專利名稱：多種化學品藥液分離、重復使用裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型是應用于半導體制程中刻蝕部^H十對多種化學藥液再回收利用的 技術，具體為一種多種化學品藥液分離、重復使用裝置。
背景技術：
以槽式刻蝕為代表的傳統(tǒng)濕法刻蝕，刻蝕精度很難控制，由于溶劑微粒的沾 污而導致高的缺陷水平，不能用于大直徑小特征的晶圓加工。而單片刻蝕可以避 免溶劑微粒的沾污，卻會產生大量的化學廢液，在化學品回收利用方面是個空白。

實用新型內容
為實現(xiàn)化學品的重復使用，本實用新型的目的在于提供一種多種化學品藥液 分離、重復使用裝置，可將多種化學藥液分離，再將回收的化學藥液配比成可重 復使用的濃度，實現(xiàn)再利用，該技術可大大減少刻蝕過程中化學藥液的浪費。
本實用新型的技術方案是
一種多種化學品藥液分離、重復使用裝置，該裝置主要設有藥液杯、旋轉馬 達、導向電機、回收液罐、再生液罐，導向電機與一段管路連接，管路上端與藥 液杯連通，管路下端通過導向電機旋轉不同的方向與下面的至少一個收集杯口中 心對應；回收液罐與再生液罐的一個入口通過管路相連，再生液罐的出口插設有 管路，該管路另一端至藥液杯上方，與晶片對應。
所述的多種化學品藥液分離、重復《M裝置，還包括配比液罐、補酸控制器, 再生液罐的另一入口通過管路與配比液罐相連，在該管路上裝有泵；補酸控制器 的輸入端通過傳感器置于回收液罐中，補酸控制器的輸出端連接所述的泵，控制 泵的開啟或關閉。
所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，在回收液罐與再生液罐的入口 相連的管路上安裝有泵。
所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，在再生液罐出口插設的管路上 安裝有泵。
3所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，在回收液罐與再生液罐的入口 相連的管路上安裝排污管，在該排污管上安裝排廢閥。
所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，收集杯為三個，第一個收集杯 與一個回收液罐連通，第二個收集杯與另一個回收液罐連通，第三個收集杯連接 排污管。
所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，藥液杯的內側設置旋轉馬達， 承片臺安裝于旋轉馬達的軸上，晶片放置在承片臺上。 本實用新型的有益效果是
1、 以槽式刻蝕為代表的傳統(tǒng)濕法刻蝕成品率低，而應用離心機旋轉的單片 刻蝕方式又導致大量化學品浪費，本實用新型裝置可實現(xiàn)化學藥液再利用。該裝
置主要設有承片臺(CHUCK)、旋轉馬達、回收化學藥液的藥液罐、補酸控制器、 化學藥液泵等。本實用新型通過設于藥液杯(CUP)的下部不同藥液的回收切換 裝置，使化學品根據顯影液歸于不同的回收容器化學藥液灌中。多種化學品的重 復使用，是通過化學品,M嘗控制器，檢測相應藥液的濃度來實現(xiàn)。
2、 本實用新型利用導向電機連接不同管路實現(xiàn)對化學藥液的分離，補酸控 制器的傳感器檢測藥液罐中的化學藥液，再通過兩個泵配比液罐中的藥液來調節(jié) 藥液濃度，再使用第三個泵來實現(xiàn)重復利用藥液的再次噴灑。


圖1為本實用新型結構示意圖。圖中，1、晶片；2、承片臺(CHUCK); 3、 藥液杯(CUP); 4、旋轉馬達；5、導向電機；6、補酸控制器；7、泵I; 8、泵 II; 9、泵III; 10、排廢閥;11、配比液罐；12、回收液罐B; 13、再生液罐；14、 回收液罐A; 15、收集杯；16、管路。
具體實施方式
如圖l所示，本實用新型多種化學品藥液分離、重復使用裝置主要包括晶 片1、承片臺(CHUCK) 2、藥液杯(CUP) 3、旋轉馬達4、導向電機5、補酸 控制器6、泵17、泵118、泵IH9、排廢閥IO、配比液罐ll、回收液罐B12、再 生液罐13、回收液罐A14等，具體結構如下
藥液杯3內側設置旋轉馬達4，承片臺2安裝于旋轉馬達4的軸上，晶片1 放置在承片臺2上。導向電機5與 一段管路16連通，管路16上端與藥液樹CUP) 3緊密相連，管路16下端通過導向電機5旋轉不同的方向與下面三個收集杯口中心對應；三個收集杯15之中，第一個收集杯與回收液罐B12連通，第二個收集 杯與回收液罐A14連通，第三個收集杯連接排污管；本實用新型中，第三個收集 杯連接排污管，其目的是用于排除工藝過程中，沒有回收價值的工藝液體，如 已污染的去離子水等。配比液罐11與再生液罐13的入口通過管路相連，在該管 路上裝有泵II8;回收液罐B12與再生液罐13的入口通過管路相連，在該管路上 裝有泵I7和排污管，在該排污管上安裝排廢閥10;再生液罐13的出口插設有 管路，該管路上安裝泵I119，該管路的另一端至藥液杯3上方，與晶片1對應。 補酸控制器6輸入端通過傳感器置于回收液罐B12中，傳感器將測量的液體濃度 值輸入至補酸控制器6，補酸控制器6的輸出端連接泵I18，控制泵II8的開啟或 關閉。本實用新型中，補酸控制器6為常規(guī)技術；
本實用新型中，回收液罐A14的作用是收集與回收液罐B12不同的藥液；這 樣，可以將回收液罐A14與再生液罐13的入口通過管路相連，在該管路上裝有 泵和排污管。此時，可以將補酸控制器的傳感器置于回收液罐A14中，傳感器將 測量的液體濃度值輸入至補酸控制器，通過配比液罐11向再生液罐13中補充藥 液。根據需要，還可以設置更多的回收液罐，實現(xiàn)多種化學品藥液的分離和重復 艦
本實用新型的工作過程如下
藥液杯3內側設置的旋轉馬達4，帶動承片臺2上安裝的晶片1旋轉，藥液 于上方噴至晶片1，進行藥液的涂敷。導向電機5帶動可旋轉管路16,管路16 上端連接藥液杯3的底部開口，管路下端通過導向電機5旋轉不同的方向可與下 面三個收集杯15 口中心對應，藥液杯3收集的化學品藥液通過管路輸入到收集杯 15中。收集杯口直徑比管路16直徑略大，可有效的防止液體濺出?；厥找汗轇12 是個中轉裝置，補酸控制器6測量回收液罐B12里面的液體濃度，泵I7把回收 液罐B12的液體打入再生液罐13,與泵II8連接的補酸控制器6通過換算控制泵 118把配比液罐11中的液體打入再生液罐13中，此時再生液罐13已經是可重復 使用的化學藥品了。最后，通過泵III9把再生液罐13中的化學藥品噴灑到晶片1 上，實現(xiàn)回收再利用，廢棄化學藥品通過排廢閥10控制排出。
權利要求1、一種多種化學品藥液分離、重復使用裝置，其特征在于該裝置主要設有藥液杯、旋轉馬達、導向電機、回收液罐、再生液罐，導向電機與一段管路連接，管路上端與藥液杯連通，管路下端通過導向電機旋轉不同的方向與下面的至少一個收集杯口中心對應；回收液罐與再生液罐的一個入口通過管路相連，再生液罐的出口插設有管路，該管路另一端至藥液杯上方，與晶片對應。
2、 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，其特征在于: 還包括配比液罐、補酸控制器，再生液罐的另一入口通過管路與配比液罐相連， 在該管路上裝有泵；補酸控制器的輸入端通過傳感器置于回收液罐中，補酸控制 器的輸出端連接所述的泵，控制泵的開啟或關閉。
3、 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，其特征在于: 在回收液罐與再生液罐的入口相連的管路上安裝有泵。
4、 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，其特征在于: 在再生液罐出口插設的管路上安裝有泵。
5、 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，其特征在于: 在回收液罐與再生液罐的入口相連的管路上安裝排污管，在該排污管上安裝排廢 閥。
6、 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，其特征在于: 收集杯為三個，第一個收集杯與一個回收液罐連通，第二個收集杯與另一個回收 液罐連通，第三個收集杯連接排污管。
7、 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重復使用裝置，其特征在于: 藥液杯的內側設置旋轉馬達，承片臺安裝于旋轉馬達的軸上，晶片放置在承片臺 上。
專利摘要本實用新型是應用于半導體制程中刻蝕部分針對多種化學藥液再回收利用的技術，具體為一種多種化學品藥液分離、重復使用裝置，可將多種化學藥液分離，再將回收的化學藥液配比成可重復使用的濃度，實現(xiàn)再利用，該技術可大大減少刻蝕過程中化學藥液的浪費。該裝置主要設有藥液杯、旋轉馬達、導向電機、回收液罐、再生液罐，導向電機與一段管路連接，管路上端與藥液杯連通，管路下端通過導向電機旋轉不同的方向與下面的至少一個收集杯口中心對應；回收液罐與再生液罐的入口通過管路相連，再生液罐的出口插設有管路，該管路另一端至藥液杯上方，與晶片對應。本實用新型通過不同藥液的回收切換裝置，使化學品根據顯影液歸于不同的回收容器化學藥液灌中。
文檔編號C23F1/46GK201330281SQ200820232008
公開日2009年10月21日 申請日期2008年12月24日 優(yōu)先權日2008年12月24日
發(fā)明者孫東豐, 徐春旭 申請人:沈陽芯源微電子設備有限公司