夾持單元4、 4'航 的擋板51~53。前述擋板51~53由于在 載具重復(fù)使用的過禾呈中并不會(huì)和基板2 接觸，而和基板2會(huì)有接觸關(guān)系的彈扣件41及承載件43則是受到所述擋板51~53 的保護(hù)不易沾附濺鍍材料，因此，本實(shí)用新型在重復(fù)使用時(shí)，可以避免Mf度材料污 染載運(yùn)的基板2，以確保載運(yùn)基板2的潔凈度及加工品質(zhì)。
三、本實(shí)用新型在承載板3上設(shè)置辨識 L36，并配合辨識單元6的設(shè)計(jì)，可以 根據(jù)基板2加工狀態(tài)在 載具上設(shè)置辨識記號，使得基板2在加工過程能夠輕易 地對辛識加工情況，同時(shí)也具有檢驗(yàn)方便的功效。
權(quán)利要求1.一種基板載具，用來承載至少一片基板，包括一片承載板，以及一個(gè)第一夾持單元，該承載板包括一第一面、一第二面，以及一個(gè)貫穿第一及第二面并界定出一第一穿孔的孔界定面；其特征在于該第一夾持單元包括一個(gè)安裝在第一穿孔上緣處并用來夾持基板頂緣的彈扣件，以及一個(gè)安裝在第一穿孔下緣處并用來承載基板的承載件，而該基板載具還包括一個(gè)安裝在承載板上并用來遮蓋所述第一夾持單元的擋板單元。
2. 如權(quán)禾腰求l戶誠的,載具，其特征在于該彈扣件具有一個(gè)借一第一螺絲固 定地安裝在承載板上的固定部、 一個(gè)和固定部連接的固連部、 一個(gè)和固連部連 接并往第一穿孔方向延伸的彈連部，以及一個(gè)和彈連部接連并形成一夾槽的彈 夾部。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的,載具，其特征在于該承載件具有一個(gè)借一第二螺 絲固定在承載板的第一面上的固定部，以及一個(gè)具有一供基板底緣架設(shè)的承載 槽的承載部。
4. 如權(quán)利要彩戶誠的,載具，其特征在于該承載板的第一面上具有一個(gè)對應(yīng) 該彈扣件的第一凹部，以及一個(gè)對應(yīng)承載件的第二凹部。
5. 如權(quán)利要求4戶誠的鎌載具，其特征在于該擋板單元包括一片遮蓋該第一凹 部的第一擋板，以及一片皿承載板的第二凹部的第二擋板。
6. 如權(quán)利要求1所述的 載具，，征在于 載板的第一面上具有兩個(gè)分別 位在第一穿 L^右兩偵啲手伸凹緣。
7. 如權(quán)利要求1戶誠的M載具，其特征在于該承,還具有一個(gè)界定出一第二 穿孔的孔界定面，上述第二穿孔位在第一穿孔的下方，而該承載板的第一面具有一個(gè)位在第一穿 Lh緣處的第一凹部、 一個(gè)位在第一穿 L下緣處的第二凹部、一個(gè)位在第二穿孔的上緣處的第三凹部，以及兩個(gè)位在第二穿孔的下緣處的第 四凹部，又該基板載具還包括一個(gè)第二夾持單元，上述第二夾持單元包括一個(gè) 安裝在第三凹部內(nèi)的彈扣件，以及兩個(gè)安裝在第四凹部內(nèi)的承載件，而該擋板 單元包括一片遮蓋該第一凹部的第一擋板、 一片遮蓋第二及第三凹部的第二擋 板，以及一片遮蓋第四凹部的第三擋板。
8. 如權(quán)利要求1或7所述的基板載具，其f寺征在于該承載板還包括數(shù)個(gè)貫穿第一 面及第二面的辨識孔，又該基板載具還包括至少一個(gè)可組M拆卸地安裝在所 述辨識上的辨識件.
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種基板載具，可供數(shù)片基板架設(shè)，該基板載具包括一承載板，該承載板包括一第一面、一第二面，以及數(shù)個(gè)貫穿第一及第二面并界定出一穿孔的孔界定面；而該基板載具還包括數(shù)量和穿孔相同的夾持單元，以及一個(gè)安裝在承載板上并遮閉夾持單元的擋板單元，每個(gè)夾持單元都包括一安裝在承載板上并位在穿孔上緣處的彈扣件，以及一個(gè)安裝在承載板上并位在穿孔下緣處的承載件。借彈扣件及承載件來架設(shè)基板，可以讓基板在組裝及取下時(shí)更為方便，而借擋板單元設(shè)計(jì)，可以避免夾持單元沾附濺鍍材料后污染下一片載運(yùn)的基板，以確保基板的潔凈度。
文檔編號C23C14/50GK201186950SQ20082000610
公開日2009年1月28日 申請日期2008年2月3日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月3日
發(fā)明者鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司