專利名稱：鍍膜傘架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鍍膜傘架，尤其涉及一種由平面載盤構(gòu)成的鍍膜傘架。
背景技術(shù)：
光學(xué)薄膜一般采用蒸鍍法(Evaporation Deposition)、離子助鍍法(Ion Assisteddeposition, IAD)(Ion Beam Sputtering Deposition, IB SD) ii 行鍍制。在膜層鍍制過程中，通常使用鍍膜傘架來承載待鍍元件，待鍍元件放置于鍍膜傘架上，待鍍表面朝向設(shè)置于鍍膜傘架下方的靶材，通過蒸發(fā)或離子轟擊等方式將靶材材料沖至鍍膜傘架，并附著于待鍍表面形成鍍膜膜層。請參閱圖6，為傳統(tǒng)鍍膜傘架10的示意圖，傳統(tǒng)鍍膜傘架10為弧面結(jié)構(gòu)，其上開設(shè)有多個承載孔12，傳統(tǒng)鍍膜傘架10可以繞其中心旋轉(zhuǎn)。鍍膜時，待鍍元件(圖未示)容置于承載孔12，待鍍表面朝向設(shè)置于鍍膜傘架下方的靶材(圖未示)。但是，這種傳統(tǒng)鍍膜傘架一般體積及重量都較大，使用過程中需占據(jù)較大的空間，不易于收放保存。而且，傳統(tǒng)鍍膜傘架具有的弧度又使得鍍膜傘架的中心距離靶材較遠，易造成放置于鍍膜傘架中心位置的待鍍元件鍍膜膜層厚度不夠，影響同一批次待鍍元件鍍膜膜層的均勻性。此外，對于需要在不同表面鍍膜的待鍍元件來說，采用傳統(tǒng)的鍍膜傘架通常需要人工翻轉(zhuǎn)待鍍元件，由此， 易使待鍍元件受到污染，影響鍍膜制品的良率。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種易于實現(xiàn)的、可有效解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題的鍍膜傘架。一種鍍膜傘架其包括一個中心支撐桿，及一個中心載盤。所述中心支撐桿可以繞其長度方向的中心軸旋轉(zhuǎn)。所述中心載盤設(shè)置于所述中心支撐桿上。所述中心載盤至少由一個第一載盤及一個第二載盤組成。所述第一載盤與所述第二載盤通過一個中心連接軸連接于所述中心支撐桿，所述第一載盤與所述第二載盤可以繞所述中心連接軸相對于所述中心支撐桿旋轉(zhuǎn)，使所述第一載盤與所述第二載盤分別實現(xiàn)翻面。相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供的鍍膜傘架具有如下優(yōu)點其一，便于收放保存，占據(jù)的空間較小，可以節(jié)省放置空間。其二，本發(fā)明的鍍膜傘架中的載盤除了可以整體旋轉(zhuǎn)以外，還可以旋轉(zhuǎn)變換鍍膜角度，可以有效地改善鍍膜膜層的均勻性、致密性及應(yīng)力分布。其三，整體結(jié)構(gòu)簡單，便于安裝與拆卸，無需設(shè)計具有弧度的復(fù)雜曲面，有利于降低設(shè)計成本。 其四，對于需要在不同表面鍍膜的待鍍元件來說，采用本發(fā)明的鍍膜傘架便于實現(xiàn)自動翻轉(zhuǎn)待鍍元件，可避免待鍍元件受到污染，提高鍍膜制品的良率。


圖1是本發(fā)明一實施例提供的鍍膜傘架的示意圖，所述鍍膜傘架包括中心載盤及外圍載盤。
圖2是圖1所示的鍍膜傘架的局部放大示意圖。
圖3是圖1所示的鍍膜傘架中的外圍載盤調(diào)整至某--角度的狀態(tài)示意圖
圖4是圖1所示的鍍膜傘架中的外圍載盤調(diào)整至另--角度的狀態(tài)示意圖
圖5是圖1所示的鍍膜傘架中的中心載盤及外圍載盤翻面后的示意圖。
圖6是傳統(tǒng)鍍膜傘架的示意圖。
主要元件符號說明
傳統(tǒng)鍍膜傘架10
承載孔12,43
支撐架30
中心支撐桿31
外圍支撐桿32
橫桿34
驅(qū)動器36
中心載盤40
第一載盤41
第二載盤42
間隙44
連接塊45
連接軸47
第一表面48
第二表面49
外圍載盤50
鍍膜傘架100
中心支撐桿的第一-端311
中心支撐桿的第二-端312
外圍支撐桿的連接端321
外圍支撐桿的安裝端322
驅(qū)動軸36具體實施例方式下面將結(jié)合附圖及實施例對本技術(shù)方案作進一步詳細說明。請參閱圖1，發(fā)明第一實施例提供一種鍍膜傘架100，其包括一個支撐架30，一個中心載盤40，及四個外圍載盤50。所述支撐架30具有一個長條狀的中心支撐桿31及四個長條狀的外圍支撐桿32。 所述中心支撐桿31位于所述支撐架30的中心位置。所述四個外圍支撐桿32圍繞所述中心支撐桿31且以所述中心支撐桿31為軸呈中心對稱設(shè)置。所述中心支撐桿31具有相對的第一端311與第二端312。所述外圍支撐桿32具有相對的連接端321與安裝端322。所述四個外圍支撐桿32同向的四個連接端321分別通過一個橫桿34與所述中心支撐桿31的第一端311相連接，由此，所述中心支撐桿31與所述四個外圍支撐桿32及四個橫桿34構(gòu)成一個整體，即所述支撐架30。本實施例中，四個所述橫桿34處于同一平面，每一個所述橫桿34的形狀尺寸皆相同，且四個所述橫桿34在所述中心支撐桿31的第一端311相交。每一所述外圍支撐桿32 皆平行于所述中心支撐桿31，每一所述外圍支撐桿32的形狀尺寸皆與所述中心支撐桿31 相同。當然，所述外圍支撐桿32與所述中心支撐桿31之間的關(guān)系并不局限于本實施例，如， 每一所述外圍支撐桿32與所述中心支撐桿31之間可設(shè)置一個傾斜角度。進一步地，所述中心支撐桿31的第一端311與一個驅(qū)動器36的驅(qū)動軸361相連接，所述驅(qū)動器36驅(qū)動所述支撐架30以所述中心支撐桿31為旋轉(zhuǎn)軸并繞其進行旋轉(zhuǎn)。本實施例中，所述中心載盤40與所述外圍載盤50的形狀、結(jié)構(gòu)及尺寸皆相同，以下，本實施例以中心載盤40為例對其結(jié)構(gòu)進行說明。請參閱圖2，所述中心載盤40為平板圓盤，其由一個第一載盤41及一個第二載盤 42組成。所述第一載盤41與所述第二載盤42開設(shè)有多個承載待鍍元件的承載孔43。每一所述承載孔43收容一個待鍍元件(圖未示)，所述承載孔43的具體形狀結(jié)構(gòu)可根據(jù)所承載的待鍍元件的具體形狀結(jié)構(gòu)進行設(shè)計。所述第一載盤41與所述第二載盤42為半圓結(jié)構(gòu)，分別位于所述中心支撐桿31兩側(cè)。所述第一載盤41與所述第二載盤42處在一個平面上并相對于所述中心支撐桿31對稱。所述第一載盤41與所述第二載盤42之間具有一個間隙44，所述間隙44大于或等于所述中心支撐桿31的寬度，以確保所述中心支撐桿31能通過所述間隙44。所述第一載盤41的半圓圓心位置與所述第二載盤42的半圓圓心位置分別設(shè)置有一個連接塊45。所述中心支撐桿31的第二端312位于所述兩個連接塊45之間，且所述第二端312與所述兩個連接塊45通過一個連接軸47連接起來，所述連接軸47垂直或基本垂直于所述中心支撐桿31。由此，所述第一載盤41與所述第二載盤42可以繞所述連接軸47相對于所述中心支撐桿31同時旋轉(zhuǎn)，使所述中心載盤40相對的第一表面48與第二表面49可以翻轉(zhuǎn)，亦即翻面，如圖1與圖2所示?？梢岳斫獾氖?，所述第一載盤41與所述第二載盤42也可以繞所述連接軸47分別朝不同方向進行旋轉(zhuǎn)。可以理解的是，所述中心支撐桿31的第二端312可以直接通過連接軸47分別連接在第一載盤41與第二載盤42之間，而不需要連接塊45。對于需要在不同表面鍍膜的待鍍元件來說，當其承載于所述中心載盤40的承載孔43時，驅(qū)動所述第一載盤41與所述第二載盤42繞所述連接軸47相對于所述中心支撐桿31旋轉(zhuǎn)，即可改變待鍍元件朝向靶材(圖未示)的角度，并可使待鍍元件相對的表面接受鍍膜?？梢岳斫獾氖?，所述連接軸47可以與驅(qū)動器連接，由此，通過控制驅(qū)動器，即可實現(xiàn)自動驅(qū)動所述第一載盤41與所述第二載盤42繞所述連接軸47相對于所述中心支撐桿 31旋轉(zhuǎn)，即可實現(xiàn)自動翻面。本實施例中，所述中心載盤40由一個半圓結(jié)構(gòu)的第一載盤41及一個半圓結(jié)構(gòu)的第二載盤42組成。當然，所述中心載盤40也可以由四個四分之一圓結(jié)構(gòu)的載盤組成，由此， 所述中心載盤40可以在兩個相互垂直的方向相對于所述中心支撐桿31旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)不同方向的自動翻面。
請一并參閱圖1與圖2，形狀、結(jié)構(gòu)及尺寸皆與所述中心載盤40相同的四個外圍載盤50，分別連接于四個外圍支撐桿32的安裝端322，每一個外圍載盤50與外圍支撐桿32 的連接結(jié)構(gòu)皆相同于所述中心載盤40與所述中心支撐桿31的連接結(jié)構(gòu)，S卩，每一個外圍載盤50與外圍支撐桿32的安裝端322皆通過兩個連接塊45及一個連接軸47連接起來，由此，每一個所述外圍載盤50相對的兩個表面都可以實現(xiàn)翻轉(zhuǎn)。請一并參閱圖3與圖4，為所述鍍膜傘架100中的四個外圍載盤50旋轉(zhuǎn)至不同角度的狀態(tài)示意圖?？芍ㄟ^控制所述外圍載盤50相對于各自對應(yīng)的所述外圍支撐桿32的旋轉(zhuǎn)角度，即可使所述外圍載盤50以不同的角度朝向靶材，由此，可控制所述外圍載盤50 上承載的待鍍元件的鍍膜角度。請參閱圖5，為所述鍍膜傘架100中的中心載盤40及外圍載盤50翻面后的示意圖，其中，中心載盤40與外圍載盤50各自的兩個相對的第一表面48與第二表面49已經(jīng)翻轉(zhuǎn)至相對的方位，即，圖1中中心載盤40與外圍載盤50朝向靶材的第二表面49，已經(jīng)翻轉(zhuǎn)至背離靶材，而圖1中中心載盤40與外圍載盤50背離靶材的第一表面48，已經(jīng)翻轉(zhuǎn)至朝向靶材。由此，所述中心載盤40與所述外圍載盤50上承載的待鍍元件可以進行不同表面的鍍膜加工?？梢岳斫獾氖牵鲥兡慵?00的具體形狀結(jié)構(gòu)并不局限于本實施例，根據(jù)實際的鍍膜加工，中心支撐桿31與外圍支撐桿32，中心載盤40與外圍載盤50，皆可以設(shè)計為不同的尺寸及形狀。如，外圍支撐桿32的長度可以大于或小于中心支撐桿31的長度，外圍載盤50的尺寸可以大于或小于中心載盤40的尺寸，且中心載盤40與外圍載盤50可以設(shè)計為方形或橢圓形或不對稱的形狀。只要所述鍍膜傘架100中的中心載盤40與外圍載盤 50可以實現(xiàn)翻轉(zhuǎn)即可?？梢岳斫獾氖牵鲥兡慵?00中也可以設(shè)置其他數(shù)量的所述外圍載盤50，如在所述中心載盤40的周圍設(shè)計兩個、三個、五個或六個所述外圍載盤50，具體可以根據(jù)實
際需要進行設(shè)置?？梢岳斫獾氖牵鲥兡慵?00中也可以只設(shè)置一個中心支撐桿31及一個設(shè)置于所述中心支撐桿31上的中心載盤40，或者只設(shè)置至少一個外圍支撐桿32及設(shè)置于所述至少一個外圍支撐桿32上的外圍載盤50。同時，可以根據(jù)實際需要設(shè)置中心支撐桿31或者外圍支撐桿32在鍍膜腔內(nèi)的位置。可以理解的是，所述鍍膜傘架100承載待鍍元件進行鍍膜加工時，一方面，所述中心載盤40與所述外圍載盤50可以一起隨所述支撐架30繞所述中心支撐桿31旋轉(zhuǎn)，以使待鍍元件在不同方向接受靶材材料的鍍膜。另一方面，所述中心載盤40與所述外圍載盤50 也可以各自調(diào)節(jié)鍍膜角度或者翻面。由此，既可以調(diào)節(jié)承載于不同外圍載盤50上的待鍍元件的鍍膜膜層，又可以調(diào)節(jié)承載于同一個外圍載盤50或中心載盤40上的待鍍元件，還可以使同一個待鍍元件相對的表面接受鍍膜加工。相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供的鍍膜傘架具有如下優(yōu)點其一，便于收放保存，占據(jù)的空間較小，可以節(jié)省放置空間。其二，本發(fā)明的鍍膜傘架中的載盤除了可以整體旋轉(zhuǎn)以外，還可以旋轉(zhuǎn)變換鍍膜角度，可以有效地改善鍍膜膜層的均勻性、致密性及應(yīng)力分布。其三，整體結(jié)構(gòu)簡單，便于安裝與拆卸，無需設(shè)計具有弧度的復(fù)雜曲面，有利于降低設(shè)計成本。 其四，對于需要在不同表面鍍膜的待鍍元件來說，采用本發(fā)明的鍍膜傘架便于實現(xiàn)自動翻轉(zhuǎn)待鍍元件，可避免待鍍元件受到污染，提高鍍膜制品的良率。 另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可以在本發(fā)明精神內(nèi)做其它變化，當然，這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變化，都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種鍍膜傘架，其包括一個中心支撐桿，所述中心支撐桿可以繞其長度方向的中心軸旋轉(zhuǎn)；及一個中心載盤， 所述中心載盤設(shè)置于所述中心支撐桿上；其特征在于，所述中心載盤至少由一個第一載盤及一個第二載盤組成，所述第一載盤與所述第二載盤通過一個中心連接軸連接于所述中心支撐桿，所述第一載盤與所述第二載盤可以繞所述中心連接軸相對于所述中心支撐桿旋轉(zhuǎn)，使所述第一載盤與所述第二載盤分別實現(xiàn)翻面。
2.如權(quán)利要求1所述的鍍膜傘架，其特征在于，所述中心連接軸垂直于所述中心支撐桿。
3.如權(quán)利要求1所述的鍍膜傘架，其特征在于，所述鍍膜傘架進一步包括至少一個圍繞并固定于所述中心支撐桿的外圍支撐桿，及至少一個設(shè)置于所述外圍支撐桿上的外圍載盤；所述外圍支撐桿及所述中心支撐桿可以繞所述中心支撐桿長度方向的中心軸旋轉(zhuǎn)；所述至少一個外圍載盤至少由一個第一載盤及一個第二載盤組成，所述至少一個外圍載盤的第一載盤與第二載盤可以相對于與其對應(yīng)的外圍支撐桿旋轉(zhuǎn)，使所述至少一個外圍載盤的第一載盤與第二載盤分別實現(xiàn)翻面。
4.如權(quán)利要求1所述的鍍膜傘架，其特征在于，所述中心支撐桿進一步與一個驅(qū)動器相連接，所述驅(qū)動器驅(qū)動所述鍍膜傘架繞所述中心支撐桿長度方向的中心軸旋轉(zhuǎn)。
5.如權(quán)利要求3所述的鍍膜傘架，其特征在于，所述至少一個外圍載盤的第一載盤與第二載盤通過一個外圍連接軸與所述外圍支撐桿相連接，所述至少一個外圍載盤的第一載盤與第二載盤可以繞所述外圍連接軸相對于所述外圍支撐桿旋轉(zhuǎn)，使所述至少一個外圍載盤的第一載盤與第二載盤分別實現(xiàn)翻面。
6.如權(quán)利要求3所述的鍍膜傘架，其特征在于，所述中心載盤的第一載盤與第二載盤相對于所述中心支撐桿對稱，所述至少一個外圍載盤的第一載盤與第二載盤相對于所述至少一個外圍支撐桿對稱。
7.如權(quán)利要求3所述的鍍膜傘架，其特征在于，所述鍍膜傘架進一步包括至少一個橫桿，所述至少一個外圍支撐桿包括若干個外圍支撐桿并相對于所述中心支撐桿對稱設(shè)置， 所述外圍支撐桿平行于所述中心支撐桿，且所述中心支撐桿與所述外圍支撐桿之間通過所述橫桿連接。
8.如權(quán)利要求3所述的鍍膜傘架，其特征在于，所述中心載盤與所述外圍載盤為平板圓盤，所述中心支撐桿與所述外圍支撐桿分別在所述中心載盤與所述外圍載盤的中心位置與所述中心載盤或所述外圍載盤連接。
9.如權(quán)利要求3所述的鍍膜傘架，其特征在于，所述中心載盤或所述外圍載盤的第一載盤與第二載盤均為半圓結(jié)構(gòu)，且分別對稱設(shè)置于所述中心支撐桿或所述外圍支撐桿的兩側(cè)。
10.如權(quán)利要求9所述的鍍膜傘架，其特征在于，所述中心載盤或所述外圍載盤的第一載盤的半圓圓心位置與第二載盤的半圓圓心位置分別設(shè)置有一個連接塊，且所述連接塊通過所述中心連接軸或所述外圍連接軸與所述中心支撐桿或所述外圍支撐桿連接起來。
全文摘要
一種鍍膜傘架其包括一個中心支撐桿，及一個中心載盤。所述中心支撐桿可以繞其長度方向的中心軸旋轉(zhuǎn)。所述中心載盤設(shè)置于所述中心支撐桿上。所述中心載盤至少由一個第一載盤及一個第二載盤組成。所述第一載盤與所述第二載盤通過一個中心連接軸連接于所述中心支撐桿，所述第一載盤與所述第二載盤可以繞所述中心連接軸相對于所述中心支撐桿旋轉(zhuǎn)，使所述第一載盤與所述第二載盤分別實現(xiàn)翻面。
文檔編號C23C14/50GK102234781SQ201010158750
公開日2011年11月9日 申請日期2010年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月28日
發(fā)明者裴紹凱 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司