專利名稱：一種數(shù)控多晶硅端面磨床的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及數(shù)控機(jī)床自動化領(lǐng)域，具體為一種數(shù)控多晶硅端面磨床。
背景技術(shù)：
多晶硅的表面要求很高，經(jīng)過磨削可以提高硅片的加工成品率，而現(xiàn)有的多晶硅磨床在磨削中，金剛石砂輪的外圓面為磨削面，磨削時，金剛石砂輪外圓面磨削硅片的外端 面，在磨削過程中，其磨削效率低、磨削精度低，導(dǎo)致多晶硅成品質(zhì)量下降、加工成品率低。

發(fā)明內(nèi)容針對上述問題，本實(shí)用新型提供了一種數(shù)控多晶硅端面磨床，其磨削效率高，磨削 精度高，成品質(zhì)量得到提高。其技術(shù)方案是這樣的其包括床身、工作臺、底座，所述工作臺安裝于所述床身的 前部的滑動導(dǎo)軌上，所述工作臺通過伺服電機(jī)、滾珠絲杠作橫向向往復(fù)運(yùn)動，所述底座安裝 于所述床身后部，進(jìn)給拖板通過直線導(dǎo)軌安裝在所述底座上，所述進(jìn)給拖板通過伺服電機(jī)、 滾珠絲杠作縱向進(jìn)給運(yùn)動，所述進(jìn)給拖板上安裝有砂輪架、金剛石砂輪、砂輪電機(jī)，金剛石 砂粒位于所述金剛石砂輪外端面，所述金剛石砂輪套裝于金剛石砂輪主軸的輸出端上，所 述工作臺上安裝有壓緊裝置，其特征在于所述金剛石砂輪外端面與壓緊裝置上的工件的 的端面相平行。其進(jìn)一步特征在于所述壓緊裝置包括兩側(cè)支架、頂板、底板、底座板、側(cè)座板、壓塊 和側(cè)壓塊和壓緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述底板安裝于所述工作臺上，所述底板中部緊固連接有底座板， 所述兩側(cè)支架分別安裝于底板的兩側(cè)，頂板連接所述兩側(cè)支架的頂部，所述底板的一側(cè)通過 側(cè)擋板緊固連接有側(cè)座板，所述壓緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)具體為頂部氣缸和側(cè)部氣缸，所述頂部氣缸支 承于頂板，所述頂部氣缸的氣缸頂桿連接位于頂板下部的壓塊，位于所述底板另一側(cè)的側(cè)部 氣缸支承于側(cè)支架，所述側(cè)部氣缸的氣缸頂桿連接位于兩側(cè)支架中間的側(cè)壓塊。本實(shí)用新型的上述結(jié)構(gòu)中，由于所述金剛石砂輪外端面與壓緊裝置上的工件的的 端面相平行，調(diào)節(jié)進(jìn)給拖板的橫向進(jìn)給量，使金剛石砂輪外端面與壓緊裝置上的工件的一 端端面接觸，開動砂輪電機(jī)帶動金剛石砂輪轉(zhuǎn)動，從而完成對多晶硅端面的磨削，其多晶硅 端面經(jīng)過磨削后可以提高多晶硅片的加工成品率。

圖1為本實(shí)用新型主視圖示意圖；圖2為本實(shí)用新型主視圖的上視圖；圖3為本實(shí)用新型主視圖K向放大圖。
具體實(shí)施方式
見圖1、圖2、圖3，其包括床身1、工作臺2、底座3，工作臺2安裝于床身1的前部的滑動導(dǎo)軌4上，工作臺2通過伺服電機(jī)11、滾珠絲杠13作橫向向往復(fù)運(yùn)動，底座3安裝于 床身1后部，進(jìn)給拖板5通過直線導(dǎo)軌10安裝在底座3上，進(jìn)給拖板5通過伺服電機(jī)12、滾 珠絲杠作縱向進(jìn)給運(yùn)動，進(jìn)給拖板5上安裝有砂輪架6、金剛石砂輪7、砂輪電機(jī)15，金剛石 砂粒位于金剛石砂輪7外端面，金剛石砂輪7套裝于金剛石砂輪主軸8的輸出端上，工作臺 2上安裝有壓緊裝置9，金剛石砂輪7外端面與壓緊裝置9上的工件的的端面相平行。 壓緊裝置9包括左支架15、右支架16、頂板24、底板14、底座板17、側(cè)座板18、壓 塊19和側(cè)壓塊20和壓緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)，底板14安裝于工作臺2上，左支架15、右支架16分別 安裝于底板14的兩側(cè)，頂板24連接左支架15、右支架16的頂部，底板14中部緊固連接有 底座板17，底板14的右側(cè)通過側(cè)擋板21緊固連接有側(cè)座板18，壓緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)具體為頂部 氣缸22和側(cè)部氣缸23，頂部氣缸22支承于頂板24，頂部氣缸22的氣缸頂桿連接位于頂板 24下部的壓塊19，位于底板左側(cè)的側(cè)部氣缸23支承于左支架15，側(cè)部氣缸23的氣缸頂桿 連接位于左支架15、右支架16中間的側(cè)壓塊20。
權(quán)利要求一種數(shù)控多晶硅端面磨床，其包括床身、工作臺、底座，所述工作臺安裝于所述床身的前部的滑動導(dǎo)軌上，所述工作臺通過伺服電機(jī)、滾珠絲杠安裝于床身，所述底座安裝于所述床身后部，所述底座上安裝有直線導(dǎo)軌，所述進(jìn)給拖板安裝于所述直線導(dǎo)軌，所述進(jìn)給拖板連接滾珠絲杠，所述滾珠絲杠與伺服電機(jī)軸接，所述進(jìn)給拖板上安裝有砂輪架、金剛石砂輪、砂輪電機(jī)，金剛石砂粒位于所述金剛石砂輪外端面，所述金剛石砂輪套裝于金剛石砂輪主軸的輸出端上，所述工作臺上安裝有壓緊裝置，其特征在于所述金剛石砂輪外端面與壓緊裝置上的工件的的端面相平行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種數(shù)控多晶硅端面磨床，其特征在于所述壓緊裝置包括兩 側(cè)支架、頂板、底板、底座板、側(cè)座板、壓塊和側(cè)壓塊和壓緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述底板安裝于所述 工作臺上，所述底板中部緊固連接有底座板，所述兩側(cè)支架分別安裝于底板的兩側(cè)，頂板連 接所述兩側(cè)支架的頂部，所述底板的一側(cè)通過側(cè)擋板緊固連接有側(cè)座板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種數(shù)控多晶硅端面磨床，其特征在于所述壓緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)具 體為頂部氣缸和側(cè)部氣缸，所述頂部氣缸支承于頂板，所述頂部氣缸的氣缸頂桿連接位于 頂板下部的壓塊，位于所述底板另一側(cè)的側(cè)部氣缸支承于側(cè)支架，所述側(cè)部氣缸的氣缸頂 桿連接位于兩側(cè)支架中間的側(cè)壓塊。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種數(shù)控多晶硅端面磨床，其磨削效率高，磨削精度高，成品質(zhì)量得到提高。其包括床身、工作臺、底座，所述工作臺安裝于所述床身的前部的滑動導(dǎo)軌上，所述工作臺通過伺服電機(jī)、滾珠絲杠安裝于床身，所述底座安裝于所述床身后部，所述底座上安裝有直線導(dǎo)軌，所述進(jìn)給拖板安裝于所述直線導(dǎo)軌，所述進(jìn)給拖板連接滾珠絲杠，所述滾珠絲杠與伺服電機(jī)軸接，所述進(jìn)給拖板上安裝有砂輪架、金剛石砂輪、砂輪電機(jī)，金剛石砂粒位于所述金剛石砂輪外端面，所述金剛石砂輪套裝于金剛石砂輪主軸的輸出端上，所述工作臺上安裝有壓緊裝置，其特征在于所述金剛石砂輪外端面與壓緊裝置上的工件的的端面相平行。
文檔編號B24B7/16GK201559100SQ200920046409
公開日2010年8月25日 申請日期2009年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月9日
發(fā)明者楊建良 申請人:楊建良