專利名稱：旋轉(zhuǎn)式真空鎖的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種微電子加工設(shè)備，特別是一種真空室密封用的旋轉(zhuǎn)式 真空鎖。
背景技術(shù)：
在大多數(shù)微電子設(shè)備中，樣品從樣品室進(jìn)入反應(yīng)室，工藝完成后，再將樣 品從反應(yīng)室傳輸回樣品室，樣品在從樣品室進(jìn)出反應(yīng)室時(shí)反應(yīng)室應(yīng)當(dāng)保持在真 空狀態(tài)之下，不希望反應(yīng)室暴露在大氣中，需要在樣品室和反應(yīng)室之間用真空 鎖隔離，通過對(duì)真空鎖腔的充氣和放氣，完成樣品進(jìn)行工藝的傳輸過程。例如
申請(qǐng)?zhí)?00520142506，名稱為《真空鎖系統(tǒng)》的專利披露了一種真空鎖的構(gòu)造 轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)與動(dòng)力傳動(dòng)器通過螺釘安裝在側(cè)板的上端；下鏈輪通過鏈條與上鏈輪 連接；下鏈輪通過銷釘與偏心軸連接；轉(zhuǎn)動(dòng)軸承安裝在偏心軸的末端并推動(dòng)著 轉(zhuǎn)動(dòng)密封板繞著軸套座轉(zhuǎn)動(dòng)，直到轉(zhuǎn)動(dòng)密封板與真空鎖腔體的密封面緊緊的貼 在一起；偏心軸的另一個(gè)末端與回程定位塊連接，信號(hào)板與光電傳感器，差分 抽氣口設(shè)置在側(cè)板上，并與差分抽氣法蘭中間的預(yù)抽真空空間連通，該系統(tǒng)能 快速穩(wěn)定的建立靶室系統(tǒng)所必須的高真空環(huán)境，這樣很大程度上提高了單位時(shí) 間內(nèi)離子注入機(jī)的工作效率，并且很大程度上增加了抱軸密封的可靠性，提高 了真空鎖的穩(wěn)定性，減輕了真空鎖頻繁工作給高真空泵帶來的沖擊?，F(xiàn)有技術(shù) 中真空鎖在設(shè)計(jì)上存在一些不足，例如， 一般微電子設(shè)備中所用的晶片都是很薄的圓片，真空鎖的口徑應(yīng)當(dāng)與之適應(yīng)才能保證設(shè)備具有很好的使用效率，而 且在停機(jī)后不能很好保持密封，造成不能很好的發(fā)揮效益的欠缺。

實(shí)用新型內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)缺陷，本實(shí)用新型的目的在于提供一種旋轉(zhuǎn) 式真空鎖，它能夠適應(yīng)使用要求，倉門面積小、密封效果好。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型技術(shù)方案是
旋轉(zhuǎn)式真空鎖，擺動(dòng)氣缸12通過彈性連軸器10與旋轉(zhuǎn)軸8連接，旋轉(zhuǎn)軸 8與固定底座9樞接；壓力連桿7 —端與旋轉(zhuǎn)軸8固定連接，另一端通過球形萬
向壓頭6與閥門蓋板1連接；閥門蓋板1底面具有密封圈5。
閥門蓋板l為矩形，其通過壓蓋2連接到球形萬向壓頭6上。 壓力連桿7為2個(gè)或3個(gè)。
該旋轉(zhuǎn)式真空鎖在使用中，由于采用球形萬向壓頭施力，有效降低了閥門 與閥體相對(duì)加工及安裝精度；與所加工的晶片是很薄的圓片形狀相適應(yīng)，采用矩 型口徑，且可借助于樣品室與反應(yīng)室間大氣和真空間的壓力差用于密封，在相同 的漏率下，耗能少，并且在壓力產(chǎn)生裝置失壓時(shí)借助大氣壓力自動(dòng)產(chǎn)生密封力。


圖1為本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)式真空鎖主視圖。
圖2為本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)式真空鎖A-A剖視圖。
附圖中標(biāo)號(hào)-
l閥門蓋板.，2.壓蓋，3.真空室壁，4.真空室側(cè)壁，5.密封圈，6.球轉(zhuǎn)軸，9.固定底座，10.彈性連接器，11. 密封圈，12.擺動(dòng)氣缸。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合說明書附圖對(duì)本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)式真空鎖的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步 的說明。
如圖1中所示，本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)式真空鎖，擺動(dòng)氣缸12通過彈性連軸器 10與旋轉(zhuǎn)軸8連接，提供旋轉(zhuǎn)軸8的工作轉(zhuǎn)矩，彈性連接器10的軸穿過真空室 壁3， 二者之間具有密封圈11，彈性連軸器10可以緩沖擺動(dòng)氣缸12軸與旋轉(zhuǎn) 軸8之間的轉(zhuǎn)角差，旋轉(zhuǎn)軸8穿過固定底座9的軸孔，二者之間可轉(zhuǎn)動(dòng)，提供 打開和關(guān)閉閥門蓋板1的轉(zhuǎn)矩，固定底座9固定在真空室側(cè)壁4上；壓力連桿7 一端與旋轉(zhuǎn)軸8固定連接，另一端通過球形萬向壓頭6與閥門蓋板1連接，閥 門蓋板1通過壓蓋2連接到球形萬向壓頭6上，可以隨著旋轉(zhuǎn)軸8的轉(zhuǎn)動(dòng)打開 和閉合閥門蓋板l;閥門蓋板1底面具有密封圈5，使閥門蓋板l能夠在閉合時(shí) 與真空室側(cè)壁4之間形成密封，其中球形萬向壓頭6可以抵消閥門蓋板1與真 空室側(cè)壁4在閉合時(shí)的由于機(jī)械誤差可能產(chǎn)生的密封失效，可以降低零件加工 和裝配精度，降低了制造成本。壓力連桿7可以設(shè)置2個(gè)或3個(gè)，保持閥門蓋 板1受力平均。將真空鎖的口徑適應(yīng)晶片形狀設(shè)計(jì)成矩形，同時(shí)也將閥門蓋板1 設(shè)計(jì)為矩形，減小其面積，保證了密封性能，減少了能耗。
在圖2中，示出閥門蓋板1的兩個(gè)擺動(dòng)位置，以及與閥門蓋板相連的球形 萬向壓頭6和密封圈5，其中處于封閉狀態(tài)的時(shí)候，閥門蓋板1上的密封圈5 緊緊壓到真空室側(cè)壁4上。
權(quán)利要求1、一種旋轉(zhuǎn)式真空鎖，其特征是擺動(dòng)氣缸(12)通過彈性連軸器(10)與旋轉(zhuǎn)軸(8)連接，旋轉(zhuǎn)軸(8)與固定底座(9)樞接；壓力連桿(7)一端與旋轉(zhuǎn)軸(8)固定連接，另一端通過球形萬向壓頭(6)與閥門蓋板(1)連接；閥門蓋板(1)底面具有密封圈(5)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式真空鎖，其特征在于閥門蓋板(1)為矩形，其通過壓蓋(2)連接到球形萬向壓頭(6)上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式真空鎖，其特征在于壓力連桿(7)為2個(gè)或3個(gè)。
專利摘要一種旋轉(zhuǎn)式真空鎖，涉及微電子加工設(shè)備，其中擺動(dòng)氣缸(12)通過彈性連軸器(10)與旋轉(zhuǎn)軸(8)連接，旋轉(zhuǎn)軸(8)與固定底座(9)樞接；壓力連桿(7)一端與旋轉(zhuǎn)軸(8)固定連接，另一端通過球形萬向壓頭(6)與閥門蓋板(1)連接；閥門蓋板(1)底面具有密封圈(5)。閥門蓋板(1)為矩形，其通過壓蓋(2)連接到球形萬向壓頭(6)上。壓力連桿(7)為2個(gè)或3個(gè)?？s小了閥門體積，降低了閥門與閥體加工及安裝精度。用于真空室密封。
文檔編號(hào)C23C14/56GK201397808SQ20092010819
公開日2010年2月3日 申請(qǐng)日期2009年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月20日
發(fā)明者紅 林, 梁聚寶, 薛志杰 申請(qǐng)人:北京金盛微納科技有限公司