專利名稱：真空鍍膜用遮擋裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種有機(jī)發(fā)光二極管的遮擋裝置，尤其涉及一種適應(yīng)于有機(jī)發(fā)光 二極管的真空鍍膜處理藝中對蒸發(fā)源進(jìn)行遮擋的遮擋裝置。
背景技術(shù)：
0LED，即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，又稱為有機(jī)電激光 顯示(Organic Electroluminesence Display，OELD)。因為具備輕薄、省電等特性，因此在 數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛應(yīng)用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對0LED的應(yīng) 用都聚焦在平板顯示器上，因為0LED是唯一在應(yīng)用上能和TFT-IXD相提并論的技術(shù)，0LED 是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做成 和紙張一樣的厚度。其中，在0LED的制作流程中，真空鍍膜工藝是0LED制作流程中一個很 重要的工藝。真空鍍膜是指在真空腔體中把蒸發(fā)源加熱蒸發(fā)或用加速離子轟擊濺射，沉積 到基片表面形成單層或多層薄膜。因為它是關(guān)系到0LED的品質(zhì)高低及壽命長短的最重要 因素之一，所以應(yīng)用于真空鍍膜工藝上的各種設(shè)備必須滿足真空鍍膜工藝的精度要求?，F(xiàn)有的鍍膜設(shè)備中通常是在蒸發(fā)源和處理板之間設(shè)置擋板，并通過控制機(jī)構(gòu)來控 制擋板的打開和關(guān)閉，從而實現(xiàn)隔離蒸發(fā)源和處理板。然而，現(xiàn)有的控制機(jī)構(gòu)都具有結(jié)構(gòu)比 較復(fù)雜且生產(chǎn)成本高等缺點，因此，急需要一種結(jié)構(gòu)簡單、蒸鍍效率高且能延長蒸發(fā)源壽命 的真空鍍膜用遮擋裝置。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、蒸鍍效率高且能延長蒸發(fā)源壽命的真 空鍍膜用遮擋裝置。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案為提供一種真空鍍膜用遮擋裝置，適用 于對提供真空鍍膜的真空腔體內(nèi)的蒸發(fā)源和處理板進(jìn)行遮擋。所述真空鍍膜用遮擋裝置包 括支撐座、驅(qū)動機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)動軸以及擋板，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括馬達(dá)、主動齒輪和從動齒輪，所述 馬達(dá)固定在所述支撐座上，所述馬達(dá)的輸出軸與所述主動齒輪連接，所述從動齒輪與所述 主動齒輪嚙合，所述轉(zhuǎn)動軸的一端與所述從動齒輪樞接，另一端密封地穿入所述真空腔體 的腔壁并與所述擋板垂直固定連接，所述擋板容置于所述真空腔體內(nèi)且位于所述真空腔體 內(nèi)的所述蒸發(fā)源與所述處理板之間，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸帶動所述 擋板隔離或開通所述蒸發(fā)源與所述處理板的空間連接。較佳地，所述真空鍍膜用遮擋裝置還包括固定在所述真空腔體外壁上的磁流體， 所述轉(zhuǎn)動軸的一端樞接地穿過所述磁流體并伸入所述真空腔體內(nèi)。所述磁流體能有效密封 所述轉(zhuǎn)動軸與所述真空腔體底部的空隙，以確保所述真空腔體具有優(yōu)異的真空環(huán)境，從而 滿足真空鍍膜的要求。較佳地，所述真空鍍膜用遮擋裝置還包括固定桿，所述固定桿一端固定在所述支 撐座上，另一端固定在所述真空腔體的底部。所述固定桿可進(jìn)一步加強(qiáng)支撐座對所述真空腔體的支撐，以穩(wěn)固所述真空腔體。較佳地，所述擋板具有以惰性材料制成的表面。當(dāng)所述擋板處于隔離狀態(tài)時，所述 擋板直接面對所述蒸發(fā)源，雜質(zhì)、待蒸鍍及氣化的蒸發(fā)材料會粘附于所述擋板的表面上，所 述擋板具有惰性材質(zhì)的表面可防止雜質(zhì)、待蒸鍍或者氣化的蒸發(fā)材料與所述擋板上的材料 發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，保證了真空腔體內(nèi)的潔凈狀態(tài)，從而保障了待蒸鍍膜層不會發(fā)生污染及變 質(zhì)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，一方面，由于驅(qū)動擋板的驅(qū)動機(jī)構(gòu)僅包括馬達(dá)、主動齒輪與從動 齒輪組成的齒輪組以及轉(zhuǎn)動軸，從而使得本實用新型真空鍍膜用遮擋裝置的結(jié)構(gòu)簡單，因 而可節(jié)省生產(chǎn)成本。另一方面，由于本實用新型真空鍍膜用遮擋裝置的擋板一端與轉(zhuǎn)動軸 連接并由轉(zhuǎn)動軸驅(qū)動轉(zhuǎn)動，在對處理板進(jìn)行批量蒸鍍時，在更換處理板的過程中，只要控制 擋板遮擋或不遮擋蒸發(fā)源就可隔離或開通蒸發(fā)源與處理板的空間連接，因而使蒸發(fā)源始終 處于恒定的工作狀態(tài)，從而提高了蒸鍍的效率，延長了蒸發(fā)源的使用壽命。

圖1是本實用新型真空鍍膜用遮擋裝置安裝在真空腔體中且處于遮擋狀態(tài)的結(jié) 構(gòu)示意圖。圖2是圖1所示真空鍍膜用遮擋裝置的擋板與轉(zhuǎn)動軸連接的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實用新型真空鍍膜用遮擋裝置安裝在真空腔體中且處于非遮擋狀態(tài)的 結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為了詳細(xì)說明本實用新型真空鍍膜用遮擋裝置的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征，以下結(jié)合 實施方式并配合附圖作進(jìn)一步說明。請參閱圖1及圖2。在圖1及圖2中，真空腔體10由左側(cè)壁11、右側(cè)壁12、底壁 13以及頂壁14圍成中空密封結(jié)構(gòu)，所述蒸發(fā)源30設(shè)于所述真空腔體10內(nèi)的右下方，與所 述處理板40設(shè)置于所述真空腔體10內(nèi)且位于所述蒸發(fā)源30上方。本實用新型的真空鍍 膜用遮擋裝置適用于對提供真空鍍膜的真空腔體10內(nèi)的蒸發(fā)源30和處理板40進(jìn)行遮擋， 且包括支撐座20、驅(qū)動機(jī)構(gòu)21、固定桿22、轉(zhuǎn)動軸23、磁流體24以及擋板25。所述固定桿 22固定在所述支撐座20的一端，以加強(qiáng)對所述真空腔體10的支撐，從而穩(wěn)固所述真空腔體 10。所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)21包括馬達(dá)211、主動齒輪212及從動齒輪213。所述馬達(dá)211固定在 所述支撐座20的另一端，且所述馬達(dá)211的輸出軸樞接在所述主動齒輪212中。所述從動 齒輪213與所述主動齒輪212嚙合。所述轉(zhuǎn)動軸23的一端與所述從動齒輪213樞接，另一 端依次樞接地穿過所述磁流體24和所述真空腔體10的底壁13伸入到所述真空腔體10內(nèi) 并與所述擋板25垂直固定連接。所述擋板25呈等腰梯形狀且容置于所述真空腔體10內(nèi) 并位于所述真空腔體10內(nèi)的所述蒸發(fā)源30與所述處理板40之間。所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)21驅(qū)動 所述轉(zhuǎn)動軸23，所述轉(zhuǎn)動軸23帶動所述擋板25隔離或開通所述蒸發(fā)源30與所述處理板 40的空間連接?？衫斫獾兀捎谒龃帕黧w24具有優(yōu)異的密封性能，從而可有效密封所述 轉(zhuǎn)動軸23與所述真空腔體10的底壁13之間的空隙，進(jìn)而確保所述真空腔體10具有優(yōu)異 的真空環(huán)境，滿足真空鍍膜的要求。[0015]較佳地，所述擋板25具有以惰性材料制成的表面。當(dāng)所述擋板25處于隔離狀態(tài) 時，所述擋板25直接面對所述蒸發(fā)源30，雜質(zhì)、待蒸鍍及氣化的蒸發(fā)材料會粘附于所述擋 板25的表面上，所述擋板25具有惰性材質(zhì)的表面可防止雜質(zhì)、待蒸鍍或者氣化的蒸發(fā)材料 與所述擋板25上的材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，保證了所述真空腔體10內(nèi)的潔凈狀態(tài)，從而保障了 待蒸鍍膜層不會發(fā)生污染及變質(zhì)。請參閱圖3，圖3為本實用新型真空鍍膜用遮擋裝置在所述真空腔體10中處于非 遮擋狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。所述擋板25由所述轉(zhuǎn)動軸23控制從圖1中的位置旋轉(zhuǎn)一百八十 度到圖3所示的位置，即從所述真空腔體10的右邊旋轉(zhuǎn)一百八十度到所述真空腔體10的 左邊，使所述蒸發(fā)源30處于未遮擋狀態(tài)，這時所述蒸發(fā)源30可對所述處理板40進(jìn)行蒸鍍。下面結(jié)合圖1-3對本實用新型真空鍍膜用遮擋裝置的工作原理作一詳細(xì)說明初 始狀態(tài)時，不需要對處理板40蒸鍍，蒸發(fā)源30處于打開狀態(tài)，擋板25位于處理板40和蒸 發(fā)源30之間且將蒸發(fā)源30完全遮擋，使蒸發(fā)源30不能對處理板40進(jìn)行蒸鍍。當(dāng)需要對 處理板40進(jìn)行蒸鍍時，馬達(dá)211開啟，馬達(dá)211的輸出軸帶動與其連接的主動齒輪212旋 轉(zhuǎn)，而主動齒輪212則帶動與其嚙合的從動齒輪213也旋轉(zhuǎn)，從動齒輪213帶動樞接在從動 齒輪213中的旋轉(zhuǎn)軸23旋轉(zhuǎn)，從而最終帶動與旋轉(zhuǎn)軸23固定連接的擋板25旋轉(zhuǎn)，使擋板 25從遮擋蒸發(fā)源30的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)到未遮擋蒸發(fā)源30的狀態(tài)。此時，蒸發(fā)源30即可對處理板 40進(jìn)行蒸鍍。可理解地，當(dāng)一塊處理板40完成蒸鍍后，所述馬達(dá)211則控制旋轉(zhuǎn)軸23，旋 轉(zhuǎn)軸23則控制擋板25旋轉(zhuǎn)從未遮擋狀態(tài)旋轉(zhuǎn)到遮擋狀態(tài)，此時，可進(jìn)行更換處理板40的 動作，而在此過程中，蒸發(fā)源30 —直處于工作狀態(tài)。更換完處理板40后，可通過相同操作 對更換后的處理板40進(jìn)行蒸鍍。因而，通過重復(fù)的操作，從而完成對處理板40進(jìn)行批量的 蒸鍍。可理解地，一方面，由于驅(qū)動擋板25的驅(qū)動機(jī)構(gòu)21僅包括馬達(dá)211、主動齒輪212 與從動齒輪213組成的齒輪組以及轉(zhuǎn)動軸23，從而使得本實用新型真空鍍膜用遮擋裝置的 結(jié)構(gòu)簡單，因而可節(jié)省生產(chǎn)成本。另一方面，由于本實用新型真空鍍膜用遮擋裝置的擋板25 一端與轉(zhuǎn)動軸23連接并由轉(zhuǎn)動軸23驅(qū)動轉(zhuǎn)動，在對處理板40進(jìn)行批量蒸鍍時，在更換處 理板40的過程中，只要控制擋板25遮擋或不遮擋蒸發(fā)源30就可隔離或開通蒸發(fā)源30與處 理板40的空間連接，因而使蒸發(fā)源30始終處于恒定的工作狀態(tài)，從而提高了蒸鍍的效率， 延長了蒸發(fā)源30的使用壽命。本實用新型真空鍍膜用遮擋裝置所涉及蒸發(fā)源30及處理板10的具體形狀，以及 伺服電機(jī)的工作原理均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)實際需要所熟知的，在此不再做詳細(xì)的 說明。以上所揭露的僅為本實用新型的較佳實例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實用新型 之權(quán)利范圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬于本實用新型所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求一種真空鍍膜用遮擋裝置，適用于對提供真空鍍膜的真空腔體內(nèi)的蒸發(fā)源和處理板進(jìn)行遮擋，其特征在于所述真空鍍膜用遮擋裝置包括支撐座、驅(qū)動機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)動軸以及擋板，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括馬達(dá)、主動齒輪和從動齒輪，所述馬達(dá)固定在所述支撐座上，所述馬達(dá)的輸出軸與所述主動齒輪樞接，所述從動齒輪與所述主動齒輪嚙合，所述轉(zhuǎn)動軸的一端與所述從動齒輪樞接，另一端密封地穿入所述真空腔體的腔壁并與所述擋板垂直固定連接，所述擋板容置于所述真空腔體內(nèi)且位于所述真空腔體內(nèi)的所述蒸發(fā)源與所述處理板之間，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸帶動所述擋板隔離或開通所述蒸發(fā)源與所述處理板的空間連接。
2.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜用遮擋裝置，其特征在于所述真空鍍腔體遮擋裝置 還包括固定在所述真空腔體外壁上的磁流體，所述轉(zhuǎn)動軸的一端樞接地穿過所述磁流體并 伸入所述真空腔體內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜用遮擋裝置，其特征在于所述真空鍍膜用遮擋裝置 還包括固定桿，所述固定桿一端固定在所述支撐座上，另一端固定在所述真空腔體的底部。
4.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜用遮擋裝置，其特征在于所述馬達(dá)為伺服電機(jī)。
5.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜用遮擋裝置，其特征在于所述擋板具有以惰性材料 制成的表面。
專利摘要本實用新型提供了一種真空鍍膜用遮擋裝置，包括支撐座、驅(qū)動機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)動軸以及擋板，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括馬達(dá)、主動齒輪和從動齒輪，所述馬達(dá)固定在所述支撐座上，所述馬達(dá)的輸出軸與所述主動齒輪樞接，所述從動齒輪與所述主動齒輪嚙合，所述轉(zhuǎn)動軸的一端與所述從動齒輪樞接，另一端密封地穿入所述真空腔體的腔壁并與所述擋板垂直固定連接，所述擋板容置于所述真空腔體內(nèi)且位于所述真空腔體內(nèi)的所述蒸發(fā)源與所述處理板之間，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸帶動所述擋板隔離或開通所述蒸發(fā)源與所述處理板的空間連接。本實用新型的真空鍍膜用遮擋裝置的結(jié)構(gòu)簡單、蒸鍍的效率高且可延長蒸發(fā)源的使用壽命。
文檔編號C23C14/04GK201605316SQ20092026917
公開日2010年10月13日 申請日期2009年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月30日
發(fā)明者劉惠森, 葉宗鋒, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司