專(zhuān)利名稱(chēng)：石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及芯片制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種裝載芯片用的石英舟的基準(zhǔn)面修復(fù)
方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，需要將半導(dǎo)體芯片放入熱處理設(shè)備中進(jìn)行處理。這就需要一種 裝載半導(dǎo)體芯片的石英舟，將半導(dǎo)體芯片放在石英舟上，再放入熱處理爐進(jìn)行處理。石英 舟在長(zhǎng)時(shí)候使用后，由于不可避免的磨損和熱處理時(shí)的變形使石英舟的基準(zhǔn)面出現(xiàn)尺寸偏 差，從而導(dǎo)致生產(chǎn)的半導(dǎo)體芯片時(shí)常出現(xiàn)不合格的情況。因此，石英舟在使用一段時(shí)間后， 需要對(duì)石英舟的基準(zhǔn)面進(jìn)行加工?，F(xiàn)有的加工石英舟基準(zhǔn)的方法普遍采用火拋修復(fù)，石英 舟在火拋修復(fù)過(guò)程時(shí)常因高溫發(fā)生巻邊、變形、燒損的情況，而且火拋修復(fù)會(huì)產(chǎn)生大量CO、 S02等廢水廢氣，造成環(huán)境污染。此外，火拋修復(fù)方法工序繁瑣、效率低下，設(shè)備投入大，影響 了企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法。該方法避免了 修復(fù)過(guò)程中對(duì)石英舟的損傷，工作效率大大提高，同時(shí)該方法工序簡(jiǎn)單，無(wú)需大型設(shè)備的投 入，還能減輕對(duì)環(huán)境的污染，為企業(yè)取得了較好的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案如下石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法，該方法 將稀土磨料涂覆在羊毛氈上，通過(guò)此羊毛氈在石英舟基準(zhǔn)面上反復(fù)打磨，達(dá)到對(duì)石英舟基 準(zhǔn)面的修復(fù)。 上述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法中，所述的涂覆在羊毛氈上的稀土磨料為氧化鈰
前述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法中，所述的涂覆在羊毛氈上的氧化鈰為2800 3400目。 前述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法中，所述的涂覆在羊毛氈上的氧化鈰為3000 3200目。 前述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法中，所述的羊毛氈在石英舟基準(zhǔn)面上反復(fù)打磨， 是通過(guò)將羊毛氈固定在轉(zhuǎn)速為2500 3000r/min的輥筒上，將石英舟基準(zhǔn)面接觸輥筒，來(lái) 實(shí)現(xiàn)羊毛氈在石英舟基準(zhǔn)面上反復(fù)打磨。 前述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法中，所述的固定有羊毛氈的輥筒的轉(zhuǎn)速為300 500r/min。 前述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法中，所述的固定有羊毛氈的輥筒的直徑為400 500mm。 本發(fā)明的有益效果與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明通過(guò)將稀土磨料涂覆在羊毛氈上，通 過(guò)此羊毛氈在石英舟基準(zhǔn)面上反復(fù)打磨，達(dá)到對(duì)石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)?，F(xiàn)有的石英舟基準(zhǔn) 面的修復(fù)方法采用火拋方法，在修復(fù)石英舟的過(guò)程中易使石英舟發(fā)生巻邊、變形等問(wèn)題，而本發(fā)明采用冷拋方法修復(fù)石英舟基準(zhǔn)面，無(wú)需進(jìn)行退火等工序，避免了原有火拋修復(fù)法對(duì)
石英舟的損傷；現(xiàn)有的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法需要多個(gè)工作工序，完成一個(gè)石英舟的修
復(fù)平均需要約25個(gè)小時(shí)，而采用本發(fā)明則只需10 15分鐘，大大提高了工作效率，同時(shí)該
方法工序簡(jiǎn)單，無(wú)需大型設(shè)備的投入，為企業(yè)取得了明顯的經(jīng)濟(jì)效益；火拋不僅會(huì)向大氣排
放大量C0、S(^等廢氣，而且其產(chǎn)生的廢水、廢渣也是困擾企業(yè)的難題，而本發(fā)明大大減輕了
對(duì)環(huán)境的污染，亦為企業(yè)取得了良好的社會(huì)效益。 下面結(jié)合具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施例。石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法，該方法將稀土磨料涂覆在羊毛氈上，稀土磨料采用3000 3200目氧化鈰，羊毛氈為普通打磨石英玻璃用的羊毛氈，氧化鈰可從市場(chǎng)直接購(gòu)得，再將羊毛氈?jǐn)傞_(kāi)固定在輥筒上，輥筒是直徑為400 500mm的普通金屬輥筒，輥筒通過(guò)2800r/min的電機(jī)驅(qū)動(dòng)，輥筒的轉(zhuǎn)速為400r/min，將待處理的石英舟基準(zhǔn)面人工緩慢接觸輥筒，通過(guò)輥筒上羊毛氈在石英舟基準(zhǔn)面上反復(fù)打磨，達(dá)到對(duì)石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)。本發(fā)明也已經(jīng)應(yīng)用于制作石英舟基準(zhǔn)面。 本發(fā)明的實(shí)施方式不限于上述實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明宗旨的前提下做出的各種變化均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法，其特征在于將稀土磨料涂覆在羊毛氈上，通過(guò)此羊毛氈在石英舟基準(zhǔn)面上反復(fù)打磨，達(dá)到對(duì)石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法，其特征在于所述的涂覆在羊毛氈上的稀土磨料為氧化鈰http:〃baike. baidu. com/view/925270. html。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法，其特征在于所述的涂覆在羊毛 氈上的氧化鈰為2800 3400目。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法，其特征在于所述的涂覆在羊毛 氈上的氧化鈰為3000 3200目。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法，其特征在于所述的 羊毛氈在石英舟基準(zhǔn)面上反復(fù)打磨，是通過(guò)將羊毛氈固定在轉(zhuǎn)速為2500 3000r/min的輥 筒上，將石英舟基準(zhǔn)面接觸輥筒，來(lái)實(shí)現(xiàn)羊毛氈在石英舟基準(zhǔn)面上反復(fù)打磨。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法，其特征在于所述的固定有羊毛 氈的輥筒的轉(zhuǎn)速為300 500r/min。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法，其特征在于所述的固定有羊毛 氈的輥筒的直徑為400 500mm。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)方法。該方法將稀土磨料涂覆在羊毛氈上，通過(guò)此羊毛氈在石英舟基準(zhǔn)面上反復(fù)打磨，達(dá)到對(duì)石英舟基準(zhǔn)面的修復(fù)。該方法避免了修復(fù)過(guò)程中對(duì)石英舟的損傷，工作效率大大提高，同時(shí)該方法工序簡(jiǎn)單，無(wú)需大型設(shè)備的投入，還能減輕對(duì)環(huán)境的污染，為企業(yè)取得了較好的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。
文檔編號(hào)B24B15/00GK101698286SQ20091030965
公開(kāi)日2010年4月28日 申請(qǐng)日期2009年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月13日
發(fā)明者張彩根 申請(qǐng)人:張彩根