專利名稱：一種掩膜版倒邊磨邊機的倒邊磨邊傳動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及對掩膜版進行自動倒邊和磨邊加工的領(lǐng)域，尤其涉及一種在加工
過程中，使倒邊裝置和磨邊裝置在移動過程中完成加工的倒邊磨邊傳動裝置。
背景技術(shù)：
掩膜版是廣泛應用在電子行業(yè)的重要加工工具之一，掩膜版的倒邊和磨邊是掩膜 版加工制造過程中的重要加工環(huán)節(jié)，其加工質(zhì)量好壞，直接影響到掩膜版的質(zhì)量。目前，掩 膜版的倒邊和磨邊工序都是靠人工手動完成，這種加工方式不僅勞動強度大、生產(chǎn)效率低， 更重要的是倒邊和磨邊的質(zhì)量難以保證，并且加工精度都比較低，很難將經(jīng)手動倒邊和磨 邊的掩膜版應用到高端產(chǎn)品中，特別是大尺寸掩膜版的倒邊和磨邊，其加工質(zhì)量就更難保 證。

實用新型內(nèi)容本實用新型的一個目的是針對現(xiàn)有的對掩膜版進行倒邊和磨邊加工的現(xiàn)狀，提供 一種掩膜版倒邊磨邊機的倒邊磨邊傳動裝置。 為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案一種掩膜版倒邊磨邊機的倒邊 磨邊傳動裝置，包括倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座，二者均與一導軌滑動配合連接；倒邊動 力傳動系統(tǒng)和磨邊動力傳動系統(tǒng)，分別帶動所述倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座沿所述導軌 左右移動，使分別安裝在倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座上的倒邊裝置和磨邊裝置在移動過 程中分別對放置在一掩膜版支撐平臺裝置上的掩膜版進行倒邊加工和磨邊加工；以及，電 控系統(tǒng)，控制所述倒邊和磨邊動力傳動系統(tǒng)協(xié)調(diào)動作。 優(yōu)選地，所述導軌包括前導軌和后導軌；所述倒邊動力傳動系統(tǒng)包括倒邊傳動電
機，其安裝在所述后導軌的右側(cè)端部，由所述倒邊傳動電機帶動的倒邊同步主動輪和倒邊
同步從動輪安裝在所述前導軌和后導軌之間，并與一倒邊傳動同步帶配合安裝，所述倒邊
裝置滑座與倒邊傳動同步帶固定連接；所述磨邊動力傳動系統(tǒng)包括磨邊傳動電機，其安裝
在所述前導軌的左側(cè)端部，由所述磨邊傳動電機帶動的磨邊同步主動輪和磨邊同步從動輪
安裝在所述前導軌和后導軌之間，并與一磨邊傳動同步帶配合安裝，所述磨邊裝置滑座與
磨邊傳動同步帶固定連接；所述倒邊傳動電機和磨邊傳動電機由所述電控系統(tǒng)控制。 優(yōu)選地，所述倒邊裝置滑座的后側(cè)部分與所述倒邊傳動同步帶固連，倒邊裝置滑
座的前側(cè)部分通過在其下方開一凹槽而與所述磨邊傳動同步帶保持距離，所述磨邊裝置滑
座的前側(cè)部分與所述磨邊傳動同步帶固連，磨邊裝置滑座的后側(cè)部分通過在其下方開一凹
槽而與所述倒邊傳動同步帶保持距離。 優(yōu)選地，還包括倒邊裝置的左移限位單元和右移限位單元，以及磨邊裝置的左移 限位單元和右移限位單元； 所述倒邊裝置的左移限位單元包括固裝在所述倒邊裝置滑座后側(cè)的倒邊光控板 和設(shè)置在位于后導軌左端外側(cè)的與所述倒邊光控板配合的左端倒邊光電缺口，所述左端倒邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；倒邊左移限位器，設(shè)置在所述后導軌的左端，用以防 止倒邊裝置向左移動過頭； 所述倒邊裝置的右移限位單元包括所述的倒邊光控板和設(shè)置在位于后導軌右端 外側(cè)的與所述倒邊光控板配合的右端倒邊光電缺口 ，所述右端倒邊光電缺口與所述電控系 統(tǒng)通訊連接；倒邊右移限位器，設(shè)置在后導軌與倒邊傳動同步帶之間，用以防止倒邊裝置向 右移動過頭； 所述磨邊裝置的右移限位單元包括固裝在所述磨邊裝置滑座后側(cè)的磨邊光控板 和設(shè)置在位于后導軌右端外側(cè)的與所述磨邊光控板配合的右端磨邊光電缺口，所述右端磨 邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；磨邊右移限位器，設(shè)置在所述前導軌的右端，用以防 止磨邊裝置向右移動過頭； 所述磨邊裝置的左移限位單元包括所述的磨邊光控板和設(shè)置在位于后導軌左端 外側(cè)的與所述磨邊光控板配合的左端磨邊光電缺口 ，所述左端磨邊光電缺口與所述電控系 統(tǒng)通訊連接；磨邊左移限位器，設(shè)置在前導軌與磨邊傳動同步帶之間，用以防止倒邊裝置向 左移動過頭。 優(yōu)選地，所述倒邊光控板和磨邊光控板偏離后導軌的距離不一致。 優(yōu)選地，還包括防止倒邊裝置和磨邊裝置移動過頭而彼此相撞的防撞頭，所述防
撞頭包括分別設(shè)置在倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座的同一側(cè)上的倒邊裝置防撞頭和磨邊
裝置防撞頭。 本實用新型的有益之處是倒邊磨邊傳動裝置能按加工程序要求，有序帶動倒邊 裝置和磨邊裝置運動；倒邊裝置和磨邊裝置可按加工程序要求輪流在導軌上移動，以實現(xiàn) 對掩膜版進行倒邊和磨邊加工；倒邊裝置滑座和磨邊裝置上可以設(shè)置有固連自身裝置同步 帶的位置和讓開非自身裝置同步帶的凹槽；倒邊磨邊傳動裝置上設(shè)置有機械式和光控式限 位裝置，主要是限制倒邊裝置和磨邊裝置的左右移動極限位置和兩裝置之間的極限位置。

圖1為主要顯示本實用新型所述倒邊磨邊傳動裝置的前部結(jié)構(gòu)的立體示意圖； 圖2為主要顯示本實用新型所述倒邊磨邊傳動裝置的后部結(jié)構(gòu)的立體示意圖； 圖3為本實用新型所述倒邊磨邊傳動裝置與掩膜版倒邊磨邊機的磨邊裝置和倒 邊裝置的連接關(guān)系示意圖。
具體實施方式掩膜版倒邊磨邊機的倒邊磨邊傳動裝置按照加工要求拖動倒邊裝置和磨邊裝置 有序移動，以在移動過程中對掩膜版進行倒邊和磨邊加工。如圖1、2和3所示，所述倒邊磨 邊傳動裝置5的導軌包括前導軌511和后導軌55， 二者彼此平行地固裝在工作臺518上，倒 邊裝置滑座53和磨邊裝置滑座56均與所述前導軌511和后導軌55滑動配合連接，所述倒 邊裝置滑座53可以設(shè)置在磨邊裝置滑座56的左側(cè)。倒邊磨邊傳動裝置5的倒邊動力傳動 系統(tǒng)和磨邊動力傳動系統(tǒng)同樣安裝在工作臺518上；其中，所述倒邊動力傳動系統(tǒng)的倒邊 傳動電機57安裝在后導軌55的右側(cè)端部，倒邊同步主動輪58和倒邊同步從動輪514安裝 在前導軌511和后導軌55之間，倒邊傳動電機57帶動倒邊同步主動輪58，使倒邊傳動同步帶54拉動與之固定連接的倒邊裝置滑座53往復移動，進而使安裝在倒邊裝置滑座53上的 倒邊裝置3往復移動；所述磨邊動力傳動系統(tǒng)的磨邊傳動電機51安裝在前導軌511的左側(cè) 端部，磨邊同步主動輪513和磨邊同步從動輪59安裝在前導軌511和后導軌55之間，磨邊 傳動電機51帶動磨邊同步主動輪513，使磨邊傳動同步帶510拉動與之固定連接的磨邊裝 置滑座56往復移動，進而使安裝在磨邊裝置滑座56上的磨邊裝置7往復移動；其中，倒邊 裝置滑座53的后側(cè)部分與倒邊傳動同步帶54固連，倒邊裝置滑座53的前側(cè)部分可以通過 在其下方開凹槽的方式與磨邊傳動同步帶510保持一定距離，與此相反，磨邊裝置滑座56 的前側(cè)部分與磨邊傳動同步帶510固連，磨邊裝置滑座56的后側(cè)部分可以通過在其下方開 凹槽的方式與倒邊傳動同步帶54保持一定距離。 倒邊磨邊傳動裝置5還包括倒邊裝置3的左移限位單元和右移限位單元，以及磨 邊裝置7的左移限位單元和右移限位單元。 所述倒邊裝置3的左移限位單元包括光電限位和機械限位，光電限位包括固裝在 倒邊裝置滑座53后側(cè)的倒邊光控板520和固裝在工作臺518上、位于后導軌55左端外側(cè) 的左端倒邊光電缺口 521，在倒邊裝置滑座53在倒邊傳動同步帶54的帶動下向左移動的 過程中，當其上的倒邊光控板520插入左端倒邊光電缺口 521時，該光控信號將輸入至電控 系統(tǒng)，電控系統(tǒng)將根據(jù)該信號使倒邊傳動電機57停止轉(zhuǎn)動，即使倒邊裝置3停止在前后導 軌的最左端；所述機械限位包括倒邊左移限位器519，設(shè)置在后導軌55的左端，用以防止倒 邊裝置3向左移動過頭。倒邊裝置3的右移限位單元也包括光電限位和機械限位，其中，光 電限位包括所述的倒邊光控板520和固裝在工作臺518上、位于后導軌55右端外側(cè)的右端 倒邊光電缺口 523，在倒邊裝置滑座53在倒邊傳動同步帶54的帶動下向右移動的過程中， 當其上的倒邊光控板520插入右端倒邊光電缺口 523時，該光控信號將輸入至電控系統(tǒng)，電 控系統(tǒng)將根據(jù)該信號使倒邊傳動電機57停止轉(zhuǎn)動，即使倒邊裝置3停止在前后導軌的最右 端；所述機械限位包括倒邊右移限位器515，其可以設(shè)置在后導軌55與倒邊傳動同步帶54 之間，用以防止倒邊裝置3向右移動過頭，而磨邊裝置7可以通過其下方的所述凹槽越過倒 邊右移限位器515而向左側(cè)移動。 所述磨邊裝置7的右移限位單元包括光電限位和機械限位，光電限位包括固裝在 磨邊裝置滑座56后側(cè)的磨邊光控板255和固裝在工作臺518上、位于后導軌55右端外側(cè) 的右端磨邊光電缺口 524，在磨邊裝置滑座56在磨邊傳動同步帶510的帶動下向右移動的 過程中，當其上的磨邊光控板525插入右端磨邊光電缺口 524時，該光控信號將輸入至電控 系統(tǒng)，電控系統(tǒng)將根據(jù)該信號使磨邊傳動電機51停止轉(zhuǎn)動，即使磨邊裝置7停止在前后導 軌的最右端；所述機械限位包括磨邊右移限位器517，設(shè)置在前導軌511的右端，用以防止 磨邊裝置7向右移動過頭。磨邊裝置的左移限位單元也包括光電限位和機械限位，其中，光 電限位包括所述的磨邊光控板255和固裝在工作臺518上、位于后導軌55左端外側(cè)的左端 磨邊光電缺口 522，在磨邊裝置滑座56在磨邊傳動同步帶510的帶動下向左移動的過程中， 當其上的磨邊光控板525插入左端磨邊光電缺口 522時，該光控信號將輸入至電控系統(tǒng)， 電控系統(tǒng)將根據(jù)該信號使磨邊傳動電機51停止轉(zhuǎn)動，即使磨邊裝置7停止在前后導軌的最 左端；所述機械限位包括磨邊左移限位器512，其可以設(shè)置在前導軌511與磨邊傳動同步帶 510之間，用以防止倒邊裝置7向左移動過頭，而倒邊裝置3可以通過其下方的所述凹槽越 過磨邊左移限位器512而向右側(cè)移動。[0022] 如圖3所示，為了避免倒邊光控板520在倒邊裝置3向右側(cè)移動過程中插入右端 磨邊光電缺口 524和左端磨邊光電缺口 522，使電控系統(tǒng)產(chǎn)生誤操作，可以使倒邊光控板 520和磨邊光控板525偏離后導軌55的距離不一致，如倒邊光控板520的偏離距離小一些， 則可使倒邊光控板520在移動過程中不會插入右端磨邊光電缺口 524和左端磨邊光電缺口 522，同時也可以保證磨邊光控板525在移動過程中不會插入左端倒邊光電缺口521和右端 倒邊光電缺口 523。 所述倒邊磨邊傳動裝置5還可以包括防止倒邊裝置3和磨邊裝置7移動過頭而彼 此相撞的防撞頭，所述防撞頭包括分別設(shè)置在倒邊裝置滑座53和磨邊裝置滑座56的同一 側(cè)上的倒邊裝置防撞頭52和磨邊裝置防撞頭516。 本實用新型所述倒邊磨邊傳動裝置的運動過程如下 啟動掩膜版倒邊磨邊機，掩膜版在掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置上進 行調(diào)整定位后，啟動倒邊磨邊程序，倒邊裝置3和磨邊裝置7首先回到各自的初始停留位 置，即倒邊裝置3位于倒邊磨邊傳動裝置5的最左側(cè)，而磨邊裝置7位于倒邊磨邊傳動裝置 5的最右側(cè)；當兩個裝置均回到初始位置后，按照預設(shè)程序，倒邊傳動電機57啟動，通過倒 邊傳動同步帶54帶動與倒邊裝置滑座53相固連的倒邊裝置3向右移動，與此同時，倒邊裝 置開始對掩膜版的待加工邊的上下棱邊進行倒棱磨削加工；當?shù)惯呇b置3向右移動到位， 并且其上的倒邊光控板520插入右端倒邊光電缺口 523時，倒邊裝置3停止移動。之后，倒 邊傳動電機57反向轉(zhuǎn)動，帶動倒邊裝置3向左移動，當移動到左端，并且其上的倒邊光控板 520插入左端倒邊光電缺口 521時，倒邊裝置3向左移動到位而停止；當?shù)惯呇b置3在向左 移動過程中，也可根據(jù)需要通過調(diào)整倒邊裝置自動進一個進刀量，使倒邊裝置在回程過程 中仍然可進行倒邊磨削加工。 電控系統(tǒng)得到倒邊裝置3到位停止信息后，啟動磨邊傳動電機51，通過磨邊傳動 同步帶510帶動與磨邊裝置滑座56相固連的磨邊裝置7向左移動，當磨邊裝置的磨邊磨頭 的外端面與掩膜版的邊平面接觸時，即開始了對該邊的邊平面進行磨削加工；當磨邊裝置 7向左移動到位，并且其上的磨邊光控板525插入左端磨邊光電缺口 522時，磨邊裝置7停 止移動。之后，磨邊傳動電機51反向轉(zhuǎn)動，帶動磨邊裝置7向右移動，當移動到右端，并且 其上的磨邊光控板525插入右端磨邊光電缺口 524時，磨邊裝置7向右移動到位而停止；當 磨邊裝置7在向右移動過程中，也可根據(jù)需要通過調(diào)整磨邊裝置自動進一個進刀量，使磨 邊裝置在回程過程中仍然可進行磨邊磨削加工。 倒邊磨邊完成后，由人工松開掩膜版，再換一邊進行倒邊和磨邊加工。如此反復進 行，就能完成一塊塊掩膜版的倒邊和磨邊加工工作。 根據(jù)掩膜版尺寸規(guī)格，倒邊裝置3和磨邊裝置7的行程長短是不同的，主要靠調(diào)整 倒邊光控板520和磨邊光控板525，以及倒邊右移限位器515和磨邊左移限位器512的位置 來實現(xiàn)。 綜上所述僅為本實用新型較佳的實施例，并非用來限定本實用新型的實施范圍。 即凡依本實用新型申請專利范圍的內(nèi)容所作的等效變化及修飾，皆應屬于本實用新型的技 術(shù)范疇。
權(quán)利要求一種掩膜版倒邊磨邊機的倒邊磨邊傳動裝置，其特征在于包括倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座，二者均與一導軌滑動配合連接；倒邊動力傳動系統(tǒng)和磨邊動力傳動系統(tǒng)，分別帶動所述倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座沿所述導軌左右移動，使分別安裝在倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座上的倒邊裝置和磨邊裝置在移動過程中分別對放置在一掩膜版支撐平臺裝置上的掩膜版進行倒邊加工和磨邊加工；以及，電控系統(tǒng)，控制所述倒邊和磨邊動力傳動系統(tǒng)協(xié)調(diào)動作。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩膜版倒邊磨邊機的倒邊磨邊傳動裝置，其特征在于 所述導軌包括前導軌和后導軌；所述倒邊動力傳動系統(tǒng)包括倒邊傳動電機，其安裝在所述 后導軌的右側(cè)端部，由所述倒邊傳動電機帶動的倒邊同步主動輪和倒邊同步從動輪安裝在 所述前導軌和后導軌之間，并與一倒邊傳動同步帶配合安裝，所述倒邊裝置滑座與倒邊傳 動同步帶固定連接；所述磨邊動力傳動系統(tǒng)包括磨邊傳動電機，其安裝在所述前導軌的左 側(cè)端部，由所述磨邊傳動電機帶動的磨邊同步主動輪和磨邊同步從動輪安裝在所述前導軌 和后導軌之間，并與一磨邊傳動同步帶配合安裝，所述磨邊裝置滑座與磨邊傳動同步帶固 定連接；所述倒邊傳動電機和磨邊傳動電機由所述電控系統(tǒng)控制。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掩膜版倒邊磨邊機的倒邊磨邊傳動裝置，其特征在于 所述倒邊裝置滑座的后側(cè)部分與所述倒邊傳動同步帶固連，倒邊裝置滑座的前側(cè)部分通過 在其下方開一凹槽而與所述磨邊傳動同步帶保持距離，所述磨邊裝置滑座的前側(cè)部分與所 述磨邊傳動同步帶固連，磨邊裝置滑座的后側(cè)部分通過在其下方開一凹槽而與所述倒邊傳 動同步帶保持距離。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種掩膜版倒邊磨邊機的倒邊磨邊傳動裝置，其特征在 于還包括倒邊裝置的左移限位單元和右移限位單元，以及磨邊裝置的左移限位單元和右 移限位單元；所述倒邊裝置的左移限位單元包括固裝在所述倒邊裝置滑座后側(cè)的倒邊光控板和設(shè) 置在位于后導軌左端外側(cè)的與所述倒邊光控板配合的左端倒邊光電缺口，所述左端倒邊光 電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；倒邊左移限位器，設(shè)置在所述后導軌的左端，用以防止倒 邊裝置向左移動過頭；所述倒邊裝置的右移限位單元包括所述的倒邊光控板和設(shè)置在位于后導軌右端外側(cè) 的與所述倒邊光控板配合的右端倒邊光電缺口 ，所述右端倒邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通 訊連接；倒邊右移限位器，設(shè)置在后導軌與倒邊傳動同步帶之間，用以防止倒邊裝置向右移 動過頭；所述磨邊裝置的右移限位單元包括固裝在所述磨邊裝置滑座后側(cè)的磨邊光控板和設(shè) 置在位于后導軌右端外側(cè)的與所述磨邊光控板配合的右端磨邊光電缺口，所述右端磨邊光 電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；磨邊右移限位器，設(shè)置在所述前導軌的右端，用以防止磨 邊裝置向右移動過頭；所述磨邊裝置的左移限位單元包括所述的磨邊光控板和設(shè)置在位于后導軌左端外側(cè) 的與所述磨邊光控板配合的左端磨邊光電缺口 ，所述左端磨邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通 訊連接；磨邊左移限位器，設(shè)置在前導軌與磨邊傳動同步帶之間，用以防止倒邊裝置向左移 動過頭。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種掩膜版倒邊磨邊機的倒邊磨邊傳動裝置，其特征在于所述倒邊光控板和磨邊光控板偏離后導軌的距離不一致。
6.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的一種掩膜版倒邊磨邊機的倒邊磨邊傳動裝置，其特征 在于還包括防止倒邊裝置和磨邊裝置移動過頭而彼此相撞的防撞頭，所述防撞頭包括分 別設(shè)置在倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座的同一側(cè)上的倒邊裝置防撞頭和磨邊裝置防撞頭。
專利摘要本實用新型公開了一種掩膜版倒邊磨邊機的倒邊磨邊傳動裝置，包括倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座，二者均與一導軌滑動配合連接；倒邊動力傳動系統(tǒng)和磨邊動力傳動系統(tǒng)，分別帶動所述倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座沿所述導軌左右移動，使分別安裝在倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座上的倒邊裝置和磨邊裝置在移動過程中分別對放置在一掩膜版支撐平臺裝置上的掩膜版進行倒邊加工和磨邊加工；以及，電控系統(tǒng)，控制所述倒邊和磨邊動力傳動系統(tǒng)協(xié)調(diào)動作。本實用新型所述倒邊磨邊傳動裝置可以帶動倒邊裝置和磨邊裝置在移動過程中對掩膜版進行加工處理，不僅提供了加工效率，減小了人為因素對加工質(zhì)量的影響。
文檔編號B24B9/02GK201437211SQ20092016683
公開日2010年4月14日 申請日期2009年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月20日
發(fā)明者周冠彬, 唐召來, 張松嶺, 林宜龍, 林建昌, 田亮 申請人:格蘭達技術(shù)(深圳)有限公司