專利名稱：一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種能夠成功地將柔性帶材內(nèi)部的空氣和揮發(fā)性氣體抽出來的
設(shè)備，具體涉及一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽真空處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
—般的真空濺射設(shè)備由于沒有經(jīng)過預(yù)抽真空設(shè)備(或裝置)進(jìn)行預(yù)抽真空處理， 對于柔性帶材內(nèi)的空氣和揮發(fā)性氣體都不能提前抽出來。在真空濺射主體設(shè)備進(jìn)行一次性 抽真空，時間長、能耗高，且濺射到基體上的靶材微粒附著力小，成品浸潤性差，易造成后道 工序出現(xiàn)質(zhì)量問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處 理設(shè)備，克服原有在真空濺射主體設(shè)備進(jìn)行一次性抽真空的不足之處，將柔性帶材內(nèi)部的 空氣和揮發(fā)性氣體抽出來，提高真空濺射的抽真空速度，降低設(shè)備能耗，提高靶材微粒附著 力，改善成品浸潤性，實現(xiàn)提高真空濺射產(chǎn)品質(zhì)量之目的。 本實用新型是通過如下技術(shù)方案實現(xiàn)的 本實用新型的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特殊之處在于包括真空泵
和通過抽氣管與真空泵連接的若干組可以單獨開閉抽真空的預(yù)抽真空罐，預(yù)抽真空罐通過
分抽空閥連接抽氣管、通過充氣閥設(shè)有進(jìn)氣管，每個預(yù)抽真空罐內(nèi)都裝有用于安裝柔性帶
材巻的芯軸，每個預(yù)抽真空罐上還安裝有真空計；真空泵安裝有主抽空閥。 本實用新型的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，每個預(yù)抽真空罐內(nèi)的芯軸上都
帶有分散孔。 本實用新型的柔性帶材真空i 有緩沖罐。 本實用新型的柔性帶材真空i 器。 本實用新型的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，緩沖罐與預(yù)抽真空罐之間安裝 有真空傳感器。利用真空計實現(xiàn)自動控制真空度。 本實用新型的有益效果是，可以成功地將柔性帶材內(nèi)部的空氣和揮發(fā)性氣體抽出 來，這樣不僅可以提高真空濺射的抽空速度，降低設(shè)備能耗，提高靶材微粒附著力，改善成 品浸潤性，而且可以提高真空濺射的產(chǎn)品質(zhì)量。
鬼射預(yù)抽空處理設(shè)備，真空泵與預(yù)抽真空罐之間連接
鬼射預(yù)抽空處理設(shè)備，進(jìn)氣管的進(jìn)氣端設(shè)有空氣濾清

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為電路示意圖。 圖中，1真空泵，2預(yù)抽真空罐，3充氣閥，4分抽空閥，5真空計，6主抽空閥，7緩沖 罐，8空氣濾清器，9真空傳感器，10抽氣管，11進(jìn)氣管。
具體實施方式附圖為本實用新型的一種具體實施例。 本實用新型的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，包括真空泵1和通過抽氣管10與真空泵連接的若干組可以單獨開閉抽真空的預(yù)抽真空罐2，預(yù)抽真空罐通過分抽空閥4連接抽氣管、通過充氣閥3設(shè)有進(jìn)氣管11 ，每個預(yù)抽真空罐內(nèi)都裝有用于安裝柔性帶材巻的芯軸，每個預(yù)抽真空罐上還安裝有真空計5 ;真空泵安裝有主抽空閥6。每個預(yù)抽真空罐內(nèi)的芯軸上都帶有分散孔。真空泵與預(yù)抽真空罐之間連接有緩沖罐。進(jìn)氣管的進(jìn)氣端設(shè)有空氣濾清器8。緩沖罐7與預(yù)抽真空罐2之間安裝有真空傳感器9。利用真空計實現(xiàn)自動控制真空度。 本實用新型的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，通過雙位開關(guān)控制充氣閥3、分抽空閥4。利用每個預(yù)抽真空罐2內(nèi)裝有帶分散孔的芯軸提高抽真空速度和均勻性。各個預(yù)抽真空罐2可以單獨開閉取放巻及預(yù)抽真空。該設(shè)備利用真空計5實現(xiàn)自動控制真空度，真空范圍1X10—工 500Pa連續(xù)可調(diào)。緩沖罐7有效避免某一預(yù)抽真空罐開閉時設(shè)備真空度波動過大。 預(yù)抽真空工作原理滑閥真空泵工作，將預(yù)抽真空罐內(nèi)的空氣揮發(fā)性氣體經(jīng)芯軸分散孔、分抽空閥4、抽氣管10、緩沖罐7、主抽空閥6到滑閥真空泵l，然后排到大氣中。[0017] 該實施例的預(yù)抽工藝(以生產(chǎn)泡沫鎳的基體——泡綿為例)如下所示打開預(yù)抽罐一放置柔性帶材巻一關(guān)閉預(yù)抽罐一設(shè)置真空度一抽空一充氣一開罐取巻。[0018] 1.打開預(yù)抽空罐 觀察罐體真空表是否處于真空狀態(tài)，若罐內(nèi)是真空狀態(tài)，將雙位開關(guān)從抽空位置撥到充氣位置，這時抽空閥關(guān)閉，充氣閥打開，空氣進(jìn)入罐內(nèi)，真空解除即可開門。[0020] 2.放置柔性帶材巻 將預(yù)抽真空關(guān)擦拭干凈，然后把柔性帶材巻(例如泡綿)裝在罐內(nèi)心軸上。[0022] 3.關(guān)閉預(yù)抽空罐 關(guān)閉預(yù)抽空罐，緊固手輪，確保密封良好。[0024] 4.設(shè)置真空度 將最低真空度設(shè)置為500Pa，最高真空度設(shè)置為1 X 10—中a，啟動滑閥真空泵。[0026] 5.抽空 將雙位開關(guān)從充氣位置撥到抽空位置，充氣閥關(guān)閉，這時抽空閥打開，預(yù)抽罐進(jìn)入抽空狀態(tài)。柔性帶材巻的材質(zhì)和長短不同，真空度和保持時間也不相同。以泡綿為例，其保持時間應(yīng)為12 24小時。[0028] 6.充氣 在設(shè)定的真空度下，保持到規(guī)定時間后，將雙位開關(guān)從抽空位置撥到充氣位置，這
時抽空閥關(guān)閉，充氣閥打開，空氣進(jìn)入罐內(nèi)，真空解除即可開門。 7.開罐取巻 將預(yù)抽空處理后的巻取出，交下道工序。再次放巻進(jìn)入下一循環(huán)。
權(quán)利要求一種柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于包括真空泵(1)和通過抽氣管(10)與真空泵連接的若干組可以單獨開閉抽真空的預(yù)抽真空罐(2)，預(yù)抽真空罐通過分抽空閥(4)連接抽氣管、通過充氣閥(3)設(shè)有進(jìn)氣管(11)，每個預(yù)抽真空罐內(nèi)都裝有用于安裝柔性帶材卷的芯軸，每個預(yù)抽真空罐上還安裝有真空計(5)；真空泵安裝有主抽空閥(6)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于每個預(yù)抽真空罐(2)內(nèi)的芯軸上都帶有分散孔。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于真空泵(1)與預(yù)抽真空罐(2)之間連接有緩沖罐(7)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于進(jìn)氣管的進(jìn)氣端設(shè)有空氣濾清器(8)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，其特征在于緩沖罐(7)與預(yù)抽真空罐(2)之間安裝有真空傳感器(9)。
專利摘要本實用新型的柔性帶材真空濺射預(yù)抽空處理設(shè)備，包括真空泵和通過抽氣管與真空泵連接的若干組可以單獨開閉抽真空的預(yù)抽真空罐，預(yù)抽真空罐通過分抽空閥連接抽氣管、通過充氣閥設(shè)有進(jìn)氣管，每個預(yù)抽真空罐內(nèi)都裝有用于安裝柔性帶材卷的芯軸，每個預(yù)抽真空罐上還安裝有真空計；真空泵安裝有主抽空閥。本實用新型的有益效果是，可以成功地將柔性帶材內(nèi)部的空氣和揮發(fā)性氣體抽出來，這樣不僅可以提高真空濺射的抽空速度，降低設(shè)備能耗，提高靶材微粒附著力，改善成品浸潤性，而且可以提高真空濺射的產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號C23C14/56GK201506832SQ20092022712
公開日2010年6月16日 申請日期2009年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月22日
發(fā)明者劉俊林, 孟國強(qiáng), 宋小斌, 張強(qiáng), 李常興, 畢研文, 江衍勤, 王乃用, 羅衍濤, 蘇衍憲 申請人:菏澤天宇科技開發(fā)有限責(zé)任公司