專利名稱：一種載板回收控制方法、系統(tǒng)及一種薄膜沉積設(shè)備、方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及工藝控制技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種載板回收控制方法及載板回收控制系統(tǒng)，一種薄膜沉積設(shè)備及薄膜沉積方法。
背景技術(shù)：
在晶硅太陽能電池制造設(shè)備中，PECVD (等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)設(shè)備多采用 h-line (線型)的硬件結(jié)構(gòu)形式，采用在線型鍍膜技術(shù)(In-linePECVD)來達(dá)到高效率、高產(chǎn)量的目的。參照圖1，是PECVD設(shè)備的硬件結(jié)構(gòu)圖。PECVD的硬件結(jié)構(gòu)主要分為以下幾個部分 裝載臺(LP)、預(yù)熱腔(LHC)、工藝腔(PC)、冷卻腔(CUC)、卸載臺(UP)以及載板回收系統(tǒng)。其中，載板回收系統(tǒng)中包括多個返回臺，圖1中有三個返回臺，分別是返回臺l(CUCR)、返回臺 2 (PCR)、返回臺 3 (LHCR)。PECVD的工藝流程為1)裝載臺(高位)裝片后，傳輸?shù)筋A(yù)熱腔，同時裝載臺降到低位接收返回的載版；2)預(yù)熱腔加熱后傳輸?shù)焦に嚽唬?)工藝腔工藝后傳輸?shù)降嚼鋮s腔；4)冷卻腔冷卻后傳輸?shù)叫遁d臺；5)卸載臺降到低位并經(jīng)過載板回收系統(tǒng)傳輸?shù)窖b載臺(低位)；6)裝載臺上升到高位取片放片，再繼續(xù)下一個流程。在上述工藝流程匯中，載板能否由卸載臺(高位)及時返回到裝載臺(高位)，將直接影響PECVD的生產(chǎn)效率。目前所采用的載板回收方法如下1)如果LP在高位且沒有載板，則LP下降到低位；2)如果LP在低位且沒有載板，并且如果載板在LHCR上，則載板由LHCR- > LP, LP 上升到高位；3)如果UP在高位且有載板，則UP下降到低位；4)如果UP在低位且有載板，并且如果⑶CR上沒有載板，則UP- >⑶CR，UP上升到高位；5)如果LHCR、PCR上沒有載板，CUCR上有載板，則CUCR- > LHCR ；6)如果LHCR沒有載板，PCR有載板，則PCR- > LHCR ；7)如果LHCR有載板，PCR沒有載板，⑶CR有載板，則⑶CR- > PCR ；8)返回第1)步執(zhí)行。所述載板回收方法的執(zhí)行流程如圖2所示。其中，判斷LHCR有載板后，只有“PCR 無載板，CUCR有載板”這種情況，其它情況均無法傳輸，原因如下1) "PCR無載板，⑶CR無載板”，因為都沒有載板不需要動作；2) "PCR有載板，⑶CR無載板”，無法動作，因為傳輸必須保證源位置有載板，目的位置無載板；3) "PCR有載板、⑶CR有載板”，源位置和目的位置都有載板，無法傳輸。判斷LHCR無載板后，只有兩種情況適合傳輸1)“⑶CR有載板，PCR無載板”，這種情況下由⑶CR直接傳輸?shù)絃HCR，不需要在PCR
停留；2) "PCR有載板”，這種情況下只能由PCR- > LHCR，其它情況都無法傳輸。由上可知，現(xiàn)有的載板回收主要分為三部分LHCR- > LP傳輸以及LP的升降， ⑶CR- > LHCR的傳輸，UP- >⑶CR的傳輸以及UP的升降，整個載板回收系統(tǒng)作為一個整體供上層軟件調(diào)用。這種載板回收方式的主要缺點(diǎn)是載板返回效率低下。例如，如果同時滿足以下條件1)LP在高位且無載板，2) UP在高位且有載板；此時可執(zhí)行LP下降，UP下降。但是，由于整個載板回收系統(tǒng)是串行調(diào)度關(guān)系，所以只能等LP下降完成后才能調(diào)度UP下降，這樣就浪費(fèi)了時間，使得設(shè)備生產(chǎn)率低下。再例如，如果LHCR- > LP、⑶CR- > PCR的傳輸條件都滿足，仍然不能同時執(zhí)行，造成時間浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種載板回收控制方法及載板回收控制系統(tǒng)， 以解決現(xiàn)有的載板回收效率低的問題。相應(yīng)的，本發(fā)明還提供了一種薄膜沉積設(shè)備及薄膜沉積方法，所述設(shè)備和方法中涉及載板回收問題。為了解決上述問題，本發(fā)明公開了一種載板回收控制方法，包括將載板回收劃分為三個控制部分，分別是裝載臺的升降、卸載臺的升降和卸載臺到裝載臺的傳輸；對于卸載臺到裝載臺的傳輸，根據(jù)所有可同時執(zhí)行的傳輸動作構(gòu)建狀態(tài)機(jī)進(jìn)行控制，包括以下步驟在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中選擇狀態(tài)點(diǎn)，并以所選狀態(tài)點(diǎn)將卸載臺到裝載臺的傳輸劃分為多個狀態(tài)，每個狀態(tài)在滿足傳輸條件時執(zhí)行相應(yīng)的傳輸動作，并向另一個狀態(tài)轉(zhuǎn)換；各個狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換包含所有可同時執(zhí)行的傳輸動作。優(yōu)選的，通過以下方式選擇狀態(tài)點(diǎn)在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中，間隔設(shè)置狀態(tài)點(diǎn)。優(yōu)選的，當(dāng)卸載臺與裝載臺之間的返回臺依次為第一返回臺、第二返回臺和第三返回臺共三個時，在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中選擇第一返回臺和第三返回臺做為狀態(tài)點(diǎn)。其中，選擇第一返回臺和第三返回臺為狀態(tài)點(diǎn)將卸載臺到裝載臺的傳輸劃分為以下四個狀態(tài)第三返回臺有載板、第一返回臺有載板；第三返回臺有載板、第一返回臺無載板；第三返回臺無載板、第一返回臺有載板；
第三返回臺無載板、第一返回臺無載板。其中，所述每個狀態(tài)滿足的傳輸條件包括傳輸?shù)脑次恢糜休d板，傳輸?shù)哪康奈恢脽o載板。優(yōu)選的，對于裝載臺的升降和卸載臺的升降，當(dāng)滿足上升條件時則上升到高位，否則在低位等待。本發(fā)明還提供了一種載板回收控制系統(tǒng)，包括回收劃分模塊，用于將載板回收劃分為三個控制部分，分別是裝載臺的升降、卸載臺的升降和卸載臺到裝載臺的傳輸；傳輸控制模塊，用于針對卸載臺到裝載臺的傳輸，根據(jù)所有可同時執(zhí)行的傳輸動作構(gòu)建狀態(tài)機(jī)進(jìn)行控制，包括以下子模塊狀態(tài)點(diǎn)選擇子模塊，用于在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中選擇狀態(tài)點(diǎn)；狀態(tài)劃分子模塊，用于以所選狀態(tài)點(diǎn)將卸載臺到裝載臺的傳輸劃分為多個狀態(tài)；狀態(tài)轉(zhuǎn)換子模塊，用于在每個狀態(tài)滿足傳輸條件時執(zhí)行相應(yīng)的傳輸動作，并向另一個狀態(tài)轉(zhuǎn)換；各個狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換包含所有可同時執(zhí)行的傳輸動作。優(yōu)選的，所述狀態(tài)點(diǎn)選擇子模塊在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中，間隔設(shè)置狀態(tài)點(diǎn)。優(yōu)選的，當(dāng)卸載臺與裝載臺之間的返回臺依次為第一返回臺、第二返回臺和第三返回臺共三個時，所述狀態(tài)點(diǎn)選擇子模塊在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中選擇返回臺第一返回臺和第三返回臺做為狀態(tài)點(diǎn)。其中，當(dāng)選擇第一返回臺和第三返回臺為狀態(tài)點(diǎn)時，所述狀態(tài)劃分子模塊將卸載臺到裝載臺的傳輸劃分為以下四個狀態(tài)第三返回臺有載板、第一返回臺有載板；第三返回臺有載板、第一返回臺無載板；第三返回臺無載板、第一返回臺有載板；第三返回臺無載板、第一返回臺無載板。其中，所述每個狀態(tài)滿足的傳輸條件包括傳輸?shù)脑次恢糜休d板，傳輸?shù)哪康奈恢脽o載板。優(yōu)選的，所述系統(tǒng)還包括裝載臺升降控制模塊，用于控制裝載臺的升降，當(dāng)滿足上升條件時則上升到高位， 否則在低位等待；卸載臺升降控制模塊，用于控制卸載臺的升降，當(dāng)滿足上升條件時則上升到高位， 否則在低位等待?；谏鲜鲚d板回收控制方法和系統(tǒng)，本發(fā)明還提供了一種薄膜沉積設(shè)備，包括上述的載板回收控制系統(tǒng)。相應(yīng)的，本發(fā)明還提供了一種薄膜沉積方法，包括上述的載板回收控制方法。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)首先本發(fā)明提供了一種改進(jìn)的載板回收控制方法，首先將載板回收劃分為三個控制部分裝載臺LP的升降、卸載臺UP的升降和UP- > LP的傳輸，使得這三個部分在同時滿足執(zhí)行條件時可以并行執(zhí)行動作。其中，對于相對復(fù)雜的UP- > LP的傳輸控制，本發(fā)明通過使用狀態(tài)機(jī)來實現(xiàn)UP-> LP過程中多個傳輸動作的同時執(zhí)行。綜上所述，本發(fā)明充分考慮了載板回收系統(tǒng)可以并行運(yùn)行的全部動作，大大提高了載板回收的效率，進(jìn)而提高了設(shè)
備生產(chǎn)率。其次，在使用狀態(tài)機(jī)的過程中，狀態(tài)點(diǎn)的選擇十分重要。本發(fā)明通過各種嘗試得出的結(jié)論是隔點(diǎn)選擇一個狀態(tài)點(diǎn)是最佳選擇。因為這種選擇可以通過最小的狀態(tài)機(jī)涵蓋所有狀態(tài)，并涵蓋所有可同時執(zhí)行的傳輸動作，在保證載板回收過程完整性的前提下，達(dá)到最精簡的算法。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)中PECVD設(shè)備的硬件結(jié)構(gòu)圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)所述的載板回收方法流程圖；圖3是本發(fā)明實施例所述LP的下降控制流程圖；圖4是本發(fā)明實施例所述LP的上升控制流程圖；圖5是本發(fā)明實施例所述UP的下降控制流程圖；圖6是本發(fā)明實施例所述UP的上升控制流程圖；圖7是本發(fā)明實施例中UP- > LP的傳輸所涉及的傳輸位置示意圖；圖8是本發(fā)明實施例中UP- > LP的傳輸狀態(tài)機(jī)的狀態(tài)轉(zhuǎn)換示意圖；圖9是本發(fā)明實施例所述UP- > LP的傳輸控制流程圖；圖10是本發(fā)明實施例所述一種載板回收控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。本發(fā)明提供了一種改進(jìn)的載板回收控制方法，其核心思路是充分考慮載板回收過程中可以并行運(yùn)行的全部動作，并使用狀態(tài)機(jī)來實現(xiàn)多個動作的同時執(zhí)行，從而提高載板回收效率。下面通過實施例詳細(xì)說明如何使用狀態(tài)機(jī)控制載板回收。PECVD設(shè)備的硬件結(jié)構(gòu)可參照圖1所示，主要包括裝載臺(LP)、預(yù)熱腔(LHC)、工藝腔(PC)、冷卻腔(⑶C)、卸載臺(UP)以及載板回收系統(tǒng)。本實施例中，載板回收系統(tǒng)中包含三個返回臺返回臺I(CUCR)、返回臺2 (PCR)、返回臺3 (LHCR)。當(dāng)然，返回臺的數(shù)量不限定于三個，返回臺數(shù)量的多少不會影響本發(fā)明的實現(xiàn)。整個載板回收過程的控制如下首先，本發(fā)明將整個載板回收系統(tǒng)分為三個部分LP的升降、UP- > LP的傳輸、UP 的升降。這三個部分相對獨(dú)立，即每個部分只要滿足執(zhí)行條件就可以執(zhí)行動作，因此，這三個部分在同時滿足執(zhí)行條件時可以并行執(zhí)行動作。例如，當(dāng)LP在高位且沒有載板，并且UP 在高位有載板時，就可以同時執(zhí)行LP下降和UP下降。然后，本發(fā)明針對每個部分分別進(jìn)行控制，具體如下1、LP 的升降
LP的升降由載板回收系統(tǒng)的上層軟件直接控制，滿足上升條件則上升，不滿足則一直在低位等待條件滿足。同理，滿足下降條件則下降，不滿足則等待。參照圖3，是本發(fā)明實施例所述LP的下降控制流程圖。步驟301，判斷LP是否處于低位；如果是，則返回；如果否，即LP在高位，則繼續(xù)步驟302 ；步驟302，判斷LP上是否有載板；如果有載板，則等待一段時間(如1秒)，然后返回步驟302繼續(xù)判斷；如果無載板，則繼續(xù)步驟303 ；步驟303，LP從高位下降到低位。參照圖4，是本發(fā)明實施例所述LP的上升控制流程圖。步驟401，判斷LP是否處于高位；如果是，則返回；如果否，即LP在低位，則繼續(xù)步驟402 ；步驟402，判斷LP上是否有載板；如果無載板，則等待一段時間(如1秒)，然后返回步驟402繼續(xù)判斷；如果有載板，則繼續(xù)步驟403 ；步驟403，LP從低位上升到高位。2、UP 的升降UP的升降控制同LP —樣，滿足上升條件則上升，不滿足則一直在低位等待條件滿足。同理，滿足下降條件則下降，不滿足則等待。參照圖5，是本發(fā)明實施例所述UP的下降控制流程圖。步驟501，判斷UP是否處于低位；如果是，則返回；如果否，即UP在高位，則繼續(xù)步驟502 ；步驟502，判斷UP上是否有載板；如果無載板，則等待一段時間(如1秒)，然后返回步驟502繼續(xù)判斷；如果有載板，則繼續(xù)步驟503 ；步驟503，UP從高位下降到低位。參照圖6，是本發(fā)明實施例所述UP的上升控制流程圖。步驟601，判斷UP是否處于高位；如果是，則返回；如果否，即UP在低位，則繼續(xù)步驟602 ；步驟602，判斷UP上是否有載板；如果有載板，則等待一段時間(如1秒)，然后返回步驟602繼續(xù)判斷；如果無載板，則繼續(xù)步驟603 ；步驟603，UP從低位上升到高位。3、UP_>LP 的傳輸相對于LP的升降和UP的升降控制，UP- > LP的傳輸略為復(fù)雜，因為UP到LP之間有多個返回臺，每次傳輸都經(jīng)過兩個位置，從UP傳輸?shù)絃P要經(jīng)過多次傳輸。根據(jù)傳輸條件的不同，UP到LP的傳輸過程中存在可以同時執(zhí)行的傳輸動作。為了提高傳輸效率，本發(fā)明通過使用狀態(tài)機(jī)來實現(xiàn)UP- > LP過程中多個傳輸動作的同時執(zhí)行。下面先介紹狀態(tài)機(jī)。有限狀態(tài)機(jī)(Finite State Machine)又稱有限狀態(tài)自動機(jī)或簡稱狀態(tài)機(jī)，是表示有限個狀態(tài)以及在這些狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)移和動作等行為的數(shù)學(xué)模型。關(guān)于狀態(tài)機(jī)的一個極度確切的描述是它是一個有向圖形，由一組節(jié)點(diǎn)和一組相應(yīng)的轉(zhuǎn)移函數(shù)組成。狀態(tài)機(jī)通過響應(yīng)一系列事件而“運(yùn)行”。每個事件都在屬于“當(dāng)前”節(jié)點(diǎn)的轉(zhuǎn)移函數(shù)的控制范圍內(nèi)，其中函數(shù)的范圍是節(jié)點(diǎn)的一個子集。函數(shù)返回“下一個”(也許是同一個) 節(jié)點(diǎn)。這些節(jié)點(diǎn)中至少有一個必須是終態(tài)。當(dāng)?shù)竭_(dá)終態(tài)，狀態(tài)機(jī)停止。根據(jù)上述狀態(tài)機(jī)的描述，本發(fā)明選用狀態(tài)機(jī)的原因是設(shè)備在最理想的情況下，滿足傳輸條件“源位置有載板，目的位置無載板(部分需要其它條件，如LHCR- > LP時需要同時滿足LP在低位)，，時就可以傳輸，不受其它條件限制。在UP- > LP的傳輸過程中，載板每經(jīng)過一次調(diào)度后都是一種全新的狀態(tài)，而系統(tǒng)要根據(jù)當(dāng)前的狀態(tài)去執(zhí)行不同的調(diào)度，因此使用狀態(tài)機(jī)可以實時反映每個狀態(tài)并控制進(jìn)行調(diào)度。針對UP- > LP的傳輸，首先要構(gòu)建一個狀態(tài)機(jī)，當(dāng)構(gòu)建好之后，通過狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換就可以控制UP- > LP的多次并行傳輸。構(gòu)建狀態(tài)機(jī)的基本過程包括在UP、LP以及UP與LP之間的返回臺中選擇狀態(tài)點(diǎn)， 并以所選狀態(tài)點(diǎn)將UP- > LP的傳輸劃分為多個狀態(tài)，每個狀態(tài)在滿足傳輸條件時執(zhí)行相應(yīng)的傳輸動作，并向另一個狀態(tài)轉(zhuǎn)換；其中，各個狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換包含所有可同時執(zhí)行的傳輸動作。下面以圖1中的載板回收系統(tǒng)為例進(jìn)行詳細(xì)說明。所述載板回收系統(tǒng)中UP- > LP的傳輸涉及五個傳輸位置，參照圖7所示，分別是 LP、LHCR、PCR、CUCR 禾P UP。所述五個位置間可以同時執(zhí)行的傳輸動作有· LHCR-> LP，CUCR-> PCR ；· LHCR- > LP, UP- > CUCR ；· PCR-> LHCR，UP-> LHCR ；需要說明的是，兩個相鄰的位置不能同時傳輸，例如，PCR- > LHCR和LHCR- > LP 不能同時動作，否則會有危險。構(gòu)建出的狀態(tài)機(jī)，不僅要包含UP- > LP的所有傳輸動作，還需要包含上述所有可同時執(zhí)行的傳輸動作。為了滿足這些要求，狀態(tài)機(jī)的狀態(tài)劃分需合理，這樣狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換才能包含UP- > LP的所有傳輸動作及所有可同時執(zhí)行的動作。首先，在上述五個傳輸位置中，需要先確定狀態(tài)點(diǎn)。本實施例通過各種嘗試得出的結(jié)論是隔點(diǎn)選擇一個狀態(tài)點(diǎn)是最佳選擇。其中，一種優(yōu)選的設(shè)置方式是將LP、LHCR、PCR、⑶CR、UP五個位置，以LHCR、⑶CR為狀態(tài)點(diǎn)，劃分為以下四個狀態(tài)1) LHCR有載板、CUCR有載板；2) LHCR有載板、CUCR無載板；3) LHCR無載板、CUCR有載板；4) LHCR無載板、⑶CR無載板。這種以LHCR、⑶CR為狀態(tài)點(diǎn)的選擇，可以通過最少的狀態(tài)機(jī)涵蓋所有狀態(tài)，并涵蓋所有可同時執(zhí)行的傳輸動作，在保證載板回收過程完整性的前提下，達(dá)到最精簡的算法。 這是因為
傳輸過程是由源位置到目的位置，每次傳輸都經(jīng)過兩個位置。如果不選狀態(tài)點(diǎn)，用每個位置直接判斷，則需要25個狀態(tài)機(jī)，即32個，太過煩瑣；如果增加返回臺的數(shù)量，如6 個，則需要26共64個狀態(tài)機(jī)，造成程序開發(fā)困難。如果隔兩個(或更多)位置選一個狀態(tài)點(diǎn)，例如選LP和PCR，那么UP- > CUCR的傳輸過程則無法直接通過狀態(tài)機(jī)進(jìn)行判斷，造成丟失狀態(tài)。因此，經(jīng)過多次驗證，隔點(diǎn)選一個是最佳選擇。當(dāng)返回臺的數(shù)量改變時，隔點(diǎn)取狀態(tài)點(diǎn)，并重新定義狀態(tài)機(jī)即可。其次，定義狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換條件，即定義一個循環(huán)，在這四個狀態(tài)之間進(jìn)行切換。參照圖8，是本發(fā)明實施例中UP- > LP的傳輸狀態(tài)機(jī)的狀態(tài)轉(zhuǎn)換示意圖。具體如下狀態(tài)1 LHCR有載板、⑶CR有載板(a)如果LP無載板且在低位，則LHCR- > LP ；(b)如果 PCR 無載板，CUCR- > PCR ；a、b動作可同時執(zhí)行。狀態(tài)2 LHCR有載板、⑶CR無載板(a)如果LP無載板且在低位，則LHCR- > LP ；(b)如果UP有載板且在低位，則UP- > CUCR ；a、b動作可同時執(zhí)行。狀態(tài)3 LHCR無載板、⑶CR有載板 (a)如果 PCR 有載板，則 PCR- > LHCR ；(b)如果 PCR 無載板，則 CUCR- > PCR ；a、b動作互斥執(zhí)行。狀態(tài)4 LHCR無載板、⑶CR無載板(a)如果 PCR 有載板，則 PCR- > LHCR ；(b)如果UP有載板且在低位，則UP- > CUCR ；a、b動作可同時執(zhí)行。圖8中，每個狀態(tài)當(dāng)滿足各自的傳輸條件時，就會執(zhí)行相應(yīng)的傳輸動作，同時向另一個狀態(tài)轉(zhuǎn)換。需要說明的是，圖8在條件判斷時默認(rèn)了一個條件，即源位置有載板，目的位置未載板，凡是不滿足該條件的狀態(tài)無需判斷。即如果目的位置有載板，則不需要再去判斷源位置；如果源位置無載板，也不需要再去判斷目的位置。基于上述狀態(tài)機(jī)的使用，參照圖9，是本發(fā)明實施例所述UP- > LP的傳輸控制流程圖。首先判斷LHCR、⑶CR的狀態(tài)，當(dāng)滿足上述4個狀態(tài)中的一個狀態(tài)時，繼續(xù)判斷滿足該狀態(tài)下的哪種傳輸條件，然后執(zhí)行相應(yīng)的傳輸動作。當(dāng)然，隔點(diǎn)選擇一個狀態(tài)點(diǎn)也可以是如下的選擇方式，仍以圖1中的載板回收系統(tǒng)為例首先，在LP、LHCR、PCR、CUCR、UP中選擇LP、PCR、UP為狀態(tài)點(diǎn)，則將UP- > LP的傳輸劃分為以下八個狀態(tài)1) LP有載板、PCR有載板、UP有載板；
幻LP有載板、PCR有載板、UP無載板；幻LP有載板、PCR無載板、UP有載板；4) LP有載板、PCR無載板、UP無載板；5) LP無載板、PCR有載板、UP有載板；6) LP無載板、PCR有載板、UP無載板；7) LP無載板、PCR無載板、UP有載板；^LP無載板、PCR無載板、UP無載板。相應(yīng)的，八個狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換滿足以下條件狀態(tài)1 LP有載板、PCR有載板、UP有載板當(dāng)LHCR 無載板時，PCR- > LHCR ；當(dāng)CUCR 無載板時，UP- > CUCR ；狀態(tài)2 LP有載板、PCR有載板、UP無載板當(dāng)LHCR 無載板時，PCR- > LHCR ；狀態(tài)3 LP有載板、PCR無載板、UP有載板當(dāng)CUCR 無載板時，UP- > CUCR ；狀態(tài)4 LP有載板、PCR無載板、UP無載板當(dāng)CUCR 有載板時，CUCR- > PCR ；狀態(tài)5 LP無載板、PCR有載板、UP有載板當(dāng)LHCR 有載板時，LHCR- > LP ；當(dāng)CUCR 無載板時，UP- > CUCR ；狀態(tài)6 LP無載板、PCR有載板、UP無載板當(dāng)LHCR 有載板時，LHCR- > LP ；狀態(tài)7 LP無載板、PCR無載板、UP有載板當(dāng)LHCR 有載板時，LHCR- > LP ；當(dāng)CUCR 無載板時，UP- > CUCR ；狀態(tài)8 LP無載板、PCR無載板、UP無載板當(dāng)LHCR 有載板時，LHCR- > LP ；當(dāng) CUCR 有載板時，CUCR- > PCR。由上面可以看出，如果從第一個點(diǎn)開始選擇，同樣可以實現(xiàn)，但是由于多選擇了一個點(diǎn)，致使?fàn)顟B(tài)機(jī)的狀態(tài)增大了一倍，變成了八個，給程序的實現(xiàn)帶來一定的復(fù)雜度。因此， 上述選擇LHCR和⑶CR為狀態(tài)點(diǎn)是優(yōu)選的設(shè)置方式?；谏鲜龇椒▽嵤├恼f明，本發(fā)明還提供了相應(yīng)的系統(tǒng)實施例。參照圖10，是本發(fā)明實施例所述一種載板回收控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。所述載板回收控制系統(tǒng)主要包括回收劃分模塊1，用于將載板回收劃分為三個控制部分，分別是裝載臺LP的升降、 卸載臺UP的升降和UP- > LP的傳輸；UP- > LP傳輸控制模塊2，用于針對UP- > LP的傳輸，根據(jù)所有可同時執(zhí)行的傳輸動作構(gòu)建狀態(tài)機(jī)進(jìn)行控制，包括以下子模塊狀態(tài)點(diǎn)選擇子模塊21，用于在卸載臺UP、裝載臺LP以及卸載臺UP與裝載臺LP之間的返回臺中選擇狀態(tài)點(diǎn)；狀態(tài)劃分子模塊22，用于以所選狀態(tài)點(diǎn)將UP- > LP的傳輸劃分為多個狀態(tài)；狀態(tài)轉(zhuǎn)換子模塊23，用于在每個狀態(tài)滿足傳輸條件時執(zhí)行相應(yīng)的傳輸動作，并向另一個狀態(tài)轉(zhuǎn)換；各個狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換包含所有可同時執(zhí)行的傳輸動作。優(yōu)選的，所述控制系統(tǒng)還可以包括裝載臺LP升降控制模塊3，用于控制裝載臺LP的升降，當(dāng)滿足上升條件時則上升到高位，否則在低位等待；卸載臺UP升降控制模塊4，用于控制卸載臺UP的升降，當(dāng)滿足上升條件時則上升到高位，否則在低位等待。優(yōu)選的，上述控制系統(tǒng)中，所述狀態(tài)點(diǎn)選擇子模塊21在卸載臺UP、裝載臺LP以及卸載臺UP與裝載臺LP之間的返回臺中，每隔一個位置選擇一個作為狀態(tài)點(diǎn)。當(dāng)卸載臺UP 與裝載臺LP之間的返回臺依次為CUCR、PCR和LHCR共三個時，所述狀態(tài)點(diǎn)選擇子模塊21 選擇返回臺CUCR和LHCR為狀態(tài)點(diǎn)，是一種最佳的選擇。相應(yīng)的，當(dāng)選擇返回臺⑶CR和LHCR為狀態(tài)點(diǎn)，所述狀態(tài)劃分子模塊22將UP- > LP的傳輸劃分為以下四個狀態(tài)LHCR有載板、⑶CR有載板；LHCR有載板、⑶CR無載板；LHCR無載板、⑶CR有載板；LHCR無載板、CUCR無載板。綜上所述，本發(fā)明充分考慮了載板回收系統(tǒng)可以并行運(yùn)行的全部動作，大大提高了載板回收的效率，進(jìn)而提高了設(shè)備生產(chǎn)率。由于各種使用載板的設(shè)備，例如工藝控制領(lǐng)域的各種設(shè)備如PECVD(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)設(shè)備，都可能涉及載板回收問題，因此基于上述載板回收控制方法和系統(tǒng)的實施例描述，本發(fā)明實施例還提供了一種薄膜沉積設(shè)備和一種薄膜沉積方法。所述薄膜沉積設(shè)備中的載板回收系統(tǒng)可采用本發(fā)明實施例所述的控制系統(tǒng)，具體可參見圖10所述，在此不再詳述。相應(yīng)的，所述薄膜沉積方法中的載板回收部分也可采用本發(fā)明實施例所述的控制方法，具體可參見圖3至圖9的描述，在此也不再詳述。薄膜沉積是目前最流行的表面處理法之一，可應(yīng)用于裝飾品、餐具、刀具、工具、模具、半導(dǎo)體組件等之表面處理，泛指在各種金屬材料、超硬合金、陶瓷材料及晶圓基板的表面上，成長一層同質(zhì)或異質(zhì)材料薄膜的制程，以期獲得美觀耐磨、耐熱、耐蝕等特性。薄膜沉積依據(jù)沉積過程中，是否含有化學(xué)反應(yīng)的機(jī)制，可以區(qū)分為物理氣相沉積 (Physical Vapor D印osition，簡稱PVD，通常稱為物理蒸鍍)及化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor D印osition，簡稱CVD，通常稱為化學(xué)蒸鍍)。而PECVD設(shè)備是一種等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，PECVD設(shè)備中的載板回收部分即可采用圖10所示的載板回收控制系統(tǒng)實現(xiàn)。本說明書中的各個實施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個實施例重點(diǎn)說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可。對于系統(tǒng)實施例而言，由于其與方法實施例基本相似，所以描述的比較簡單，相關(guān)之處參見方法實施例的部分說明即可。此外，還需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。 以上對本發(fā)明所提供的一種載板回收控制方法、系統(tǒng)及一種薄膜沉積設(shè)備、方法， 進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個例對本發(fā)明的原理及實施方式進(jìn)行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時，對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實施方式
及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本發(fā)明的限制。
權(quán)利要求
1.一種載板回收控制方法，其特征在于，包括將載板回收劃分為三個控制部分，分別是裝載臺的升降、卸載臺的升降和卸載臺到裝載臺的傳輸；對于卸載臺到裝載臺的傳輸，根據(jù)所有可同時執(zhí)行的傳輸動作構(gòu)建狀態(tài)機(jī)進(jìn)行控制， 包括以下步驟在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中選擇狀態(tài)點(diǎn)，并以所選狀態(tài)點(diǎn)將卸載臺到裝載臺的傳輸劃分為多個狀態(tài)，每個狀態(tài)在滿足傳輸條件時執(zhí)行相應(yīng)的傳輸動作，并向另一個狀態(tài)轉(zhuǎn)換；各個狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換包含所有可同時執(zhí)行的傳輸動作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過以下方式選擇狀態(tài)點(diǎn) 在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中，間隔設(shè)置狀態(tài)點(diǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于當(dāng)卸載臺與裝載臺之間的返回臺依次為第一返回臺、第二返回臺和第三返回臺共三個時，在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中選擇第一返回臺和第三返回臺做為狀態(tài)點(diǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于選擇第一返回臺和第三返回臺為狀態(tài)點(diǎn)將卸載臺到裝載臺的傳輸劃分為以下四個狀態(tài)第三返回臺有載板、第一返回臺有載板； 第三返回臺有載板、第一返回臺無載板； 第三返回臺無載板、第一返回臺有載板； 第三返回臺無載板、第一返回臺無載板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的方法，其特征在于，所述每個狀態(tài)滿足的傳輸條件包括 傳輸?shù)脑次恢糜休d板，傳輸?shù)哪康奈恢脽o載板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于對于裝載臺的升降和卸載臺的升降，當(dāng)滿足上升條件時則上升到高位，否則在低位等IvTo
7.一種載板回收控制系統(tǒng)，其特征在于，包括回收劃分模塊，用于將載板回收劃分為三個控制部分，分別是裝載臺的升降、卸載臺的升降和卸載臺到裝載臺的傳輸；傳輸控制模塊，用于針對卸載臺到裝載臺的傳輸，根據(jù)所有可同時執(zhí)行的傳輸動作構(gòu)建狀態(tài)機(jī)進(jìn)行控制，包括以下子模塊狀態(tài)點(diǎn)選擇子模塊，用于在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中選擇狀態(tài)點(diǎn)；狀態(tài)劃分子模塊，用于以所選狀態(tài)點(diǎn)將卸載臺到裝載臺的傳輸劃分為多個狀態(tài)； 狀態(tài)轉(zhuǎn)換子模塊，用于在每個狀態(tài)滿足傳輸條件時執(zhí)行相應(yīng)的傳輸動作，并向另一個狀態(tài)轉(zhuǎn)換；各個狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換包含所有可同時執(zhí)行的傳輸動作。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于所述狀態(tài)點(diǎn)選擇子模塊在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中，間隔設(shè)置狀態(tài)點(diǎn)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于當(dāng)卸載臺與裝載臺之間的返回臺依次為第一返回臺、第二返回臺和第三返回臺共三個時，所述狀態(tài)點(diǎn)選擇子模塊在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中選擇返回臺第一返回臺和第三返回臺做為狀態(tài)點(diǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于當(dāng)選擇第一返回臺和第三返回臺為狀態(tài)點(diǎn)時，所述狀態(tài)劃分子模塊將卸載臺到裝載臺的傳輸劃分為以下四個狀態(tài)第三返回臺有載板、第一返回臺有載板； 第三返回臺有載板、第一返回臺無載板； 第三返回臺無載板、第一返回臺有載板； 第三返回臺無載板、第一返回臺無載板。
11.根據(jù)權(quán)利要求7或10所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述每個狀態(tài)滿足的傳輸條件包括傳輸?shù)脑次恢糜休d板，傳輸?shù)哪康奈恢脽o載板。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括裝載臺升降控制模塊，用于控制裝載臺的升降，當(dāng)滿足上升條件時則上升到高位，否則在低位等待；卸載臺升降控制模塊，用于控制卸載臺的升降，當(dāng)滿足上升條件時則上升到高位，否則在低位等待。
13.一種薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求7-12任意一項權(quán)利要求所述的載板回收控制系統(tǒng)。
14.一種薄膜沉積方法，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-6任意一項權(quán)利要求所述的載板回收控制方法。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種載板回收控制方法及系統(tǒng)，以解決載板回收效率低的問題。所述方法包括將載板回收劃分為三個控制部分，分別是裝載臺的升降、卸載臺的升降和卸載臺到裝載臺的傳輸；對于卸載臺到裝載臺的傳輸，通過構(gòu)建狀態(tài)機(jī)進(jìn)行控制，包括在卸載臺、裝載臺以及卸載臺與裝載臺之間的返回臺中選擇狀態(tài)點(diǎn)，并以所選狀態(tài)點(diǎn)將卸載臺到裝載臺的傳輸劃分為多個狀態(tài)，每個狀態(tài)在滿足傳輸條件時執(zhí)行相應(yīng)的傳輸動作，并向另一個狀態(tài)轉(zhuǎn)換；各個狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)換包含所有可同時執(zhí)行的傳輸動作。本發(fā)明充分考慮了載板回收系統(tǒng)可以并行運(yùn)行的全部動作，大大提高了載板回收的效率，進(jìn)而提高了設(shè)備生產(chǎn)率。此外，本發(fā)明還提供了一種薄膜沉積設(shè)備及薄膜沉積方法。
文檔編號C23C16/44GK102337518SQ20101023487
公開日2012年2月1日 申請日期2010年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月21日
發(fā)明者陸濤 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司