專利名稱：Pecvd用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種太陽能光伏產(chǎn)業(yè)工藝設(shè)備，具體地說是用于平板爐PECVD(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)中的配套裝置。
背景技術(shù)：
太陽能電池主要有125型(即125x125) 、156型(即156x156)等規(guī)格，相應(yīng)的硅片載片器也有125型、156型等規(guī)格。在進(jìn)行平板爐PECVD的工藝時(shí)，硅片是放在同一規(guī)格的C/C框的掛鉤上，由于平板爐是連續(xù)生產(chǎn)，配置的硅片載片器至少要IO只以上。因其價(jià)格很貴，有些廠家只配置了 156規(guī)格的硅片載片器，如果要生產(chǎn)125規(guī)格的產(chǎn)品就需要另外配備125型的硅片載片器，從而增加了采購成本。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對上述問題，提供一種PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置，該裝置安裝于156型硅片載片器上，可將156型硅片載片器轉(zhuǎn)換成125型硅片載片器，可大幅度降低采購成本。 按照本實(shí)用新型的技術(shù)方案一種PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置，包括正方形的框體，其特征是所述框體的邊長與第一種規(guī)格的硅片載片器的邊長相等，所述框體內(nèi)設(shè)
置有方形內(nèi)孔，所述方形內(nèi)孔的邊長與第二種規(guī)格的硅片載片器的邊長相等。 所述方形內(nèi)孔的四個(gè)角為圓角。所述方形內(nèi)孔的中心與所述框體的中心同心。所
述框體的四條邊上均設(shè)置有第一半腰圓槽，第一半腰圓槽的中心線垂直于對應(yīng)的邊線，所
述框體內(nèi)設(shè)置有第一腰圓孔，第一腰圓孔的縱向中心線與第一半腰圓槽的中心線重合。所
述方形內(nèi)孔的四條邊上設(shè)置有第二半腰圓槽，第二半腰圓槽的中心線垂直于相應(yīng)的邊線，
所述框體內(nèi)設(shè)置有第二腰圓孔，第二腰圓孔的縱向中心線與第二半腰圓槽的中心線重合。
所述框體的邊長為156mm，所述方形內(nèi)孔的邊長為125mm ;所述方形內(nèi)孔為正方形。 本實(shí)用新型的技術(shù)效果在于本實(shí)用新型安裝于第一種規(guī)格的硅片載片器內(nèi)，將
第一種規(guī)格的硅片載片器轉(zhuǎn)換為第二種規(guī)格的硅片載片器，用于生產(chǎn)第二種規(guī)格的產(chǎn)品，
可以節(jié)省采購成本；拆除本實(shí)用新型后，又可以生產(chǎn)第一種規(guī)格的產(chǎn)品，轉(zhuǎn)換方便；正方形
內(nèi)孔帶有四個(gè)圓角，可以用來生產(chǎn)單晶硅片。

圖1為156型硅片載片器中的一個(gè)方框的結(jié)構(gòu)示意圖；[0008] 圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本實(shí)用新型安裝于156型硅片載片器中的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。[0011] 本實(shí)用新型是一種PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置，具體實(shí)施例是將156型硅片載片器轉(zhuǎn)換為125型硅片載片器。 圖1為156型硅片載片器中的一個(gè)方框1的結(jié)構(gòu)示意圖。 如圖2所示，本實(shí)用新型PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置2，包括正方形的框體3，框體3的邊長與第一種規(guī)格的硅片載片器的邊長相等，在本實(shí)施例中為156mm，框體3內(nèi)設(shè)置有正方形內(nèi)孔4，內(nèi)孔4的邊長與第二種規(guī)格的硅片載片器的邊長相等，在本實(shí)施例中為125mm，這樣就可以將156型硅片載片器轉(zhuǎn)換成125型硅片載片器，用來生產(chǎn)125型多晶硅片。正方形內(nèi)孔4也可以帶有四個(gè)圓角，用來生產(chǎn)125型單晶硅片。正方形內(nèi)孔4的中心與所述框體3的中心同心。 在所述框體3的四條邊上分別設(shè)置有第一半腰圓槽8，第一半腰圓槽8的中心線垂直于相應(yīng)的邊線，在框體3內(nèi)設(shè)置有第一腰圓孔9，第一腰圓孔9的縱向中心線在第一半腰圓槽8的中心線上。 在內(nèi)孔4的四條邊上設(shè)置有第二半腰圓槽6，第二半腰圓槽6的中心線垂直于相應(yīng)的邊線，在框體3內(nèi)設(shè)置有第二腰圓孔7，第二腰圓孔7的縱向中心線在第二半腰圓槽8的中心線上。 第一半腰圓槽8與第一腰圓孔9相配合，第二半腰圓槽6與第二腰圓孔7相配合，分別用來安裝掛鉤。 如圖3所示，本實(shí)用新型PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置2安裝于156型硅片載片器的一個(gè)方框1中，將156型硅片載片器轉(zhuǎn)換為125型硅片載片器，生產(chǎn)125型產(chǎn)品，可節(jié)省2/3的硅片載片器成本。拆除本實(shí)用新型后又可進(jìn)行156規(guī)格產(chǎn)品的生產(chǎn)。本實(shí)用新型裝卸方便，使用效果好。
權(quán)利要求一種PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置，包括正方形的框體(3)，其特征是所述框體(3)的邊長與第一種規(guī)格的硅片載片器的邊長相等，所述框體(3)內(nèi)設(shè)置有方形內(nèi)孔(4)，所述方形內(nèi)孔(4)的邊長與第二種規(guī)格的硅片載片器的邊長相等。
2. 按照權(quán)利要求1所述的PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置，其特征是所述方形內(nèi)孔(4) 的四個(gè)角為圓角。
3. 按照權(quán)利要求2所述的PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置，其特征是所述方形內(nèi)孔 (4)的中心與所述框體(3)的中心同心。
4. 按照權(quán)利要求3所述的PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置，其特征是所述框體(3)的 四條邊上均設(shè)置有第一半腰圓槽(8)，第一半腰圓槽(8)的中心線垂直于對應(yīng)的邊線，所述 框體(3)內(nèi)設(shè)置有第一腰圓孔(9)，第一腰圓孔(9)的縱向中心線與第一半腰圓槽(8)的中 心線重合。
5. 按照權(quán)利要求3或4所述的PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置，其特征是所述方形 內(nèi)孔(4)的四條邊上設(shè)置有第二半腰圓槽(6)，第二半腰圓槽(6)的中心線垂直于相應(yīng)的邊 線，所述框體(3)內(nèi)設(shè)置有第二腰圓孔(7)，第二腰圓孔(7)的縱向中心線與第二半腰圓槽 (8)的中心線重合。
6. 按照權(quán)利要求1所述的PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置，其特征是所述框體(3)的 邊長為156mm，所述方形內(nèi)孔(4)的邊長為125mm;所述方形內(nèi)孔(4)為正方形。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種PECVD用硅片載片器的轉(zhuǎn)換裝置，其包括正方形的框體，框體的邊長與第一種規(guī)格的硅片載片器的邊長相等，框體內(nèi)設(shè)置有正方形內(nèi)孔，內(nèi)孔的邊長與第二種規(guī)格的硅片載片器的邊長相等。本實(shí)用新型安裝于第一種規(guī)格的硅片載片器內(nèi)，將第一種規(guī)格的硅片載片器轉(zhuǎn)換為第二種規(guī)格的硅片載片器，用于生產(chǎn)第二種規(guī)格的產(chǎn)品，可以節(jié)省采購成本；拆除本實(shí)用新型后，又可以生產(chǎn)第一種規(guī)格的產(chǎn)品，轉(zhuǎn)換方便。
文檔編號(hào)C23C16/54GK201495286SQ200920234839
公開日2010年6月2日 申請日期2009年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月7日
發(fā)明者尤耀明 申請人:無錫綠波新能源設(shè)備有限公司