專利名稱：高真空連續(xù)鍍膜恒張力控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種帶材的巻繞裝置，特別是高真空連續(xù)鍍膜用卷繞恒張 力控制裝置。
背景技術(shù)：
在高真空環(huán)境下特殊功能鍍膜產(chǎn)品需要特定的鍍膜手段，如采用離子?xùn)|濺
射技術(shù)，可在低溫(<200°C)下準(zhǔn)確可控離子/原子到達(dá)比，易獲得多種不同組 分和結(jié)構(gòu)的合成膜，對所有襯底有好的結(jié)合力，有效地控制超微粒子的大小和 分布。同樣特殊功能鍍膜產(chǎn)品也需要特定的基體帶，如高分子材料、石墨纖維 布及金屬薄帶材等。由于不同張力基體帶在不同卷繞速度(0 300mm/min)的 連續(xù)鍍膜過程中，需保證達(dá)到無斜拉伸、平整度以及與膜層接觸面無損傷的要 求。目前公開的有采用磁粉離合器以及增設(shè)光電或無線電檢測的張力傳感軸等 實(shí)現(xiàn)自動(dòng)張力控制，均難以保證在高真空室容積利用率下，實(shí)現(xiàn)寬幅(幅寬 300mm以上)寬張力范圍基體帶、寬巻繞速度范圍鍍膜時(shí)的控制精度需要。如 專利號為01210382.9的"高真空卷繞鍍膜磁粉離合器自動(dòng)張力控制裝置"，由于 磁粉離合器靈敏度低，導(dǎo)致基體帶的張力在鍍膜過程中波動(dòng)較大，從而影響膜 層厚度均勻性；專利號為200420053932.4的"一種真空鍍膜基片等張力卷繞的 傳感裝置"，為避免檢測靈敏度受真空室內(nèi)其它部件的電磁干擾，必須對光電或 無線電檢測儀采用電磁屏蔽，造成真空室的容積加大而降低真空室容積利用率 以及內(nèi)部結(jié)構(gòu)趨于復(fù)雜并增加設(shè)備制造、使用、維護(hù)等成本，此外張力傳感輥 的位置偏移易造成薄膜粒子沉積角度的偏差，對于特殊功能鍍膜將影響膜層沉 積生長質(zhì)量。
目前，隨著技術(shù)的進(jìn)步，在某些領(lǐng)域，新型直流伺服電機(jī)控制器、PLC可 編程控制器、力矩傳感限制器等均得到成功應(yīng)用，這些產(chǎn)品在技術(shù)上已日趨成 熟，為目前的高真空連續(xù)鍍膜設(shè)備在寬張力范圍和寬卷繞速度范圍內(nèi)獲得恒張 力控制提供了必要技術(shù)條件。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種高真空連續(xù)鍍膜恒張力控制裝 置，它能使基體帶幅寬和張力范圍擴(kuò)大，并獲得卷繞恒張力控制，可提高真空 室容積利用率，降低設(shè)備制造、使用、維護(hù)等成本，并可節(jié)省能源。
解決本實(shí)用新型的技術(shù)問題所采用的方案是收/放卷軸及同軸向的隨動(dòng) 過渡軸固定于真空室內(nèi)的連接支撐裝置上，并對應(yīng)與真空室外安裝的力矩傳感 限制器、傳動(dòng)減速裝置和直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接；室外裝的PLC可編程控制器 與力矩傳感限制器和直流伺服電機(jī)電控連接。在收/放巻軸的兩側(cè)都設(shè)置有同
軸向的隨動(dòng)過渡軸，鍍膜基臺設(shè)置在兩收/放卷軸之間。
該裝置對稱置于真空鍍膜機(jī)鍍膜室上部，收/放卷軸及同軸向的隨動(dòng)過渡 軸固定于真空室內(nèi)的連接支撐裝置上，收/放卷軸、鍍膜基臺和隨動(dòng)過渡軸的 布置方式可滿足鍍制區(qū)內(nèi)基體帶的水平通過及平整度要求。由PLC可編程控制 器根據(jù)已寫入的程序輸出電脈沖以及力矩傳感器信號控制直流伺服電機(jī)和力矩 傳感限制器，實(shí)現(xiàn)同向異角速度轉(zhuǎn)動(dòng)，形成基體帶巻繞過程中設(shè)定速度下設(shè)定 張力的恒定控制。
本實(shí)用新型的有益效果是
該裝置釆用放卷軸、收卷軸、隨動(dòng)過渡軸、連接支撐裝置、傳動(dòng)減速裝置、
力矩傳感限制器、直流伺服電機(jī)、PLC可編程控制器等電控裝置實(shí)現(xiàn)基體帶卷 繞過程中設(shè)定速度下設(shè)定張力的恒定控制，基體帶水平性及平整度易保持，無 斜拉伸現(xiàn)象，與膜層接觸面無損傷，基體帶無運(yùn)動(dòng)方向沖擊振動(dòng)現(xiàn)象，可以有 效地提高卷繞基體帶的卷取質(zhì)量；傳動(dòng)減速裝置、力矩傳感限制器、直流伺服 電機(jī)、PLC可編程控制器等置于真空室外部，提高了現(xiàn)有高真空鍍膜設(shè)備真空 室容積利用率，實(shí)現(xiàn)特殊鍍膜產(chǎn)品300mm以上寬幅寬張力范圍基體帶、寬速度 范圍卷繞恒張力的要求，降低設(shè)備制造、使用、維護(hù)等成本，并可節(jié)省能源。

圖l為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中各標(biāo)號依次表示PLC可編程控制器1、直流伺服電機(jī)2和2'、力矩 傳感限制器3和3'、傳動(dòng)減速裝置4和4，、連接支撐裝置5、收/放卷軸61和 61，、隨動(dòng)過渡軸62和62'，鍍膜基臺7、真空鍍膜室室壁8、力矩傳感器信號9、 真空鍍膜室10、輸出電脈沖11。
具體實(shí)施方式
參見圖l，本卷繞恒張力控制裝置對稱置于真空鍍膜機(jī)鍍膜室上部。收/放 卷軸(61、 61，)及隨動(dòng)過渡軸(62、 62，)位于真空鍍膜室(10)中，固定于連 接支撐裝置(5)上，收/放卷軸(61、 61，)位于鍍膜基臺(7)兩側(cè)，隨動(dòng)過 渡軸(62、 62，)與收/放卷軸(61、 61，)同軸向，分別位于收/放卷軸(61、 61，)與鍍膜基臺(7)之間，以滿足鍍制區(qū)內(nèi)基體帶的水平通過及平整度要求。 由PLC可編程控制器(1)控制的直流伺服電機(jī)(2、 2，)與傳動(dòng)減速裝置(4、 4，) 驅(qū)動(dòng)連接，并置于真空鍍膜室(10)外部，傳動(dòng)減速裝置(4、 4，)驅(qū)動(dòng)連接裝 于支撐裝置(5)上的收/放卷軸(61、 61，)實(shí)現(xiàn)同步正逆雙向轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng) 基體帶同步正逆雙向運(yùn)動(dòng)。PLC可編程控制器(1)根據(jù)已寫入的程序以及力矩 傳感器信號(9),輸出電脈沖(11)分別控制力矩傳感限制器(3、 3')和直流伺 服電機(jī)(2、 2，)，通過傳動(dòng)減速裝置(4、 4，)驅(qū)動(dòng)收/放卷軸(61、 61，)實(shí)現(xiàn) 同向異角速度轉(zhuǎn)動(dòng)，形成基體帶卷繞過程中設(shè)定速度下設(shè)定張力的恒定控制。
權(quán)利要求1、一種高真空連續(xù)鍍膜恒張力控制裝置，其特征是收/放卷軸及同軸向的隨動(dòng)過渡軸固定于真空室內(nèi)的連接支撐裝置上，并對應(yīng)與真空室外安裝的力矩傳感限制器、傳動(dòng)減速裝置和直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接；室外裝的PLC可編程控制器與力矩傳感限制器和直流伺服電機(jī)電控連接。
2、 按權(quán)利要求l所述的高真空連續(xù)鍍膜恒張力控制裝置，其特征是隨動(dòng) 過渡軸設(shè)置在收/放卷軸的兩側(cè)，鍍膜基臺設(shè)置在兩收/放巻軸之間。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種帶材的卷繞裝置，特別是高真空連續(xù)鍍膜用卷繞恒張力控制裝置。本裝置的收/放卷軸及同軸向的隨動(dòng)過渡軸固定于真空室內(nèi)的連接支撐裝置上，并對應(yīng)與真空室外安裝的力矩傳感限制器、傳動(dòng)減速裝置和直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接；室外裝的PLC可編程控制器與力矩傳感限制器和直流伺服電機(jī)電控連接。本裝置結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)省能源，真空室容積利用率高，適應(yīng)帶材范圍廣，可實(shí)現(xiàn)不同卷繞速度及張力情況下，基體帶無斜拉伸及平整度好，并可提高設(shè)備利用率。
文檔編號C23C14/24GK201212058SQ200820081208
公開日2009年3月25日 申請日期2008年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月16日
發(fā)明者濱 楊 申請人:昆明理工大學(xué)