專利名稱：一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警方法和裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體加工技術領域，特別涉及一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警方法和裝置。
背景技術：
在半導體制程中，美國N0VELLUS公司生產的化學研磨機臺IPEC776在晶片加工過程中，由于機臺軟件故障較多易造成機臺程序紊亂，進而導致機臺無動作，且該機臺無防呆報警裝置，存在設計上的缺陷。這樣帶來的危害有⑴處于機臺研磨頭下及清洗裝置中的產品晶片(wafer)長時間被研磨液等化學品腐蝕而導致報廢；(2)機臺停止生產而不被察覺，導致生產中斷影響生產進度。

發(fā)明內容
本發(fā)明提供一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警方法和裝置，能夠偵測機臺無動作并發(fā)出報警。為了達到上述目的，本發(fā)明采用以下技術方案一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警方法，包括步驟Sl 在晶片加工過程中通過所述機臺上的信號輸出端子，判斷所述機臺是否無動作；S2 當判斷出所述機臺無動作時，發(fā)出報警。作為對上述技術方案的優(yōu)化，所述步驟Sl具體包括Sll 當所述機臺的研磨機頭處于研磨位置時，開始計時；S12:獲取當前計時時間，并將當前計時時間與設定值進行比較，如果當前計時時間大于設定值，則判定所述機臺無動作，并轉至步驟S2 ；反之，則重復執(zhí)行該步驟。作為對上述技術方案的優(yōu)化，所述步驟S2之后還包括步驟S3 當所述機臺的研磨機頭處于非研磨位置時，停止計時；或者，S3’ 當判斷出所述機臺無動作時，停止計時。一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警裝置，包括判斷模塊，用于在晶片加工過程中通過所述機臺上的信號輸出端子，判斷所述機臺是否無動作；報警模塊，用于當判斷出所述機臺無動作時，發(fā)出報警。作為對上述技術方案的優(yōu)化，所述機臺上的信號輸出端子包括用于表示所述機臺的研磨機頭位于研磨位置的第一輸出端子；所述判斷模塊為具有判斷計時時間是否大于設定值功能的計時器，所述計時器包括用于觸發(fā)該計時器開始計時的第一輸入端和用于輸出計時時間大于設定值信號的輸出端；其中，
所述第一信號輸入端與所述第一輸出端子電連接；所述報警模塊為報警器，所述報警器的信號輸入端與所述計時器的輸出端電連接。作為對上述技術方案的優(yōu)化，所述機臺的信號輸出端子還包括用于表示所述機臺的研磨機頭位于非研磨位置的第二輸出端子；所述計時器還包括復位端，所述復位端與所述第二輸出端子電連接。作為對上述技術方案的優(yōu)化，所述機臺為美國N0VELLUS公司生產的化學機械研磨機臺IPEC776。

作為對上述技術方案的優(yōu)化，其特征在于，所述機臺向所述計時器的第一輸入端輸出高電平信號觸發(fā)所述計時器開始計時， 所述機臺向所述計時器的復位端輸出高電平信號時所述計時器計時清零，所述計時器在其計時時間達到設定值時向所述報警器輸出信號，觸發(fā)報警器報警。作為對上述技術方案的優(yōu)化，所述設定值為500s。一種晶片加工機臺，設置有上述任意一項技術方案所述的防呆計時報警裝置。本發(fā)明在晶片加工過程中通過所述機臺的信號輸出端子，判斷所述機臺是否無動作；當判斷出所述機臺無動作時，發(fā)出報警。因此，本發(fā)明能夠偵測到機臺無動作并發(fā)出報警，通知工程師第一時間處理產品，降低產品報廢風險，維護機臺保證生產的連續(xù)。


下面結合附圖對本發(fā)明進行詳細介紹。圖1是本發(fā)明的用于晶片加工機臺的防呆計時報警方法的流程示意圖。圖2是本發(fā)明的用于晶片加工機臺的防呆計時報警裝置的結構示意圖。圖3是圖2所示防呆計時報警裝置所采用的計時器和警報器的連接示意圖。
具體實施例方式如圖1所示，本發(fā)明的一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警方法，包括Sl 在晶片加工過程中通過所述機臺上的信號輸出端子，判斷所述機臺是否無動作；S2 當判斷出所述機臺無動作時，發(fā)出報警。本發(fā)明的防呆計時報警方法，在晶片加工過程中通過所述機臺的信號輸出端子， 判斷所述機臺是否無動作；當判斷出所述機臺無動作時，發(fā)出報警。因此，本發(fā)明能夠偵測到機臺無動作并發(fā)出報警，通知工程師第一時間處理產品，降低產品報廢風險，維護機臺保證生產的連續(xù)。應用時，所述步驟Sl具體可以包括Sll 當所述機臺的研磨機頭處于研磨位置時，開始計時；S12:獲取當前計時時間，并將當前計時時間與設定值進行比較，如果當前計時時間大于設定值，則判定所述機臺無動作，并轉至步驟S2 ；反之，則重復執(zhí)行該步驟。在晶片加工過程中，一次研磨都在一定的時間內完成，當超過這個時間時，即可認為機臺出現(xiàn)了故障。因此，本發(fā)明中上述設定值可以取為一次研磨的上限時間，這樣，當計時時間超過該上限時間時，判定機臺無動作，并發(fā)出報警。進一步地，在計時過程中，為了使計時停止，所述步驟S2之后還可以包括步驟S3 當所述機臺的研磨機頭處于非研磨位置時，停止計時；或者，S3’ 當判斷出所述機臺無動作時，停止計時。 另外，在計時停止之后，還可以采用計時清零步驟，以方便下一次計時。與上述用于晶片加工機臺的防呆計時報警方法相對應，本發(fā)明還提供一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警裝置，如圖2所示，包括判斷模塊11，用于在晶片加工過程中通過所述機臺上的信號輸出端子，判斷所述機臺是否無動作；報警模塊21，用于當判斷出所述機臺無動作時，發(fā)出報警。本發(fā)明的防呆計時報警裝置中，在晶片加工過程中判斷模塊11通過所述機臺的信號輸出端子，判斷所述機臺是否無動作；當判斷出所述機臺無動作時，報警模塊21發(fā)出報警。因此，本發(fā)明能夠偵測到機臺無動作并發(fā)出報警，通知工程師第一時間處理產品，降低產品報廢風險，維護機臺保證生產的連續(xù)。相應地，為了能夠通過對晶片加工時間進行計時并通過比較計算時間來方便準確地判斷所述機臺是否無動作，所述機臺上的信號輸出端子包括用于表示所述機臺的研磨機頭位于研磨位置的第一輸出端子；所述判斷模塊11為具有判斷計時時間是否大于設定值功能的計時器，所述計時器包括用于觸發(fā)該計時器開始計時的第一輸入端和用于輸出計時時間大于設定值信號的輸出端；其中，所述計時器的第一輸入端與所述機臺上的第一輸出端子電連接；所述報警模塊21為報警器，所述報警器的輸入端與所述計時器的輸出端電連接。相應地，在計時過程中，為了使計時停止，所述機臺的信號輸出端子還包括用于表示所述機臺的研磨機頭位于非研磨位置的第二輸出端子；所述計時器還包括復位端，所述復位端與所述第二輸出端子電連接。進一步地，本發(fā)明所述的機臺優(yōu)選為美國N0VELLUS公司生產的化學機械研磨機臺IPEC776。下面以該機臺為例，詳細說明本發(fā)明的防呆計時報警裝置。(一 )首先介紹上述機臺的特性該機臺在非研磨時，研磨機頭處于非研磨位置(即上位置(up position)), 機臺的信號輸出引腳M028為24VDC;在研磨時，研磨機頭處于研磨位置(下位置(down position))，機臺的信號輸出引腳M027為24VDC。該機臺的M027引腳所輸出的24VDC信號即可用來反饋機臺的研磨機頭上/下的狀態(tài)。根據(jù)機臺設定，正常的研磨時間不會超過500s，因此，研磨機頭處于下位置的正常時間不會超過500s，若其超過該時間，則認定機臺無動作。( 二)本發(fā)明的防呆計時報警裝置中判斷模塊11的實現(xiàn)該實施例中，如圖3所示，判斷模塊11為可以實現(xiàn)以下功能的計時器(1) 一高電平信號輸入開始計時，另一高電平信號輸入則計時清零；(2)達到設定時間值，計時器輸出電壓信號。以歐姆龍(0MR0N) H5CX-ASD型號計時器為例，該計時器工作電壓為24VDC，采用PNP模式可實現(xiàn)由O開始計時，達到設定值則輸出24VDC。計時器的信號(Signal)引腳接通24VDC時開始計時，復位(reset)引腳接通24VDC時計時清零。(三)本發(fā)明的防呆計時報警裝置中報警模塊21的實現(xiàn)如圖3所示，該實施例中的報警模塊21為發(fā)光警報器。該發(fā)光警報器工作電壓為 24VDC。將上述機臺的M028引腳接入計時器的信號引腳，將M027引腳接入計時器的復位引腳。同時，將計時器的電壓輸出端接入警報器，以便在計時達到設定值時為警報器提供工作電壓，使其發(fā)出警報。根據(jù)機臺設定，將計時器的設定值設為500s。當機臺的研磨機頭處于下位置時， M028引腳輸出24VDC，計時器開始計時，當計時達到設定時間500s，即認定機臺無動作，計時器輸出24VDC電壓信號。此時，警報器接收到該電壓信號，接通回路工作，發(fā)出警報。當機臺完成研磨，研磨機頭升起至上位置時，M027引腳輸出24VDC，此時，計時器復位引腳接收到機臺輸出的電壓信號而復位，計時清零(如果清零之前計時器已開始輸出 24VDC電壓信號，則此時會停止輸出該信號，從而停止觸發(fā)警報器，報警停止)。與上述用于晶片加工機臺的防呆計時報警方法和裝置相對應，本發(fā)明還提供一種晶片加工機臺，其上設置有上述的防呆計時報警裝置。上述僅為本發(fā)明的較佳實施例，當然，根據(jù)實際需要和進一步的探索還可以有其他實施方式。但是，應該明確的是，基于類似上述的或者其他沒有表述出的具有相同構思的實施方式的變換，均應涵蓋在本發(fā)明權利要求的保護范圍之中。
權利要求
1.一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警方法，其特征在于，包括步驟51在晶片加工過程中通過所述機臺上的信號輸出端子，判斷所述機臺是否無動作；52當判斷出所述機臺無動作時，發(fā)出報警。
2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟Sl具體包括Sll 當所述機臺的研磨機頭處于研磨位置時，開始計時；S12:獲取當前計時時間，并將當前計時時間與設定值進行比較，如果當前計時時間大于設定值，則判定所述機臺無動作，并轉至步驟S2 ；反之，則重復執(zhí)行該步驟。
3.根據(jù)權利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟S2之后還包括步驟53當所述機臺的研磨機頭處于非研磨位置時，停止計時；或者，S3’ 當判斷出所述機臺無動作時，停止計時。
4.一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警裝置，其特征在于，包括判斷模塊，用于在晶片加工過程中通過所述機臺上的信號輸出端子，判斷所述機臺是否無動作；報警模塊，用于當判斷出所述機臺無動作時，發(fā)出報警。
5.根據(jù)權利要求4所述的防呆計時報警裝置，其特征在于，所述機臺上的信號輸出端子包括用于表示所述機臺的研磨機頭位于研磨位置的第一輸出端子；所述判斷模塊為具有判斷計時時間是否大于設定值功能的計時器，所述計時器包括用于觸發(fā)該計時器開始計時的第一輸入端和用于輸出計時時間大于設定值信號的輸出端；其中，所述計時器的第一輸入端與所述機臺上的第一輸出端子電連接；所述報警模塊為報警器，所述報警器的輸入端與所述計時器的輸出端電連接。
6.根據(jù)權利要求5所述的防呆計時報警裝置，其特征在于，所述機臺的信號輸出端子還包括用于表示所述機臺的研磨機頭位于非研磨位置的第二輸出端子；所述計時器還包括復位端，所述復位端與所述機臺上的第二輸出端子電連接。
7.根據(jù)權利要求6所述的防呆計時報警裝置，其特征在于，所述機臺為美國NOVELLUS 公司生產的化學機械研磨機臺IPEC776。
8.根據(jù)權利要求7所述的防呆計時報警裝置，其特征在于，所述機臺向所述計時器的第一輸入端輸出高電平信號觸發(fā)所述計時器開始計時，所述機臺向所述計時器的復位端輸出高電平信號時所述計時器計時清零，所述計時器在其計時時間達到設定值時向所述報警器輸出信號，觸發(fā)報警器報警。
9.根據(jù)權利要求8所述的防呆計時報警裝置，其特征在于，所述設定值為500s。
10.一種晶片加工機臺，其特征在于，設置有如權利要求4至9中任一權利要求所述的防呆計時報警裝置。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警方法和裝置，屬于半導體生產技術領域。所述方法包括S1在晶片加工過程中通過所述機臺上的信號輸出端子，判斷所述機臺是否無動作；S2當判斷出所述機臺無動作時，發(fā)出報警。因此，本發(fā)明能夠偵測到機臺無動作并發(fā)出報警，通知工程師第一時間處理產品，降低產品報廢風險，維護機臺保證生產的連續(xù)。
文檔編號B24B55/00GK102267094SQ201010194509
公開日2011年12月7日 申請日期2010年6月4日 優(yōu)先權日2010年6月4日
發(fā)明者吳恩濤, 施杰, 王浩, 胡津, 趙久嵩, 黎陽 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司