專利名稱：一種用掃描蒸鍍制膜設備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于一種用掃描蒸鍍制膜設備。
背景技術(shù)：
薄膜光伏電池，包括CIGS光伏電池可替代單晶硅材料用作太陽能發(fā)電，晶體硅材 料作為光伏發(fā)電材料價格昂貴，制作難度大，成本高，難以推廣使用。最新的科學顯示可以 用在玻璃或其他材料的基板上用電子槍蒸鍍方法鍍數(shù)層金屬和非金屬薄膜來替代晶體硅 材料用作太陽能發(fā)電，這種新材料價格低廉，利于推廣使用。用電子槍蒸鍍方法鍍數(shù)層金屬 薄膜在基板上，要求薄膜必須厚度均勻，但目前的設備難以達到這樣的要求。傳統(tǒng)的電子槍 蒸鍍設備包括一個真空腔體，真空腔體內(nèi)下端固定設置若干個電子槍，待鍍的基板置于電 子槍上端，完成電子槍蒸鍍制膜。這種傳統(tǒng)的設備不能保證基板上薄膜厚度的均勻，往往造 成靠近電子槍的基板上薄膜厚，反之，則薄。而薄膜厚度的不均勻使玻璃基板光電轉(zhuǎn)換率大 幅下降，質(zhì)量一致性差，難以在市場上推廣使用。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是設計一種用掃描蒸鍍制膜設備，使電子槍在移動狀態(tài)下進行 噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，質(zhì)量好，價格低，可大幅度提高基板光電轉(zhuǎn)換率，大幅延長其 使用壽命的優(yōu)點。 為此，本實用新型采用電子槍位于擺動裝置上，電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍。所 述的擺動裝置是掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描 支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T 字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤 下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、減速器、傳送 輪、傳送帶和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于掃 描支架內(nèi)，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過減 速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉(zhuǎn)動。 所述的擺動裝置是掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空 腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪；擺 盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)；傳動裝置，由傳動掃描支架的電機、 減速器、傳送輪、傳送帶所構(gòu)成，傳動掃描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃 描支架轉(zhuǎn)動。 所述的擺動裝置是掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空腔體內(nèi)其上設 有擺盤，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過密封波紋管軸接，掃描支架另一 端位于真空腔體外并與直線導軌滑配，位于真空腔體外的掃描支架側(cè)端與滾珠絲桿螺接； 擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤與掃描支架通過磁流體密 封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍。
3[0007] 所述的擺動裝置是掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空腔體內(nèi)其上設 有擺盤，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過密封波紋管軸接，掃描支架另一 端位于真空腔體外并與直線導軌滑配，位于真空腔體外的掃描支架側(cè)端與滾珠絲桿螺接； 擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤與掃描支架通過磁流體密 封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的 電機、電機輪、傳送帶、傳送輪、受傳送輪帶動的滾珠絲桿和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送 帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送 帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過電機輪、傳送帶、傳送輪和受傳送輪帶動的滾珠絲 桿帶動掃描支架左右移動。上述結(jié)構(gòu)設計達到了本實用新型的目的。 本實用新型的優(yōu)點使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，質(zhì)量 好，價格低，可大幅度提高基板光電轉(zhuǎn)換率，經(jīng)本實用新型蒸鍍的基板光電轉(zhuǎn)換率較高，并 大幅延長其使用壽命，利于在市場上推廣使用。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖 圖2是圖1的A-A剖面局部結(jié)構(gòu)示意圖 圖3是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖 圖4是圖3的A-A剖面局部結(jié)構(gòu)示意圖 圖5是本實用新型的使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖 圖6是本實用新型的另一實施例結(jié)構(gòu)示意圖
具體實施方案 如圖1至圖6所示，一種用掃描蒸鍍制膜設備，主要由多個電子槍7，機架1和真空
腔體2所組成。電子槍位于擺動裝置上，電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍。 如圖1和圖2所示，所述的擺動裝置由掃描支架、擺盤和傳動裝置構(gòu)成。該裝置為
掃描支架、擺盤均旋轉(zhuǎn)擺動。 掃描支架3，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描支架與 真空腔體之間通過磁流體16密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪13。掃描支架上端的 真空腔體內(nèi)設有加熱器9，用于保障真空腔體內(nèi)的蒸鍍溫度。位于真空腔體內(nèi)上端兩側(cè)的基 板框8，用于夾持基板10并受位于真空腔體外的輸送軸11傳動，輸送軸由電機帶動。 擺盤6，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤與掃描支架通過磁 流體12密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪15，擺盤上端設有電子槍。位于掃描支架的上 端兩側(cè)的擺盤為兩個擺盤，每個擺盤上設一個或數(shù)個電子槍。 傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機20、減速器19、傳送輪、傳送帶14和傳動擺盤 的電機5、傳送輪4和傳送帶。傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)。傳動擺 盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪15，每個擺盤下端各設一組傳動擺盤的裝置。傳 動掃描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉(zhuǎn)動。在真空腔體下端的支 架上還設有電子槍電源盒18，其內(nèi)的電子槍電源通過電子槍導線17與擺盤上的電子槍連 接。支架用于支撐真空腔體。[0020] 所述的電子槍的數(shù)量為一個或數(shù)個，電子槍位于擺盤上端。所述的擺盤呈正反 90° 180°范周內(nèi)轉(zhuǎn)動。所述的掃描支架呈正反90。 180°范周內(nèi)轉(zhuǎn)動。所述的位于 擺盤上的電子槍呈十字分布。 如圖3和圖4所示，該結(jié)構(gòu)與如圖1和圖2所示結(jié)構(gòu)不同的是在掃描支架的大帶 輪下端設有一個電刷滑環(huán)21，以方便各電子槍電源通過各電子槍導線與擺盤上的電子槍連 接。顯然在每個擺盤的擺盤輪下端亦可設有一個電刷滑環(huán)，以方便各電子槍電源通過各電 子槍導線與擺盤上的電子槍連接。這樣亦可使掃描支架和擺盤在任意范周內(nèi)轉(zhuǎn)動。其余結(jié) 構(gòu)相同，故不再累述。 如圖5所示，是本實用新型的使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖，在真空腔體內(nèi)，可根據(jù)需要在 掃描支架一端設一個擺盤裝置。 使用時，傳動裝置帶動掃描支架呈正反90。 180°范周內(nèi)轉(zhuǎn)動，同時使擺盤呈 正反90° 180°范周內(nèi)轉(zhuǎn)動，使其上的數(shù)個電子槍亦移動，電子槍在移動狀態(tài)下進行噴 鍍，保證了噴鍍膜的均勻性。 顯然，在上述實施例中掃描支架、擺盤均旋轉(zhuǎn)擺動。在上述實施例中可令掃描支架 擺動，而擺盤固定不轉(zhuǎn)；或反之。噴鍍膜的均勻性效果相同。 如掃描支架擺動，而擺盤固定不轉(zhuǎn)時，采用 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描支架與 真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪； 擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤固定在掃描支架的 上端兩側(cè)； 傳動裝置，由傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶所構(gòu)成，傳動掃描支架 的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉(zhuǎn)動。其余結(jié)構(gòu)相同，故不再累述。 亦可去掉擺盤裝置及相關(guān)的傳動裝置，多個電子槍直接固定在掃描支架兩端，擺 動的掃描支架配合移動的玻璃基板亦可達到噴鍍膜均勻的目的。故不再累述。 或如掃描支架固定不轉(zhuǎn)，而擺盤擺動時，采用 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描支架固 定在真空腔體內(nèi)； 擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤與掃描支架通過磁 流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍； 傳動裝置，由傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶所構(gòu)成，傳動擺盤的電機、傳送輪 和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪。其余結(jié)構(gòu)相 同，故不再累述。 如圖6所示，所述的擺動裝置還可以包括掃描支架、擺盤和傳動裝置。該裝置為橫 向左右擺動。 掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空腔體內(nèi)其上設有擺盤，位于真空腔 體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過密封波紋管28軸接。掃描支架另一端位于真空腔體 外并與直線導軌22滑配。位于真空腔體外的掃描支架側(cè)端與滾珠絲桿26螺接。 擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤與掃描支架通過 磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍。
5[0037] 傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機23、電機輪24、傳送帶25、傳送輪27、受傳送
輪帶動的滾珠絲桿和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶。傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶
位于掃描支架內(nèi)，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪。傳動掃描支架的電機
通過電機輪、傳送帶、傳送輪和受傳送輪帶動的滾珠絲桿帶動掃描支架左右移動。 使用時，傳動裝置帶動掃描支架在直線導軌上橫向左右擺動，同時使擺盤呈正反
90° 180°范周內(nèi)轉(zhuǎn)動，使其上的數(shù)個電子槍亦移動，電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，保
證了噴鍍膜的均勻性。 總之，本實用新型使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，質(zhì)量 好，價格低，可大幅度提高基板光電轉(zhuǎn)換率，經(jīng)本實用新型蒸鍍的基板光電轉(zhuǎn)換率較高，并 大幅延長其使用壽命，利于在市場上推廣使用。
權(quán)利要求一種用掃描蒸鍍制膜設備，主要由多個電子槍、機架和真空腔體所組成，其特征在于電子槍位于擺動裝置上，電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍。
2. 按權(quán)利要求1所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特征在于所述的擺動裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤與掃描支架通過磁流體 密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶和傳動擺盤的電機、傳送 輪和傳送帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動擺盤的電機通過傳送 輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架 轉(zhuǎn)動。
3. 按權(quán)利要求1所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特征在于所述的擺動裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪； 擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)；傳動裝置，由傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶所構(gòu)成，傳動掃描支架的電 機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉(zhuǎn)動。
4. 按權(quán)利要求1所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特征在于所述的擺動裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內(nèi)； 擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側(cè)，擺盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，由傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶所構(gòu)成，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳 送帶位于掃描支架內(nèi)，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪。
5. 按權(quán)利要求1所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特征在于所述的擺動裝置是 掃描支架，其內(nèi)中空，掃描支架的一端位于真空腔體內(nèi)其上設有擺盤，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架與真空腔體之間通過密封波紋管軸接，掃描支架另一端位于真空腔體外并與直 線導軌滑配，位于真空腔體外的掃描支架側(cè)端與滾珠絲桿螺接；擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內(nèi)的掃描支架內(nèi)側(cè)上端，擺盤與掃描支架通過磁流 體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、電機輪、傳送帶、傳送輪、受傳送輪帶動的滾珠 絲桿和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于掃描支架 內(nèi)，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過電機輪、傳 送帶、傳送輪和受傳送輪帶動的滾珠絲桿帶動掃描支架左右移動。
6. 按權(quán)利要求2或3或4或5所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特征在于所述的 電子槍的數(shù)量為一個或數(shù)個，電子槍位于擺盤上端。
7. 按權(quán)利要求2或3或4或5所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特征在于所述的 位于擺盤上的電子槍呈十字分布。
專利摘要本實用新型屬于一種用掃描蒸鍍制膜設備，采用電子槍位于擺動裝置上，電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍。本實用新型使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，質(zhì)量好，價格低，可大幅度提高基板光電轉(zhuǎn)換率，大幅延長其使用壽命的優(yōu)點。
文檔編號C23C14/30GK201459232SQ20092010915
公開日2010年5月12日 申請日期2009年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月22日
發(fā)明者馮煥培, 王軍, 黎志欣 申請人:北京京運通科技股份有限公司