專利名稱：擋板冷卻裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種真空蒸鍍用的擋板，更具體地涉及一種擋板冷卻裝置。
背景技術：
隨著現(xiàn)代科學技術的發(fā)展，對產(chǎn)品質量和生產(chǎn)工藝要求不斷提高，真空技術成為 一門不可缺少的技術，已被廣泛應用到各個技術領域中。其中，應用較為廣泛的真空鍍膜 技術，是指在真空中把蒸發(fā)源加熱蒸發(fā)或用加速離子轟擊濺射，沉積到基片表面形成單層 或多層薄膜。該真空鍍膜技術已經(jīng)廣泛的應用到各個領域，如眾所周知的物理氣相沉積 (Physical Vapor D印osition，PVD)，化學氣相淀積(Chemical Vapor D印osition，CVD)技 術。在制備薄膜工藝過程中，一般都要求膜厚均勻，組分純凈、性能穩(wěn)定、無應力、附著牢固 等。一般的薄膜制備方式都需要經(jīng)歷抽真空、加熱、鍍膜等一系列過程。在鍍膜之前的加熱 過程中，在未達到蒸發(fā)物的蒸發(fā)溫度時就會有蒸發(fā)源將雜質蒸發(fā)掉，另有一些蒸發(fā)物在加 熱蒸發(fā)過程中會釋放氣體，使鍍膜室內壓強上升。雜質和不穩(wěn)定的氣體擴散是造成薄膜厚 度不均，組分不凈、性能不穩(wěn)、應力較大、附著不牢固等影響鍍膜質量的主要原因。原有的在 蒸發(fā)源和處理板之間沒有采取相應的保護措施的設計已經(jīng)不能滿足工藝的需要，另有一些 廠商通過在蒸發(fā)源和處理板之間設置擋板來解決上述缺點。擋板的作用是阻擋不必要的物質進入到相應的空間，在真空環(huán)境下還要要求擋板 不會對真空環(huán)境造成污染，甚至說可以改善真空環(huán)境，而對擋板的冷卻可以增強沉積物質 與擋板的附著力，使附著在擋板上的沉積物質不易脫落，也使蒸發(fā)源更加順暢的進行蒸鍍， 另外還可以降低腔體溫度，保持真空腔體內真空環(huán)境的清潔。而設置在腔體之外的一般是 通過波紋管或者密封墊圈進行密封，通常也沒有采取良好的冷卻措施，較高的真空處理腔 內溫度會通過熱傳遞到相應的墊圈或者波紋管，這樣也很容易造成密封圈老化、波紋管斷 裂。另外，擋板的旋轉通過軸來帶動控制，軸的一端需要接觸到真空腔內。某些時候，軸需 要高速運轉或者需要承受較大的扭矩或者會接收到外部的熱量，相應的在軸上也會產(chǎn)生熱 量，當熱量無法得到有效的冷卻時，就會降低軸的壽命和安裝精度，甚至造成軸報廢，影響 擋板控制機構的的正常運行，最主要的一點由此將會帶來噪音、震動，由此可能造成產(chǎn)品出 現(xiàn)問題。已知的現(xiàn)有的冷卻裝置都是對安裝軸的軸承、基座或者腔體進行的冷卻?，F(xiàn)有技 術中無法有效地對遮擋蒸發(fā)源的擋板進行冷卻，或者說沒有冷卻蒸發(fā)源擋板，會造成膜層 容易脫落，降低了真空腔內的工藝環(huán)境等。另外現(xiàn)有的擋板，也無法保證膜層的純度及品 質。因此提供一種合理的擋板冷卻裝置至關重要。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是提供一種冷卻效果好、附著力強、清潔度高并能降低真空腔體溫 度、提高膜層形成質量的擋板冷卻裝置。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術方案為提供一種適用于與冷卻介質配合使用的擋板冷卻裝置，所述擋板通過旋轉軸懸設于提供真空環(huán)境的真空腔體內并位于蒸發(fā)源與待 鍍基板之間，所述旋轉軸的上端與所述擋板固定連接，所述旋轉軸的下端穿過所述真空腔 體并與真空腔體外的傳動機構固定連接，所述旋轉軸與所述真空腔體之間設有動密封組 件，所述動密封組件套設于所述旋轉軸上并與所述旋轉軸樞接，其中，所述擋板冷卻裝置包 括連接座、連接件、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸入接口及輸出接口，所述擋板通過所述連接 座與所述旋轉軸固定連接，所述連接件套設于所述旋轉軸位于真空腔體外的端部上，所述 連接件的上端與所述旋轉軸樞接，所述連接件的下端與所述輸入接口固定連接，所述輸入 接口與所述輸出接口固定連接并位于所述連接件與輸出接口之間，所述旋轉軸、連接件、輸 入接口及輸出接口均沿所述旋轉軸的軸向方向開設有中空結構并相互連通形成所述冷卻 腔，所述輸出管懸于所述冷卻腔內并貫穿所述旋轉軸、連接件、輸入接口，所述輸出管位于 腔體外的末端與所述輸出接口固定連接，所述冷卻管鋪設于所述擋板上，所述冷卻管具有 輸入端與輸出端，所述冷卻管的輸入端與所述冷卻腔連通，所述冷卻管的輸出端與所述輸 出管連通，所述輸入接口與所述冷卻腔連通，所述輸出接口與所述輸出管連通。較佳地，所述連接座包括上連接座與下連接座，所述上連接座與所述擋板固定連 接，所述下連接座與所述旋轉軸的上端固定連接，所述上連接座與所述下連接座通過螺釘 固定連接，所述上連接座與所述下連接座之間設有第一密封圈，所述上連接座上開設有上 空腔，所述下連接座上開設有下空腔，所述輸出管位于真空腔體內的端部容置于所述上空 腔內，所述輸出管與所述上空腔之間設有第二密封圈，所述上空腔與所述下空腔連通，所述 上空腔分別連通所述冷卻管的輸出端及所述輸出管，所述下空腔分別連通所述冷卻管的輸 入端及所述冷卻腔。通過所述上連接座與所述下連接座，使擋板、冷卻管、輸出管、旋轉軸之 間的組裝方便同時又保持了較高密封性，保持了冷卻介質的循環(huán)通路，使冷卻順利進行。較佳地，所述下連接座與所述旋轉軸之間還設有中空的旋轉管，所述旋轉管的上 端與所述上連接座固定連接，所述旋轉管的下端與所述旋轉軸固定連接，所述輸出管貫穿 所述旋轉管。通過所述旋轉管，便于所述擋板與連接座、旋轉軸之間的安裝與拆卸，方便維 修與更換。較佳地，所述擋板的表面對應所述冷卻管開設有凹槽，所述冷卻管容置于所述凹 槽中。通過凹槽的設計，增大冷卻管與擋板的接觸面積，增強擋板的冷卻效果。作為本發(fā)明 的一實施例，所述冷卻管為圓形管，所述凹槽為弧形凹槽。所述圓形管加工便利且成本較為 低廉。作為本發(fā)明的另一實施例，所述冷卻管為矩形管，所述凹槽為矩形凹槽。較佳地，所述冷卻介質為冷水。所述冷水不僅冷卻效果好且成本較低，能有效吸收 擋板、旋轉軸及其他組件產(chǎn)生的熱量。較佳地，所述傳動機構為齒輪，所述齒輪固定在所述旋轉軸上并位于所述動密封 組件與連接件之間。所述齒輪由外部動力驅動從而帶動旋轉軸轉動，實現(xiàn)控制擋板的活動 范圍。同樣較佳地，所述冷卻管為金屬管。所述金屬管結構堅固，經(jīng)久耐用，熱傳遞效果 好。同樣較佳地，所述擋板包括上表面與下表面，所述下表面為磨砂面，所述下表面與 所述蒸發(fā)源相對，通過磨砂處理，有利于鍍膜物質的吸附，減少微粒脫落的概率，所述冷卻 管鋪設于所述擋板的上表面上。冷卻管布置在擋板的非鍍膜表面，避免與蒸發(fā)源直接相對，保證擋板的遮擋效果同時保護冷卻管。同樣較佳地，所述連接件與所述旋轉軸之間設有第三密封圈。通過第三密封圈的 密封作用，在所述旋轉軸做旋轉運動時，使冷卻腔與連接件之間充分密封，增強冷卻效果。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的擋板冷卻裝置利用鋪設在擋板上的冷卻管實現(xiàn)對擋板 的冷卻，通過連接件與旋轉軸的樞接及與輸入接口的固定連接，使旋轉軸帶動擋板轉動時 輸出管、輸入接口及輸出接口保持固定的狀態(tài)，實現(xiàn)在擋板轉動的同時進行冷卻的目的。所 述輸入接口、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸出接口依次連通形成循環(huán)回路，冷卻介質從輸入接 口流入，經(jīng)過冷卻腔流入到冷卻管之后經(jīng)輸出管、輸出接口流出，在冷卻介質的循環(huán)流動過 程中，將熱量源源不斷的帶走，從而達到冷卻效果，不僅實現(xiàn)了對擋板的冷卻，降低了真空 腔體內的溫度，且?guī)ё吡诵D軸及其他組件的熱量，通過該冷卻的循環(huán)回路在蒸鍍設備中 對蒸發(fā)源進行遮擋的擋板進行冷卻，增強膜物質與板的附著力，使附著在擋板上的膜不易 脫落，減少了擋板微粒的剝落，使蒸發(fā)源蒸發(fā)順暢，從而提高膜層形成的質量，同時還可以 降低腔體溫度。其結構簡單可靠，冷卻效果好、具有較高清潔度。


圖1是本發(fā)明擋板冷卻裝置的結構示意圖。圖2是本發(fā)明擋板冷卻裝置的另一結構示意圖。圖3是圖1中A部分的放大示意圖。圖4是冷卻介質在圖1所示的擋板冷卻裝置中的流向示意圖。圖5是冷卻介質在圖2所示的擋板冷卻裝置中的流向示意圖。
具體實施例方式為了詳細說明本發(fā)明的技術內容、構造特征，以下結合實施方式并配合附圖作進 一步說明，其中不同圖中相同的標號代表相同的部件。本發(fā)明涉及半導體制造領域，尤其涉 及一種在處理腔內隔離氣體、液體或者粉狀固體的擋板，主要涉及對此擋板進行冷卻的擋 板冷卻裝置。可廣泛的運用在真空設備的各種制程中，尤其適用于沉積薄膜工藝中。如物 理氣相沉積(PVD)技術，化學氣相沉積(CVD)，最特別的適用于蒸鍍工藝中，即主要用于蒸 鍍設備中遮擋蒸發(fā)源的擋板進行冷卻。所述擋板冷卻裝置適用于與冷卻介質配合使用，利 用冷卻介質的循環(huán)流動帶走擋板上的熱量，達到對擋板進行冷卻的效果，提高附著力，提高 膜層形成質量，且同時降低了真空腔體內的溫度，帶走驅動擋板的旋轉軸及其他相關組件 所產(chǎn)生的熱量，使真空腔體內具有較高清潔度。參考圖1及圖2，本發(fā)明實施例的擋板10通過旋轉軸30懸設于提供真空環(huán)境的 真空腔體20內并位于蒸發(fā)源與待鍍基板(圖未示)之間，所述旋轉軸30的上端與所述擋 板10固定連接，所述旋轉軸30的下端穿過所述真空腔體20并與真空腔體20外的傳動機 構固定連接，所述旋轉軸30與所述真空腔體20之間設有動密封組件50，所述動密封組件 50套設于所述旋轉軸30上并與所述旋轉軸30樞接，通過動密封技術使旋轉軸30與真空腔 體20接觸的部分實現(xiàn)密封，進一步的可以通過磁流體密封技術。本發(fā)明的擋板冷卻裝置包 括連接座610、旋轉管620、連接件630、冷卻腔640、冷卻管650、輸出管660、輸入接口 670 及輸出接口 680，所述旋轉管620設置位于所述連接座610與所述旋轉軸30之間且具有中空結構，所述旋轉管620的上端與所述連接座610固定連接，所述旋轉管620的下端與所述 旋轉軸30固定連接，通過所述旋轉管620便于所述擋板10與連接座610、旋轉軸30之間 的安裝與拆卸，方便維修與更換。所述擋板10通過所述連接座610與所述旋轉管620固定 連接，所述連接件630套設于所述旋轉軸30位于真空腔體20外的端部上，所述連接件630 的上端632與所述旋轉軸30樞接，所述連接件630的下端634與所述輸入接口 670固定連 接，所述連接件630中部與所述旋轉軸30之間設有第三密封圈636，所述連接件630的上端 632與旋轉軸30之間設有第四密封圈638，通過第三密封圈636及第四密封圈638的密封 作用，在所述旋轉軸30做旋轉運動時，使冷卻腔640與連接件630之間充分密封，保證冷卻 回路的密封性，增強冷卻效果。所述輸入接口 670與所述輸出接口 680固定連接并位于所 述連接件630與輸出接口 680之間，通過連接件630與旋轉軸30的樞接及與輸入接口 670 的固定連接，使旋轉軸30帶動擋板10轉動時輸出管660、輸入接口 670及輸出接口 680保 持固定的狀態(tài)，實現(xiàn)在擋板10轉動的同時進行冷卻的目的。所述旋轉管620、旋轉軸30、連 接件630、輸入接口 670及輸出接口 680均沿所述旋轉軸30的軸向方向開設有中空結構并 相互連通形成所述冷卻腔640，所述輸出管660懸于所述冷卻腔640內并貫穿所述旋轉管 620、旋轉軸30、連接件630、輸入接口 670，所述輸出管660位于腔體10外的末端與所述輸 出接口 680固定連接，所述冷卻管650鋪設于所述擋板10上，所述冷卻管650具有輸入端 652與輸出端654，所述冷卻管650的輸入端652與所述冷卻腔640連通，所述冷卻管650 的輸出端654與所述輸出管660連通，所述輸入接口 670與所述冷卻腔640連通，所述輸出 接口 680與所述輸出管660連通。所述輸出管660套裝在旋轉管620與旋轉軸30中，實現(xiàn) 對旋轉管620與旋轉軸30及安裝于旋轉軸30的組件進行冷卻，從而提高冷卻效果。較佳 者，所述冷卻介質為冷水。所述冷水不僅冷卻效果好且成本較低，能有效吸收擋板10、旋轉 軸30及其他組件產(chǎn)生的熱量?？梢岳斫獾兀隼鋮s介質也可以為其他冷卻液體或氣體。 所述冷卻管650為金屬管，可以選擇不銹鋼、銅或者其他金屬合金。所述金屬管結構堅固， 經(jīng)久耐用，熱傳遞效果好。在發(fā)明實施例中，所述傳動機構為套設于旋轉軸30上的齒輪40， 所述齒輪40固定在所述旋轉軸30上并位于所述動密封組件50與連接件630之間。所述 齒輪40由外部動力驅動從而帶動旋轉軸30轉動，實現(xiàn)控制擋板10的活動范圍。配合參考圖3，所述連接座610包括上連接座610a與下連接座610b，所述上連接 座610a與所述擋板10固定連接，所述下連接座610b與所述旋轉管620的上端固定連接， 所述上連接座610a與所述下連接座610b通過螺釘614固定連接，所述上連接座610a與所 述下連接座610b之間設有第一密封圈616，實現(xiàn)上連接座610a與下連接座610b的密封，保 證冷卻回路的密封性。所述上連接座610a上開設有上空腔612a，所述下連接座610b上開 設有下空腔612b，所述上空腔612a與所述下空腔612b連通，所述上空腔612a分別連通所 述冷卻管650的輸出端654及所述輸出管660，所述下空腔612b分別連通所述冷卻管650 的輸入端652及所述冷卻腔640。所述輸出管660位于真空腔體20內的端部容置于所述 上空腔612a內，所述輸出管660與所述上空腔612a之間設有第二密封圈618，隔絕輸出管 660與下空腔612b的連通，使冷卻管650流出的冷卻介質只通過輸出管660輸出。通過所 述上連接座610a與所述下連接座610b，使擋板10、冷卻管650、輸出管660、旋轉軸30之間 的組裝方便同時又保持了較高密封性，保持了冷卻介質的循環(huán)通路，使冷卻順利進行。較佳者，所述擋板10包括上表面12與下表面14，所述下表面14為磨砂面，所述下表面14與所述蒸發(fā)源相對，通過磨砂處理，有利于鍍膜物質的吸附，減少微粒脫落的概率。 所述冷卻管650曲折地鋪設于所述擋板10的上表面12上。冷卻管650布置在擋板10的 非鍍膜表面，避免與蒸發(fā)源直接相對，保證擋板10的遮擋效果同時保護冷卻管650。所述 冷卻管650布置在擋板10上的形狀是根據(jù)擋板10冷卻效果和冷卻管650加工便利性等綜 合考慮。所述擋板10的上表面12對應所述冷卻管650開設有凹槽(圖未示)，所述冷卻 管650容置于所述凹槽中。通過凹槽的設計，增大冷卻管650與擋板10的接觸面積，增強 擋板10的冷卻效果。作為本發(fā)明的優(yōu)選實施例，所述冷卻管650為中空圓形管，即所述冷 卻管650的截面為圓形，對應地，所述凹槽為弧形凹槽。所述圓形管加工便利且成本較為低 廉?？梢岳斫獾?，所述冷卻管650也可以為中空的矩形管，包括中空的方形管，對應地，所述 凹槽為矩形凹槽。參考圖4及圖5，本發(fā)明實施例的擋板冷卻裝置的工作原理為鍍膜工藝過程中， 外部驅動機構驅動安裝在真空腔體20外的旋轉軸30上的齒輪40，所述齒輪40帶動旋轉軸 30轉動，所述旋轉管620與旋轉軸30同軸轉動，從而帶動真空腔體20內的擋板10旋轉，實 現(xiàn)對擋板10的活動范圍的控制和限制。由于連接件630的作用，輸出管660位于腔體10 外的末端與輸出接口 680固定連接，使擋板10在轉動過程中，輸出管660及輸入接口 670、 輸出接口 680能保持靜止不動的狀態(tài)，從而實現(xiàn)集傳動及冷卻為一體。如圖4及圖5中所 示箭頭方向，冷卻介質從輸入接口 670流入，進入到冷卻腔640中，通過上連接座610a的上 空腔612a與下連接座610b的下空腔612b連通到冷卻管650的輸入端652，然后由冷卻管 650的輸出端654輸出流入到輸出管660中，最后從輸出接口 680流出，完成冷卻介質的循 環(huán)。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的擋板冷卻裝置利用鋪設在擋板10上的冷卻管650實現(xiàn)對擋 板10的冷卻，利用旋轉管620、旋轉軸30、連接件630、輸入接口 670及輸出接口 680的中空 結構相互連通形成冷卻腔640，所述輸入接口 670、冷卻腔640、冷卻管650、輸出管660、輸出 接口 680依次連通形成循環(huán)回路，冷卻介質從輸入接口 670流入，經(jīng)過冷卻腔640流入到冷 卻管650之后經(jīng)輸出管660、輸出接口 680流出，在冷卻介質的循環(huán)流動過程中，將熱量源 源不斷的帶走，從而達到冷卻效果，不僅實現(xiàn)了對擋板10的冷卻，降低了真空腔體20內的 溫度，且?guī)ё吡诵D軸30及其他組件的熱量，通過該冷卻的循環(huán)回路在蒸鍍設備中對蒸發(fā) 源進行遮擋的擋板10進行冷卻，增強膜物質與板的附著力，使附著在擋板10上的膜不易脫 落，減少了擋板10微粒的剝落，使蒸發(fā)源蒸發(fā)順暢，從而提高膜層形成的質量，同時還可以 降低腔體10的溫度。其結構簡單可靠，冷卻效果好且具有較高清潔度。本發(fā)明實施例的擋板冷卻裝置是在蒸鍍工藝的情況下說明的，但是對任何隔離液 體、粉狀固體或氣體材料的擋板10及其冷卻裝置都具有普遍的意義。比如濺射等。本發(fā)明 所涉及的動密封組件50的結構及該動密封組件50的密封原理為本領域技術人員所知，因 此不另描述。以上結合最佳實施例對本發(fā)明進行了描述，但本發(fā)明并不局限于以上揭示的實施 例，而應當涵蓋各種根據(jù)本發(fā)明的本質進行的修改、等效組合。
權利要求
一種擋板冷卻裝置，適用于與冷卻介質配合使用，所述擋板通過旋轉軸懸設于提供真空環(huán)境的真空腔體內并位于蒸發(fā)源與待鍍基板之間，所述旋轉軸的上端與所述擋板固定連接，所述旋轉軸的下端穿過所述真空腔體并與真空腔體外的傳動機構固定連接，所述旋轉軸與所述真空腔體之間設有動密封組件，所述動密封組件套設于所述旋轉軸上并與所述旋轉軸樞接，其特征在于，所述擋板冷卻裝置包括連接座、連接件、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸入接口及輸出接口，所述擋板通過所述連接座與所述旋轉軸固定連接，所述連接件套設于所述旋轉軸位于真空腔體外的端部上，所述連接件的上端與所述旋轉軸樞接，所述連接件的下端與所述輸入接口固定連接，所述輸入接口與所述輸出接口固定連接并位于所述連接件與輸出接口之間，所述旋轉軸、連接件、輸入接口及輸出接口均沿所述旋轉軸的軸向方向開設有中空結構并相互連通形成所述冷卻腔，所述輸出管懸于所述冷卻腔內并貫穿所述旋轉軸、連接件、輸入接口，所述輸出管位于腔體外的末端與所述輸出接口固定連接，所述冷卻管鋪設于所述擋板上，所述冷卻管具有輸入端與輸出端，所述冷卻管的輸入端與所述冷卻腔連通，所述冷卻管的輸出端與所述輸出管連通，所述輸入接口與所述冷卻腔連通，所述輸出接口與所述輸出管連通。
2.如權利要求1所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述連接座包括上連接座與下連 接座，所述上連接座與所述擋板固定連接，所述下連接座與所述旋轉軸的上端固定連接，所 述上連接座與所述下連接座通過螺釘固定連接，所述上連接座與所述下連接座之間設有第 一密封圈，所述上連接座上開設有上空腔，所述下連接座上開設有下空腔，所述輸出管位于 真空腔體內的端部容置于所述上空腔內，所述輸出管與所述上空腔之間設有第二密封圈， 所述上空腔與所述下空腔連通，所述上空腔分別連通所述冷卻管的輸出端及所述輸出管， 所述下空腔分別連通所述冷卻管的輸入端及所述冷卻腔。
3.如權利要求2所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述下連接座與所述旋轉軸之間 還設有中空的旋轉管，所述旋轉管的上端與所述上連接座固定連接，所述旋轉管的下端與 所述旋轉軸固定連接，所述輸出管貫穿所述旋轉管。
4.如權利要求1所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述擋板的表面對應所述冷卻管 開設有凹槽，所述冷卻管容置于所述凹槽中。
5.如權利要求4所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻管為圓形管，所述凹槽為 弧形凹槽。
6.如權利要求4所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻管為矩形管，所述凹槽為 矩形凹槽。
7.如權利要求1所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻介質為冷水。
8.如權利要求1所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述傳動機構為齒輪，所述齒輪固 定在所述旋轉軸上并位于所述動密封組件與連接件之間。
9.如權利要求1所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻管為金屬管。
10.如權利要求1所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述擋板包括上表面與下表面， 所述下表面與所述蒸發(fā)源相對，所述冷卻管鋪設于所述擋板的上表面上。
11.如權利要求10所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述擋板的下表面為磨砂面。
12.如權利要求1所述的擋板冷卻裝置，其特征在于，所述連接件與所述旋轉軸之間設 有第三密封圈。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種擋板冷卻裝置，包括連接座、連接件、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸入接口及輸出接口，擋板通過連接座與旋轉軸固定連接，旋轉軸位于真空腔體外的端部套設有連接件，連接件與旋轉軸樞接并與輸入接口固定連接，輸入接口與輸出接口固定連接，旋轉軸、連接件、輸入接口及輸出接口均沿旋轉軸的軸向方向開設有中空結構并相互連通形成冷卻腔，輸出管懸于冷卻腔內并貫穿旋轉軸、連接件、輸入接口且與輸出接口固定連接，冷卻管鋪設于擋板上，其輸入端與旋轉軸連通，輸出端與輸出管連通，輸入接口、冷卻腔、冷卻管、輸出管、輸出接口連通形成冷卻介質的循環(huán)回路，其冷卻效果好、附著力強、清潔度高并能降低真空腔體溫度、提高膜層形成質量。
文檔編號C23C14/56GK101876055SQ201010131868
公開日2010年11月3日 申請日期2010年3月23日 優(yōu)先權日2010年3月23日
發(fā)明者劉惠森, 葉宗峰, 張華 , 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司