專利名稱：濕式鍍膜系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鍍膜技術(shù)，尤其涉及一種濕式鍍膜系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，薄膜制備技術(shù)一般分為干式鍍膜與濕式鍍膜兩種方法。其中，濕式鍍膜工藝 具有制程設(shè)備簡單、便宜、沉積速率快、易控制沉積厚度及特性、制程溫度低、不受限于形狀 復(fù)雜之基板、適用于多樣性材料、更可將薄膜制備于軟性基材上等優(yōu)點。故，近年來濕式鍍 膜工藝已廣泛被用來沉積陶瓷、高分子、金屬等材料的鍍層。濕式鍍膜產(chǎn)生的已鍍膜的基板 一般需要進行退火工藝，即將已鍍膜的基板加熱至400 500°C并持續(xù)一段時間后，慢慢冷 卻，從而使該基板上的薄膜達到一定的性能。但是，將基板從鍍膜工藝到退火工藝的轉(zhuǎn)移過程中，由于該鍍膜基板暴露在空氣 中，容易造成該鍍膜基板剛鍍上的薄膜層被氧化。因此，該鍍膜基板鍍膜完成后，會造成該 鍍膜基板的薄膜層品質(zhì)不佳，從而造成鍍膜良率下降。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種能提升鍍膜良率的濕式鍍膜系統(tǒng)。一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其包括選擇性地相互連通的一個鍍膜室、一個退火室及一個 設(shè)置在該退火室上的腔門。該鍍膜室內(nèi)包括一個用于對至少一個待鍍膜基板進行鍍膜的濕 式鍍膜裝置及一個夾持手臂。該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動該濕式鍍膜裝置 在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動。該至少一個待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該 腔門在該退火室內(nèi)進行。該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對該濕式鍍膜裝置 產(chǎn)生的鍍膜基板進行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。與現(xiàn)有技術(shù)相比，所述濕式鍍膜系統(tǒng)，通過在相互連通的鍍膜室、退火室內(nèi)進行鍍 膜及加熱，從而可避免因該鍍膜基板在空氣中的移動而帶來的氧化問題，提升了鍍膜良率。


圖1為本發(fā)明一種實施方式提供的濕式鍍膜系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖3為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的另一種濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖4為圖3中沿IV-IV線的濕式鍍膜裝置的夾持單元的剖面示意圖。圖5為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的又一種濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖6為圖5中沿VI-VI線的濕式鍍膜裝置的剖面示意圖。圖7為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的再一種濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖8為圖7中沿VII-VII線的濕式鍍膜裝置的剖面示意圖。
具體實施例方式下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實施方式作進一步的詳細說明。請參閱圖1，為本發(fā)明一種實施方式提供的濕式鍍膜系統(tǒng)70，其包括相互連通的 一個鍍膜室71、一個退火室72、一個裝卸室73及一個設(shè)置在該裝卸室73上的腔門74。該鍍膜室71內(nèi)包括一個用于對至少一個待鍍膜基板101進行鍍膜的濕式鍍膜裝 置100及一個夾持手臂77。在本實施方式中，該夾持手臂77為機械手臂，其用于夾持該濕 式鍍膜裝置100并驅(qū)動該濕式鍍膜裝置100在鍍膜室71、退火室72及裝卸室73內(nèi)自由移 動。優(yōu)選地，該鍍膜室71與該退火室72之間、該退火室72與該裝卸室73之間均存在一個 自動門75。當該夾持手臂77移動至自動門75前時，該自動門75自動打開；當該夾持手臂 77遠離自動門75時，該自動門75自動關(guān)閉。該待鍍膜基板101通過在一定時間內(nèi)浸泡在 一待鍍液體102中以達到鍍膜目的。該待鍍液體102承載在一容器104中，且該待鍍液體 102 一般具有揮發(fā)性，當該鍍膜室71內(nèi)存在多種待鍍液體102時，其揮發(fā)的氣體會存在相 互干擾待鍍液體102的現(xiàn)象，使得待鍍液體102的純度不高，從而該待鍍膜基板101的鍍膜 品質(zhì)不佳。優(yōu)選地，該鍍膜室71還包括一個用于導(dǎo)入氮氣的進氣裝置710及一個用于導(dǎo)出 氣體的排氣裝置711。該進氣裝置710通入的氮氣不易發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，對鍍膜工藝沒有影 響。該排氣裝置711優(yōu)選為排氣泵，從而該排氣裝置711產(chǎn)生較大壓強，加速導(dǎo)走該鍍膜室 71內(nèi)的揮發(fā)氣體。為了便于該鍍膜室71內(nèi)的待鍍液體102的排放，該鍍膜室71還包括帶 有第一開關(guān)閥門7130的排液管713，該排液管713具有排液岔管7131，每個排液岔管7131 與對應(yīng)的容器104相通并利用第一開關(guān)閥門7130排放該多個容器104內(nèi)的待鍍液體102。 優(yōu)選地，每個排液岔管7131設(shè)置在對應(yīng)的容器104的底壁。再優(yōu)選地，該鍍膜室71內(nèi)還包 括與該排液管713對應(yīng)的進液管714，該進液管714帶有一個第二開關(guān)閥門7140并包括多 個進液岔管7141，每個進液岔管7141利用第二開關(guān)閥門7140將待鍍液體102注入到該多 個容器104內(nèi)。退火室72內(nèi)包括一個加熱裝置721，該加熱裝置721用于對該濕式鍍膜裝置100 鍍膜后的待鍍膜基板101進行加熱，使膜層表面的附著性增加。在本實施方式中，該加熱裝 置721對該已鍍膜的待鍍膜基板101加熱至400°C 500°C，并持續(xù)一段時間，然后停止加 熱，使該已鍍膜的待鍍膜基板101自然冷卻。優(yōu)選地，該加熱裝置721為電阻絲或加熱爐管。 優(yōu)選地，該退火室72內(nèi)還包括一個溫度傳感器723及一個與該溫度傳感器723電性連接的 控制器725，該溫度傳感器723用于檢測該加熱裝置721的溫度并將檢測結(jié)果傳送至該控制 器725，該控制器725用于根據(jù)該檢測結(jié)果實時控制該加熱裝置721進行加熱。該已鍍膜的待鍍膜基板101完成加熱后，由該夾持手臂77移動至裝卸室73內(nèi)，在 該裝卸室73內(nèi)自然冷卻?？梢岳斫?，該待鍍膜基板101的裝卸通過腔門74在該裝卸室73 內(nèi)進行。所述濕式鍍膜系統(tǒng)10，通過在相互連通的鍍膜室71、退火室72及裝卸室73內(nèi)進 行鍍膜及加熱，從而可避免該已鍍膜的待鍍膜基板101在空氣中的氧化問題，提升了鍍膜 良率。請結(jié)合圖2，為濕式鍍膜系統(tǒng)70中的一種濕式鍍膜裝置100包括分別用于夾持該 多個待鍍膜基板101的多個夾持單元11、一個本體12及用于連接該多個夾持單元11與該 本體12的多個連接體13。本體12包括一個頂壁121、多個首尾相接的側(cè)壁123及一個與該頂壁121相對的底壁125。該多個側(cè)壁123連接該頂壁121與該底壁125。每個夾持單元11均包括一個懸臂110及一個夾持件113。該懸臂110包括相對 的兩個端面IlOaUlOb及一個連接該兩個端面IlOaUlOb的側(cè)面110c。每個連接體13的 一端固接一懸臂110的側(cè)面110c，該連接體13的另一端固接該本體121的其中一個側(cè)壁 123。該夾持件113設(shè)置在該懸臂110遠離該本體12的端面IlOb上，該夾持件113用于夾 持該待鍍膜基板101，優(yōu)選地，該夾持件113為夾爪。在本實施方式中，該待鍍膜基板101的 數(shù)量為6個，該夾持單元11、該待鍍液體102、該容器104、該側(cè)壁123與該待鍍膜基板101 的數(shù)量一一對應(yīng)，可以理解，該待鍍膜基板101的數(shù)量可以更多或者更少。進一步，為了監(jiān)控該待鍍膜基板101進行鍍膜，濕式鍍膜裝置100還包括一個固接 在該懸臂110的另一個端面Ila上的監(jiān)控器15。該監(jiān)控器15用于監(jiān)控該待鍍膜基板101 進行鍍膜，如監(jiān)控該帶鍍膜基板101浸潤在該待鍍液體102中的深度、時間等鍍膜參數(shù)。當 該待鍍膜基板101達到最佳浸潤時間時，該監(jiān)控器15可發(fā)出報警動作以提示作業(yè)人員。在 本實施方式中，該監(jiān)控器15采用以下方式實現(xiàn)自動監(jiān)控功能。該夾持件113設(shè)置有一個與 該監(jiān)控器15電性連接的傳感器1131，該傳感器1131用于采集數(shù)據(jù)(如電壓值、電流值)， 并將數(shù)據(jù)傳輸至該監(jiān)控器15。當該夾持件113協(xié)同該傳感器1131進入該待鍍液體102中 時，該傳感器1131根據(jù)該待鍍液體102產(chǎn)生信號，并將該信號傳遞至該監(jiān)控器15。該監(jiān)控 器15根據(jù)該傳感器1131的信號，掌控該待鍍膜基板101浸潤在該待鍍液體102中的深度、 時間。該監(jiān)控器15與該傳感器1131通過導(dǎo)線(圖未示)電性連接，可以理解，該導(dǎo)線可以 埋藏在該夾持單元11內(nèi)。具體地，當該傳感器1131接觸到該待鍍液體102時，該傳感器 1131的電壓(也可以是電流)發(fā)生巨大變化，該監(jiān)控器15接收到該傳感器1131的電壓發(fā) 生巨大變化時，該監(jiān)控器15提示作業(yè)人員該待鍍膜基板101已以最佳的形式浸潤在該待 鍍液體102中，并且該監(jiān)控器15開始計時，當該監(jiān)控器15計算到該待鍍膜基板101在該待 鍍液體102中的最佳浸潤時間時，該監(jiān)控器15提示作業(yè)人員該待鍍膜基板101已在該待 鍍液體102中到達最佳浸潤時間。本實施方式提供的濕式鍍膜裝置100通過設(shè)置6個夾持單元11，以使該6個夾持 單元分別夾持6個帶鍍膜基板101，從而該濕式鍍膜裝置100能同時對該6個帶鍍膜基板 101進行鍍膜，使該濕式鍍膜裝置100具有高生產(chǎn)率。請一并參閱圖3及圖4，為濕式鍍膜系統(tǒng)70中的另一種濕式鍍膜裝置200，其與濕 式鍍膜裝置100的區(qū)別在于該濕式鍍膜裝置200的每個夾持單元21還包括一個傳動件 212，該傳動件212的一端連接該懸臂210，該傳動件212的另一端連接該夾持件213 ；該懸 臂210為中空的且包括一個內(nèi)頂壁2101，該懸臂210的內(nèi)表面上開設(shè)有第一內(nèi)螺紋2108， 該傳動件212的外表面開設(shè)有與該第一內(nèi)螺紋2108相螺合的第一外螺紋2121，該懸臂210 與該傳動件212相螺合以使該傳動件212可被該懸臂210的第一內(nèi)螺紋2108導(dǎo)引移動；該 懸臂210內(nèi)的內(nèi)頂壁2101上設(shè)置有一個與該監(jiān)控器25電性連接并受該監(jiān)控器25控制的 馬達2100及一個與該內(nèi)頂壁2101垂直的轉(zhuǎn)軸2102，該傳動件212靠近該轉(zhuǎn)軸2102的一端 開設(shè)有一個用于收容該轉(zhuǎn)軸2102的凹槽2120，該轉(zhuǎn)軸2102 —端與該馬達2100固定，該轉(zhuǎn) 軸2102的另一端與該傳動件212相螺合并收容在該凹槽2120內(nèi)，該轉(zhuǎn)軸2102的外表面設(shè)置有第二外螺紋2104，該凹槽2120內(nèi)壁設(shè)置有與該第二外螺紋2104相螺合的第二內(nèi)螺紋 2122，且第一內(nèi)螺紋2108與第二內(nèi)螺紋2122同步；該監(jiān)控器25控制該馬達2100帶動該轉(zhuǎn)軸2102旋轉(zhuǎn)，以使該傳動件212的第一外螺紋2121與該懸臂210的第一內(nèi)螺紋2108相配 合，從而使該轉(zhuǎn)軸2102的第二外螺紋2104與該傳動件212的第二內(nèi)螺紋2122相螺合，進 而使該傳動件212在該懸臂210內(nèi)自由伸縮。由于該傳動件212能在該懸臂210內(nèi)自由伸縮，故，該傳動件212帶動該夾持件 213協(xié)同該帶鍍膜基板101可被該懸臂210導(dǎo)引移動。因此，該監(jiān)控器25監(jiān)控到該待鍍膜 基板101的最佳浸潤深度時，該監(jiān)控器25控制該馬達2100停止轉(zhuǎn)動；該監(jiān)控器25監(jiān)控到 該待鍍膜基板101的最佳浸潤時間時，控制該馬達2100帶動該傳動件212以使該帶鍍膜基 板101從待鍍液體102中拉出?？梢岳斫猓?qū)動該傳動件212被該懸臂210的內(nèi)螺紋2108 導(dǎo)引移動的方式不局限于本實施方式中的馬達200。與該濕式鍍膜裝置100相比，該濕式鍍 膜裝置200除具有該濕式鍍膜裝置100的有益效果之外，該濕式鍍膜裝置200還能自動將 該待鍍膜基板101進行浸入或拉出待鍍液體102中，實現(xiàn)該濕式鍍膜裝置200的智能控制， 降低作業(yè)人員的勞動強度。請一并參閱圖5及圖6，為濕式鍍膜系統(tǒng)70的又一種濕式鍍膜裝置300，其與濕式 鍍膜裝置100的區(qū)別在于該濕式鍍膜裝置300的本體32、連接體33及懸臂310均為中空 的，且該本體32、該連接體33及該懸臂310相互連通；該本體32的頂壁321開設(shè)有一個入 風口 3210，該懸臂310的端面310b開設(shè)有與該入風口 3210相通的多個出風口 311 ；該監(jiān)控 器35還用于監(jiān)控該待鍍膜基板101的烘烤溫度、烘烤時間等參數(shù)。優(yōu)選地，在該入風口 3210設(shè)置一個吹風機36，該監(jiān)控器35與該吹風機36電性連 接并控制該吹風機36的運轉(zhuǎn)。當該待鍍膜基板101從該待鍍液體102撤離時，該監(jiān)控器35 控制該吹風機36往該入風口 3210進風，以使殘留在該待鍍膜基板101上的待鍍液體102 迅速發(fā)揮。優(yōu)選地，從該入風口 3210進的風為氮氣，由于該氮氣不會影響該待鍍膜基板101 及該待鍍液體102的組成成分，因此，該待鍍膜基板101的鍍膜質(zhì)量不會受到影響。該監(jiān)控 器35監(jiān)控到該待鍍膜基板101達到最佳烘烤溫度以及最佳烘烤時間時，該監(jiān)控器35控制 該吹風機36停止運轉(zhuǎn)。與該濕式鍍膜裝置100相比，該濕式鍍膜裝置300除具有該濕式鍍 膜裝置100的有益效果之外，該濕式鍍膜裝置300通過經(jīng)由該入風口 3210進熱風，將該熱 風從該多個出風口 311吹出，從而將殘留在該待鍍膜基板101上的待鍍液體102迅速發(fā)揮。 因此，該已鍍膜的基板在轉(zhuǎn)移的過程中，由于避免在空氣中暴露，從而不會受到空氣的腐蝕 或氧化，使得該已鍍膜的基板的鍍膜品質(zhì)較佳。請一并參閱圖7至圖8，為濕式鍍膜系統(tǒng)70的再一種濕式鍍膜裝置400，其與濕式 鍍膜裝置200的區(qū)別在于該濕式鍍膜裝置400的本體42及連接體43均為中空的，且該本 體42、該連接體43及該懸臂410相互連通；該本體42的頂壁421開設(shè)有一個入風口 4210， 該懸臂410的端面410b開設(shè)有與該入風口 4210相通的多個出風口 411 ；該監(jiān)控器45還用 于監(jiān)控該待鍍膜基板101的烘烤溫度、烘烤時間等參數(shù)。優(yōu)選地，在該入風口 4210設(shè)置一個吹風機46，該監(jiān)控器45與該吹風機46電性連 接并控制該吹風機46的運轉(zhuǎn)。當該待鍍膜基板101從該待鍍液體102撤離時，該監(jiān)控器45 控制該吹風機往該入風口 4210進風，以使殘留在該待鍍膜基板101上的待鍍液體102迅速 發(fā)揮。優(yōu)選地，從該入風口 3210進的風為氮氣，由于該氮氣不會影響該待鍍膜基板101及 該待鍍液體102的組成成分，因此，該待鍍膜基板101的鍍膜質(zhì)量不會受到影響。該監(jiān)控器 45監(jiān)控到該待鍍膜基板101達到最佳烘烤溫度以及最佳烘烤時間時，該監(jiān)控器45控制該吹風機46停止運轉(zhuǎn)。與該濕式鍍膜裝置100相比，該濕式鍍膜裝置400除具有該濕式鍍膜裝 置200的有益效果之外，該濕式鍍膜裝置400通過經(jīng)由該入風口 4210進熱風，將該熱風從 該多個出風口 411吹出，從而將殘留在該待鍍膜基板101上的待鍍液體102迅速發(fā)揮。因 此，該已鍍膜的基板101在轉(zhuǎn)移的過程中，由于避免在空氣中暴露，從而不會受到空氣的腐 蝕或氧化，使得該已鍍膜的基板101的品質(zhì)較佳。 雖然本發(fā)明已以較佳實施方式披露如上，但是，其并非用以限定本發(fā)明，另外，本 領(lǐng)域技術(shù)人員還可以在本發(fā)明精神內(nèi)做其它變化等。當然，這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變 化，都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，其包括選擇性地相互連通的一個鍍膜室、一個退火室及一個設(shè)置在該退火室上的腔門，該鍍膜室內(nèi)包括用于對至少一個待鍍膜基板進行鍍膜的一個濕式鍍膜裝置及一個夾持手臂，該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動該濕式鍍膜裝置在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動，該至少一個待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該腔門在該退火室內(nèi)進行，該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對該濕式鍍膜裝置產(chǎn)生的鍍膜基板進行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。
2.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該濕式鍍膜系統(tǒng)還包括一個與該 退火室選擇性連通的裝卸室，該夾持手臂還用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動該濕式鍍膜裝 置在裝卸室內(nèi)自由移動，該腔門設(shè)置在該裝卸室上，該待鍍膜基板的裝卸通過該腔門在該 裝卸室內(nèi)進行。
3.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室內(nèi)還包括一個用于導(dǎo)入 氮氣的進氣裝置及一個用于導(dǎo)出氣體的排氣裝置。
4.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室內(nèi)還包括承載有待鍍液 體的多個容器及帶有第一開關(guān)閥門的排液管，該待鍍液體用于對該待鍍膜基板進行鍍膜， 該排液管包括多個排液岔管，每個排液岔管與對應(yīng)的容器相通并利用該第一開關(guān)閥門排放 該多個容器內(nèi)的待鍍液體。
5.如權(quán)利要求4所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室內(nèi)還包括帶有第二開關(guān) 閥門的進液管，該進液管包括多個進液岔管，每個進液岔管利用該第二開關(guān)閥門將待鍍液 體注入到該多個容器內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該退火室內(nèi)還包括一個溫度傳感 器及一個與該溫度傳感器電性連接的控制器，該溫度傳感器用于檢測該加熱裝置的溫度并 將檢測結(jié)果傳送至該控制器，該控制器用于根據(jù)該檢測結(jié)果實時控制該加熱裝置進行加 熱。
7.如權(quán)利要求2所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室與該退火室之間、及該退 火室與該裝卸室之間均存在一個自動門，以使該夾持手臂驅(qū)動該濕式鍍膜裝置在鍍膜室、 退火室及裝卸室內(nèi)自由移動。
8.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該濕式鍍膜裝置包括分別用于夾 持多個待鍍膜基板的多個夾持單元、本體及用于連接該多個夾持單元與該本體的多個連接 體，每個夾持單元包括懸臂及用于夾持該待鍍膜基板的夾持件，該懸臂包括相對的兩個端 面及連接該兩個端面的側(cè)面，該連接體與該側(cè)面固接，該夾持件固接在懸臂的其中一個端 面上。
9.如權(quán)利要求8所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該濕式鍍膜裝置還包括多個監(jiān)控 器，每個監(jiān)控器固接在每個夾持單元的懸臂的另一個端面上，該監(jiān)控器用于監(jiān)控該待鍍膜 基板進行鍍膜。
10.如權(quán)利要求8所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該本體、該連接體及該懸臂均為 中空的，且該本體、該連接體及該懸臂相互連通，該本體包括一個入風口，該懸臂包括與該 入風口相通的多個出風口，該多個出風口開設(shè)在該懸臂設(shè)置有該夾持件的端面上。
11.如權(quán)利要求9所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，每個夾持單元還包括一個傳動 件，該傳動件的一端連接該懸臂，該傳動件的另一端連接該夾持件，該懸臂為中空的，該懸臂的內(nèi)表面具有第一內(nèi)螺紋，該傳動件的外表面具有與該第一內(nèi)螺紋相螺合的第一外螺 紋，該懸臂與該傳動件相螺合以使該連傳動件可被該懸臂的第一內(nèi)螺紋導(dǎo)引移動。
12.如權(quán)利要求11所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該本體及該連接體均為中空的， 且該本體、該連接體及該懸臂相互連通，該本體包括一個入風口，該懸臂包括與該入風口相 通的多個出風口，該多個出風口開設(shè)在該懸臂設(shè)置有該傳動件的端面上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其包括選擇性地相互連通的一個鍍膜室、一個退火室及一個設(shè)置在該退火室上的腔門。該鍍膜室內(nèi)包括一個用于對至少一個待鍍膜基板進行鍍膜的濕式鍍膜裝置及一個夾持手臂。該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動該濕式鍍膜裝置在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動。該至少一個待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該腔門在該退火室內(nèi)進行。該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對該濕式鍍膜裝置產(chǎn)生的鍍膜基板進行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。該濕式鍍膜系統(tǒng)，通過在相互連通的鍍膜室、退火室內(nèi)進行鍍膜及加熱，從而可避免因該鍍膜基板在空氣中的移動而帶來的氧化問題，提升了鍍膜良率。
文檔編號C23C22/00GK101988193SQ200910305218
公開日2011年3月23日 申請日期2009年8月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月5日
發(fā)明者裴紹凱, 黃建豪 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司